16
マシンコントロールゲージ測定ヘッド リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技術に即答 外径・内径測定ヘッド 〉〉〉 オンマシン測定の標準機 外径、内径、幅、スプライン測定など、各種用途に対応しています。 研削盤でのインライン測定などの過酷な環境に最適です。 高精度なメカニズム 内部に摺動部、磨耗部がないメカニズムを採用しています。このため高 精度を維持し続けます。 高耐久性・高剛性 東京精密独自のL字形板バネ支点を採用、精密さと同時に耐久性、剛性 に優れています。 優れた信頼性、保守性 最も過酷な環境下で稼働する精密測定器として、パルコムΣの納入実績 がすべてを語ります。さらに機械組み込みの際の保守に便利な、ケーブ ル分離形も用意してあります。 ■特 ■ パルコムΣシリーズ…汎用型 外径/内径用測定ヘッド ●測定ヘッドの選定 測定項目 ワーク形状 リトラクト有無(用途) リトラクト方式 出力数 測定ヘッド型式(*1) 外径測定 連続面 リトラクト無(定寸) 1出力 E-TS-107[x]-P[z] 2出力 E-TS-115[x]-P[z] リトラクト付(検測) エア式 1出力 E-TS-109[x]-P[z] 2出力 E-TS-116[x]-P[z] 電気式 2出力 E-TS-112[x]-P[z] 不連続面 リトラクト無(定寸) 2出力 E-TS-111[x]-P[z] リトラクト付(検測) エア式 2出力 E-TS-119[x]-P[z] 内径測定 連続面 リトラクト無(定寸) 2出力 E-TS-113[x]-[y][z] リトラクト付(検測) エア式 1出力 E-TS-108[x]-[y][z] 2出力 E-TS-118[x]-[y][z] 電気式 2出力 E-TS-114[x]-[y][z] 不連続面 リトラクト付 エア式 2出力 E-TS-120[x]-[y][z] 取付姿勢 フィンガ長 縦取付 横取付 5 1 2 4 = 6 2 2 8 = 記号 P ] [ N ] [ 検出器ケーブル長 記号 ケーブル長:3m 3 ケーブル長:6m 6 (*1)記号の説明 [x]:取付姿勢とフィンガ長 [y]:検出器極性 [z]:検出器ケーブル長 36

リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

  • Upload
    others

  • View
    0

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

マシンコントロールゲージ測定ヘッド

リアルタイムに寸法を制御して高精度化する加工技術に即答

外径・内径測定ヘッド

〉〉〉

オンマシン測定の標準機外径、内径、幅、スプライン測定など、各種用途に対応しています。研削盤でのインライン測定などの過酷な環境に最適です。

高精度なメカニズム内部に摺動部、磨耗部がないメカニズムを採用しています。このため高精度を維持し続けます。

高耐久性・高剛性東京精密独自のL字形板バネ支点を採用、精密さと同時に耐久性、剛性に優れています。

優れた信頼性、保守性最も過酷な環境下で稼働する精密測定器として、パルコムΣの納入実績がすべてを語ります。さらに機械組み込みの際の保守に便利な、ケーブル分離形も用意してあります。

■ 特 長

■ パルコムΣシリーズ…汎用型 外径/内径用測定ヘッド●測定ヘッドの選定

測定項目 ワーク形状 リトラクト有無(用途) リトラクト方式 出力数 測定ヘッド型式(*1)

外径測定連続面

リトラクト無(定寸) -1出力 E-TS-107[x]-P[z]2出力 E-TS-115[x]-P[z]

リトラクト付(検測)エア式

1出力 E-TS-109[x]-P[z]2出力 E-TS-116[x]-P[z]

電気式 2出力 E-TS-112[x]-P[z]

不連続面リトラクト無(定寸) - 2出力 E-TS-111[x]-P[z]リトラクト付(検測) エア式 2出力 E-TS-119[x]-P[z]

内径測定連続面

リトラクト無(定寸) - 2出力 E-TS-113[x]-[y][z]

リトラクト付(検測)エア式

1出力 E-TS-108[x]-[y][z]2出力 E-TS-118[x]-[y][z]

電気式 2出力 E-TS-114[x]-[y][z]不連続面 リトラクト付 エア式 2出力 E-TS-120[x]-[y][z]

取付姿勢フィンガ長

縦取付 横取付

5124=長ガンィフ6228=長ガンィフ

検 出 器 極 性 記号P]+[でん込し押トクタンコ:性極正N用測検径内→]-[でん込し押トクタンコ:性極逆

検出器ケーブル長 記号ケーブル長:3m 3ケーブル長:6m 6

(*1)記号の説明[x]:取付姿勢とフィンガ長

[y]:検出器極性

[z]:検出器ケーブル長

36

Page 2: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

■ アプリケーション

円筒外径測定 連続面外径の加工中(インプロセス)または加工後(ポストプロセス)に測定します。

E-TS-1070B

心違い段付外径の偏芯量測定 心および径の違うワークを演算型ヘッド2台を使用し、偏芯量を測定します。 [(G2+G3)-(G1+G4)=偏芯量]

E-TS-1160B

クランクピン外径測定 幅の狭い箇所(クランクピン外径等)を容易に測定できます。

E-TS-1160B

ロータリーコンプレッサシリンダの厚さ測定 平面研磨後のシリンダの厚さを高精度に測定します。多点(2~4ケ所)同時測定も可能です。

E-TS-1090B

内径自動定寸測定 ワーク内径に測定ヘッドを挿入したまま研削加工を行ない加工中刻々変化する値を測定し、マシンへフィードバックします。測定ヘッドは電気リトラクト(逃げ)機構付のため、ワークが当たらず楽に挿入できます。

