接液部オールフッ素樹脂

FC-3000 シリーズ液体用微小流量コントローラ

概要　FC-3000シリーズは、計測した流量を電気信号を出力する流量計と組合せて、一定流量を保持するコントロール弁と各種機能を制御するコントローラから構成される液体用微小流量用コントロールユニットです。コントロール弁は接液部材質がフッ素樹脂で構成されていて耐食性に優れています。また、微小流量を高精度で制御でき、設定値の変更や圧力変化等の外乱に対するコントロール能力についても優れた応答性を有しており、半導体製造プロセスをはじめとする各種薬液の高度なプロセス管理等に最適です。

主要用途1）安定流量設定メイン配管から分岐された各ラインにコントロールユニットを設置することで、ライン間の相互干渉の影響を受けずに安定した流量設定が可能となります。

2）濃度管理薬液を純水等で希釈して一定濃度にする場合、薬液ラインと純水ラインにコントロールユニットを設置することで、安定した濃度管理が可能となります。

コントロール弁外観図

　　部　品　名 　　材　　　質① ケース P.P.② チューブ PFA③ 下部本体 PTFE④ ステッピングモータ －⑤ モータベース SUS304⑥ グリップネジ ナイロン⑦ ダイヤフラム PTFE⑧ ケーブルブッシュ 白色P.P.⑨ モーターケーブル 耐熱PVC（5m）

　　部　品　名 　　材　　　質① ケース P.P.② チューブ THV③ 下部本体 PTFE④ ステッピングモータ －⑤ モータベース SUS304⑥ グリップネジ ナイロン⑦ ダイヤフラム PTFE⑧ ケーブルブッシュ 白色P.P.⑨ モーターケーブル 耐熱PVC（5m）⑩ チューブ固定コネクタ PTFE

20

（160）

固定用2-M3

（53）

⑨

③

②

①

7.5

15.5

⑦

④

（45） （87）

⑧

⑥⑤

48

FCV-3000

20

（87）

15.5

⑦

④

（45）

固定用2-M3

（53）

（200）（80）

③⑩

⑨

②

①

7.5

⑥⑤ ⑧

FCV-3000T

　48

コントロール弁（FCVシリーズ）

特長

1）高耐食性接液部材質がフッ素樹脂で構成されており、各種腐食性薬液の液量管理に最適です。

2）微小流量の高精度制御これまでフッ素樹脂製コントロール弁では困難であった微小流量を、高分解能モータの採用により高精度に制御します。

3）耐浸透性浸透性の強い流体がフッ素樹脂を透過して内機部品を侵食しないように、耐浸透性の優れた構造になっています。

4）耐環境性外装部品も耐食性のある樹脂で構成されており、雰囲気の悪い環境でも使用可能です。

TG-F993-42013 062003 01

改訂初版

K

FC-3000　液体用微小流量コントローラ

2 TOKYO KEISO CO., LTD. TG-F993-4

コントロール弁仕様

形 式用 途制 御 流 量 範 囲（ 純 水 相 当 ）駆 動 部接 続 形 状接 液 部 材 質

接続チューブサイズ

使 用 温 度 範 囲使用周囲温度範囲制御差圧範囲※（ P 1 - P 2 ）最 大 使 用 圧 力耐 圧 試 験 値

FCV-1000S大流量（純水･薬液等）最小：0.2～2L/min最大：1～10L/min

PCTFE, PTFE, PFAφ9.53×φ6.35mmφ12.7×φ9.53mm

5～50℃

FCV-3000Tスラリー液等

50～500mL/min

高分解能ステッピングモータチューブエンド接続

THV

φ4×φ2.8mm

10～50℃5～50℃

0.05～0.2MPa

MAX.0.3MPa0.5MPa

FCV-3000小流量（純水･薬液等）最小：2.5～25mL/min最大：200～2000mL/min

PTFE, PFA

φ6.35×φ4.35mm

5～50℃

※制御圧力範囲：入口側圧力（P1）と出口側圧力（P2）の差が0.05～0.2MPa以内の事｡

コントロール弁形式

スラリー液等タイプFCV-3000T

形　　式 内　　容FCV-3流量範囲（純水相当）

接続口径

オプション

0※

T

0※

0※

50～500mL/min特殊（内容によりコードを決定します）φ4×φ2.8　フッ素樹脂チューブ接続特殊（内容によりコードを決定します）無し（標準仕様）特殊（内容によりコードを決定します）

