化工安全概論

物質安全資料表 (MSDS)

•Material safety data sheet

•其目的在於提供勞工比較詳細的安全衛生注意事項，他好比是化學品的身份證。

•依照 ISO 11014-1 國際標準組織的規定 MSDS ， 共有十六項，分為四大類的資訊

•每三年更新一次

化工安全概論

資訊的分類

1. 緊急事故時必須立即之道的訊息 : * 第一欄位 : 物品與廠商資料 * 第二欄位 : 成分辨識資料 * 第三欄位 : 危害辨識資料

2. 危害事故發生時之處置 * 第四欄位 : 急救措施 * 第五欄位 : 滅火措施 * 第六欄位 : 洩漏處理方法

化工安全概論

資訊的分類 (2)3. 如何預防危害事故發生 * 第七欄位 : 安全處置與儲存方法 * 第八欄位 : 曝露預防措施 * 第九欄位 : 物理及化學性質 * 第十欄位 : 安定性及反應性4. 其他有用的資訊 * 第十一欄位 : 毒性資料 * 第十二欄位 : 生態資料 * 第十三欄位 : 廢棄處置方法 * 第十四欄位 : 運送資料 * 第十五欄位 : 法規資料 * 第十六欄位 : 其他資料

化工安全概論

第一欄 : 物品與廠商資料

方便與其他標示互相連結

有疑慮或緊急狀況時，知道向誰詢問

包括 : 連絡電話， 傳真，地址等資訊

化工安全概論

第二欄 : 成分辨識資料

分為純物質或者混合物

列出同義名稱，化學文摘社號碼 (CAS No.) ，危害物質成分 (%)

CAS No 有助於進一步查詢對比

化工安全概論

第三欄 : 危害辨識資料內容包括

(a) 最重要危害與效應 : 分為以下幾項目健康危害效應，環境影響，物理性及化學性危害，特殊危害

(b) 主要症狀 : 例如對氨而言，皮膚灼傷及凍瘡，眼睛出血，眼皮腫脹，刺激感。

(c) 物品危害分類 : 例如對氨而言，此處應標示 2.3 ( 毒性氣體 ) ， 8 ( 腐蝕性物質 )

化工安全概論

第四欄 : 急救措施內容包括 : (a) 不同曝露途徑之急救方法 : 吸入，皮膚接觸，眼睛接觸，或食入 (b) 最重要症狀及危害效應 : (for NH3) 呼吸困難，灼傷皮膚及眼睛 (c) 對急救人員之防護 : 例如對氨而言 , 應穿著 C 及防護裝備在安全區實施急救 (d) 對醫師之提示 : (for NH3) 患者吸入時考慮氧氣 ; 誤食時考慮食道鏡檢法，避免洗胃

化工安全概論

第五欄 : 滅火措施

內容包括 : (a) 適用滅火器 : for NH3, 小火 – 化學乾粉，二氧化碳 ; 大火 – 噴水，水霧，泡沫 (b) 滅火時可能遭遇之特殊危害 : e.g. 火場中壓力容器可能破裂爆炸 (c) 特殊滅火程序 : (d) 消防人員之特殊防護裝備 : e.g. 必須配戴 A級氣密是化學防護衣及空氣呼吸器

化工安全概論

第六欄 : 洩漏處理方法

內容包括 :

(a)個人應注意事項 : 例如限制人員進入，確保穿戴足夠的防護衣具，確保由受過訓練的人員負責清理工作等

(b)環境注意事項 : for NH3, e.g. 撲滅所有火源，保持通風良好，通知環保單位等

(c)清理方法 : 例如圍堵，回收，覆蓋，稀釋，中和等

化工安全概論

第七欄 : 安全處置與儲存方法

處置 : 以 NH3 為例，共列有 27條注意事項，例如 : 撲滅所有引火源，禁止吸煙，不要與不相容的化學品，如氧化劑，鹵素，重金屬一起使用，使用抗腐蝕的鋼瓶及運轉設備等

儲存 : 對 NH3 同樣列有 17條注意事項，例如包括貯存於通風良好，遠離火源地區，避免陽光直射 ; 張貼警告標示，須備隨時可用於火災及洩漏的處理裝備等

化工安全概論

第八欄 : 暴露預防措施 (Exposure prevention)

內容包括 :(a)工程控制 : 例如整體換氣或局部排氣裝置(b)控制參數 : 提供有關 TWA數值， STEL, ceiling, BEI

(biological effect index) 生物指標(c)個人防護設備 : 呼吸防護 ( 例如含濾毒罐的呼吸防護具，或供器式呼吸防護具 ) ，手部防護，眼睛防護，皮膚及身體防護

(d)衛生措施 : 例如工作場所嚴禁抽煙或飲食，處理此物後需徹底洗手等

化工安全概論

第九欄 : 物理及化學性質

內容包括 :

物質狀態，顏色，形狀，氣味，密度

pH值，分解溫度，自燃溫度，蒸汽壓，沸點 ( 或範圍 ) ，閃火點 (flash point, 含測試方法 ) ，爆炸界限，蒸汽密度，溶解度

目的在於協助使用者辨別此物質之外貌，以及瞭解其特性

化工安全概論

第十欄 : 安定性及反應性

•作為除運，操作或棄置化學物質的參考

•內容有 :安定性 : 以 NH3 為例，正常狀況下安定特殊狀況下可能之危害反應 : 例如氨會與乙醛激烈反應，氨會與環氧乙烷起聚合反應，與次氯酸起爆炸性反應，放出氯氣，… etc.應避免之狀況 : 以 NH3 為例，高溫，靜電，火花，焊接操作應避免之物質 : ( 與前述危害反應相關 )危害分解物

