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790 Corrosion Books / Corrosion People Materials and Corrosion 53, 789±797 (2002) den von verschiedenen Autoren geschrie- ben. Es ist die zweite Auflage eines 1988 erschienenen Buches und wendet sich vor allem an Ingenieure, die in der Mikroelek- tronik ta Ètig sind. Da sich die Grundlagen seit der Erstauflage kaum gea Èndert haben, wurden einige Kapitel unvera Èndert u Èber- nommen, einige neu hinzugefu È gt und ande- re, wo notwendig, u Èberarbeitet. Im ersten Kapitel ¹Recent Changes in the Semiconductor Industryª werden die ju Èng- sten technologischen Fortschritte und die damit verbundenen Auswirkungen auf die Entwicklungs- und Produktionskosten be- schrieben. Der folgende Abschnitt ¹De- position Technologies and Applicationsª erla Èutert die Systematik der wichtigsten Be- schichtungsverfahren und die Kriterien fu Èr die Auswahl des jeweils geeignetesten Ver- fahrens. Es folgt die Beschreibung der Her- stellung von Silizium-Epitaxieschichten mittels CVD-Techniken sowie die Be- schreibung der Abscheidung von Silizium- dioxid-Schichten mittels CVD-Techniken. Hier werden auch einige neue Verfahrens- varianten wie atmospha Èrische oder low- pressure-CVD diskutiert. Das vierte Kapi- tel u Èber metallorganische CVD wurde voll- sta Èndig u Èberarbeitet und aktualisiert. Ein neues Kapitel schlieût sich an, in dem die Modellierung von Abscheidungs- und A È tz- prozessen unter besonderer Beru Ècksichti- gung der immer kleiner werdenden Dimen- sionen bei der Herstellung integrierter Schaltkreise dargestellt wird. Parallel zur Modellierung hat die Metrologie im sub- Mikrometerbereich eine besondere Bedeu- tung. Deshalb wurde ihr ein gesonderter Abschnitt gewidmet, der die Rolle der Me- trologie und Pru Èfung herausstreicht und in dem viele automatisierte und hochentwi- ckelte Pru Èfmethoden sowie deren Grundla- gen beschrieben werden. Das folgende Ka- pitel ¹Contamination Control, Defect De- tection and Yield Enhancement in Gigabit Manufacturingª erla Èutert insbesondere den quantitativen Zusammenhang zwi- schen lithographischen Prozeûschritten und Kontamination. In den folgenden vier Kapiteln werden alle relevanten Verfahren der physikali- schen Vakuumbeschichtungstechnik be- schrieben. Dies sind das Sputtern, die La- ser- und Elektronenstrahlverfahren, die Molekularstrahlepitaxie und die Ionen- strahl-gestu Ètzte Abscheidung. In den fol- genden beiden Abschnitten werden ganz neue Themen vorgestellt: Das chemisch- mechanische Polieren sowie neue organi- sche Materialien (vor allem Polyimide) fu Èr dielektrische Schichten. Das letzte Ka- pitel ¹Performance, Processing and Litho- graphy Trendsª gibt neben einer Zusam- menfassung auch einen Ausblick auf zu- ku Ènftige Trends. Das Handbuch ist eine gelungene Zusam- menstellung der wichtigsten, aktuellen technologischen Prozeûschritte der Du Ènn- schichttechnik in der Mikroelektronik und bietet somit auch die Gelegenheit, sich im Rahmen des Studiums oder der Einarbei- tung mit gut aufbereiteten Informationen zu versorgen und eine Vielzahl von Litera- turzitaten fu Èr weitergehende Recherchen zu verwenden. ± CB01002 ± G. Reiners Eigenspannungen und Verzug beim Schweiûen. Rechen- und Meûverfahren, von D. Radaj, DVS-Fachbuchreihe Schweiûtechnik, Band 143, 351 Seiten, 229 Abbildungen, Verlag fu Èr Schweiûen und verwandte Verfahren, DVS-Verlag, Du Èsseldorf 2002, Q 86,00, ISBN 3-87155- 194-5. Wer in der Schweiûtechnik Gebrauchs- tauglichkeit mit ho Èheren Anspru È chen erzie- len und seiner Sorgfaltspflicht Genu Ège tun will, ohne dabei die Wirtschaftlichkeit sei- ner Produktion aus dem Auge zu verlieren, der muû Praxis und Theorie gru Èndlich be- herrschen. ¹Eigenspannungen und Ver- zugª ± kaum ein anderes Thema der Schweiûtechnik ist so komplex, so sehr auf Fachkompetenz angewiesen und durch die Entwicklung der Konstruktionen, der Werkstoffe, der Fu Ègeverfahren und den Fortschritt