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冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-1
付録 Ｆ
外径寸法図
１. ＲＭ１０冷凍機ユニット･････････････････････････････ F-2
２. ＲＭ１０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････ F-3
３. ＲＭ２０冷凍機ユニット･････････････････････････････ F-4
４. ＲＭ２０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････ F-5
５. ＲＭ５０冷凍機ユニット･････････････････････････････ F-6
６. ＲＭ５０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････ F-7
７. ＲＭ８０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-8
８． ＲＭＳ１０冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-9
９. ＲＭＳ１０Ｔ冷凍機ユニット･････････････････････････F-10
１０. ＲＭＳ５０冷凍機ユニット･･･････････････････････････ F-11
１１. ＲＭＳ５０Ｔ冷凍機ユニット･････････････････････････ F-12
１２. ＲＭＳ８０Ｔ冷凍機ユニット･････････････････････････ F-13
１３. Ｒ１０・Ｒ１０Ｒ冷凍機ユニット･････････････････････F-14
１４. Ｒ１０ＲＴ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-15
１５. Ｒ２０・Ｒ２０Ｒ冷凍機ユニット･････････････････････F-16
１６. Ｒ２０ＲＴ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-17
１７. Ｒ５０・Ｒ５０Ｒ冷凍機ユニット･････････････････････F-18
１８. Ｒ５０ＲＴ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-19
１９. Ｒ８０・Ｒ８０ＲＴ冷凍機ユニット･･･････････････････F-20
２０． ＲＳ１０冷凍機ユニット･････････････････････････････F-21
２１. ＲＳ１０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-22
２２. ＲＳ５０冷凍機ユニット･････････････････････････････ F-23
２３. ＲＳ５０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････ F-24
２４. ＲＳ８０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････ F-25
２５． ＲＳ１５０Ｔ冷凍機ユニット･････････････････････････F-26
外径寸法図
F-2 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
RM10
冷凍機
ユニ
ット
RM10 REFRIGERATOR
SUP
PLY
SUP
PLY
RETURN
RETURN
(199.9)
67.5
電源
コネク
ター
(36.8)
(223.8)
ヘリ
ウム
ガスリ
ター
ン
φ152.4
6-M4タ
ップ
(25.4)
φ76.2
φ53.9
ヘリウ
ムガス
流れ
方向
使用
O-リ
ング
V100
O-リング溝内径φ100
I.D.
φ100
φ97
-0.1
+0.1
468.4
147.7
(185.9)
B部詳
細図(1/1)
B
2-M2.5タッ
プ
30ﾟ
φ66.8（等
配）
1段ス
テー
ジ
46.4
3
9.5
45ﾟ
4
φ33.3(等
配)
4-M4タッ
プ
2段ステ
ージ
φ69.7（等
配）
φ6-90°
皿モ
ミ
3-φ
3.5
0.1
φ39.7
2段
ステ
ージ
1段ス
テージ
11.1
157.2
282.5
12.7
φ141.3
8-M5タ
ップ
8-φ
5.7
(φ141.3)
(67.5)
(85.8)
ヘリ
ウム
ガスサ
プラ
イ
安全
弁
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
2.8
4.50
0.8
±0.
1
0.8
0.8 0.8
0
O-リ
ング
溝詳細
図
O-リ
ング
溝仕
上げ
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラ
ンジ
（推
奨）
13
φ152.4
バキ
ュー
ムチ
ャンバ
ーフ
ランジ
面
55.4
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-3
RM10T
冷凍
機ユ
ニッ
ト
SUPPLY
SUPPLY
RETURN
RETURN
RM10T REFRIGERATOR
(199.9)
67.5
(36.8)
(223.8)
ヘリウ
ムガスリ
ターン
13
φ152.4
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラ
ンジ
（推奨
）
(25.4)
φ76.2
φ53.9
φ97
468.4
147.7
(185.9)
30ﾟ
9.5
45ﾟ
4
0.1
φ39.7
11.1
157.2
282.5
12.7
(67.5)
(85.8)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
2.8
4.5
φ152.4
55.4
3相、200V
電源コネ
クタ
6-M4タッ
プ
ヘリウ
ムガス流れ
方向
使用
O-リング
V100
O-リング溝内径φ100
I.D.
