Cornell Spectrum Imager の使い方

目次1. 概要～起動まで　　 1-1. CSI ・ Image J　 　 1-2. ダウンロード・始め方

2. CSI 基本操作 2-1. ファイルを開きスペクトル表示 　　 2-2. スペクトルズーム　 　 2-3. エネルギー軸の較正 　　 2-4. Background 除去 　　 2-5. Background 除去済スペクトルのスケール 　　 2-6. スペクトルの抜粋・保存

3. 2 次元 EELS マッピング　 　 3-1. 画像とスペクトル　 　 3-2. 元素マッピング　 　 3-3. 複数元素のカラーマッピング　 　 3-4. ラインプロファイル

1-1. CSI ・ Image J

CSI （ Cornell Spectrum Imager ）とは　画像処理ソフトウェアである Image J を用いて、　 EELS / EDX / CL などのスペクトル解析を行えるソフト

ウェア　（ここでは主に EELS スペクトル解析について紹介する）　　開発者の研究室のホームページ↓　　 http://research.engineering.cornell.edu/muller/csi.cfm

Image J・起動するには Java が必要（ OS に合わせて 32 or 64 bit を

install ）・ CSI の他にも用途に合わせて、プラグインやマクロを　導入することで機能拡張が可能・ Image J 本体については http://rsb.info.nih.gov/ij/（英語）　　　　

1-2. ダウンロード・始め方

『 CSI 』にチェックするとCSI のツールセットが表示

CSI を↓ URL から DOWNLOADhttp://code.google.com/p/cornell-spectrum-imager/

（ＨＰ更新などにより繋がらない場合はCornell Spectrum Imager で検索して下さい）

　　　 Image J で開始

一番右のツールから『 CSI 』にチェックするとCSI のツールセットが表示

2-1. ファイルを開きスペクトル表示

①EELS 画像ファイル（ dm など）を開く ②CSI 起動

補足：範囲指定せずに②を起動した際、　　　 1 次元ファイルでは①の全範囲が、　　　 2 次元では画像左上部分のみが　　　 自動的に選択される

2-2. スペクトルズーム

Zoom ＆ Offset Sliders Energy Window Zoom で一部をズーム、 Energy Window offset で領域指定（マウスでスライドさせると大きく、キーボード矢印で小さく動かせる）

2-3. エネルギー軸の較正

CSI の画面上で右クリックOption→Calibrate Energy-axis→Recalibrate with two sample pointsこれで図の赤枠部分が出る

Calibration のスライダーで 2 本の黒線を既知のエネルギー領域に動かし、値を入力→Do Calibration で較正実行

2-4. Background 除去

赤枠部分 Power 選択

Start （開始位置）と Width （幅）で、緑のラインがグラフに沿うよう Background 指定（白線が Background を除去したスペクトル）

2-5. Background 除去済スペクトルのスケール（必須操作ではない）

右クリック→ Options→Auto-scale ～をクリックすると、バックグラウンドを抜いたカウント数が大きく表示される（赤色のラインがゼロ線、数字がその軸）

2-6. スペクトルの抜粋・保存Background 範囲を指定 (c.f. 2-4) して Background Subtract Dataset を押す Background を除去したスペクトル（画像）が出るので、　 そこから再度 CSI アイコンで スペクトルを出す（ c.f. 2-1 ）

Copy を押し、 Excel に貼り付ければ、Background を除去した情報が得られる。

（補足）List では全てのラインの X 軸・ Y 軸のデータが出るが、 Copy では大元の黒線のデータしかコピーされないので注意。Save は数字のデータしか保存されないので、グラフが欲しい場合は Excel を使うか、またはImage J の File→Save As で画像として保存。

3-1. 画像とスペクトル

画像引用 http://www.hvem.kyushu-u.ac.jp/text/2010FEF_kiso.pdf

E 軸

画像：試料位置（ x,y ）及び損失エネルギー（ E ）からなる 3 次元データ

3-2

3-2. 元素マッピング

① 画像・スペクトルを出す（ c.f. 2-1 ）②Background 除去（ c.f. 2-4 ）③ 図の赤枠でピーク位置選択（白線）④integrate をクリック

3-3. 複数元素のカラーマッピング

＋ ＝

① 各ピークで integrate を行う（ c.f.3-1 ）

O2 Ni

②RGB composite アイコンをクリックしファイルごとの色を指定

Gray は None にする

チェックはずすチェックする

② 詳細→

3-4. ラインプロファイル

① プロファイルしたい範囲選択 ② ラインプロファイル作成