ドライ真空ポンプ

LSシリーズ

Di�erence in pumping speed

1 10 100 10000.1

Pressure [Pa]

Pum

ping

spee

d [m

3 /h]

高速排気と低消費電力を両立

高速排気大気圧付近の排気速度が大きく、排気時間の短縮が可能

低消費電力ECO-SHOCK技術により、低消費電力を実現（C仕様）到達圧力時の消費電力は0.6kW以下（LS120A-C）

低騒音専用サイレンサーを標準搭載到達圧力時の騒音値は61dB（A）以下

ランニングコスト低減従来必要だった軸シールガスが不要※L仕様はパージガスを流す事が可能

排気速度の比較 排気時間の比較排気条件チャンバー容積：100L、配管：2インチ、1m　排気目標：大気圧～10Pa迄

※本データは計算値です。放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります。

0

20

40

60

80

100

120

140

1 10 100 1000 10000 1000000.1

圧力［Pa］

排気速度［m3 /h］

LS120A一般的な低消費電力型DRP

1

10

100

1000

10000

100000

200 40 60

時間［sec］

圧力［Pa］

LS120A一般的な低消費電力型DRP

この性能差が排気時間に影響この性能差が排気時間に影響

排気時間を約20％短縮排気時間を約20％短縮

全4機種をラインアップ

LS120A

LS1200ALS600ALS300A

排気速度120～1,200㎥/hクラス　※メカニカルブースターポンプとの組合せ用途に応じて最適な排気容量の機種選択が可能

用途に合わせて選べる2タイプ

C仕様：クリーンプロセス（LS***A-C）

　特徴：ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ　用途：エアー排気やN2排気などのクリーン排気向け スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々

L仕様：ライトプロセス（LS***A-L）

　特徴：表面処理、パージ機能を要するライトプロセスタイプ　用途：水蒸気や揮発性薬液排気などのライトプロセス向け 真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途 等々

仕様

外形寸法図

排気速度曲線

型式

最大排気速度到達圧力

消費電力概略値 ※1冷却水量

パージガス量 ※2最大水蒸気処理量 ※3

騒音値

m3/hPa

kWL/minSLMkg/hdB(A)

kg質量

吸気口排気口

電源電圧

適合規格標準付属品本体オプション外部オプション

MODEL

LS120A

LS300A

LS600A

LS1200A

株式会社アルバック 規格品事業部 www.ulvac.co.jp国内販売： アルバック販売株式会社■東日本営業統括部　TEL 03-5769-5511（代）■西日本営業統括部　TEL 06-6397-2281（代）海外販売： 株式会社アルバック■規格品事業部　TEL +81-467-89-2261

お問い合わせ

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。1055J/2018043000SP

A

201

226

201

247

B

35

35

35

35

C

78

78

78

78

D

272

-

-

-

H

307

537

563

563

H1

355

593

619

619

L

639

639

639

639

L1

65

65

65

65

P

4-M12

2-M16

4-M16

4-M16

Q

-

ISO-F50

ISO-F80

ISO-F100

W

311

311

311

311

W1

26

26

26

26

単位：mm

※1：到達圧力時　※2：C仕様はパージガスを流す事は出来ません。　※3：パージガス使用時の最大水蒸気処理量です。　※4：C仕様はリークレス対応となっていません。

CE、cTUVus取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード

電圧仕様：200V級または400V級、シール部材質：パーフロロエラストマー(Lタイプのみ)MBP吸気口変換フランジ、筐体排気ポート、耐震固定金具、LR互換ユニット(吸気口、信号)、パージガスバルブ

KF40

200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または　400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V

LS120AC L C L C L C L

0.6 2.0 1.0 2.5 1.3 2.6 1.3 2.7

--

0～501.5

--

0～501.5

--

0～501.5

--

0～501.5

LS1200ALS300A LS600A

61KF50(水平)／VG50(垂直)

64ISO-F-100

61ISO-F-50

62ISO-F-80

142 266220 242

120≦0.6

1000380 600≦0.1

>2.0 >4.0

（C：C仕様）（L：L仕様）

C

L

HH1

A B

W

アイボルト：P

吸気口：Q

L1（400V）ドレインポート オイル覗き窓（L仕様） （L仕様）

（L仕様）排気口：KF40

（L仕様） 電源コネクタ

電源コネクタガード

信号コネクタコントローラ

コントローラ

ドレインバルブ

（MBP）

（DRP）

（付属品）パージガス入口

（φ6.35mm配管用継手）

冷却水入口

冷却水出口（Rc3/8）

（Rc3/8）

（Rc3/8）W1

LS300A / LS600A / LS1200ALS120A

CD

L

A B

W

HH1

アイボルト：P

吸気口（垂直）：VG50

L1（400V）オイル覗き窓 ドレインポート（L仕様） （L仕様） （L仕様）

（L仕様）

電源コネクタガード

電源コネクタ信号コネクタコントローラ

吸気口（水平）：KF50

排気口：KF40

（付属品）

パージガス入口（φ6.35mm配管用継手）

冷却水入口

冷却水出口（Rc3/8）

（Rc3/8）W1 ドレインバルブ

（Rc3/8）

0.1 1 10 100 1000圧力［Pa］

排気速度［m3 /h］

10000 1000000

20

40

60

80

100

120

140 LS120A

0.1 1 10 100 1000圧力［Pa］

排気速度［m3 /h］

10000 1000000

200

400

600

800

1000

1200 LS300A

LS600A

LS1200A