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レーザダイオードバーモジュールLaser Diode Bar Modules
2021.3
応用例
横方向からレーザを励起する方式です。構造上高出力のLDバーを配置できるため、高出力レーザに利用されます。
励起光
HRコーティング
LDバーモジュール 出力ミラー
レーザ光
レーザ結晶レンズ
■サイドポンプ
固体レーザ励起
レーザダイオード（LD）バーモジュールは、発光点をリニアアレイ上に配置したLDバーと冷却機構などを一体化したモジュールです。浜松ホトニクスでは高性能・高出力・高信頼性を実現したLDを積層（スタック化）することで、キロワットクラスの高出力化を可能としました。
独自の素子構造により、高い光出力と高い変換効率を同時に実現
1 レーザダイオードバーモジュール
結晶の末端からレーザを励起する方式です。励起効率が良く、高いビーム品質を求めるレーザに利用されます。
半導体のウェーハなど、加工対象を加熱するレーザ加熱装置の光源として利用されます。
結晶成長 LDバープロセス LDモジュール組立、検査
レーザ光
レーザ結晶
■エンドポンプ
出力ミラーレンズ励起光
HRコーティング
レーザ光
加工対象
光学系
アニーリング
ファイバ出力型 LDバーモジュール
ファイバ出力型LDバーモジュール
レーザ加熱装置
一貫した自社開発・製造
弊社のLDバーモジュールは、LDの結晶成長からモジュール化に至るまで、一貫して自社開発・製造を行っています。そのため、開発・製造過程において迅速なフィードバック・改善を行うことで、不具合が起きづらい高品質・高信頼性を維持した製品の供給が可能となります。これらにより、波長の調整・適切なパッケージングの選択など、ご要望に合わせたさまざまなカスタム対応が可能です。 噴流水冷方式などの弊社独自の技術を用いたご提案も行っています。
レーザダイオードバーモジュール 2
940 nm
940 nm
885 nm808 nm
885 nm808 nm
浜松ホトニクスでは、多種多様な仕様のLDバーを製造しています。LDバーを積層（スタック化）・アレイ化することで高出力を実現し、これらを基礎単
位としてモジュール化しています。ご要望に応じた適切な組み合わせをご提案します。
カスタム ……詳しくはp5カスタム例をご覧ください。
カスタム ……詳しくはお問い合わせください。
……詳しくはp4製品ラインアップをご覧ください。製品
LDバーモジュール
ファイバ出力型 LDバーモジュール
～120 W
パッシブ冷却
940 nm
940 nm
940 nm
940 nm
940 nm
940 nm
CW QCW
QCW
パッシブ冷却
パッシブ冷却
水冷
噴流水冷
噴流水冷
噴流水冷
～1200 W
1200 W～
L8413 シリーズ
L14001 シリーズ
L11408 シリーズ
L11398 シリーズ
L13713 シリーズ
カスタム
カスタム
カスタム
カスタム
カスタム
カスタム
カスタム
～40 W
～240 W
パッシブ冷却
水冷L15856 シリーズ
カスタム
カスタム
CW
CW
CW
CW
QCW
QCW
QCW
QCW
QCW
QCW
CW
QCW
CW
808 nm
885 nm
885 nm
885 nm
808 nm
808 nm
808 nm
808 nm
808 nm
808 nm
808 nm
808 nm
光出力 冷却方式 波長 動作モード ラインアップ
光出力 冷却方式 波長 動作モード ラインアップ
3 レーザダイオードバーモジュール
製品ラインアップ構成例
CWレーザダイオードバーモジュール
パルスレーザダイオードバーモジュール
ファイバ出力型レーザダイオードバーモジュール
型名
L11408-15-940
動作モード
CW
デューティ比
ー1200 W
■噴流水冷スタックモジュール
L13713-25P940 1 %8000 W
■水冷スタックモジュール
L14001-01
QCW
QCW
2.5 %650 W
L11398-16P8081 %1600 W
■パッシブ冷却スタックモジュール
L11398-16P940
型名
L8413-50-808
L8413-60-940
動作モード
CW
光出力
光出力
50 W
60 W
■CWシングルバーモジュール
型名
L15856-01
動作モード
CW
光出力
240 W
型名 動作モード デューティ比ピーク光出力
型名 動作モード デューティ比ピーク光出力
スタック
スタック
1.58 mm
2.14 mm
1.2 mm
0.4 mm
デューティ比
ーー
ー
デューティ比
ー ー
スタック
スタック
スタック
波長
940 nm ± 5 nm
940 nm ± 5 nm
808 nm ± 3 nm
808 nm ± 5 nm
940 nm ± 5 nm
波長
808 nm ± 5 nm
940 nm ± 5 nm
波長
940 nm ± 3 nm
波長
波長
動作電流
86 A
310 A
130 A
105 A
動作電流
60 A
61 A
動作電流
50 A
動作電流
動作電流
噴流水冷
水冷
パッシブ冷却
水冷
パッシブ冷却
冷却方式
冷却方式
冷却方式
冷却方式
冷却方式
FAC対応
FAC対応
FAC対応
FAC対応
FAC対応
○
×
×
L11408-15-940 L8413 シリーズ
L14001-01 L15856-01
L13713-25P940 L11398 シリーズ
レーザダイオードバーモジュール 4
製品ラインアップ
*1
○*1
*1 FAC レンズの取り付けはカスタム対応となります。
*1 FACレンズの取り付けはカスタム対応となります。
弊社独自の冷却方式である、噴流水冷方式を採用したモジュールです。噴流水冷とは、ヒートシンクを電流通路および放熱経路として用いるもので、冷
却効率が非常に高いことが特長です。安定的に高エネルギー・高出力のレーザを出力することが可能です。