E-TS-1140B

ピストン外径測定(最大径) フィンガ組み替えにより、φ5~φ140まで測定可能です。

E-TS-1150B

キー溝・ギヤ・スプラインシャフト外径定寸測定 最大値記憶機能付管制部との組み合わせにより、キー溝やスプラインシャフト等を高い精度で測定できます。

E-TS-1190B

テーパ加工、定寸測定 左右ブレが少ないため、テーパ加工中の測定に最適です。ヘッド後部でケーブルの取り外しが可能なため、ヘッド交換が簡単です。

E-TS-1150B-T

外径円筒度測定 外径2ケ所を同時測定し、G1またはG2のいずれかの外径とG1-G2の演算処理により円筒度を判定し、出力します。

E-TS-1090B

砥石 パルコムΣ

パルコムΣ

G2

G1

G4

G3

パルコムΣ

パルコムΣ

パルコムΣ

パルコムΣ

パルコムΣ

G1

G2パルコムΣ

砥石

パルコムΣ

37

Page 3: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

仕 様 ●外径・外幅用

型式

主な用途 型式 測定範囲 ストローク フロントトラベル 直線範囲 繰り返し精度 測定力 ワーク最大周速 リトラクト電源 出力数 ヘッド質量 防水規格

垂直面内 水平面内 標準()内ポスト オプション()内ポスト ℓ=42の時 ℓ=82の時

ℓ=42mm ℓ=82mm ℓ=42mm ℓ=82mm

Σ

円筒外径・外幅 E-TS-1071B E-TS-1072B E-TS-1075B E-TS-1076B

ー ー 1

Σ - OD

振れ・直径切替測定 E-TS-1151B E-TS-1152B E-TS-1155B E-TS-1156B φ8~φ65mm φ5~φ140mm

ー ー 2

Σ - OD-S

切欠のある外径 E-TS-1111B E-TS-1112B E-TS-1115B E-TS-1116B

80m/min(1111B) 50m/min(1112B)

- 2

Σ - OD-R

円筒外径・外幅電気リトラクト E-TS-1121B E-TS-1122B E-TS-1125B E-TS-1126B

φ8~φ65(φ1~φ65)mm φ5~φ140(φ1~φ140)mm

周辺機器リトラクト電源ユニット要 2

2.8mm 4.5mm

L=42に於いて、0.12~0.15mm(片側) +500~-200μm以上

1μm 0.75N

約1.3kg IP67準拠

型式

主な用途 型式 測定範囲 ストローク フロントトラベル 直線範囲 繰り返し精度 測定力 ワーク最大周速 リトラクト空気源 出力数 ヘッド質量 防水規格

垂直面内 水平面内 標準()内ポスト オプション()内ポスト ℓ=42の時 ℓ=82の時

ℓ=42mm ℓ=82mm ℓ=42mm ℓ=82mm

Σ - OD-AR

円筒外径・外幅エアリトラクト E-TS-1161B E-TS-1162B E-TS-1165B E-TS-1166B

ー 2

Σ s -OD-AR

同左、シングル出力エアリトラクト E-TS-1091B E-TS-1092B E-TS-1095B E-TS-1096B

φ8~φ65(φ1~φ65)mm φ5~φ140(φ1~φ140)mm

2.8mm 4.5mm

L=42に於いて、0.12~0.15mm(片側) +500~-200μm以上

1μm 0.75N ー

0.3~0.5MPa 1

約1.3kg IP67準拠

Σ - OD-SAR

切欠のある外径エアリトラクト E-TS-1191B E-TS-1192B E-TS-1195B E-TS-1196B

80m/min(1191B) 50m/min(1192B)

2

※ℓ:フィンガ長、垂直面内:垂直面内基準の取り付け、水平面内:水平面内基準の取り付け(横置)、ポスト:ポストプロセス測定時

商品コード0947001 パルコムΣ(E-TS-1071B-P3)0947002 パルコムΣ(E-TS-1071B-P6)0947003 パルコムΣ(E-TS-1072B-P3)0947004 パルコムΣ(E-TS-1072B-P6)0947005 パルコムΣ(E-TS-1075B-P3)0947006 パルコムΣ(E-TS-1075B-P6)0947007 パルコムΣ(E-TS-1076B-P3)0947008 パルコムΣ(E-TS-1076B-P6)0947021 パルコムΣ-OD 演算形(E-TS-1151B-P3)0947022 パルコムΣ-OD 演算形(E-TS-1151B-P6)0947023 パルコムΣ-OD 演算形(E-TS-1152B-P3)0947024 パルコムΣ-OD 演算形(E-TS-1152B-P6)0947025 パルコムΣ-OD 演算形(E-TS-1155B-P3)0947026 パルコムΣ-OD 演算形(E-TS-1155B-P6)0947027 パルコムΣ-OD 演算形(E-TS-1156B-P3)0947028 パルコムΣ-OD 演算形(E-TS-1156B-P6)0947011 パルコムΣ-OD-S(E-TS-1111B-P3)0947012 パルコムΣ-OD-S(E-TS-1111B-P6)0947013 パルコムΣ-OD-S(E-TS-1112B-P3)