φ100
-0.1
+0.1
B部
詳細
図(1/1)
B
2-M2.5タップ
φ66.8（等配）
1段ステー
ジ
46.4
3
φ33.3(等配)
4-M4タ
ップ
2段ステージ
φ69.7（等配）
φ6-90°皿モミ
3-φ3.5
2段ステージ
1段ステージ
φ141.3
8-M5タップ
8-φ5.7
(φ141.3)
ヘリウ
ムガスサ
プライ
安全弁
0
0.8
±0.1
0.8
0.8 0.8
0
O-リ
ング溝詳細
図
O-リン
グ溝仕上げ
バキューム
チャンバー
フランジ面
外径寸法図
F-4 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
RM20
冷凍
機ユ
ニッ
トRM20 REFRIGERATOR
SUPPLY
SUPPLY
RETURN
RETURN
(25.4)
67.5
(36.8)
ヘリウ
ムガスリターン
(247.4)
(271.3)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
3.5
518.9
30ﾟ
22.5ﾟ
6.3
6.5
333
φ57
φ63.6
195.2
(67.5)
(85.8)
12.7
(185.9)
φ89
182
55.4
φ152.4
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
φ101
13
φ152.4
電源コネクター
安全弁
φ79（等
配）
φ6-90°皿モミ
φ44.5（等配）
2段ステージ
6-M4タップ
3-φ3.5
φ50（等配）
φ6-90°皿モミ
4-φ3.5
1段ステージ
φ79（等配）
8-M4タップ
2段ス
テージ
1段ステ
ージ
バキュームチ
ャンバーフランジ面
8-φ5.7
ヘリウ
ムガスの流れ方向
ヘリウムガスサプライ
(φ141.3)
バキ
ューム
チャン
バーフ
ランジ(推
奨)
O-リング溝内径
8-M5タップ
使用O-リン
グAS568-157
使用O-リ
ング
G115
O-リング
溝仕上
げO-リ
ング溝
仕上げ
(φ141.3)
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
-0.120
-0.10
2.2
0+0.1
±0.1
±0.
10
+0.12
3.6
φ115
3φ114.5
2
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-5
RM20T
冷凍機ユニ
ット
安全弁
SUPPLY
SUP
PLY
RET
URN
RETURN
RM20T REFRIGERATOR
67.5
(36.8)
(25.4)
ヘリウムガスリター
ン
(199.9)
0+0.12
0+0.1
(I.D.)
(I.D.)
3.6
3
13
(85.8)
(67.5)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
22.5ﾟ
30ﾟ
147.7
3.5
518.9
6.3
6.5
333
φ57
φ63.6
12.7
(185.9)
φ89
182
55.4
φ152.4
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
2.2
φ115
φ114.5
2
φ101
φ152.4
ヘリウムガスサプライ
(223.8)
8-φ5.7
(φ141.3)
φ79（等
配）
φ6-90°皿モミ
φ44.5（等配）
2段ステージ
6-M4タップ
3-φ3.5
φ50（等配）
φ6-90°皿モミ
4-φ3.5
1段ステー
ジ
φ79（等配
）
8-M4タップ
3相、200V
電源コネ
クタ
バキュームチャンバーフランジ面
2段
ステージ
1段ステージ
ヘリ
ウムガスの流れ
使用
O-リング
G115
O-リング溝仕上げ
O-リング溝仕上
げ
使用
O-リング
AS568-157
O-リング溝内径
バキュームチャ
ンバーフランジ（推奨）
8-M5タッ
プ
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
-0.120
-0.10
±0.1
±0.1
(φ141.3)
外径寸法図
F-6 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
RM50
冷凍機ユニ
ット
RM50 REFRIGERATOR
使用
O-リン
グAS568-157
使用
O-リ
ング
G115
O-リ
ング
溝仕
上げ
O-リ
ング
溝仕
上げ
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
-0.120
-0.10
2.2
0+0.1
±0.1
±0.1
0+0.12
3.6
φ115
3φ
114.5
2
RETURN
RETURN
SUP
PLY
SUPPLY
67.5
(247.4)
(36.
8)
電源
コネ
クタ
ー
ヘリ
ウム
ガス
リタ
ーン
(271.3)
φ152.4
(φ
141.
3)
8-φ
5.7
φ89
φ63.5
φ57
(25.
4)
6.3
6.5
8-M
4タ
ップ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
(185.9)
安全
弁
3.5
(67.5)
(85.8)
ヘリ
ウム
ガス
流れ
方向
12.7
1段
ステ
ージ
2段
ステ
ージ
φ50
(等
配)
φ6-
90°
皿モ
ミ
φ79
(等
配)
3-φ3.5
30ﾟ
2段
ステ
ージ
φ44
.5(等
配)
6-M
4タ
ップ
22.5ﾟ
4-φ
3.5
φ6-
90°
皿モ
ミ
1段
ステ
ージ
φ79
（等
配）
8-M
4タ
ップ
ヘリ
ウム
ガス
サプ
ライ
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラン
ジ面
195.2
499
313
182
55.4
8-M5
タッ
プ
(φ14
1.3)
バキュ
ームチ
ャン
バー
フラン
ジ（
推奨
）
O-リング溝内径
13
φ152.4
φ101
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-7
安全
弁
SUPPLY
SUPPLY
RETURN
RETURN
RM50T REFRIGERATOR
67.5
(36
.8)
(25.4
)
(199.9)
ヘリ
ウム
ガス
リター
ン
ヘリ
ウムガ
スサ
プライ
(223.8)
8-M5
タッ
プ
12.7
22.5ﾟ
2段ス
テー
ジ1段
ステー
ジ
0+0.1
3.6
3
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
(3.4)
(185.9
)
φ57
φ89
φ63.5
(85.
