1
結果と考察 speed 樗木 悠亮 1 、庄司 靖 2 、宮下直也 1 、岡田 至崇 1 1 東京大学 2 産業技術総合研究所 太陽光発電研究センター 先進多接合デバイスチーム 実験 研究の目的 結論 参考文献 type-II 中間バンド型太陽電池に向けた GaAsSb/GaAs量子ドットの組成変調 CB IB VB CBO GaAs x Sb 1-x /GaAs量子ドット (QD) 長キャリア寿命type-II型バンド構造 [2] バンド構造をAs組成xで制御 [3] 中間バンド (IB) 位置 伝導帯 (CB) オフセット 中間バンド型量子ドット太陽電池 理論変換効率 63% (最大集光時) [1] 二段階光吸収によりバンドギャップ以下でも光励起 中間バンドを介した再結合 謝辞 1. GaAsSbの組成変調 QDの組成測定は困難 GaAsSb薄膜を高分解XRDで測定 As fluxを変えてMBEで成膜 2. GaAsSb/GaAs QD QDのバンド構造をnextnanoで計算 [4] 薄膜と同じAsフラックスでQDを成長 QDのキャリア寿命をTRPLで測定 1. GaAsSbの組成変調 As組成を6~58%の範囲で制御 As flux0 PaAs組成が0.06 チャンバー内の残留Asが混入 or GaAs buffer層のAsGaSbSbが置換 2. GaAsSb/GaAs QDの成長 As組成増大 (Sb組成減少) によりバンド構造は type-IIからtype-Iへ移行 As組成増大により格子不整合が低減 QD密度が減少 As組成58%ではQDが形成されず 低温時間分解PL 低温PLの励起強度依存性 本研究はNEDO高性能・高信頼性太陽光発電の発電コスト低減技術開発(超高効率・ 低コストIII-V化合物太陽電池モジュールの研究開発)の委託の下で行われた。 As組成658%GaAsSb薄膜が得られ、量子ドットがAs組成38%まで形成された。 ■シミュレーションにより、GaAsSb/GaAs 量子ドットのバンド構造はAs組成が38%程度 より増大するとtype-IIからtype-Iへ移行することが示された。 ■キャリア寿命の長さはQDPL発光ピークのブルーシフトの傾きに相関が見られた。 As組成38%QDはキャリア寿命が短く (2.34 ns) 、電子と正孔の空間的分離が弱い 可能性を示唆。 QD 成長条件 ・成長温度:465・堆積量:2.3~6.0 ML ・成長速度:0.10 ML/s ・成長中断:1 min Sb flux8×10 -6 Pa As flux0, 1×10 -4 , 6×10 -4 , 1×10 -3 Pa GaAsSb薄膜 成長条件 ・成長温度:465・堆積量:200 nm ・成長速度:0.10 ML/Sb flux: 8×10 -6 Pa As flux0, 1×10 -4 , 6×10 -4 , 1.2×10 -3 Pa ・励起波長 405 nm @5 K ・キャリア寿命の傾向は励起依存の傾き の値に比例 As組成38%GaAsSb/GaAs QD電子と正孔の空間的分離が弱い 10 -5 0 20 40 60 80 100 As composition (%) As flux (Pa) 0 10 -4 10 -3 0.0 0.4 0.8 1.2 1.6 Energy (eV) 0.0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 Sb composition Type-I Type-II Ee (GaAsSb) CB (GaAs) VB (GaAs) Eh (GaAsSb) 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 0.9 1.0 1.1 1.2 Energy (eV) Charge density 1/3 ×10 5 (cm -1 ) As 6% As 16% As 38% Calc. 1 2 3 4 5 0.9 1.0 1.1 1.2 Energy (eV) Excitation power 1/3 (mW 1/3 ) As 6% As 16% As 38% Ref: InAs/GaAs Meas. 