品 名 商品コード0947014 パルコムΣ-OD-S(E-TS-1112B-P6)0947015 パルコムΣ-OD-S(E-TS-1115B-P3)0947016 パルコムΣ-OD-S(E-TS-1115B-P6)0947017 パルコムΣ-OD-S(E-TS-1116B-P3)0947018 パルコムΣ-OD-S(E-TS-1116B-P6)0947401 パルコムΣ-OD-R・E(E-TS-1121B-P3)0947402 パルコムΣ-OD-R・E(E-TS-1121B-P6)0947403 パルコムΣ-OD-R・E(E-TS-1122B-P3)0947404 パルコムΣ-OD-R・E(E-TS-1122B-P6)0947405 パルコムΣ-OD-R・E(E-TS-1125B-P3)0947406 パルコムΣ-OD-R・E(E-TS-1125B-P6)0947407 パルコムΣ-OD-R・E(E-TS-1126B-P3)0947408 パルコムΣ-OD-R・E(E-TS-1126B-P6)0947031 パルコムΣ-OD-AR(E-TS-1161B-P3)0947032 パルコムΣ-OD-AR(E-TS-1161B-P6)0947033 パルコムΣ-OD-AR(E-TS-1162B-P3)0947034 パルコムΣ-OD-AR(E-TS-1162B-P6)0947035 パルコムΣ-OD-AR(E-TS-1165B-P3)0947036 パルコムΣ-OD-AR(E-TS-1165B-P6)

品 名 商品コード0947037 パルコムΣ-OD-AR(E-TS-1166B-P3)0947038 パルコムΣ-OD-AR(E-TS-1166B-P6)0947601 パルコムΣS-OD-AR(E-TS-1091B-P3)0947602 パルコムΣS-OD-AR(E-TS-1091B-P6)0947603 パルコムΣS-OD-AR(E-TS-1092B-P3)0947604 パルコムΣS-OD-AR(E-TS-1092B-P6)0947605 パルコムΣS-OD-AR(E-TS-1095B-P3)0947606 パルコムΣS-OD-AR(E-TS-1095B-P6)0947607 パルコムΣS-OD-AR(E-TS-1096B-P3)0947608 パルコムΣS-OD-AR(E-TS-1096B-P6)0947041 パルコムΣ-OD-SAR(E-TS-1191B-P3)0947042 パルコムΣ-OD-SAR(E-TS-1191B-P6)0947043 パルコムΣ-OD-SAR(E-TS-1192B-P3)0947044 パルコムΣ-OD-SAR(E-TS-1192B-P6)0947045 パルコムΣ-OD-SAR(E-TS-1195B-P3)0947046 パルコムΣ-OD-SAR(E-TS-1195B-P6)0947047 パルコムΣ-OD-SAR

パルコムΣ-OD-SAR(E-TS-1196B-P3)

0947048 (E-TS-1196B-P6)

品 名

38

Page 4: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

3015

118110

8442

7(53)

2212

2‒M5,深サ8

8

7

3015

118110

8442

7(53)

2212

2‒M5,深サ8

8

7

3015

118110

8442

7(53)

2212

2‒M5,深サ8

8

7

3015

118110

8442

7(53)

2212

2‒M5,深サ8

ニゲ解除用電源

8

7

3015

118110

84

42

7(53)

2212

2‒M5,深サ8

8

7

ニゲ解除用エア

エアIN:測定

エアOUT:ニゲ

エアIN:測定

エアOUT:ニゲ

エアIN:測定

エアOUT:ニゲ

大気へ解放

(130)

3015

118110

84

42

7(53)

2212

2‒M5,深サ8

8

7

ニゲ解除用エア 大気へ解放

(130)

3015

118110

84

42

7(53)

2212

2‒M5,深サ8

8

7

ニゲ解除用エア 大気へ解放

(130)

3015

118110

8442

7

(94)

(53)

2212

2‒M5,深サ8

8

7

中継コードコネクタ

(33)

E-TS-1071B、1072B、1075B、 、B1511-ST-EB6701 1152B、1155B、1156B

E-TS-1111B、1112B、1115B、 、B1211-ST-EB6111 1122B、1125B、1126B

E-TS-1161B、1162B、1165B、 、B1901-ST-EB6611 1192B、1195B、1196B

E-TS-1191B、1192B、1195B、 T-□□□1-ST-EB6911メンテナンスが非常に簡単な、測定ヘッド/ケーブル分離形の“T”タイプを各モデル毎に用意してあります。機械内にケーブルを引き回す必要があるときでも、測定ヘッドだけを外せますので保守・修理が容易です。

■ 外観寸法図

39

Page 5: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

■ フィンガ・コンタクトその他

118

84

42

19.7

23

35

30

32

12

15

2-M5,深サ 8

15

2223

130

M4取付 ボル ト

( 40)

120~ 13

79

14

超硬

エア ジョ イン ト ( 0.3~ 0.5MPa )

エクステンションロッドASS, クタンコY ト(M5 ×0.5 )

フィ ンガ L =42 のと き E59/E60 各1 L =82 のと き E63/E64 各1

フィ ンガ 微調装置 A202531

コン タク ト A233610 A233611

R1.5

R1.5 R6 R6

10.5

25 25.8

33

A000189 (max.φ 140 )

エア IN ……測定 OUT …逃げ

A000187 (max.φ 105 )

A000186 (max.φ 80 )

A000586 (標 準) A000581

φ8 ~ φ65 φ 5 ~φ 16

C84C34

A000582

40

Page 6: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

■ パルコム シリーズ 外径測定用標準図面集

ワーク種類 測定径 駆動ストローク ワーク溝幅 該当図面

連続面φ80以下

50mm

A654715-D001

80mmA654716-D001

φ105以下A654717-D001

100D-817456Amm021

(250) (40)

(21)

(29)

(13

8)

ストローク50 160110

100

42

35

56 65

15

619

6

8

3.5

ø8

øD

ø10

フィンガ コンタクト

前後 微調整ネジ ホルダー

(#3698) 油圧取入口

4-M5, 深サ8

DU-05D1

型式 E–TS–1071B仕様 P3

ø10

8

6556

619

6

(13

8)

3.5(291)

428110160

(51)

(21)

(29) 130

60 15

ストローク80 コンタクト

フィンガ

型式 E–TS–1071B仕様 P3

前後 微調整ネジ ホルダー

(#3699) 油圧取入口

DU-08D1

4-M5, 深サ8

8(

138)