8)(67.5)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
147.7
30ﾟ
6.3
499
313
6.5
182
55.4
φ152.4
φ101
13
2.2
φ115
φ114.5
2
φ152.4
O-リング溝内径
バキ
ューム
チャ
ンバー
フラ
ンジ面
ヘリウ
ムガ
スの流
れ
3相、
200V
電源
コネ
クタ
φ79（
等配
）
φ6-
90°
皿モミ
φ44.
5（等
配）
2段ス
テー
ジ
6-M
4タッ
プ
3-φ
3.5
φ50（
等配
）
φ6-
90°
皿モミ
4-φ
3.5
1段ス
テー
ジ
φ79（
等配
）8-
M4タ
ップ
O-リ
ング
溝仕
上げ
使用
O-リ
ング
AS568
-157
使用
O-リ
ング
G115
O-リ
ング
溝仕
上げ
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラ
ンジ（
推奨
）
I.D.
I.D.
(φ141.3
)
8-φ
5.5
(φ14
1.3)
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
-0.120
-0.10
±0.1
±0.1
0+0.12
RM50T
冷凍
機ユニ
ット
外径寸法図
F-8 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
RM80T
冷凍
機ユニ
ット
RM80T REFRIGERATOR
SUPP
LY
SUPPLY
RET
URN
RETURN
67.5
(36.8)
(25.4)
(247.4)
ヘリ
ウム
ガスリ
ターン
8-M5タ
ップ 30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
13
φ110
φ152.4
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
60ﾟ30ﾟ30ﾟ
12
(281.5)
(185.9)
518.9
(φ90.2)
195.2
φ108.8
φ57
6.3
φ152.4
182
55.74
12.7
(88.2)
(71.5)
ヘリウ
ムガス
流れ
方向
8-φ5.7
3.5
φ50（等配
）
φ6-90
°皿モミ
3-φ3.5
333
ヘリウム
ガスサプラ
イ
入力
電源3相
、200V
電源コネ
クタ
(φ141.3)
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
2段
ステー
ジφ44.5(等
配)
6-M4タッ
プ
1段
ステー
ジ
φ100.6(等
配)
12-M4タッ
プ
使用
O－リング
G115
O-リング溝
詳細図
O-リング溝
詳細図
使用O－
リングAS568-157
-0.120
-0.10
2.2
0+0
.1±
0.1
±0.
10
+0.12
3.6
φ115
3φ114.5
2
O-リング溝内径
バキュ
ームチャ
ンバーフラ
ンジ（推
奨)
(φ141.3)
安全弁
バキュ
ームチャ
ンバーフラ
ンジ面
2段ステー
ジ1段
ステ
ージ
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-9
RMS10
冷凍機
ユニ
ット
(223.8)
φ152.4
RMS10 REFRIGERATOR
SUPPLY
SUPPLY
RETURN
RETURN
(36.8)
67.5
(199.9)
ヘリウ
ムガスリ
ターン
30ﾟ
ヘリウムガ
スの流れ
4.5
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
φ76.2
(85.8)
(67.5)
(185.9)
12.7
147.7
157.2
343.1
(25.4)
9.5
55.4
2.8φ100
13
φ97
φ152.4
電源
コネク
ター
１段ステ
ージ
φ66.8(等
配)
6-M4タ
ップ
φ69.
7(等配)
φ6-9
0°皿モ
ミ
3-φ3.5
8-φ5.7
(φ141.3)
安全
弁
１段ステージ
バキュ
ームチャンバーフランジ
面
ヘリウム
ガスサ
プライ
0.8
O-リング溝仕上げ
O-リング溝詳細図
使用O－リング
JIS
B240
1V10
0
-0.10
+0.1 0
φ141.3
バキュームチャンバ
ーフランジ（推奨)
8-M5タ
ップ
O-リング溝内径φ100
0.8
0.8
0.8
±0.1
外径寸法図
F-10 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
SUPPLY
SUPPLY
RETURN
RETURN
RMS10T REFRIGERATOR
67.5
(36.