励起強度増大に伴い、 QDPL発光ピークが ブルーシフト type-II型バンド構造 ܧ ߙ ߛ ܮ௦ௌ ܮ/ ܫ/ߙ: 吸収係数 ߛ: 輻射再結合係数 ܮ௦ௌ : GaAsSb高さ ܮ: GaAs膜厚 ブルーシフトは励起強度 1/3乗に比例 [5] InAs/GaAs As 38% As 16% As 6% slope Lifetime, 0.0064 0.0076 0.0034 <0.0001 5.31 ns 5.63 ns 2.34 ns 1.32 ns QD Lifetime, 22.5 ns 23.2 ns 15.1 ns 13.5 ns Type-I型バンド構造 短キャリア寿命 (1.32 ns) Type-II型バンド構造 小さいCBオフセット キャリア寿命減 (2.34 ns) Type-II型バンド構造 CBオフセット減少 長キャリ寿命 (5.63 ns) Type-II型バンド構造 長キャリア寿命 (5.31 ns) As 6% As 16% As 38% Ref: InAs/GaAs (type-I) GaAsxSb1-x/GaAs (type-II) [1] A. Luque and A. Marti, Phys. Rev. Lett. 78, 5014 (1997). [2] C.-C. Tseng et al., IEEE J. Quantum Electron. 47, 335 (2011). [3] M. Kunrugsa, J. Phys. D: Appl. Phys. 51, 225101 (2018). [4] https://www.nextnano.de/nextnanoplus [5] N. N. Ledentsov et al., Phys. Rev. B 52, 14058 (1995). 0 Pa 1×10 -4 Pa As flux 6×10 -4 Pa RSM GaAs(224) 1×10 -3 Pa AFM 1×1 μm 2 バンド構造 組成 QD密度 No QDs 3.13×10 10 cm -2 2.97×10 10 cm -2 1.08×10 10 cm -2 GaAs 60 66 68 70 72 Qy ×1000000 (rlu) -50 -48 -44 Qx×1000000 (rlu) -46 -52 GaAs 60 66 68 70 72 Qy ×1000000 (rlu) -50 -48 -44 Qx×1000000 (rlu) -46 -52 GaAs 60 66 68 70 72 Qy ×1000000 (rlu) -50 -48 -44 Qx×1000000 (rlu) -46 -52 GaAs 60 66 68 70 72 Qy ×1000000 (rlu) -50 -48 -44 Qx×1000000 (rlu) -46 -52 Detection wavelength 1230 nm Detection wavelength 1200 nm Detection wavelength 1180 nm Time (ns) 0 20 40 60 80 100 Detection wavelength 1010 nm Count Count Count Count 10 100 10 100 10 100 100 1000 1000 10 1 1 1 1 This work Max ߟ= 60 % CB-VB = 1.42 eV CB-IB = 0.75 ~ 1.42 eV ߟ63% 1.6 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 1.6 CB-IB energy gap (eV) CB-VB energy gap (eV) 1.2 2.0 2.4 2.8 Efficiency (%) 20 30 40 50 60 70 10 サンプルの構造 SI-GaAs(001) substrate GaAs buffer 200 nm GaAsSb 200 nm サンプルの構 i-GaAs buffer 200 nm SI-GaAs(001) substrate i-GaAs 150 nma GaAsSb QD 濡れ層 (WL) 100 70 40 20 10 7 4 2 1 0.7 0.4 0.2 0.1 800 1000 1200 1400 1600 PL Intensity (arb. units) Wavelength (nm) 20K WL QD PL Intensity (arb. units) 800 1000 1200 1400 1600 Wavelength (nm) 20K WL QD 1100 1200 1300 PL Intensity (arb. units) Wavelength (nm) 20K WL QD PL Intensity (arb. units) 800 900 1000 1100 1200 Wavelength (nm) 20K GaAs QD

