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半 導 体 製 造 設 備 向サービス
半導体装置の汚染除去サービスサービスの範囲ベルフォアがご提供するサービス：
汚染状況に関する評価ベルフォアは、汚染状況の評価を確定するために、プロセスガス、化学物質のリスト、装置の稼動状況、および（もしあれば）関係書類を調査します。ベルフォアは、装置の種類によって、ガス検知や表面拭取りによる試料分析（ワイプサンプル）等の多様な手段を活用し、これを検証します。
半導体装置の汚染除去ベルフォア は、OEM の文書化された手順が存在する場合はそれに従って、半導体装置の汚染除去を行います。またベルフォアは、多くの汚染された半導体装置に関して、有害物質を除去するための汚染除去プロセスおよびプロトコルの作成も行ってきました。汚染除去に使用されるプロセスおよび関連の試験結果は、汚染除去申告書類の形で ベルフォアにより文書化されます。
輸送規則の遵守半導体の製造プロセス中、化学反応にさらされ、従ってプロセスガス、化学物質その他の残留物によって汚染されている半導体装置および関連部品は、社内での移動や他の場所への移動、あるいは売却等により、国内外に輸送されることがあります。
汚染された装置は、輸送中および最終目的地への到着時の両方において、安全面での大きなリスク要因となる可能性があります。従って、汚染された装置は危険貨物（有害物）として扱わ れる必 要 があります。これ は 厳しい 輸 送 規 制を課 すも のとなり、輸送コストの大幅な増加をもたらします。
ベルフォアでは、そのような装置に対して輸送前の汚染状況評価を行い、必要に応じて装置の汚染を除去し、運送業者、輸送規制機関および装置の受入先に、装置の状態に関して最新の SEMI S12 基準を遵守する申告書類を提供することが可能です。
牽引/梱包および輸送 サービスベルフォアは、半導体装置の汚染状況評価および汚染除去だけでなく、取り付け、箱詰めおよび半導体装置の輸送に関しても即時使用可能なターンキーサービスを提供することが可能です。これらのサービスは、ベルフォアのロジスティクスでのパートナーが、ターンキー・ソリューションの一環としてご提供いたします。
パーツの汚染除去半導体生産装置パーツの清浄度は、回路の臨界寸法が縮小される中、ますます重要になってきています。ベルフォアでは、多様なパーツ洗浄ソリューションを提供しており、ウエハ製造業者がこの重要な工程をアウトソースできるようにしております。
今や、お客様の半導体装置の汚染を除去し、装置が安全かつ関連規則を遵守していることを確認した上で世界中に輸送することが可能です。
SEMICONDUCTOR EQUIPMENT SERVICES
半導体製造設備向けサービスウエハ製造設備の廃止措置ベルフォアでは、ウエハーハブや製造設備装置に対する汚染除去、および汚染状況の評価を含む、完全なウエハー工場の廃止措置を提供することが可能です。製造および設備内の全装置の状態評価および汚染除去を含む、完全なウエハ「工場」廃棄サービスを提供することが可能です。典型的なサービスの範囲には次の項目が含まれます：• 装置の汚染状況の評価• 装置の汚染除去• フォアライン、廃棄ライン、ダクト等の撤去、汚染除去および廃棄• クリーンルーム内からの装置の牽引• 装置の梱包および輸送• 設備・ユーティリティの汚染除去
災害復旧ベルフォアは、火事、漏水、化学物質の漏洩、環境汚染事故等の災害後に、汚染/損傷したツールや装置、ユーティリティ、クリーンルームおよび建築設備など広範囲に及ぶ汚染除去および復旧サービスを提供することも可能です。
広範囲に渡る経験ベルフォアでは、世界中で、さまざまな半導体装置の汚染除去プロジェクトおよびいくつかの大規模な半導体工場災害における復旧プロジェクトを実施して来ました。特定の装置に関する弊社の経験には次のものが含まれます：• 化学的機械研磨 (CMP) システム• 化学的気相成長 (PECVD および SACVD を含む CVD) システム• 拡散炉(窒化、ポリ、酸化)• ガスコントロール・パネル• イオンインプラント• メトロロジー・システム• 物理蒸着 (PVD) システム• スピン・リンス・ドライヤー• ステッパー• ウエハ・パッケージ・システム• 共益とサポートシステム
ベルフォアのテクニカル・サポート・センターでは、多種多様な汚染状況に対応する特定の 汚染除去 ソリューションをご提供することが可能です。汚染除去および災害復旧サービスにおける世界的リーダーとして、ベルフォアはお客様のニーズに対応するための専門知識、人材、技術を有しております。
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当社サービス:
構造および資産の修復 | 構造の除湿 | 電子装置の修復 | コンテンツの修復 | 書類およびデータの復旧 | 金型修正 | 緊急対応プログラム: RED ALERT®
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東京都江戸川区臨海町4-3-1