65

31196

6

56

ø10

(320)

(31)

(39) 130

60 15

(3.5)

ストローク80 200828110

(40) コンタクト

フィンガ

前後 微動調整ネジ ホルダー

(#3698)

4-M5, 深サ8

DU-08D1

型式 E–TS–1072B仕様 P3

ø10

øD

41.5

85318

96

196

6

(16

8)

(364) 3.5120ストローク (44)

(21)

(29) 170

15100

110 8 82フィンガ

大気解放 排気用チューブ各1m付

コンタクト

型式 E–TS–1072B仕様 P3

前後 微調整ネジ

ホルダー

#3

77

9

油圧取入口

4-M5, 深サ8

DR-12A-H

■ 外観寸法図

A654715-D001

A654717-D001

A654716-D001

A654718-D001

41

Page 7: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

■ パルコム シリーズ 外径測定用標準図面集

ワーク種類 測定径 駆動ストローク ワーク溝幅 該当図面

不連続面

φ80以下50mm

2mm以下A654719-D001

80mmA654720-D001

φ105以下

A654721-D0016mm以下 A654721-D002

120mm2mm以下 A654722-D0016mm以下 A654722-D002

ø10

8

(13

8)

65

56

196

6

3.5(250) ストローク50(40)

(21)

(29) 100

160428110

35 15

コンタクト フィンガ

型式 E–TS–1111B仕様 P3

前後 微動調整ネジ ホルダー

#3698

DU-05D1

4-M5, 深サ8

ø10

865

56

196

6

H (13

8)

3.5(291)

ストローク80 (51)

(21)

110160

130

60 15

B(29)

8 42

コンタクト フィンガ

型式 E–TS–1111B仕様 P3

前後 微動調整ネジ ホルダー

(#3699) 油圧取入口 4-Rc1/4

DU-08D1

4-M5, 深サ8

ø10

8

6556

31196

6

(13

8)

ストローク40 (40)

(31)

(39) 130

60 15

(320 ( ) 3.5)

20082

コンタクト フィンガ

型式 E–TS–1112B仕様 P3

前後微動 調整ネジ ホルダー

(#3698) 油圧取入口 4-Rc1/4

DU-08D1

4-M5, 深サ8

318

6556

56

31196

6

(13

8)

ストローク80 (40)

(31)

(39) 130

60 15

(320)

20082

4

コンタクト フィンガ

フィンガ微調装置

型式 E–TS–1112B仕様 P3

前後 微動調整ネジ ホルダー

(#3698) 油圧取入口 4-Rc1/4

DU-08D1

4-M5, 深サ8

■ 外観寸法図

100D-027456A100D-917456A

200D-127456A100D-127456A

42

Page 8: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

ø10

41.5

85318

96

196

6

(16

8)

(364) 3.5ストローク120 (44)

(21)

(29) 170

15100

110 8 82

フィンガ

大気解放 排気用チューブ1m付

コンタクト

型式 E–TS–1112B仕様 P3

前後微動 調整ネジ

ホルダー

#3

77

9

油圧取入口 4-Rc-1/4

4-M5, 深サ8

DR-12A-H

41.5

8531

56

8

96

196

6

(16

8)

(364) 4ストローク120 (44)

(21)

(29) 170

15100

110 8 82

フィンガ

フィンガ微調装置

大気解放 排気用チューブ1m付

コンタクト

型式 E–TS–1112B仕様 P3

前後 微動調整ネジ

ホルダー

37

79

油圧取入口 4-Rc-1/4

DR-12A-H

■ 外観寸法図

200D-227456A100D-227456A

43

Page 9: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

仕 様

型式

主な用途 型式 垂直面内ℓ=82mm 水平面内ℓ=82mm 測定範囲 ストローク フィンガ長ℓ=82 の時 フロントトラベル 直線範囲 繰り返し精度 測定力 ワーク最大周速 リトラクト空気源/電源 出力数 ヘッド質量 防水規格

Σ -ID

円筒内径・内幅 E-TS-1132B E-TS-1136B

ー ー 2

Σ -ID-R

同左、電気リトラクト E-TS-1142B E-TS-1146B

周辺機器 リトラクト電源ユニット要 2

Σ -ID-AR

同左、エアリトラクト E-TS-1182B E-TS-1186B

Σ s- ID-AR

同左、シングル、エアリトラクト E-TS-1082B E-TS-1086B

0.3 ~0.5MPa 1

Σ - ID-SAR

切欠のある内径、エアリトラクト E-TS-1202B E-TS-1206B

max 100mm/s 0.3 ~0.5MPa

2

●内径・内幅用

φ3 ~φ120mm 4.5mm

L =42 に於て、0.12 ~0.15mm (片側) +500 ~-200 μm 以上

1 μm 0.75N ー

0.3 ~0.5MPa 2

約1.3kg IP67 準拠

※ :フィンガ長、垂直面内:垂直面内基準の取り付け、水平面内:水平面内基準の取り付け(横置)

3015

118110

84

42

7

(53)

2212

2–M5,深サ8

8

7

3015

118110

84

42

7

(53)

2212

2–M5,深サ8

8

7

ニゲ解除用電源

3015

118110

84

42

7

(53)

2212

2–M5,深サ8

8

7

ニゲ解除用エア 大気へ解放

(13

0)

3015

118110

84

42

7

(53)

2212

2–M5,深サ8

8

7

ニゲ解除用エア 大気へ解放

(13

0)