化工安全概論

第十一欄 : 毒性資料 (Toxicity)

•內容包括 : 急毒性，局部效應，致敏感性，慢性毒性或長期毒性，特殊效應等。

•包括 : LD50, LC50 等資訊

•以氨為例 : 急毒性 – 吸入會嚴重刺激呼吸道， 20-25 ppm 會開始有感覺，短時間曝露於 1500ppm 以上會造成致命的肺水腫 ; LC50 = 4837 ppm ( 大鼠，吸入 ); 慢毒性方面 – 反覆曝露數週後，可能對氨的刺激產生耐受性 ; 每天曝露於 97-122 ppm 會刺激眼睛及上呼吸道

化工安全概論

第十二欄 : 生態資料 (Ecology)

•內容包括 : 可能之環境影響 (environmental impact)/ 環境流佈 (distribution)

•目的在於評估萬一洩漏時，所可能造成的影響。

•以氨為例 : 不會蓄積，正常由尿中以氨鹽排出細菌將氨轉變成硝酸鹽，會有耗氧作用產生在大氣中會與硫離子結合，或經雨水沖刷，快速進入土壤中

化工安全概論

第十三欄 : 廢棄處理方法 (Waste Disposal)

•目的在於降低對環境的不良影響，可以作為緊急應變人員，一般操作人員的參考

•廢棄物清理的原則 :減量，減害或安定化，若能資源回收再利用最好。

•可用的方法 : 例如熱處理法 (焚化 ) ，物理化學法 (過濾，吸附，凝固，沈澱，氧化，還原，中和等 ) ，生物處理法，以及掩埋。

化工安全概論

第十四欄 : 運送資料 (Transportation)

•內容包括 : 國際運送規定，聯合國編號 (UN No.) ，國內運輸規定，特殊運送方法及注意事項。

國際運輸相關規定包括 : 美國交通部 (DOT), 國際海運組織 (IMO), 國際空運組織 (IATA) 等 ; 會加以分類，並要求標示

UN No. 為便於查詢，以應付緊急狀況

化工安全概論

第十五欄 : 法規資料 (Regulation)

•內容包括 : 所有適用的法規

•以氨為例 : 此欄內容 – 勞工安全衛生設施規則，危險物及有害物通識規則，特定化學物質危害預防標準，勞工作業環境空氣中有害物容許濃度標準，道路交通安全規則，事業廢棄物貯存清除方法及設施標準，高壓氣體勞工安全規則

化工安全概論

第十六欄 : 其他資料 (Others)

•內容包括 :

參考文獻製表者單位 : 名稱，地址，電話製表人 : 姓名，職稱製表日期備註

化工安全概論

教育訓練 (Training)

•除了一般安全衛生的教育訓練外 (3 hours), 最好增加 3 hours 的危害通識教育訓練

•建議的課程內容 : (1) 危險物及有害物之通識計畫 ; (2) 標示內容及意義 ; (3) 危險物及有害物之特性 ; (4) 對人體健康危害 ; (5) 使用，存放，處理及棄置等之安全操作程序 ; (6) 緊急應變程序 ; (7) 物質安全資料表之存放，取得

化工安全概論

危害通識計畫

•屬於配合性措施，並非強制性規定

•計畫書並無特定格式，但以簡潔清晰，段落分明，易於修訂為原則

•建議內容包括以下六點 : 政策，責任，危害物質清單，標示，物質安全資料表，教育訓練 (將工作事項，負責的人，一一清楚列出 )

化工安全概論

危害物質清單 (Inventory list of hazardous materials)

•其目的在於建立廠內使用，貯存等狀況之盤點

•最好使用標準格式，電腦化，以方便管理

•清單內容包括 : 化學品名稱， MSDS索引碼，製造商或供應商，地址，電話，使用資料 ( 地點，頻率，數量，使用人 ), 貯存資料 ( 地點，數量 ) ，製單日期

化工安全概論

其他規範舉例如下 :100ml 容積以下之容器，得僅標示危害物質之名稱及圖示管中物質，得掛使用牌或漆有規定顏色及記號代替之同一處所之數個相同容器，得使用公告版方式替代容器標示雇主應提供勞工MSDS, 且置於工作場所中容易取得之處牽涉到國家安全及商業機密者，可以在核准後，保留部份資料

化工安全概論

半導體各模組使用化學品分類表 (Chemicals in IC Processing)

薄膜 SiH4, SiH2Cl2, NF3, CF4, C2F6, PH3, O2, B2H6, SiF4, N2O, H2, TEOS, TMP, TMB, NH4OH蝕刻 PH3, B2H6, SiH4, C3F8, SiF4, NF3, Ar, He, CCl4, C3H

8, CH3COOH, HCl, HNO3, H2SO4, H3PO4, SF6, H2O2, IPA沉積植入 PH3, PF3, PF5, SiF4, AsH3, B2H6, BCl3, BF3, HCl, SiH2Cl2, POCl3, SiH4

擴散 ASH3, PH3, PCl3, POCl3, B2H6, Ar, NH3, N2

顯影 photoresist, thinner, develop, HMDS, He, O2, H2, CH3COOO(CH2)2OCOC2H5

化學清洗 HNO3, acetone, H2O2, IPA, CH3OH, NH4OH, HF, H2SO4, H2O磊晶 SiH4, SiH2Cl2, SiCl4, AsH3, H2, N2, PH3, B2H6