GaAsSb/GaAs量子ドットの組成変調...5.63 ns 2.34 ns 1.32 ns QD Lifetime, ì 6 22.5 ns 23.2 ns 15.1 ns 13.5 ns •Type-I型バンド構造 →短キャリア寿命(1.32 ns)

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Page 1: GaAsSb/GaAs量子ドットの組成変調...5.63 ns 2.34 ns 1.32 ns QD Lifetime, ì 6 22.5 ns 23.2 ns 15.1 ns 13.5 ns •Type-I型バンド構造 →短キャリア寿命(1.32 ns)

結果と考察

speed

樗木悠亮1、庄司靖2、宮下直也1、岡田至崇1

1東京大学2産業技術総合研究所太陽光発電研究センター先進多接合デバイスチーム

実験研究の目的

結論 参考文献

type-II 中間バンド型太陽電池に向けたGaAsSb/GaAs量子ドットの組成変調

CB

IBVB

CBO

GaAsxSb1-x/GaAs量子ドット (QD)

• 長キャリア寿命のtype-II型バンド構造 [2]

• バンド構造をAs組成xで制御 [3]

中間バンド (IB) 位置

伝導帯 (CB) オフセット

中間バンド型量子ドット太陽電池

理論変換効率 63% (最大集光時) [1]

二段階光吸収によりバンドギャップ以下でも光励起

中間バンドを介した再結合

謝辞

1. GaAsSbの組成変調

• QDの組成測定は困難

→ GaAsSb薄膜を高分解XRDで測定

• As fluxを変えてMBEで成膜

2. GaAsSb/GaAs QD

• QDのバンド構造をnextnanoで計算 [4]

• 薄膜と同じAsフラックスでQDを成長

→ QDのキャリア寿命をTRPLで測定

1. GaAsSbの組成変調

As組成を6~58%の範囲で制御

• As fluxが0 PaでAs組成が0.06

→ チャンバー内の残留Asが混入

or GaAs buffer層のAsとGaSbのSbが置換

2. GaAsSb/GaAs QDの成長

• As組成増大 (Sb組成減少) によりバンド構造は

type-IIからtype-Iへ移行

• As組成増大により格子不整合が低減

→ QD密度が減少

• As組成58%ではQDが形成されず

低温時間分解PL低温PLの励起強度依存性

本研究はNEDO高性能・高信頼性太陽光発電の発電コスト低減技術開発(超高効率・低コストIII-V化合物太陽電池モジュールの研究開発)の委託の下で行われた。

■As組成6~58%のGaAsSb薄膜が得られ、量子ドットがAs組成38%まで形成された。

■シミュレーションにより、GaAsSb/GaAs 量子ドットのバンド構造はAs組成が38%程度

より増大するとtype-IIからtype-Iへ移行することが示された。

■キャリア寿命の長さはQDのPL発光ピークのブルーシフトの傾きに相関が見られた。

■As組成38%のQDはキャリア寿命が短く (2.34 ns) 、電子と正孔の空間的分離が弱い

可能性を示唆。

QD 成長条件

・成長温度:465℃・堆積量:2.3~6.0 ML・成長速度:0.10 ML/s・成長中断:1 min・Sb flux:8×10-6 Pa・As flux:0, 1×10-4 , 6×10-4 , 1×10-3 Pa

GaAsSb薄膜成長条件

・成長温度:465℃・堆積量:200 nm・成長速度:0.10 ML/s・Sb flux: 8×10-6 Pa・As flux:0, 1×10-4 , 6×10-4 , 1.2×10-3 Pa

・励起波長 405 nm @5 K

・キャリア寿命の傾向は励起依存の傾き

の値に比例

→ As組成38%のGaAsSb/GaAs QDは

電子と正孔の空間的分離が弱い

10-50

20

40

60

80

100

As c

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)

As flux (Pa)0 10-4 10-3

0.0

0.4

0.8

1.2

1.6

Ener

gy (e

V)

0.0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0Sb composition

Type-I Type-IIEe (GaAsSb)

CB (GaAs)

VB (GaAs)

Eh (GaAsSb)

2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0

0.9

1.0

1.1

1.2

Ener

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V)

Charge density1/3×105 (cm-1)

As 6%

As 16%

As 38%

Calc.