8)
3相、
200V
電源
コネ
クタ
30ﾟ
ヘリ
ウム
ガス
の流れ
4.5
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
φ76.2
(85.8)
(67.5)
(185.9)
12.7
147.7
157.2
343.1
(25.4)
φ152.49.5
55.4
2.8φ
100
13
φ97
φ152.4
１段
ステ
ージ
φ66.8(等
配)
6-M4タッ
プ
φ69.7(等
配)
φ6-
90°
皿モ
ミ
3-φ
3.5
8-φ
5.7
(φ141.3)
ヘリ
ウム
ガス
リター
ン
安全
弁
１段
ステー
ジ
バキ
ュー
ムチャ
ンバ
ーフ
ラン
ジ面
ヘリウ
ムガ
スサプ
ライ
0.8
O-リ
ング
溝仕上げ
O-リン
グ溝
詳細図
使用
O－リ
ング
JIS
B2401
V100
-0.10
+0.1
0
φ141.3
バキ
ュー
ムチ
ャンバ
ーフ
ラン
ジ（
推奨
)
8-M5タ
ップ
O-リング溝内径φ100
0.8
0.8
0.8
±0.1
RMS10T
冷凍機ユニット
(199.9)
(223.8)
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-11
RMS50 REFRIGERATOR
(67.5)
SUPPLY
SUPPLY
RETURN
RETURN
67.5
(25.4)
(36.8)
電源コ
ネクター
(271.4)
(247.4)
ヘリ
ウムガス
リターン
安全
弁
バキュ
ームチャ
ンバーフ
ランジ面
195.2
8-φ5.7
1段
ステ
ージ
ヘリウ
ムガスの流
れ方向
ヘリ
ウムガス
サプライ
(85.8)
12.7
367.9
(185.9)
φ89
6.5
182
55.4
φ152.4
(φ141.3)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
4-φ3.5
φ6-90
°皿モミ
φ79（等配
）
1段
ステージ
φ79（等配）
8-M4タップ
22.5ﾟ
バキュ
ーム
チャン
バー
フラ
ンジ(推奨
)
O-リング溝内径
8-M5タップ
使用
O-リン
グAS568-157
使用
O-リ
ング
G115
O-リ
ング
溝仕上
げO-リ
ング溝
仕上
げ
φ101
(φ141.3)
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
13
-0.120
-0.10
2.2
0+0.
1±
0.1
±0.
10
+0.
12
3.6
φ115
3φ
114.5
2
φ152.4
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
RMS50
冷凍機ユニッ
ト
外径寸法図
F-12 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
SUPPLY
RETURN
SUPPLY
RETUR
N
RMS50T REFRIGERATOR
(36.8)
67.5
(199.9)
(223.8)
ヘリウ
ムガスリ
ターン
22.5ﾟ
I.D.
I.D.
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
(85.8)
(67.5)
ヘリウム
ガスサプ
ライ
ヘリウム
ガスの流
れ方向
(25.4)
147.73相、
200V
電源コ
ネクタ
安全
弁
バキ
ュームチ
ャンバー
フラン
ジ面
8-φ5.7
1段
ステー
ジ
12.7
367.9
(185.9)
φ89
6.5
182
55.4
φ152.4
(φ141.3)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
4-φ3.5
φ6-90°皿
モミ
φ79（等配
）
1段ステ
ージ
φ79（等配）
8-M4タ
ップ
バキュー
ムチャ
ンバー
フラン
ジ(推奨)
O-リング溝内径
8-M5タッ
プ
使用O-リングAS568-157
使用O-リング
G115
O-リン
グ溝仕
上げ
O-リン
グ溝仕
上げ
φ101
(φ
141.3)
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
13
-0.120
-0.10
2.2
0+0.1
±0.1
±0.1
0+0.12
3.6
φ115
3φ114.5
2
φ152.4
RMS50T
冷凍機
ユニ
ット
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-13
SUPP
LY
SUPPLY
RETURN
RETURN
RMS80T REFRIGERATOR
67.5
(25.4)
(36.8)
(247.4)
ヘリ
ウム
ガス
リタ
ーン
371.7
1段
ステ
ージ
185.8
12
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
入力
電源
3相
、200V
30ﾟヘ
リウ
ムガ
スサ
プラ
イ
ヘリ
ウムガ
ス流
れ方
向
電源
コネ
クタ
(281.5)
安全
弁
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラ
ンジ
面
88.2
(71.5)
195.2
1段
ステ
ージ
φ100.6(等
配)
12-M4タ
ップ
(185.9)
(φ
141.3)
8-φ
5.5
φ108.8
φ152.4
55.74
12.7
(φ
141.3)
8-M5タ
ップ
（下
穴深
さ9.6)
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラ
ンジ
（推
奨)
使用
O－
リン
グG115
O-リ
ング溝
詳細
図O-リ
ング
溝詳
細図
使用
O－
リン
グAS568-157
(φ
141.3)
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
13
-0.120
-0.10
2.2
0+0.1
±0.1
±0.1
0+0.12
3.6
φ115
3φ
114.5
2
O-リング溝内径
φ110
φ152.4
RMS80T
冷凍
機ユニット
外径寸法図
F-14 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
11.1
φ76.2
φ39.7
φ53.9
0.1
4
45ﾟ
9.5
36.