④① ② ③
波長安定化・狭帯域化技術
100
80
60
40
20
0876 878 880 882 884
相対的な強度（%）
波長（nm）
波長安定化・狭帯域化（Volume Bragg Grating :
VBG)素子を実装することで、LDの波長を狭帯域
化させ、温度に対する波長変化も軽減します。励起
や分光用途における効率を向上させることが可能
です。
■発振波長例（波長：880 nm）
FAC対応
○
×
デューティ比
ー
5 %
20 %
ー
水冷方式を採用したモジュールです。パルス発振のモジュールに適しています。
水冷モジュール
④
パッケージ例FAC対応
○
デューティ比
1 %
パッケージ例
①
②③
VBG技術実装例
波長
940 nm ± 5 nm
808 nm ± 5 nm
938 nm ± 5 nm
807 nm ± 5 nm
808 nm ± 5 nm
波長
934 nm ± 5 nm
LHA3F0180-01
冷却方式
冷却方式
噴流水冷
水冷
動作モード
CW
QCW
CW
動作モード
QCW
光出力
1500 W
15000 W
160 W
2400 W
光出力
3000 W
6500 W
タイプ
スタックタイプ
アレイタイプ
タイプ
スタックタイプ
スタック
30
4
スタック
10
ご要望に合わせたさまざまなカスタム対応が可能です。詳しくはお問い合わせください。
噴流水冷モジュール
5 レーザダイオードバーモジュール
カスタム例
MEMO
レーザダイオードバーモジュール 6
Cat. No. LLDM3002J03MAR. 2021 IP
www.hamamatsu.com
□レーザ事業推進部 営業推進グループ 〒431-2103 浜松市北区新都田1-8-3 TEL (053)484-1301 FAX (053)484-1302
□仙台営業所 〒980-0021 仙台市青葉区中央3-2-1（青葉通プラザ11階）□筑波営業所 〒305-0817 つくば市研究学園5-12-10（研究学園スクウェアビル7階）□東京営業所 〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階）□中部営業所 〒430-8587 浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル）□大阪営業所 〒541-0052 大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階）□西日本営業所 〒812-0013 福岡市博多区博多駅東1-13-6（いちご博多イーストビル5階）
TEL (022)267-0121 FAX (022)267-0135TEL (029)848-5080 FAX (029)855-1135TEL (03)3436-0491 FAX (03)3433-6997TEL (053)459-1112 FAX (053)459-1114TEL (06)6271-0441 FAX (06)6271-0450TEL (092)482-0390 FAX (092)482-0550
●本資料の記載内容は2021年3月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。
レーザ製品をご使用になる前に必ずお読みください。
警告
● レーザ光被ばくに関する注意事項 レーザ製品のご使用にあたっては、JIS C 6802（IEC 60825-1）によるレーザ製品のクラス分けをし、該当するレーザクラスに関する安全対策を行ってください。また、最新の各国の法令・規格に従ってください。
● 有害物質について 製品によっては、人体に有害な物質を含むものもあります。通常のご使用上は問題ありませんが、廃棄する場合は、必ず当該自治体の規制に従って処分してください。
● 安全対策について 製品ご使用の際は、通常発生し得るリスクを十分に考慮した適切な安全設計などの対策を施してください。(各国の法令、規制、該当製品の使用上の注意に従って、安全なレーザ装置構成をご検討ください。)
説明ラベル警告ラベル
クラス4 レーザ製品
ラベル例
危険－不可視レーザ放射DANGER - INVISIBLE AND VISIBLE LASER RADIATION
ビームや散乱光の目又は皮膚への被ばくを避けること
AVOID EYE OR SKIN EXPOSURE TODIRECT OR SCATTERED RADIATION
パルス幅PULSE DURATION
波長WAVELENGTH
繰り返し周波数REPETITION FREQUENCY
最大出力MAXIMUM OUTPUT
クラス4 CLASS4
IEC 60825-1:2014IEC 60825-1:2014
レーザ製品LASER PRODUCT
● 安全および取り扱いに関する事項・ 製品のご使用にあたっては、弊社から提供される各製品の情報を ご確認いただき、注意事項に従って、ご使用ください。・ 本資料に記載の製品につきましては、製品の完全性を保証するものではありません。特に人命、身体または財産を侵害する恐れのある機器へご使用される場合には、通常発生し得る不具合を十分に考慮した適切な安全設計などの対策をしてください。
● 製品に関する注意事項とお願いhttps://www.hamamatsu.com/jp/ja/support/disclaimer/index.html
レーザ製品を安全にかつ効果的にご利用いただくため、製品に関する事項は、最後まで必ずお読みください。また、必ず製品に添付されている取扱説明書や注意文章を最後までお読みいただき、関係法令などの遵守もお願いします。
営業品目
■ 単素子レーザダイオード■ レーザダイオードバーモジュール■ 量子カスケードレーザ■ 直接集光型レーザダイオード■ 半導体レーザ応用製品■ 固体レーザ/ファイバレーザ■ レーザ関連製品