1 2 3 4 50.9

1.0

1.1

1.2

Ener

gy (e

V)

Excitation power1/3 (mW1/3)

As 6%

As 16%

As 38%

Ref: InAs/GaAs

Meas.

励起強度増大に伴い、

QDのPL発光ピークが

ブルーシフト

→ type-II型バンド構造

∝/

/

: 吸収係数: 輻射再結合係数

: GaAsSb高さ: GaAs膜厚

• ブルーシフトは励起強度

の1/3乗に比例 [5]InAs/GaAs

As 38%

As 16%

As 6%

slope Lifetime,

0.0064

0.0076

0.0034

<0.0001

5.31 ns

5.63 ns

2.34 ns

1.32 ns

QD Lifetime,

22.5 ns

23.2 ns

15.1 ns

13.5 ns

•Type-I型バンド構造→短キャリア寿命 (1.32 ns)

•Type-II型バンド構造•小さいCBオフセット→キャリア寿命減 (2.34 ns)

•Type-II型バンド構造•CBオフセット減少→長キャリ寿命 (5.63 ns)

•Type-II型バンド構造→長キャリア寿命 (5.31 ns)

As 6%

As 16%

As 38%

Ref: InAs/GaAs (type-I)

GaAsxSb1-x/GaAs (type-II)

[1] A. Luque and A. Marti, Phys. Rev. Lett. 78, 5014 (1997).[2] C.-C. Tseng et al., IEEE J. Quantum Electron. 47, 335 (2011).[3] M. Kunrugsa, J. Phys. D: Appl. Phys. 51, 225101 (2018).[4] https://www.nextnano.de/nextnanoplus[5] N. N. Ledentsov et al., Phys. Rev. B 52, 14058 (1995).

0 Pa 1×10-4 PaAs flux 6×10-4 Pa

RSMGaAs(224)

1×10-3 Pa

AFM1×1 μm2

バンド構造

組成

QD密度 No QDs3.13×1010 cm-2 2.97×1010 cm-2 1.08×1010 cm-2

GaAs

60

66

68

70

72

Qy×1

0000

00(rl

u)

-50 -48 -44Qx×1000000 (rlu)

-46-52

GaAs

60

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0000

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GaAs

60

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Qy×1

0000

00(rl

u)-50 -48 -44

Qx×1000000 (rlu)-46-52

GaAs

60

66

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Qy×1

0000

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-50 -48 -44Qx×1000000 (rlu)

-46-52

Detection wavelength1230 nm

Detection wavelength1200 nm

Detection wavelength1180 nm

Time (ns)0 20 40 60 80 100

Detection wavelength1010 nm

Cou

ntC

ount

Cou

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10

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100

10

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10

1

1

1

1

This workMax = 60 %CB-VB = 1.42 eV CB-IB = 0.75 ~ 1.42 eV

63%

1.60.6

0.8

1.0

1.2

1.4

1.6

CB-

IB e

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V)

CB-VB energy gap (eV)1.2 2.0 2.4 2.8

Effic

ienc

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20

30

40

50

60

70

10

サンプルの構造

SI-GaAs(001) substrate

GaAs buffer 200 nm

GaAsSb 200 nm

サンプルの構造

i-GaAs buffer 200 nm

SI-GaAs(001) substrate

i-GaAs 150 nmaGaAsSb

QD

濡れ層(WL)

1007040201074210.70.40.20.1

800 1000 1200 1400 1600

PL In

tens

ity(a

rb. u

nits

)

Wavelength (nm)

20KWL QD

PL In

tens

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(arb

. uni

ts)

800 1000 1200 1400 1600Wavelength (nm)

20KWL QD

1100 1200 1300

PL In

tens

ity(a

rb. u

nits

)

Wavelength (nm)

20KWL QD

PL In

tens

ity

(arb

. uni

ts)

800 900 1000 1100 1200Wavelength (nm)

20K

GaAs

QD