4
4
30ﾟ
B
1段ス
テー
ジ2段ス
テー
ジ
3-φ
3.5
φ6-90°
皿モ
ミ
φ69.7（等
配）
2段ス
テー
ジ
4-M4タッ
プ
φ33.3(等配
)
1段
ステ
ージ
φ66.8（等
配）
6-M4タ
ップ
B部詳
細図
2-M2.5タッ
プ
R10・
R10R
冷凍
機ユニット
※本外形
図は、R10冷凍機の
場合で
す。
※R10R冷凍機
は、R10冷凍
機と同
じ外形
寸法です
。
電源コ
ネク
ター
使用O-リ
ング
V100
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
O-リング溝内径φ100
O-リン
グ溝
詳細
図
0.8
O-リン
グ溝
仕上
げ
φ97
-0.1
+0.1
2.8φ
100
4.50
±0.
1
0.8
0.8 0.8
013
φ152.4
φ141.3
8-M5タッ
プ
8-φ
5.7
(φ141.3)
安全弁
バキュ
ーム
チャ
ンバ
ーフ
ラン
ジ面
ヘリ
ウム
ガス
の流
れ方
向
ヘリ
ウム
ガス
リタ
ーン
ヘリ
ウム
ガス
サプ
ライ
SUP
PLY
468.
4
147.7
(223.8)
(185.9)
157.
2
282.5
φ152.4
12.7(2
5.4)
(36.8
)
R10 REFRIGERATOR
RETU
RN
(67.5)
(85.8)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
SUP
PLYRE
TURN
55.4
バキ
ューム
チャ
ンバ
ーフラ
ンジ
（推奨
）
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-15
ヘリ
ウム
ガスの
流れ
方向
13
φ152.4
67.5
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
バキ
ュー
ムチャ
ンバ
ーフ
ラン
ジ（推
奨）
(25.4)
(36.8)
φ76.2
φ53.9
φ97
468.4
147.7
(223.8)
(185.9)
30ﾟ
9.5
45ﾟ
4
0.1
φ39.7
11.1
157.2
282.5
12.7
(67.5)
(85.8)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
2.8
4.5
φ152.4
55.4
3相
、200V
電源
コネ
クタ
R10RT REFRIGERATOR
6-M4タ
ップ
SUPP
LYRE
TURN
SUP
PLY
RETU
RN
使用
O-リ
ング
V100
O-リング溝内径φ100
I.D.
φ100
-0.1
+0.1
B部詳細
図(1/1)
B
2-M2.5タ
ップ
φ66.8（等
配）
1段
ステ
ージ
4
6.4
3
φ33.3(等
配)
4-M4タ
ップ
2段
ステ
ージ
φ69.7（
等配
）
φ6-90°
皿モミ
3-φ
3.5
2段ス
テー
ジ1段
ステ
ージ
φ141.3
8-M5タッ
プ
8-φ
5.7
(φ141.3)
ヘリウ
ムガス
リタ
ーン
ヘリ
ウム
ガス
サプラ
イ
安全
弁
0
0.8
±0.1
0.8
0.8 0.8
0
O-リ
ング
溝詳
細図
O-リン
グ溝
仕上げ
バキ
ュー
ムチャ
ンバ
ーフ
ランジ
面
R10RT
冷凍機
ユニット
外径寸法図
F-16 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラ
ンジ
(推奨)
O-リ
ング
溝詳
細図
O-リ
ング
溝詳
細図
※R20R冷
凍機は
、R20冷
凍機と
同じ
外形
寸法で
す。
※本外
形図
は、
R20冷凍
機の場
合で
す。
R20・
R20R
冷凍機
ユニッ
ト
電源コ
ネクタ
ー
0.8
0.8
ヘリ
ウムガ
スの
流れ方
向
安全弁
φ79
（等配
）
φ6-90°
皿モ
ミ
φ44.5（
等配）
2段ス
テージ
6-M4タッ
プ
3-φ3.5
φ50（等
配）
φ6-90
°皿モミ
4-φ3.5
1段ステー
ジ
φ79（等
配）
8-M4タ
ップ
2段
ステ
ージ
1段
ステー
ジ
バキ
ュー
ムチャ
ンバー
フラ
ンジ面
O-リング溝内径
8-M5タ
ップ
使用O-リン
グAS568-157
使用O-リン
グG115
O-リン
グ溝
仕上
げO-リン
グ溝
仕上
げ
(φ141.
3)
ヘリウ
ムガ
スサプ
ライ
ヘリウ
ムガ
スリタ
ーン
SUP
PLY
RETURN
RETURN
SUPPLY
333
(85.8)
3.5
(271.3)
518.9
30ﾟ
22.5ﾟ
6.3
6.5
φ57
φ63.6
R20 REFRIGERATOR
195.2
8-φ5.7
(36.8)(25.4)
(67.5)
12.7
(185.9)
φ89
182
55.4
φ152.4
(φ141.
3)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
φ101
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
13
-0.120
-0.10
2.2
0+0.1
±0.1
±0.1
0+0.12
3.6
φ115
3φ
114.5
2
φ152.4
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-17
0+0.12
0+0.1
(I.D.)
