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(c) 2010 PD Dr. M. Bickermann, I-MEET, Uni Erlangen
4. Optische Spektroskopie I1
Inhalt– Absorption, Reflexion, Transmission
– Messaufbau: Spektrophotometer
– Absorptions- und Lumineszenzphänomene
– Reflexionsmessungen
– zeitaufgelöste Messungen
Materials for Electronics and Energy Technology
transmittiertes Streulichtreflektiertes Streulicht
Lumineszenz etc. Lumineszenz etc.
direkt reflektiertes Licht
Werkstoff/Material
einfallendes
Licht
Reflexion Transmission
Absorption
direkt transmittiertes Licht
(c) 2010 PD Dr. M. Bickermann, I-MEET, Uni Erlangen
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Materials for Electronics and Energy Technology
Werkstoff/Material
einfallendes
Licht
Wellenlänge = hEnergie: E = hc/
� �
�
4. Optische Spektroskopie I
Absorption, Reflexion, Transmission
(c) 2010 PD Dr. M. Bickermann, I-MEET, Uni Erlangen
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Materials for Electronics and Energy Technology
direkt transmittiertes Licht
reflektiertes Streulichtdirekt reflektiertes Licht
Werkstoff/Material
einfallendes
Licht
Reflexion R Transmission T
Absorption A
Ursache der Reflexion:
Ursache der Absorption:
Unterschiedlicher Brechungsindex n( )zwischen Material und Luft (n=1)!
Abhängigkeit vom Einfallswinkel
Wechselwirkungen im Material (Intensitätsverlust)
�
� möglichst nur senkrechter Einfall
T + R + A = 1T, R, A in Prozent der Intensität des einfallenden Lichts:
transmittiertes Streulicht
Ursache des Streulichts: Unebenheiten an den Oberflächen
4. Optische Spektroskopie I
Absorption, Reflexion, Transmission
(c) 2010 PD Dr. M. Bickermann, I-MEET, Uni Erlangen
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Materials for Electronics and Energy Technology
direkt transmittiertes Licht
reflektiertes Streulichtdirekt reflektiertes Licht
Werkstoff/Material
einfallendes
Licht
Reflexion R Transmission T
Absorption A
transmittiertes Streulicht
– = e = – – ln (I/I )
Lambert-Beer’sches Gesetz:
T = I/I wird mit dem gemessen ( ),d ist die Dicke der Probe.
� �
Spektrophotometer Problem: Streulicht
– d�II0
1d 0
0
Absorption bei senkrechtem Durchgang durch eine homogene, planparallele Platte:
� ist ein Materialparameter [cm ](natürlich wellenlängenabhängig!)
–1
Problem: Reflexion bleibt unberücksichtigt!
4. Optische Spektroskopie I
Absorption, Reflexion, Transmission
(c) 2010 PD Dr. M. Bickermann, I-MEET, Uni Erlangen
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Materials for Electronics and Energy Technology
vorwärts-reflektiertes Lichtrückwärts-reflektiertes Licht
direkt reflektiertes Licht
Werkstoff/Material
einfallendes
Licht
Absorption A
Reflexion: Liefert in Wirklichkeit Anteile am transmittierten UND amreflektierten Strahl geometrische Reihe�
Reflexion R Transmission T
Physikalisch ist der Vorgang noch komplizierter(komplexe dielektrische Konstante, Fabry-Perot-Oszillationen usw.)