小流量タイプFCV-3000

形　　式 内　容 Cv値FCV-3

流量範囲（純水相当）

接続口径

オプション

0123456※0※

0※

2.5～ 25mL/min 5 ～ 50mL/min 10 ～ 100mL/min 20 ～ 200mL/min 50 ～ 500mL/min100 ～1000mL/min200 ～2000mL/min特殊（内容によりコードを決定します）φ6.35×φ4.35 PFAチューブ接続特殊（内容によりコードを決定します）無し（標準仕様）特殊（内容によりコードを決定します）

0.0050.0090.0150.0300.0540.1670.397－

　　部　品　名 　　材　　　質① ケース P.P.② チューブ PFA③ 下部本体 PTFE④ ステッピングモータ －⑤ モータベース SUS304⑥ ダイヤフラム PTFE⑦ ニードル PCTFE⑧ エスシーロック PA66⑨ モーターケーブル 耐熱PVC（5m）⑩ 六角ボルト PEEK

寸法（mm） 最大流量（L/min） 2 ～ 4 6 ～ 10 L1 13.5 15 L2 （109） （112） D× d 9.53× 6.35 12.7× 9.53

⑩

⑥

①

⑨⑧

③

②

2-M5

L2L1

（200）

（59）

固定用

50

⑦

⑤④

（φ73）

φ64φD×φd

FCV-1000S

FC-3000　液体用微小流量コントローラ

TOKYO KEISO CO., LTD. 3TG-F993-4

大流量タイプFCV-1000S

形　　式 内　容 Cv値FCV-1

流量範囲（純水相当）

接続口径

オプション

123456※34※

0※

S0.2 ～ 2 L/min0.3 ～ 3 L/min0.4 ～ 4 L/min0.6 ～ 6 L/min0.8 ～ 8 L/min1 ～ 10 L/min特殊（内容によりコードを決定します）φ9.53×φ6.35 チューブ接続φ12.7×φ9.53 チューブ接続特殊（内容によりコードを決定します）無し（標準仕様）特殊（内容によりコードを決定します）

0.1980.5850.6331.0971.1271.135－

2～4L/minの時推奨6～10L/minの時推奨

コントローラ（FCAシリーズ）

特長

1） 高速制御これまでのコントローラでは考えられなかった高速での微小流量コントロールを複数PID制御方式の採用により可能にしました。

2）フレキシブル操作キー操作による各種設定ができるほか、マニュアル操作によるコントロール弁の開閉操作が可能で、装置運転前の各種現場調整が容易にできます。

外観図

コントローラ仕様

形 式

電 源 電 圧

表 示 方 法

構 造 ／ 取 付コ ネ ク タモ ー タ ー ケ ー ブ ルケ ー ス 材 質 （ 色 ）周 囲 温 度現 在 流 量 出 力 精 度

制 御 精 度 ※

制 御 時 間 ※

入力信号

出力信号

FCA-3100電流入力タイプ

4-20mA1-5V

1-5V

FCA-3200電圧入力タイプDC 24V±10%0-10V0-10V

DC24V　電圧入力（DC24V電圧入力時のみ制御）0-10V

オープンコレクタ：フォトカプラ出力推奨値：DC12V～24V, 10mA程度（最大定格DC55V, 50mA）

7seg. LED, 4桁×2行（上段：赤,下段：緑）警報：赤色LED×1点, 動作：緑色LED×1点, 単位：橙色LED×2点

屋内仕様（IP20相当）／パネル取付分割式　押締式端子　2P, 4P, 10P

専用ケーブル　標準5m（最大延長 20m）ABS樹脂（黒色）

0～50℃（30～80%RH（結露しないこと））±1%（F.S.）

Ov30：30%（F.S.）より大きい流量：±3%（R.D.）Ud30：30%（F.S.）以下の流量：±3～5%（R.D.）

約3～5秒

FCA-3300電圧入力タイプ

0-5V0-5V

0-5V

※流量を変化させた際に目標流量の制御精度範囲内に到達するまでの時間※制御精度及び制御時間に関しましては、組み合わせる流量計により性能は異なります。弊社推奨の流量計をご使用下さい。

現 在 流 量目 標 流 量制御開始／停止現 在 流 量

弁 体 警 報

+0.