E-TS-1132B、 、B2411-ST-EB6311 1146B

E-TS-1182B、 、B2801-ST-EB6811 1086B

エアIN:測定

エアOUT:ニゲ

エアIN:測定

エアOUT:ニゲ

■ 内径・内幅測定ヘッド

商品コード0940713 パルコムΣ-ID(E-TS-1132B-P3)0940714 パルコムΣ-ID(E-TS-1132B-P6)0940717 パルコムΣ-ID(E-TS-1136B-P3)0940718 パルコムΣ-ID(E-TS-1136B-P6)0940715 パルコムΣ-ID(E-TS-1132B-N3)0940716 パルコムΣ-ID(E-TS-1132B-N6)0940719 パルコムΣ-ID(E-TS-1136B-N3)0940720 パルコムΣ-ID(E-TS-1136B-N6)0940703 パルコムΣ-ID-R(E-TS-1142B-P3)0940704 パルコムΣ-ID-R(E-TS-1142B-P6)0940707 パルコムΣ-ID-R(E-TS-1146B-P3)0940708 パルコムΣ-ID-R(E-TS-1146B-P6)0940705 パルコムΣ-ID-R(E-TS-1142B-N3)0940706 パルコムΣ-ID-R(E-TS-1142B-N6)

品 名 商品コード0940709 パルコムΣ-ID-R(E-TS-1146B-N3)0940710 パルコムΣ-ID-R(E-TS-1146B-N6)0940733 パルコムΣ-ID-AR(E-TS-1182B-P3)0940734 パルコムΣ-ID-AR(E-TS-1182B-P6)0940737 パルコムΣ-ID-AR(E-TS-1186B-P3)0940738 パルコムΣ-ID-AR(E-TS-1186B-P6)0940736 パルコムΣ-ID-AR(E-TS-1182B-N3)0940735 パルコムΣ-ID-AR(E-TS-1182B-N6)0940739 パルコムΣ-ID-AR(E-TS-1186B-N3)0940740 パルコムΣ-ID-AR(E-TS-1186B-N6)0940803 パルコムΣS-ID-AR(E-TS-1082B-P3)0940804 パルコムΣS-ID-AR(E-TS-1082B-P6)0940807 パルコムΣS-ID-AR(E-TS-1086B-P3)0940808 パルコムΣS-ID-AR(E-TS-1086B-P6)

品 名 商品コード0940793 パルコムΣS-ID-AR(E-TS-1082B-N3)0940794 パルコムΣS-ID-AR(E-TS-1082B-N6)0940810 パルコムΣS-ID-AR(E-TS-1086B-N3)0940811 パルコムΣS-ID-AR(E-TS-1086B-N6)0940743 パルコムΣ-ID-SAR(E-TS-1202B-P3)0940744 パルコムΣ-ID-SAR(E-TS-1202B-P6)0940747 パルコムΣ-ID-SAR(E-TS-1206B-P3)0940748 パルコムΣ-ID-SAR(E-TS-1206B-P6)0940745 パルコムΣ-ID-SAR(E-TS-1202B-N3)0940746 パルコムΣ-ID-SAR(E-TS-1202B-N6)0940749 パルコムΣ-ID-SAR(E-TS-1206B-N3)0940750 パルコムΣ-ID-SAR(E-TS-1206B-N6)

品 名

44

Page 10: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

■ フィンガ・コンタクトその他

型 式 商品コード

コンタクト T t

A100017

A100020

0098421

0098621

10.0

12.5

1.0

1.5

0.8

1.3

型 式 商品コード

コンタクト T t

溝 用

A100013

A100014

A100015

A100016

A100021

A100022

0098521

0098721

0099121

0099021

0098824

0098822

14.5

12.5

18.5

20.5

16.5

17.5

3.0

2.0

4.0

6.0

4.0

5.0

1.2

1.0

1.8

2.2

1.7

2.0

微調装置

基本、型S/R

16

10

200118

84

42

100

22

12

R型のみ

エクステンション・ロッド組込 A200187

フィンガ微調装置 A202530

フィンガ#2759 (クランプ付)

フィンガ#2760 (クランプ付)

コンタクト(A矢視図)

82

A

11

30

±0.15

2

20

t

16

10°

4 1

T8

2-M5、深さ880

100

103515

PT 1/4

(44)

130

微調装置

AR/SAR型

41 90

エア測定

100

2-M6、深さ5 4-M5、深さ830

3523

66

(240)

(8)(1)

45

Page 11: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

■ パルコム Σ用、Σ20用、Σ-D用 フィンガ・コンタクト

外径用

フィンガ

型式 図番 フィンガ長 オフセット コンタクト取付 特徴

E59/E60

E63/E64

E83/E84

E115/E116E120/E1213344/33455264/5263E109/E1107310/7311427012242701232927/29284641/464240005063

A231491/A231492 42(*1)

8

M5*0.5調整式

A231819/A23182082

プンラク逆165232A/265232A

A232875/A232876 102 プンラクみ沈720332A/620332AA233344/A233345 112A235264/A235263 122A232824/A232825 132A237310/A237311 152

42

A232927/A23292842701234270122

82φ3

コンタクト用A234641/A2346420

0

8

付取4M000432A付取4φ360532A

コンタクト

型式 図番 材質(*2) 先端形状(*2) 取付方法 特徴62021581586C84C34T03T0518

5618/561986147/86148

56035490/54915291485169002

A262021 CPX SR0.7

M5*0.5調整式

A000581 SR1.5A000586 ダイヤA230864 CPX SR6 不連続面も可A231984A232277

超硬

42RS872232AA000018 φ3×10

A202531と組み合わせ

型体一01*3φ916532A/816532AA286147/A286148 SR6 片側0.5にカット

トッカに5.0面前306532AA235490/A235491 R2*フラット 前面0.7にカット

付取4M6RS192532AA234851 CPX R6*R24*L8 φ4取付 不連続面用A269002 R6*R24*L13

微調 型式 図番 特徴A202531 A202531 A202530+コンタクトホルダ4178付

内径用(Σ,Σ20用)