meist wird die Reflexion (und das Streulicht) vernachlässigt.�
4. Optische Spektroskopie I
Absorption, Reflexion, Transmission
direkt transmittiertes Licht
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Materials for Electronics and Energy Technology
Aubau eines Spektrophotometers:
(Lampe – Monochromator – Probe – Detektor)
Referenzstrahl: Messung der Intensität ohne Probe
Mono-chromator Detektor
Spiegel- Strahl-chopper sammler
Spiegel Probe Spiegel
Filter-rad
Licht-quelle
200 400 600 800 nm
350 1000 1500 2000 2500 nm
Spektrum Deuteriumlampe
Spektrum Wolframlampe
Nutzbares Spektrum max. 170–4000 nm– UV: Deuteriumlampe + Photomultiplier/Si-Diode– VIS: Wolframlampe + Photomultiplier/Si-Diode– IR: Wolframlampe + InGaAs-Diode (bis 1600 nm)
oder PbS-Schirm (bis 3500 nm)
4. Optische Spektroskopie I
Messaufbau: Spektrophotometer
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Materials for Electronics and Energy Technology
4. Optische Spektroskopie I
Messaufbau: Spektrophotometer
Wellenlängenselektion:
– Höhere Linienzahl größere Aufspaltung (geringere Intensität)– Nullte Ordnung: Gitter wird zum Spiegel bei = 0– Höhere Ordnungen: Auch /n-Anteile (Ausfiltern z.B. durch Filterrad)
Monochromatoren
�
�
�
A: Eintreffendes LichtB: EingangsspaltC: Erster LinsenspiegelD: drehbares Beugungsgitter
(geritzt oder holographisch)E: Zweiter LinsenspiegelF: AusgangsspaltG: Austretendes Licht
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Materials for Electronics and Energy Technology
4. Optische Spektroskopie I
Absorptions- und Lumineszenzphänomene
Energieniveaus (und ggf. Konzentrationen) bestimmen von
– Phononen, Exzitonen– flachen Störstellen
– tiefen Störstellen
– Bandlücke
– höheren Bändern
– inneren Elektronenchemische Analyse(Kapitel 6)
�
10 meV 100 µm
100 meV 10 µm
1 eV 1 µm
10 eV 100 nm
100 eV 10 nm
1 nmE �
Es werden immerÜbergänge zwischenZuständen betrachtet!
Meist wird in Referenzzur Leitungsbandkantegemessen (Rekombinationvon Elektronen), derBereich der Bandlückeist also besondersinteressant!
IR
VIS
UV
(Wellenlänge) (Intensität)
Rön
tgen
TH
z
Anwendungsgebiete:
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4. Optische Spektroskopie I
Absorptions- und Lumineszenzphänomene
Energy
0
Egconduction band
valence band
Optische Absorptionsspektren zeigenenergetische Übergänge in der Bandlücke.
fundam
enta
leA
bso
rptio
n e+h
exz
itonis
che
Abso
rptio
n
Abso
rpt.
tiefe
rS
törs
telle
n
reso
nante
Anre
gung
(z.B
.m
ithöhere
mLeitu
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and)
Stö
rste
llenum
ladung
/In
trasc
hale
nüberg
änge
Photo
ionis
atio
n(f
lach
er
Stö
rste
llen)
Abso
rptio
nfr
eie
rLadungst
räger
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4. Optische Spektroskopie I
Absorptions- und Lumineszenzphänomene
GaN, 240°C, 60 min. GaN, 380°C, 2 min
Lumineszenz: Emission von Licht durch Rekombinationvon Ladungsträgern, die in vorhergehender Anregung entstanden sind.
Energy
0
Egconduction band
valence band
Bandka
nte
n-L
um
inesz
enz e+h
exz
itonis
che
Lum
inesz
enz
Stö
rste
llenlu
min
esz
enz
Ext
rinsi
che
Lum
inesz
enz/
Intr
asc
hale
nüberg
änge
Donato
r-A
kzepto
r-Ü
berg
.
– Anregungsenergie >Lumineszenzenergie
–(Effizienz?!)
nur strahlende Rekom-bination
Unterschiede zuroptischen Absorption:
– Anregungs- und Rekom-binationspfade nurteilweise gleich!
– Relaxation zur Band-kante führt zu scharfenBanden (niedrige Temp.)
(c) 2010 PD Dr. M. Bickermann, I-MEET, Uni ErlangenMaterials for Electronics and Energy Technology
4. Optische Spektroskopie I
Absorptions- und Lumineszenzphänomene
Lumineszenzmethoden: unterschiedliche Art der Anregung!
– Photolumineszenz (Licht)
– Röntgenlumineszenz
– Kathodolumineszenz (Elektronen, z.B. im REM oder TEM)
– Elektrolumineszenz (Anlegen einer Spannung)
– Thermolumineszenz (z.B. Aufheizen)
– Chemolumineszenz (Reaktionsenthalpie)
– Tribo-/Sonolumineszenz (Reibung/Schall)
– ...