60

+0.60

45

45

MIN

60

（並列設置時）

MIN 60

（並列設置時）

パネルカット寸法

FLOW CONTROLLER

48

7

44.5

48 (16)

(7)

(80)

（並列設置の際は60mm以上離してください）

FC-3000　液体用微小流量コントローラ

4 TG-F993-4

使用例　FC-3000シリーズは現在流量を電気信号を出力する流量計と組み合わせて使用するコントロールユニットです。接液材質がフッ素樹脂で構成されており、同じフッ素樹脂製の流量計と組み合わせて使用することで、耐食性に優れたコントロールシステムを構築することが可能です。下記に弊社が推奨するフッ素樹脂製流量計の使用例を提示します。

制御開始／停止動作パターン例）

1.設定流量端子に目標流量に相当する電圧（1-5V：0-100%の流量）を入力した状態で、制御開始／停止端子に電圧（24V）を入力し制御を開始する。制御を停止するときは制御開始／停止端子に電圧（0V）を入力する。

2.目標流量をキー操作でパラメータに入力して、制御開始／停止端子に電圧（24V）を入力し制御を開始する。制御を停止するときは制御開始／停止端子に電圧（0V）を入力する。

3. 設定流量端子に電圧（1-5V：0-100%の流量）を3〜103%（F.S.）の範囲内で入力することで制御開始と目標流量を電圧を併用して行う。制御を停止するときは設定流量端子の電圧を1%以下（F.S.）を入力する。

諸注意

1）コントロール弁は必ず流量計の2次側に配管して下さい。2）コントロール弁と流量計は500mm以内の間隔で配管して下さい。3）大きな脈動がある配管ではご使用できません。　〈例：ダイヤフラムポンプによる流体供給の場合等〉4）コントロール弁は制御弁のため全閉動作が必要な場合は別途ご用意して下さい。

制御性能 ･精度　FC-3000シリーズは流量計から出力される現在流量の電気信号を基準として、コントロールしたい流量の電気信号が出力される位置まで、コントロール弁を動かすドライブ信号をコントローラが出力するフィードバック制御方式のコントロールユニットです。このため制御能力は流量計の出力に対する制御精度となりますが、設定流量値の±3%以内に約3秒以内でコントロールすることが可能です。尚、この性能は流量計の流量レンジや種類等により多少異なります。

ご使用に関して　FC-3000 シリーズは流量計と組合せて使用するコントロールユニットです。弊社超音波流量計をご使用の場合には検出器（UCUF）以外に専用の変換器（SFC）が必要となります。

入口側

超音波流量計（UCUF-04M）

500mm以内

流れ方向

（FCV-3000）コントロール弁

モータ内蔵

出口側

SFC-710

現在流量

変換器（SFC-710）

MENU

ENT

ULTRASONIC FLOWMETER

ZERO SETMEAS.

HI/LO

流量信号TOKYO KEISO

モータドライブ

（FCA-3000）コントローラ

設定流量現在流量

FLOW CONTROLLER

信号入出力装置

積算 警報

積算 電源リセット

流量 警報

制御 電源流量設定

配線図

①電源

0V 24V

② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩モーターケーブル緑A＋

黒A－

白B＋

赤B－

①設定流量入力

現在流量出力

現在流量入力

弁体警報出力

制御入力ON/OFF

－ ＋ － ＋ － ＋ － ＋ － ＋

② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩

コントローラ背面図

コントローラ背面図

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※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

anything@tokyokeiso.co.jp使用可否、形式選定などなんでも（Anything）ご遠慮なくどうぞ。

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