フィンガ 型式 図番 フィンガ長 オフセット量 コンタクト取付 特徴2759/2760 A232759/A232760 82 8 M4取付 FF用

コンタクト

型式 図番 材質(*2) 先端形状(*2) 取付方法 特徴A100017A100020A100013A100014A100015A100016A100021A1000224616556486019

A100017

CPX SR1 M4取付

FF用(一般)A100020A100013

FF用(溝用)

A100014A100015A100016A100021A100022A234616

超硬R0.5*R6 A202531と

組み合わせ

φ6~、深10迄A235564 R1*R6 φ12~、深30迄

、~81φ910682A 深50迄

微調型式 図番 特徴

A202531A202530

A202531 A202530+コンタクトホルダ4178付せわ合み組と0672/9572:用FF035202A

内径用(Σ-D用)

フィンガ 型式 図番 フィンガ長 オフセット量 コンタクト取付 特徴4000 A234000 82 0 M4取付

コンタクト 型式 図番 材質(*2) 先端形状(*2) 取付方法 特徴5291 A235291 CPX SR6 M4取付

微調 型式 図番 特徴A202531 A202531 A202530+コンタクトホルダ4178付

アタッチメント

Ext. ロッド

型式 図番 特徴186187189

8:さ長681000A02:さ長781000A04:さ長981000A

オフセットスペーサ

38296255

商品コード

0075111/0075121

0075131/0075141

0075151/0075161

0072875/00728760073026/00730270073344/00733450075264/00752630072428/00724294300751/4300752

42701224270123

0072927/00729280074641/0074642

00740000075063商品コード00830790069811007074100707110069834006984000698440069611

0075618/00756190085157/0085158

00756030075490/0075491

007529142028770083016商品コード4208104商品コード

4200351/4200352商品コード00984210098621009852100987210099121009902100988240098822007461600755640085008商品コード00654110065410商品コード0074000商品コード0075291商品コード0065411商品コード00651860065187006518900652400065215

51:量トッセフオ928300A52:量トッセフオ552600A

*1 フィンガ長 42mmのものはΣ-Dでは使用できません。*2 Σ-Dで使用するコンタクトの材質はCPXのみであり、先端形状はSR1.5以上となります。

46

Page 12: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

外径測定 内径測定インプロセス ポストプロセス FF ポスト

連続面用連続面 不連続面 先端調整可 先端調整不可 連続面用 連続面用先端調整可 先端調整不可M5コンタクト M5コンタクト アリ微調 M5コンタクト アリ微調 アリ微調 アリ微調

A B C D E F G H I J標準(L=42)φ80以下

標準(L=42)φ80以下

標準(L=42)φ80以下

標準(L=82)φ105以下

標準(L=82)φ105以下

標準(L=82)φ105以下

クランプネジ部で操作不可の場合

クランプネジ部で操作不可の場合

クランプネジ部で操作不可の場合

201=L201=L201=Lクランプネジが干渉する場合 クランプネジが干渉する場合 クランプネジが干渉する場合

211=L211=L211=L221=L221=L221=L231=L231=L231=L

L=152L=42L=82

L=152L=42L=82

L=152L=42L=82

オフセット8の場合オフセット0の場合

○○

○○

乗上量0.1以下○○

小径用φ5~ 小径用φ5~○

面粗さ大の場合○

○側面干渉有の場合前面干渉有の場合

○○

乗上量0.3以下乗上量0.9以下

○○○○H I J○

特殊設計

ストレート穴用

溝穴用

○○○○○○

H I J○

特殊設計

測定径により上記フィンガ・コンタクトと組み合わせて使用(測定寸法は別資料参照)

測定位置により上記フィンガ・コンタクトと組み合わせて使用

47

Page 13: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

材質:S50C フィンガー(外径用)

A231491 (E59)

図番(型式) 商品コード

0075111

材質:S50C フィンガー(外径用)

A231492 (E60) 0075121

材質:S50C フィンガー(外径用)

A231819 (E63) 0075131

材質:S50C フィンガー(外径用)

A231820 (E64) 0075141

材質:S50C フィンガー(外径用)

A232562 (E83) 0075151

材質:S50C フィンガー(外径用)

A232561 (E84) 0075161

材質:S35C フィンガー(外径用)

A232875 (E115) 0072875

材質:S35C フィンガー(外径用)

A232876 (E116) 0072876

材質:S45C フィンガー(外径用)

A233026 (E120) 0073026

材質:S45C フィンガー(外径用)

A233027 (E121) 0073027

材質:S35C フィンガー(外径用)

A233344 (3344) 0073344

材質:S35C フィンガー(外径用)

A233345 (3345) 0073345

材質:S35C フィンガー(外径用)

A235264 (5264) 0075264

材質:S35C フィンガー(外径用)

A235263 (5263) 0075263

材質:S35C フィンガー(外径用)

A232824 (E109) 0072428

材質:S45C フィンガー(外径用)

材質:S35C フィンガー(外径用)

A237310 (7310)

A232825 (E110)

4300751

0072429

要摘 図観外

M5×0.5M5ボルト使用

(3.5)42551018

8

19

12

φ8 50.5(31.5)7

13.5

8.5

φ10

M5×0.5

8.5

13.5

7 (31.5)50.5

12

19

8

5 (3.5)

18 10

5φ842

φ10

M5×0.5

φ10

φ8

8

18

10

5 5 (3.5)82 19

12

7

13.5

8.5(71.5)