(I.D.)
3.6
3
13
(223.8)
(85.
8)(67.5)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
22.5ﾟ
30ﾟ
147.7
(36.8)
(25.4
)
3.5
518.9
6.3
6.5
333
φ57
φ63.6
12.7
(185.9)
φ89
182
55.4
φ152.4
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
2.2
φ115
φ114.5
2
φ101
φ152.4
67.5
ヘリウ
ムガス
リタ
ーン
ヘリウ
ムガ
スサ
プライ
RETU
RNSUP
PLY
(223.8)
8-φ5.7
(φ141.3)
φ79（
等配
）
φ6-90°
皿モ
ミ
φ44.5（
等配
）
2段ステー
ジ
6-M4タ
ップ
3-φ
3.5
φ50（等
配）
φ6-90
°皿モミ
4-φ3.5
1段ス
テー
ジ
φ79（等
配）
8-M4タ
ップ
R20RT REFRIGERATOR
3相、
200V
電源コ
ネク
タ
バキ
ューム
チャ
ンバ
ーフラ
ンジ
面
2段ス
テー
ジ1段
ステ
ージ
ヘリ
ウムガ
スの
流れ
安全
弁
RETU
RNSU
PPLY
使用
O-リ
ング
G115
O-リ
ング
溝仕上
げO-リ
ング
溝仕
上げ
使用
O-リ
ング
AS568-157
O-リング溝内径
バキュ
ームチ
ャン
バー
フラ
ンジ
（推
奨）
8-M5タ
ップ
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
-0.120
-0.10
±0.1
±0.1
(φ141.3)
R20RT
冷凍
機ユ
ニッ
ト
外径寸法図
F-18 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
φ152.4
2φ11
4.5
3φ115
3.6
+0.1
20
±0.1
±0.1
+0.1 0
2.2
0-0.1
0-0.12
13
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
φ101
φ152.4
RETU
RN
φ89
φ63.5
φ57
(36.8)
(25.4)
313
SUPP
LY
3.5 6.5
6.3
12.7
55.4
182
22.5ﾟ
30ﾟ
8-M4タ
ップ
φ79（等
配）
1段ス
テー
ジ
4-φ3.5
φ6-90°皿
モミ
φ50（
等配
）
3-φ3.5
6-M4タッ
プ
2段ステ
ージ
φ44.5（等
配）
φ6-90°皿
モミ
φ79（
等配）
バキ
ューム
チャ
ンバ
ーフ
ランジ
面
ヘリ
ウムガ
スの
流れ
方向
8-M5タップ
(φ141.3)
バキュー
ムチャ
ンバーフ
ランジ
(推奨
)
O-リ
ング溝
仕上げ
O-リン
グ溝仕
上げ
使用
O-リング
G115
使用
O-リング
AS568-157
0.8
0.8
O-リング
溝詳細
図O-リング
溝詳細
図
O-リング溝内径
1段ス
テージ
2段ステ
ージ
R50・R50R冷凍機ユ
ニット
※本外形図
は、R50冷凍機の場
合です。
※R50R冷凍
機は、R50冷凍機と同
じ外形寸法で
す。
電源
コネ
クタ
ー
安全
弁
(67.5)
(85.8)
ヘリ
ウム
ガス
サプ
ライ
ヘリウ
ムガ
スリタ
ーン
499
(185.9)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
(φ141.3)
8-φ5.7
SUPPLY
(271.3)
RET
URN
195.2
R50 REFRIGERATOR
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-19
8-M5
タッ
プ
12.7
22.5ﾟ
R50RT REFRIGERATOR
2段ス
テー
ジ1段ス
テー
ジ
67.5
0+0.1
3.6
3
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
(3.4)
(185.9)
(223.8)
φ57
φ89
φ63.5
(85.8)
(67.5)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
(25.4)
(36.8)
147.7
30ﾟ
6.3
499
313
6.5
182
55.4
φ152.4
φ101
13
2.2
φ115
φ114.5
2
φ152.4
安全
弁
O-リング溝内径
バキ
ュー
ムチ
ャン
バーフ
ラン
ジ面
ヘリ
ウム
ガスの
流れ
3相
、200V
電源コ
ネク
タ
φ79（
等配
）
φ6-90°
皿モ
ミ
φ44.5（
等配
）
2段
ステ
ージ
6-M4タ
ップ
3-φ
3.5
φ50（
等配）
φ6-90°
皿モミ
4-φ
3.5
1段ス
テー
ジ
φ79（等
配）
8-M4タ
ップ
O-リ
ング溝
仕上げ
使用
O-リン
グAS
568-15
7使用
O-リ
ング
G115
O-リング
溝仕上
げ
バキュー
ムチャ
ンバー
フランジ（
推奨）
I.D.
I.D.
