電子デバイスWETプロセス計測機器

11

FEOLからBEOLまで、WETプロセスにおける薬液濃度計測をサポート

薬液濃度モニタ

ウエハ

フィルタF

DIW

Chemical A

Chemical B

DrainReturn

ポンプ

薬液槽

薬液濃度モニタ

フィルタF ヒーターH

P

Chemical B

Chemical A

ポンプ

フィルタ F

薬液濃度モニタ

P

ウエハ

ヒーターH

バッチ式洗浄装置

ワンバス式洗浄装置

枚葉式洗浄装置

エッチングプロセス

ポリマー除去／レジスト剥離プロセス

平坦化（CMP）プロセス

Cuメッキプロセス

電極形成

ウエハの研磨

Front-endof Line

Back-end of Line

SemiconductorProcesses

現像工程

洗浄/エッチング

ウエハ表面を酸化

フォトレジスト塗布

ウエハ表面にパターン形成

TMAH

Citric Acid

H3PO4

H2O2

H2O2

HF

HF

HF

NH3

O3

pH

pH

DO

DO

HF

HCL

Resist

KOH

TMAH

KOH

一般的RCA洗浄フルプロセス

薬液濃度モニタ設置例

酸化・拡散・CVD・イオン注入

2

製品／レンジラインアップ

Chemical Model Measurement range Sensor model Page

HF

HF-960M0～ 1000ppm

FS-10F-XX

P.3

0～ 5000ppm

HF-960M-400 0～ 20000ppm

HF-960H 0～ 10% FES-510-XX

HF-960EM 0～ 50％ CM-520-XX

HCl

HF-960M0～ 1000ppm

FS-10F-XX

P.30～ 5000ppm

HF-960H 0～ 10% FES-510-XX

HF-960EM 0～ 10％ CM-520-XX

NH₃ HF-960M0～ 2000ppm

FS-10F-XX P.30～ 10000ppm

HF in H₂SO₄/H₂O₂ HF-700 0～ 1000mg/L － P.4

DO in HF HD-960L 0～ 20mg/L DO-100 P.4

H₃PO₄ HE-960H-PA 65～ 90% FES-510-XX P.5

Citric acid HE-960CA 0～ 2% FS-07F-XX P.5

KOH HE-960H-KOH 0～ 10% FES-510-XX P.5

TMAHHE-960H-TM-S 0～ 3%

FES-510-XX P.5HE-960H-TM 0～ 10%

Dissolved O₃ HZ-960

0～ 10mg/L ZH-10-XX

P.60～ 40mg/L ZH-40-XX

0～ 100mg/L ZH-100-XX

0～ 500mg/L ZH-500-XX

H₂O₂ HZ-960HPO-M

0～ 1000ppm ZH-10HPO-XX

P.60～ 4000ppm ZH-40HPO-XX

0～ 1% ZH-100HPO-XX

0～ 5% ZH-500HPO-XX

Conductivity

HE-960HC 0～ 1000mS/cm FES-510-XX

P.7P.9

HE-960LC 0～ 10000μS/cm FS-07F-XX

HE-480C-GC0～ 2000/9999μS/cm ESH-1L-GC9

0～ 200μS/cm ESH-01L-GC5

ResistivityHE-480R（W）HE-960R-GC（W）

0～2/20/100MΩ・cmERF-001-L-XERF-01-L-GC2ERF-01-L-GC5

P.7P.8

pH HP-480（W） 0～14pH #6108 P.10

3

HF濃度モニタHF-960M, HF-960M-400, HF-960H, HF-960EM/CM-520

11596

96

130

92+0

.8 0

92 +0.8 0

（最小）

118（最小）

パネルカット寸法（375）

150 15075 69.533.514

2244

20 35

13

2-M6（深さ6）センサ取付用

（375）（142.5） （142.5）90

50（20）

10

（Φ7）70

13.52-7Φ穴

10m+5% 0

6342

（51.5）

70（76.5）

（65）サンプル水出口

サンプル水入口

（Φ50）

（150）

（Φ27）

（Φ7）

（150）

Φ48

57

42

517

変換器へ接続

ケーブル:CK-XXPS

（128.5）11610186

4-Φ4.2 7.5

94261

ケーブル長：約2500

11596

96

130

92+0

.8 0

92 +0.8 0

（最小）

118（最小）

パネルカット寸法（375）

150 15075 69.533.514

22444