90.5

M5×0.5

φ10

φ85

10

18

5

8

19

12

7

13.5

8.5

(3.5)82

(71.5)90.5

E83刻印

M5×0.5

E83

φ10

818

φ8 5 (3.5) 82

10 5 13.5 8.5

(71.5) 19

12

90.5

7M5×0.5

φ10

18

φ8

(3.5)

10 5

825

8 13.5 8.5

127

(71.5) 90.5

19

E115刻印

M5×0.5

E115 7

8.5

(110.5) 13.5

12

17

5

102

φ10

18

5(3.5)

φ8

φ8

8 10

E116刻印

M5×0.5

E116

7

8.5

(110.5)

13.5

17

12

5

102

18

5 (3.5)

φ10

φ8

φ810

8

E120刻印 M5×0.5

E1207

8.5

110.5

13.5

518

φ10

102±0.1 (3.5) 5

φ8810

φ8

M5×0.5

102

7

8.5

110.5

13.5

5 18

φ10

(3.5) 5

φ8 8 10

φ8

3344刻印

M5×0.5

3344 7

8.5

13.5

12

17(120.5)

5φ10

18

5(3.5)

φ8

φ8

112

8 10

3345刻印

M5×0.5

33457

8.5

13.5

17

12

(120.5)

518

5 (3.5)

φ10

φ8

112

10

8 φ8

5264刻印

M5×0.5

52647

8.5

13.5

12

(130.5)

518

(3.5) 5

φ10φ8

φ8

810

122

M5×0.55263刻印

5263 7

8.5

13.5

(130.5)

12

5φ10

18

(3.5) 5

8

φ8

10

φ8122

E109刻印

M5×0.5

E109 7

8.5

13.5

(140.5)

5φ10

18

5(3.5) 132 φ8

10

φ8

8

M5×0.5E110刻印

E1107

8.5

13.5

(140.5)

518

(3.5) 5

φ10φ8

132φ8

810

7310刻印

M5×0.5

7310

152

13.5

7

(160.5)

8.55

5

18

10

8

φ8

(3.5)

φ10 φ8

■ フィンガ・コンタクト図面リスト

48

Page 14: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

図番(型式) 商品コード

材質:S45C フィンガー(外径用)

材質:SUS303 ストレートフィンガー 専用スタッド、ワッシャ、スリーブ付 属(エクステンションロッド、 スペー サ、リトラクト付Σとの組合せの場合 は、ご相談下さい)

A237311 (7311)

4270122

4270123

4300752

4270122

4270123

材質:SUS303 フィンガー(外径用)

A232927 (2927) 0072927

材質:SUS303 フィンガー(外径用)

A232928 (2928) 0072928

材質:S35C フィンガー(外径用)

A234641 (4641) 0074641

材質:S35C フィンガー(外径用)

A234642 (4642) 0074642

材質:SUS303 フィンガー(内外共用)

A234000 (4000) 0074000

材質:S50C フィンガー(外径用)

A235063 (5063) 0075063

先端SR0.7/CPX コンタクト(外径用)

A262021 (62021) 0083078

先端SR1.5/CPX コンタクト(外径用)

A000581 (581) 0069811

先端SR1.5/CPX コンタクト(外径用)

A000586 (586) 0070741

先端SR6/CPX コンタクト(外径用)

A230864 (C84) 0070711

先端SR6/CPX コンタクト(外径用)

A231984 (C34) 0069834

先端SR6/超硬 コンタクト(外径用)

A232277 (T03) 0069840

先端SR24/超硬 コンタクト(外径用)

A232278 (T05) 0069844

先端SR1.5/超硬 コンタクト(外径用) A0000180069611

要摘 図観外

8ザグリ,深4 5

13

11

7

(裏面より)

4.5キリ

4.5キリ

M4

1017

7

1.5 16

760

108

1

3,深8.7

75

3,深8.713

111

8ザグリ,深44.5キリ

8 10

607

1.5

7

17 10 (裏面より)

M44.5キリ

16

4.5キリ

59 3

10

(5)

(5) 7 7

62 4 5

14

5

9

M4

18

4

6311

711

φ82

24

(5)

(5)10

59 (4)φ4H8

4.5キリ 5

13

581

M5×0.58 25.5

29

29

25.58 M5×0.5

586

T03

M5×0.58 26

29.5

T05

29.5

268 M5×0.5

C84

M5×0.58 25.5

29

C34

25.58

36.5

M5×0.518

SR1.5φ3

10

M5×0.5

7311刻印

7311

8.5

713.5

(160.5)

152±0.15 (3.5)

φ10

51018

φ8

8φ8

4641刻印 4.5キリ

4641

C0.5

17

20

1

10 22

75

15φ10

6

60

4.5キリ 4642刻印(裏面)

4642 1

7 2

10

20

1 22

75

15

φ10

6

60

1

CPXSR0.7

62021刻印

(φ7.8)

φ4

M5×0.5

62021

23.5

゚09

2925.1 (0.4) 8(

9.2)

φ6ワッシャ

4270153

8

スタッド 4270152

スリーブ 4270154

10

φ6

(3.5) 4 42

M5×0.5

ワッシャ 4270153

φ6

810

φ6

4 82

スタッド 4270152

スリーブ 4270157

(3.5)

M5×0.5

■ フィンガ・コンタクト図面リスト

49

Page 15: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

先端φ3/超硬 コンタクト(外径用)

A235618 (5618)

図番(型式) 商品コード

0075618

先端φ3/超硬 コンタクト(外径用)

A235619 (5619) 0075619

先端SR6/超硬 コンタクト(外径用)

A286147 (86147) 0085157

先端SR6/超硬 コンタクト(外径用)

A286148 (86148) 0085158

先端SR6/超硬 コンタクト(外径用)

A235603 (5603) 0075603

先端R2/超硬 コンタクト(外径用)

A235490 (5490) 0075490

先端R2/超硬 コンタクト(外径用)