} auch nichtleitfähige Proben!
industrielle Anwendungfür Beleuchtungszwecke
Typischerweise Anregung über die Bandlücke(Generation von Elektron-Loch-Paaren)
hohe Absorption, geringe Eindringtiefe, daher Messung in Reflexion�
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4. Optische Spektroskopie I
Reflexionsmessungen
Bestimmung des absorbierenden Anteils über Reflexion bei stark absorbierendenSchichten (oder Schichten auf stark absorbierenden Substraten)
Mono-chromator
Dete
ktor
Strahl-sammler
Filter-rad
Licht-quelle
Dete
ktor
Dete
ktor
ProbeProbe
Probe
Ulbricht-Kugel
90°-Anordnung 45°-Anordnung diffuseReflexion
Referenzmessung: Spiegel (Ulbrichtkugel: Weißstandard) an Stelle der Probe
Auswertemöglichkeiten:– Abweichung des Brechungsindex bei elektronischen Übergängen (Bandkante)– Rückrechnen von der Vielfachreflexion auf den transmittierten Anteil– Bestimmung von n( ) und ( ) aus Transmissions- und Reflexionsmessung� � �
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(c) 2010 PD Dr. M. Bickermann, I-MEET, Uni ErlangenMaterials for Electronics and Energy Technology
4. Optische Spektroskopie I
– Messung bei tiefenTemperaturen (Kryostat)
– Laser vor Monochromator-eingang ausfiltern!
– Referenzsignal überChopper/Lock-In-Verstärker(gutes Signal-Rausch-Verhältnis)
Typischer Photolumineszenz (PL)-Aufbau:
– Anregung mittels Laser(hohe Anregungsdichte)
– Lumineszenz sammeln überLinsen (höhere Intensitätdes Lumineszenzsignals)
– auch als Mikroskopaufbau
Reflexionsmessungen13
(c) 2010 PD Dr. M. Bickermann, I-MEET, Uni ErlangenMaterials for Electronics and Energy Technology
4. Optische Spektroskopie I
zeitaufgelöste Messungen
Lumineszenz als Folge der Anregung:Abklingkurven
– gibt Aufschluss über Rekombinations-mechanismen und -geschwindigkeiten(z.B. Ladungstransfer, Anteil an nicht-strahlender Rekombination etc.)
– Problem: sehr kurze Lebensdauerns-Auflösung oder besser nötig�
PL
Inte
nsi
tät
Laserpuls (Anregung)PulsdauerPL Leuchtstoff 1PL Leuchtstoff 2
– Wichtig: Verlauf der Abklingkurve(exponentiell, hyperbolisch ,...)
Bestimmung von Exzitonen-Lebensdauern und Zerfalls-zeiten von angeregten Zuständen
Gleicher Aufbau wie PL/CL, aber(1) gepulste Anregung
(z.B. Excimerlaser, Stroboskop,electron beam blanking),
(2) Aufnahme des zeitlichen Abklingensbei fester Wellenlänge
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(c) 2010 PD Dr. M. Bickermann, I-MEET, Uni ErlangenMaterials for Electronics and Energy Technology
4. Optische Spektroskopie I
zeitaufgelöste Messungen
Detektion der Abklingkurven:
– Oszilloskop– Streak-Kamera– Boxcar-Verfahren
– Modulationsspektroskopie
Direkt (”Zeitdomäne”)
Indirekt (”Frequenzdomäne”)
Frequenz [Hz]
Phase
nve
rsch
iebung
� = 1 ms
Boxcar Averaging:Integration derLumineszenz inbestimmtenMessintervallen;Vergleich derDifferenzen zwi-schen diesenMessungen
Phasensensitive Detektion:Bestimmung der Relaxationszeitaus dem Phasenwinkel .Nichtexpontielle Verläufe könnendurch Variation der Modulations-frequenz f ermittelt werden.
Man kann heute Lampen (z.B.Xe)mit bis zu 20 ps modulieren!
�
�
1000/2�
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