2
タッチパネルの製造プロセス タッチパネルの構造 ITOパターン(X軸) ③カバーガラス (反射防⽌+汚れ防⽌膜) ①タッチセンサ ②液晶パネル 筐体 絶縁層 ITOパターン(Y軸) タッチ位置の検知イメージ ❶ タッチセンサ製造プロセス ITOパターン形成⼯程 額縁配線⼯程 レジスト塗布 スクリーン印刷 スクリーン印刷 露光 現像 現像 現像 エッチング スパッタ 現像 コーティング 露光 レジスト塗布 スパッタ レジスト塗布 パターニング パターニング レジスト塗布 現像 現像 Al, Moスパッタ 現像 表⾯コーティング スクリーンパターニング 現像 エッチング パターニング アニール ITOスパッタ UV洗浄 ガラス基板・フィルム ガラス基板・フィルム 露光 リソグラフィ⽤UVランプ 露光装置 洗浄 エキシマランプユニット 配向処理 光配向装置 ※ここまでの⼯程を、タテのセンサ(Y軸)とヨコのセンサ(X軸)それぞれで⾏い、組み合わせます。 貼り合わせ 液晶パネル貼り合わせ装置 加熱 ハロゲンランプ 側⾯照射タイプ UV硬化 側⾯照射タイプ ⾼出⼒タイプ スポットタイプ 洗浄 洗浄 洗浄 洗浄 洗浄 洗浄 洗浄 加熱 UV 硬化 露光 UV 硬化 UV 硬化 露光 1/2 洗浄

タッチセンサ製造プロセス ITOパターン形成⼯程 額 …...タッチパネルの製造プロセス タッチパネルの構造 ITOパターン(X軸) ③カバーガラス

  • Upload
    others

  • View
    2

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: タッチセンサ製造プロセス ITOパターン形成⼯程 額 …...タッチパネルの製造プロセス タッチパネルの構造 ITOパターン(X軸) ③カバーガラス

タッチパネルの製造プロセス

タッチパネルの構造

ITOパターン(X軸)

③カバーガラス (反射防⽌+汚れ防⽌膜)

①タッチセンサ

②液晶パネル

筐体

絶縁層

ITOパターン(Y軸)

タッチ位置の検知イメージ

❶ タッチセンサ製造プロセス

ITOパターン形成⼯程 額縁配線⼯程

レジスト塗布

スクリーン印刷スクリーン印刷

露光 現像現像現像 エッチング スパッタ 現像 コーティング露光レジスト塗布スパッタ

レジスト塗布 パターニングパターニングレジスト塗布 現像現像 Al, Moスパッタ 現像

表⾯コーティングスクリーンパターニング現像エッチングパターニングアニールITOスパッタUV洗浄

ガラス基板・フィルムガラス基板・フィルム

露光

リソグラフィ⽤UVランプ 露光装置

洗浄

エキシマランプユニット

配向処理

光配向装置

モジュール⼯程へ

※ここまでの⼯程を、タテのセンサ(Y軸)とヨコのセンサ(X軸)それぞれで⾏い、組み合わせます。

貼り合わせ

液晶パネル貼り合わせ装置

加熱

ハロゲンランプ側⾯照射タイプ

UV硬化

側⾯照射タイプ⾼出⼒タイプ スポットタイプ

洗浄

洗浄

洗浄

洗浄

洗浄

洗浄

洗浄

加熱UV硬化

露光

UV硬化

UV硬化

露光

1/2

洗浄

Page 2: タッチセンサ製造プロセス ITOパターン形成⼯程 額 …...タッチパネルの製造プロセス タッチパネルの構造 ITOパターン(X軸) ③カバーガラス

OCAラミネート/OCRコーティング

UV硬化 FPC貼り付けラミネート/コーティング

OCAラミネート/OCRコーティング FPC貼り付け

モジュール⼯程

③カバーガラス完 成

①タッチセンサ完 成

UV硬化ラミネート/コーティング

OCAラミネート/OCRコーティング

UV硬化ラミネート/コーティング

スクリーン印刷 コーティング

UV硬化 Fluoroコーティングガラス

ACFテープ貼り付け偏光板貼り付け

COG貼り付け

❶ タッチセンサ製造プロセス セットアップ⼯程

②液晶パネル完 成

2/2

TFT︵アレイ︶⼯程

カラーフィルター⼯程

セル⼯程へ

モジュール⼯程へ

❸ カバーガラス製造プロセス

R G B

配向膜塗布レジスト剥離エッチング露光 現像

配向膜塗布保護膜形成ITO膜付露光露光露光ブラックマトリックス形成ガラス基板

ガラス基板 成膜 レジスト塗布

カラーレジスト塗布 液晶滴下

❷ 液晶パネル製造プロセス5〜7回繰り返し

額縁配線⼯程から

①+②+③タッチディスプレイ

完 成

露光

露光 露光 露光

洗浄

洗浄 洗浄 洗浄 洗浄

洗浄 洗浄

洗浄洗浄

洗浄洗浄

UV硬化

配向処理

配向処理

貼り合わせ洗浄

洗浄

洗浄

洗浄

UV硬化

UV硬化UV

硬化

UV硬化 UV

硬化UV硬化UV

硬化

洗浄 洗浄 洗浄UV硬化

UV硬化

UV硬化