20 35

13

2-M6（深さ6）センサ取付用

（375）（142.5） （142.5）90

50（20）

10

（Φ7）770

13.52-7Φ穴

10m+5%

m 0m

6342

（51.5）

70（76.5）

（65）サンプル水出口

サンプル水入口

（Φ50）

（150）

（Φ27）

（Φ7）

（150）

Φ48

57

42

517

変換器へ接続

ケーブル:CK-XXPS

（128.5）（12888 5）11611610186

4-Φ4.2 7.5

9422261

ケーブル長：約2500

耐薬性センサを採用したHF濃度モニタ。測定レンジ範囲も幅広くラインナップしています。

HF-960M

型式 HF-960M HF-960M-400 HF-960H HF-960EM

測定範囲

HF 0-5000ppm 0-20000ppm 0-10% 0-50％

HCl 0-5000ppm 0-5000ppm 0-10% 0-10％

NH3 0-10000ppm 0-10000ppm - -

導電率 0-50.00mS/cm 0-50.00mS/cm 0-1000mS/cm 0-2000mS/cm

繰り返し性 ±0.5％FS（等価入力にて）

直線性 ±0.5％FS（等価入力にて）

伝送出力 3点 4点

接点出力 7点 5点

通信出力 RS-485

電源仕様 DC 24V ±10％ 10W DC 24V ±10％ 15W

組合センサ FS-10F Series FES-510 Series CM-520 Series

センサ接液部材質 GC（極）、カルレッツR（Oリング）、PFA（ボディ） PFA

外形寸法図

仕様

FS-10F Series

FES-510 Series CM-520 Series

■指示変換器 ■センサ

■センサ ■センサ

HF

HF-960 Series

CM-520 Series

FS-10F Series

FES-510 Series

単位：mm

4

（285）

（635）

（387）（485）

（490）

500以上

（メンテナンススペース）

（5） （409） 350

（130）（279）

（285）

（310）

HF中DOモニタ/純水中DOモニタHD-960L

SPM中微量HF濃度モニタHF-700

11596

96 130

92+0

.8 0

92 +0.8 0

（最小）

118（最小）

パネルカット寸法

（375）（145） （145）

（23）

（26）（45）

ルサンプル水出口

48 63

87メンテナンススペース：100mm以上

メンテナンススペース：100mm以上

Tube 1/4inch（Φ6.35×Φ3.95）

11596

96 130

992+0

.8 0

92 +0.8 0

（最小）

118（最小）

パネルカット寸法

（375）（145） （145）

（23）

（26）（45）

ルサンプル水出口

48 63

87メンテナンススペース：100mm以上

メンテナンススペース：100mm以上

Tube 1/4inch（Φ6.35×Φ3.95）

高精度に連続測定が可能。用途に応じた選べる測定モードも搭載しています。リアルタイム測定、間欠測定、試薬節約測定などに最適です。

HF中の超低濃度溶存酸素濃度が測定可能。少量サンプルも測定できます。

HFアプリケーション

薬液種 HF中DO

型式 HD-960L

測定範囲 0-20.00mg/L（HF濃度5000ppm以下）

繰り返し性 ±1％FS

直線性 ±1％FS

伝送出力 4点

接点出力 5点

通信出力 RS-485

電源仕様 DC 24V ±10％ 15W

組合センサ ＃5600

センサ接液部材質 PP(ボディ）、膜（FEP)、セル（PFA)、FKM（Oリング）

外形寸法図

外形寸法図

HF

■指示変換器

■センサユニット

HD-960L

薬液種 SPM中HF

型式 HF-700

測定範囲 0-1000mg/L

繰り返し性 ±2％FS(HORIBA標準液にて）

安定性 ±2％FS（HORIBA標準液にて）

伝送出力 3点

接点出力 18点

通信出力 RS-232C

電源仕様 AC 100V-240V 50/60HZ, 80VA

仕様

仕様

HD-960L

DO-100

単位：mm

単位：mm

HF-700

DO-100

5

11596

96

130

92+0

.8 0

92 +0.8 0

（最小）

118（最小）

パネルカット寸法

リン酸、クエン酸、KOH、TMAH濃度モニタHE-960H-PA, HE-960CA, HE-960H-KOH, HE-960H-TM-S

（142.5） （142.5）

（375）

90

2-Φ7穴

10

（20）

50

70

（Φ7）

10m+5%

0

63

（51.5）

（76.5）

70