A235491 (5491) 0075491

先端SR6/超硬 コンタクト(内外共用) A2352910075291

先端R6×R24/CPX コンタクト(外径用) A2348514202877

先端R24×R6/CPX コンタクト(外径用) A2690020083016

材質:S50C アリブロック(内外共用) A2025314208104

材質:SUS303 フィンガー(内径用)

A232759 (2759) 4200351

材質:SUS303 フィンガー(内径用)

A232760 (2760) 4200352

先端SR1/CPX コンタクト(内径用) A1000170098421

先端SR1/CPX コンタクト(内径用) A1000200098621

先端SR1/CPX コンタクト(内径用) A1000130098521

要摘 図観外

15 5

659.5

7

59 0.5

10

2.5 5

5

4.5キリ

10

φ4

M4 513

13

28

φ13

5844

M4

φ 1012

12.5( 72.2 )

712

16

12°

48

970.5

14

刻印"2759"

M4,深8

φ 10

12

12.5

( 72.2 )

71216

12°

48

970.5

14

刻印"2760"

M4,深8

60°

412

129

7φ 8H9+0.036

0

10

21

5

13

25.5

3

313

35

530

79

M4

1.5

412

12

1310H7+0.018

0

23

7

φ 8H9+0.036

0

10

5

25.5

10

2913313

35

530

79

5

M4,深4

5618刻印 超硬チップ

4.5キリ

5

5

10

3

7.5

5

17.5

10

1

1.5

φ3

10

607

15

5619刻印

超硬チップ

4.5キリ

3

10

5

5

17.5 5

7.5

10 15

760

10

1.5

1

φ3

86147刻印(裏面)

4.5キリ

5

5

10

5962

7

2

(9)

13.5

4.5

10

4.5キリ 86148刻印

5

5

10

62

597

2

(16)

(9) 0.5

134.54

13.510

5490刻印 4.5キリ

超硬 R2

5490

5

5

2.510.4

510

18.3

7

12

19

(19.7) (0.7)

19

15゚

15゚ 0.7

4.5キリ

超硬 R2

5491刻印

5491

5

5

2.5

10.4

510

18.3

7

12

19

(19.7)

(0.7)

19

15゚

15゚ 0.7

CPXR6×R24

(8.1)

7

R24

138

3.5

4.5

R6

2

1.5

5

φ4

4.5キリ

CPXSR1

2(1) (1)

48

11

1514

105

R2.5

CPXSR1

4.5キリ

2(1) (1)

48

1

105

17.516.5

1.5

R2.5

CPXSR1

4.5キリ

2(1) (1)

19.51 18.5

105

84

1.2

3

R2.5

■ フィンガ・コンタクト図面リスト

50

Page 16: リアルタイムに寸法を制御して 高精度化する加工技 …...118 110 84 42 7 (53) 22 12 2‒M5,深サ 8 8 7 ニゲ解除用エア エアIN:測定 エアOUT:ニゲ

マシンコントロ

ルゲ

先端SR1/CPX コンタクト(内径用) A100014

図番(型式) 商品コード

0098721

先端SR1/CPX コンタクト(内径用) A1000150099121

先端SR1/CPX コンタクト(内径用) A1000160099021

先端SR1/CPX コンタクト(内径用) A1000210098824

先端SR1/CPX コンタクト(内径用) A1000220098822

先端R0.5×R6/超硬 コンタクト(内径用)

A234616 (4616) 0074616

先端R6×R1/超硬 コンタクト(内径用)

A235564 (5564) 0075564

先端R1×R6/超硬 コンタクト(内径用)

A286019 (86019) 0085008

材質:S50C アリブロック(内径用) A2025310065411

材質:S50C アリブロック(内径用) A2025300065410

材質:SUM24 エクステンションロッド

A000186 (X) 0065186

材質:SUM24 エクステンションロッド

A000187 (187) 0065187

材質:SUM24 エクステンションロッド

A000189 (189) 0065189

S50C スペーサー

A003829 (3829) 0065240

S50C スペーサー

A006255 (6255) 0065215

要摘 図観外

7

4

562

33

21

10

59 (3)

2 4 4.5キリ

16

5

°06

412

129

7φ 8H9+0.036

0

10

21

5

13

25.5

3

313

35

530

79

M4

1.5

412

12

1310H7+0.018

0

23

7

φ 8H9+0.036

0

10

5

25.5

10

2913313

35

530

79

5

M4,深4

φ 8

φ 10

5 5818

刻印“X”

X

2-M5,深7 (1ケは裏面より)

305 520

φ 8

φ 10

刻印“187”

187

2-M5,深7 (1ケは裏面より)

50405 5

φ 8

φ 10

刻印“189”

189

2-M5,深7 (1ケは裏面より)

CPXSR1

4.5キリ

2(1) (1) 2 1

10

16.517.5

R2.5

84

5

CPXSR1

4.5キリ

2(1) (1)

48

5 10

1.8 22.51

23.5

4

R2.5

CPXSR1 4.5キリ

2(1) (1)

25.51

6

2.2 24.5

105

48

R2.52

CPXSR1 4.5キリ

2(1) (1)

105

84

R2.5

21.520.5

4

1.7

1

CPXSR1

4.5キリ

2(1) (1)

5

22.521.521

105

84

R2.5

4.3キリ

超硬 R0.5×R6

5

5

5 22

4

11.3(4.5)

10

(1.25)

18

597

43.25

60.25

1

6.5

12.5

86019刻印

超硬 R1×R6

4.5キリ 5

1116

7

62(3)

510

59

2-8キリ 3829刻印

82515 5

10

(5)

(5)

2-8キリ 6255刻印

8525

35

510

■ フィンガ・コンタクト図面リスト

51