der Wissenschaft bestimmt. Das vorliegende DVS-Fachbuch ist eine Neubearbeitung des 1988 im Springer-Ver- lag erschienenen Werkes: ¹Wa Èrmewirkun- gen des Schweiûens, Temperaturfeld, Ei- genspannung, Verzugª. Es geht um die rechnerische und meûtechnische Ermitt- lung von Schweiûeigenspannungen mit Hil- fe der Schweiûsimulation als Spezialfall der Fertigungssimulation und den Einsatz mo- derner Rechentechnik. In der vom Verfas- ser gewohnten Klarheit und Eloquenz werden dem Leser zu den Themen: Model- lierung von Schweiûtemperaturfeldern, Modellierung von Schweiûeigenspannun- gen und Schweiûverzug, thermodynami- sche und thermomechanische Werkstoff- kennwerte und Meûverfahren fu Èr Tempera- tur, Eigenspannung und Verzug der Stand der Wissenschaft, die Grundlagen der An- wendungstechnik und relevantes Zahlen- material vermittelt. Zur Modellintegration in die umfassen- deren Festigkeitsanalysen und in mathema- tische Optimierungsverfahren wird ein gu- ter U È berblick gegeben. Eine wahre Fundgrube ist das Literatur- verzeichnis mit 838 Zitierungen, die wie- derum in 45 Themenschwerpunkte geglie- dert und durch Mehrfachzuordnungen sehr leserfreundlich strukturiert sind. Der Wert einer solchen fachlich spezialisierten und kompetent ausgewa Èhlten Sammlung der Weltliteratur ist unscha Ètzbar. Das hier vorgestellte Fachbuch ist in je- der Hinsicht vorbildlich und empfehlens- wert. ± CB01602 ± H. Barthelmeû Corrosion People Ulrich Henssler ist Vorsitzender des Industrieverbandes Feuerverzinken e.V. Am 26. Juni 2002 wa Èhlten die Mitglieder des Industrieverbandes Feuerverzinken e.V. auf ihrer auûerordentlichen Mitgliederver- sammlung in Fulda einstimmig Herrn Ul- rich Henssler zum neuen Vorsitzenden des Industrieverbandes Feuerverzinken e.V. Damit wurde die vakante Spitzenposi- tion wieder besetzt. Wa Èhrend der achtmona- tigen Vakanz u Èbernahm der Vorstand des Verbandes gemeinschaftlich die Aufgaben und Funktionen des Vorsitzenden. Ulrich Henssler hat sich fu Èr seine Amts- zeit einerseits die Fortfu Èhrung und Intensi- vierung der strategischen Neuausrichtung des Verbandes und die Umsetzung des ¹Strategie 2000ª-Konzeptes vorgenom- men; andererseits will er integrativ wirken und die vielfa Èltigen, teilweise unterschied- lichen Interessen der Verbandsmitglieder sta Èrker zusammenfu Èhren. Ulrich Henssler ist mit dem ¹Verbands- gescha Èftª bestens vertraut. Er ist seit lan- gem im Industrieverband Feuerverzinken e.V. aktiv und blickt auf ca. zwei Jahr- zehnte ehrenamtliche Arbeit zuru Èck. Be- reits in den 80er Jahren war er Beiratsmit- glied der damaligen Regionalgruppe Mitte. Im Jahre 1988 wurde er stellvertretender Vorsitzender der Regionalgruppe und 1989 erstmals Vorstandsmitglied. Als lang- ja Èhriger Vorsitzender des Ausschusses Be- triebswirtschaft brachte der studierte Wirt- schaftswissenschaftler zusa Ètzlich auch seine fachliche Kompetenz auf nationaler und auf internationaler Ebene ein und gab der europa Èischen Feuerverzinkungsindu- strie wichtige Impulse. Seit 1993 vertritt Ulrich Henssler den Industrieverband Feu- erverzinken e.V. im Vorstand der Wirt- schaftsvereinigung Metalle e.V. Neben seinem ehrenamtlichen Engage- ment leitet der 49ja Èhrige Unternehmer als gescha Èftsfu Èhrender Gesellschafter seit 1985 die Firma Henssler GmbH & Co. KG in Beilstein. Zusa Ètzlich ist er als Ge- scha Èftsfu Èhrer bzw. Gescha Èftsbereichsleiter verantwortlich fu Èr weitere Feuerverzinke- reien und Pulverbeschichtungsbetriebe des Voigt & Schweitzer Markenverbundes in Su Èddeutschland. ± CP01302 ± Institut Feuerverzinken Personalien ± Thyssenkrupp Stahl AG Der Aufsichtsrat der ThyssenKrupp Stahl AG hat Dieter Kroll (46) mit Wirkung vom 1. Januar 2003 zum Mitglied des Vorstands und neuen Arbeitsdirektor des Unterneh-

Corrosion Books: Eigenspannungen und Verzug beim Schweißen. By D. Radaj - Materials and Corrosion 10/2002

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