SUPPLY
RETURN
SUPPLY
RETU
RN
(φ
141.3)
8-φ
5.5
(φ
141.3)
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
-0.120
-0.10
±0.1
±0.1
0+0.12
R50RT
冷凍
機ユニッ
ト
外径寸法図
F-20 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
12.7
55.74
182
333
1段
ステ
ージ
6.3
2段
ステ
ージ
φ57
φ108.8
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
安全
弁
8-φ5.5
(φ141.3) 30
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラ
ンジ
（推奨
)
φ152.4
φ110
O-リング溝内径
2
φ114.5
3φ
115
3.6
+0.12
0±0.1
±0.1
+0.1
0
2.2
0-0.1
0-0.12
使用
O－
リン
グAS568-157
O-リ
ング
溝詳
細図
O-リ
ング
溝詳
細図
使用
O－
リング
G115
8-M5タ
ップ
（下穴
深さ
9.6)
13
12-M4タ
ップ
φ100.6(等
配)
1段
ステ
ージ
30ﾟ60ﾟ30ﾟ
温度
セン
サー取
付穴
（3-φ
3.5)
φ6-90°
皿モ
ミ（φ
50)
6-M4タ
ップ
φ44.5(等
配)
2段ス
テー
ジ
(φ90.2)
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8(3.5)
518.9
(185.9)
(φ141.3)
12
R80・
R80RT
冷凍
機ユ
ニッ
ト
※本外
形図は
、R80冷凍機の
場合で
す。
※R8
0RT冷
凍機は、
R80冷
凍機と同
じ外形
寸法で
す。
ヘリ
ウムガ
ス流
れ方
向
ヘリウ
ムガ
スサプ
ライ
ヘリ
ウム
ガスリ
ター
ン
入力
電源3相
、200V
電源コ
ネク
タ
SUPPLY
RETURN
RETURN
SUPPLY
(281.5)
(271.3)
(36.8)(25.4)
R80 REFRIGERATOR
バキュ
ーム
チャ
ンバ
ーフ
ラン
ジ面
88.2
(71.5)
195.2
φ152.4
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-21
φ152.4
±0.1
0.8
0.8
0.8
φ97
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
4.5
0+0.1
φ100
2.8
0-0.1
(φ141.3)
13
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ69.7（等配）
1段ステージ
φ66.8（等配）
6-M4タップ
8-M5タップ
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
O-リング溝内径φ100
O-リング溝
仕上げ
0.8
O-リング溝詳細図
RS10
冷凍機ユニット
3 0ﾟ
使用O-リング
V100
電源コネクター
安全弁
1段ステージ
ヘリウムガスの流れ方向
バキュームチャンバーフランジ面
ヘリウムガスリターン
ヘリウ
ムガスサプライ
(67.5)
(85.8)
SUPP
LY
RS10 REFRIGERATOR
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
(φ141.3)
8-φ5.5
φ76.2
(185.9)
12.7
147.7
157.2
343.1
(223.8)
SUPP
LYRET
URN
RETU
RN
(25.4)
(36.8)
φ152.49.5
55.4
外径寸法図
F-22 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラン
ジ（
推奨
)
φ152.4
67.5
3相、
200V
電源
コネ
クタ
RS10T REFRIGERATOR
30ﾟ
ヘリ
ウム
ガス
の流
れ
4.5
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
φ76.2
(85.8)
(67.5)
(185.
9)
12.7
147.7
157
.2
343.
1
(223.8)
(25
.4)
(36.
8)
9.5
55.4
2.8
φ100
13
φ97
φ152.4
SUP
PLY
RET
URN
SUPP
LYRET
URN
１段
ステ
ージ
φ66.8(等
配)
6-M
4タッ
プ
φ69
.7(等
配)
φ6-
90°
皿モ
ミ
3-φ
3.5
8-φ
5.7
(φ141
.3)
ヘリウ
ムガ
スリタ
ーン
安全
弁
１段ス
テー
ジ
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラン
ジ面
ヘリ
ウム
ガス
サプ
ライ
0.8
O-リ
ング
溝仕
上げ
O-リン
グ溝
詳細
図
使用
O－リ
ング
JIS
B2401V100
-0.10
+0.1 0
φ141.3
8-M
5タッ
プ
O-リング溝内径φ100
0.8
0.8
0.8
±0.1
RS10T
冷凍
機ユ
ニッ
ト
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-23
22.5ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
182
6.5
φ89
12.7
(36.8)
φ152.4
2
φ114.5
3φ115
3.6
+0.12
0±
0.1
±0.1
+0.1 0
2.2
0-0.1
0-0.12
13
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
(φ14
1.3)
φ101
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
ヘリウ
ムガス
リタ
ーン
ヘリウム
ガス
サプラ
イ
ヘリウ
ムガ
スの流
れ方
向
1段ステージ
O-リ
ング
溝仕
上げ
O-リ
ング
溝仕
上げ
使用O-リ
ング
G115
使用
O-リ
ング
AS568-157
0.8
0.8
O-リ
ング
溝詳
細図
O-リ
ング
溝詳細図
8-M5タ
ップ
バキュームチャンバ
ーフ
ラン
ジ(推
奨)
O-リング溝内径
8-M4タ
ップ
φ79（
等配
）
1段ス
テージ
4-φ3.5
φ6-90
°皿モ
ミ
φ79（
等配
）
電源
コネ
クター
バキュー
ムチ
ャンバ
ーフ
ランジ
面
(67.5)
(85.8)
安全弁
SUPPLY
RETURN
RETURN
SUPP
LY
(271.3)
195.2
8-φ
5.7
(25.4)
RS50 REFRIGERATOR
367.9
(185.9)
55.4
φ152.4
(φ141.3)
RS50
冷凍機ユニ
ット
外径寸法図
F-24 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
22.5ﾟ
I.D.