13.5

42

（142.5） （142.5）

（375）

90

2-Φ7

定格ラベル

定格ラベル

10（20）

（50）

50

70（150）

（Φ6.5）

10m+5%

0

63

（54.5）

（76.5）

70

13.5

42

11596

96

130

92+0

.8 0

92 +0.8 0

（最小）

118（最小）

パネルカット寸法

（142.5） （142.5）

（375）

90

2-Φ7穴

10

（20）

50

70

（Φ7）

10m+5%

0m

63

（51.5）

（76.5）

70

13.5

42

（142.5） （142.5）

（375）

90

2-Φ7

定格ラベル

定格ラベル

10（20）

（50）

50

70（150）

（Φ6.5）

10m+5% 0m

63

（54.5）

（76.5）

70

13.5

42

サンプルに応じて濃度換算が可能な薬液濃度モニタ。耐薬センサを採用しています。低濃度領域から高濃度領域までワイドな測定が可能です。

薬液種 リン酸 クエン酸 KOH TMAH

型式 HE-960H-PA HE-960CA HE-960H-KOH HE-960H-TM-S

測定範囲濃度 65-90% 0-2% 0-10% 0-3％

導電率 0-1000mS/cm 0-10mS/cm 0-1000mS/cm 0-1000mS/cm

繰り返し性 ±0.5％FS（等価入力にて）

直線性 ±0.5％FS（等価入力にて）

伝送出力 4点 3点 4点 4点

接点出力 5点 5点 5点 5点

通信出力 RS-485

電源仕様 DC 24V ±10％ 10W

組合センサ FES-510 Series FS-07 Series FES-510 Series

センサ接液部材質 GC（極）、カルレッツR（Oリング）、PFA（ボディ）

外形寸法図

■指示変換器

■センサ

TMAHKOHCitric acidH₃PO₄

HE-960H-PA

HE-960 Series

■センサFS-07F Series

FES-510 Series

HCI濃度［%］

導電率［mS/cm］

1000

900

800

700

600

500

400

300

200

100

00 5 10 15 20 25 30 35 40

HCI 濃度 vs 導電率 @25℃

仕様

※FES-510SS-1/4については別途お問合せください。

■導伝率と温度の相関図

■耐薬性一覧表

薬液サンプル条件 材質

濃度 (wt%)

温度(deg. C) SUS316 Monel Hastelloy Titan Glass

carbon

フッ酸 20 30 C C C C A

硝酸 20 30 A C A A A

硫酸 20 30 B C A C A

単位：mm

6

11596

96

130

92+0

.8 0

92 +0.8 0

（最小）

118（最小）

パネルカット寸法

140

130

（130）

34.5

80

66

159

72

154

4－φ5Tube φ6チューブ φ6

エアーパージ入口

センサケーブル用コネクタ

PFA3/4

溶存オゾン／過酸化水素濃度モニタHZ-960/HZ-960HPO-M

11596

96

130

92+0

.8 0

92 +0.8 0

（最小）

118（最小）

パネルカット寸法

140

130

（130）

34.5

80

66

159

72

154

4－φ5Tube φ6チューブφ6

エアーパージ入口

センサケーブル用コネクタ

PFA3/4

外部入力によるリモート校正が可能。溶存オゾン/過酸化水素濃度を高精度に連続測定できます。

薬液濃度モニタ CS-100シリーズ

半導体製造における洗浄工程およびエッチング工程で使用される各種溶液の高精度な薬液濃度モニタです。

Lambert-Beerの法則 A（λ）＝Log［Io（λ）/I（λ）］＝α（λ）・L・c…（1）

ハロゲンランプ Io：入射光 I：透過光

L：cell長

薬液

Cell

I0（λ）は入射光量、I（λ）は薬液通過後の光量、α（λ）は比例係数、Lは測定セルの厚さ、ｃは薬液の濃度。

光を、水や薬液に照射すると、物質の種類や構造に依存した固有の波長で吸収が起ります。その度合いを吸光度（Absorbance）といいますが、波長λの吸光度A（λ）は、ランベルトベールの法則（Lambert Beer's Law）に基づき、（1）式で表すことができます。吸光度A（λ）と濃度ｃの比例関係を利用して定量分析が可能となり、濃度が求められます。複数成分の混合溶液は各成分の光吸収が重なっている為に、吸光度データを用いて成分を分離する必要が出てきます。ＣＳシリーズではケモメトリクス（Chemometrics）分野における多変量解析手法を用いて最大４成分までの薬液分離を行っています。

