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❹

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●仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。

Gas Plasma Reactors

プラズマリアクターPR500/510

バレル式高周波低温プラズマでウェハのレジストに

50～500W高周波出力 φ215×305mm反応槽

PR500型

PR510型（マスフローメータ仕様）

低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備をはじめ、タッチパネル（PR510）の採用により、さらに操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。

■用途●フォトレジストの除去●部品の洗浄●界面活性処理●マイクロ研磨●ウエーハ、ガラス基板に対応

■特徴●大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ●操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）

PR500（手動制御方式）PR510（自動タッチパネル方式）

（注）上記の価格には、真空ポンプは含んでおりません。※上記の価格には、消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。（注）上記の仕様につきましては詳細な打ち合わせを必要としますのでお問い合わせください。電源欄の（　）はブレーカ容量および電源設備容量です。

■仕様商品コ－ド 215007 215012型　式 PR500（フローメータ仕様） PR510（マスフローメータ仕様）方　式 DP方式バレル型制御部

高周波出力 Max.500W発振周波数 13.56MHz同調方式 オートチューニング

反応部

反応槽 石英製φ215×305mm反応ガス系 2系統（O2／CF4）制御系 手動 タッチパネルからの自動シーケンス配管系材質 SUS、テフロン

外寸法／重さ 幅438×奥行520×高さ760mm／約60kg 仕様書をご参照ください。電源（50/60Hz） AC100V　9A（15A） AC200V　三相 8A（15A）価　格 ¥5,900,000 ¥7,800,000

チャンバ

ウエーハアッシング状態

658頁接触角計