I.D.
67.5
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
(85.8)
(67.5)
(223.8)
SUPPLY
RETURN
ヘリウ
ムガスリター
ンヘ
リウムガスサ
プライ
ヘリウム
ガスの流れ方
向
(25.4)
(36.8)
147.7
RS50T REFRIGERATOR
3相、200V
電源コネクタ
SUP
PLY
RETU
RN
安全弁
バキ
ュームチャ
ンバーフラン
ジ面
8-φ5.7
1段
ステー
ジ
12.7
367.9
(185.9)
φ89
6.5
182
55.4
φ152.4
(φ141.3)
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（
等配）
1段ステージ
φ79（等配）
8-M4タッ
プ
バキ
ュー
ムチャ
ンバ
ーフ
ラン
ジ(推
奨)
O-リング溝内径
8-M5タップ
使用
O-リン
グAS568-157
使用
O-リン
グG115
O-リ
ング溝
仕上
げO-リ
ング溝
仕上
げ
φ101
(φ141.3)
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
13
-0.120
-0.10
2.2
0+0.1
±0.1
±0.
10
+0.12
3.6
φ115
3φ
114.5
2
φ152.4
RS50T冷
凍機ユ
ニッ
ト
冷凍機ユニット 取扱説明書
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-25
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
φ152.4
φ110
O-リング溝内径
2
φ114.5
3φ
115
3.6
+0.12
0±0.1
±0.1
+0.1
0
2.2
0-0.1
0-0.12
13
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
(φ141.3)
使用
O－リ
ング
AS568
-157
O-リ
ング
溝詳
細図
O-リ
ング
溝詳細
図
使用
O－リ
ング
G115
バキ
ュー
ムチ
ャン
バー
フラン
ジ（
推奨
)
8-M5タ
ップ（
下穴深
さ9.6)
(φ141.3)
φ108.8
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
8-φ5.5
(φ141.3)
12-M4タ
ップ
φ100.6(等配)
1段ステ
ージ
(71.5)
88.2
1段ステ
ージ
(281.5)
12
RETURN
SUPPLY
30ﾟ
入力
電源3相
、200V
367.9
ヘリウ
ムガ
スサプ
ライ
ヘリウ
ムガ
スリタ
ーン
(129.6)
ヘリ
ウムガ
ス流れ
方向
電源コ
ネクタ
RETURN
SUPPLY
(271.3) 安全
弁
バキュ
ーム
チャ
ンバ
ーフ
ランジ
面
RS80 REFRIGERATOR
(36.8)(25.4
)
195.2
(185.9
)
φ152.4
182
55.
7412
.7
RS80T
冷凍機
ユニ
ット
外径寸法図
F-26 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
RS150T REFRIGERATOR
RS150T
冷凍機ユニット
67.5
90
(319.8)
20
88.2
(264.7)
(27.0)
(35.2)
402.1
224.3
(177.8)
12.
730ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
(281.5)
φ152.4
φ108.8
2
φ114.5
φ115
2.2
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
13φ152.4
φ110
(70.3)
SUPPLY
O-リング溝内径
バキュ
ーム
チャ
ンバ
ーフ
ラン
ジ（
推奨)
12-M4タ
ップ
、ネ
ジ深
さ10
3相、
200V
バキ
ュームチ
ャン
バー
フラ
ンジ
面
RETURN
安全
弁
ヘリ
ウムガス
サプ
ライ
RETURN
電源
コネ
クタ
ー
ヘリウ
ムガ
スリ
ターン
ヘリウ
ムガ
ス流
れ方
向
SUPPLY
1段ステージ
1段ステ
ージ
φ10
0.6(
等配
)
(φ141.
3)
8-φ5.5
(φ141.3)
8-M5
タッ
プ（
下穴
深さ
9.6)
使用O－
リン
グG115
O-リング溝詳細
図O-リング溝詳細
図
使用O－
リングAS568-157
(φ141.3)
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
-0.120
-0.10
0+0
.1±
0.1
±0.
10
+0.1
2
3.6
3