SC-1 SC-2

SPM BHF FPM

HF / HNO3 HF / EG

HNO3 / CH3COOH / H3PO4

TMAH / H2O2

H2SO4 / HF

※その他の薬液種につきましては、別途お問合せください。

●測定原理

●対応薬液種例

検出器

薬液種 溶存オゾン 過酸化水素

型式 HZ-960 HZ-960HPO-M

組合検出器 ZH-10 ZH-40 ZH-100 ZH-500 ZH-10HPO ZH-40HPO ZH-100HPO ZH-500HPO

測定範囲 0-10.00mg/L 0-40.00mg/L 0-100mg/L 0-500mg/L 0-1000ppm 0-4000ppm 0-1% 0-5％

温度範囲 5-30℃ 5-80℃ 5-30℃ 5-80℃

検出器接液部材質 PFA、PTFE、石英ガラス

圧力条件 0.5MPa以内

繰り返し性 ±0.2％FS（等価入力にて）

直線性 ±1.0％FS（等価入力にて）

伝送出力 2点

接点出力 5点

通信出力 RS-485

電源仕様 DC 24V ±10％ 15W

外形寸法図

関連製品

■指示変換器 ■検出器

H₂O₂Dissolved O₃

HZ-960/HZ-960HPO-M

ZH-100

HZ-960/HZ-960HPO-M

溶存オゾン濃度モニタ ZH-10, ZH-40, ZH-100, ZH-500

過酸化水素濃度モニタ ZH-10HPO, ZH-40HPO, ZH-100HPO, ZH-500HPO

仕様

単位：mm

77

1000μS/cm

10mS/cm

100mS/cm

1000mS/cm

1μS/cm

0.1μS/cm

0.01μS/cm（1μS/m）

（10μS/m）

（100μS/m）

（1000μS/m）

（10mS/m）

（100mS/m）

（1000mS/m）

（10S/m）

（100S/m）

10μS/cm

100μS/cm

μ

18.240.0548

抵抗率 サンプル例電気伝導率 測定原理

抵抗率

電気伝導率2極法

電気伝導率4極法

ボイラ水

ビール・ジュース

スポーツドリンク

ミネラルウォーター

CIP薬液

海水

無機酸・

強電解質溶液

食塩水

水道水

雨水

純水

滅菌精製水・

精製水

蒸留水

超純水

注射用水

100MΩ・cm

10MΩ・cm

1MΩ・cm

比抵抗計／導電率計製品ラインアップ堀場アドバンスドテクノの工業用比抵抗計・導電率計は、独創的なセンシング技術と各フィールドで培われた経験を結集した高精度・高安定性をお約束できる信頼性の高い製品です。各用途に合わせた豊富なラインナップでユーザーニーズにお応えします。

理

耐薬性モデル 標準モデル

流通形カーボンセンサ

HE-960HC

FES-510 Series

測定範囲：0～1000mS/cm

■カーボンセンサ導電率計（ワイドレンジタイプ）

カーボンセンサ

HE-960RW-GC（W）

ERF-01-L-GC2ERF-01-L-GC5

HE-960R-GC（W）

測定範囲：0～100.0MΩ・cm

■カーボンセンサ比抵抗計

比抵抗センサ

HE-960RW HE-480R（W）

ERF-001 Series

測定範囲：0～100.0MΩ・cm

■ 2チャンネル比抵抗計 ■比抵抗計

HE-480C-GC HE-960LC■カーボンセンサ導電率計（低濃度タイプ）

導電率センサ

HE-480H（W）

FES-126F

測定範囲：0～500mS/cm

■導電率計

導電率センサ

HE-480C（W）

ESH-1 SeriesESH-01 SeriesESH-001 Series

測定範囲：0～2000μS/cm

■導電率計

カーボンセンサESH-01-L-GC5

測定範囲：0～9999μS/cm

測定範囲：0～10000μS/cm

測定範囲：0～200μS/cm

カーボンセンサ

流通形カーボンセンサ

ESH-1-L-GC9

FS-07F Series

8

92+0.8

0

92+0.8 0

118(最小)

130

(最小)

115

96

96

パネルカット寸法

96

11548 パネルカット寸法

130

70

92+0.80

45 +0.60

(最小)

(最小)

35.5

20

115.5

（φ13.8）

φ26

（φ6.5）

25最低液面レベル

R 3/4

リードタイプ コネクタタイプ

35.5

20

115.5

（φ13.8）

25最低液面レベル

R 3/4

50（7）

防水コネクタ

φ2610m +5%

0

対辺29φ32

対辺29φ32

比抵抗計HE-480R(W), HE-960RW, HE-960R-GC(W), HE-960RW-GC(W)

92+0.80

92+0.8 0

118(最小)

130

(最小)

115

96

パネルカット寸法

96

11548 パネルカット寸法

130

70

92+0.80

45 +0.60

(最小)

(最小)

35.5

20

115.5

（φ13.8）

φ26

（φ6.5）

25最低液面レベル

R 3/4

リードタイプ コネクタタイプ

35.5

20

115.5

（φ13.8）

25最低液面レベル

R 3/4

50（7）

防水コネクタ

φ2610m +5%

0

対辺29φ32

対辺29φ32

豊富なラインアップよりセンサ材質の選定が可能。2チャンネル同時測定/出力も可能です。

型式 HE-480R(W) HE-960RW HE-960R-GC(W) HE-960RW-GC(W)

極材質/接液部材質 チタン、SUS、FKM GC、カルレッツ、PFA

組合センサ ERF-001L SeriesERF-001C Series

ERF-001L SeriesERF-001C Series

ERF-01L-GC2-Y10MERF-01L-GC5-Y10M

接続センサ数 1ch 2ch 1ch 2ch

測定範囲 0.00-2.00 / 0.00-20.00 / 0.0-100.0MΩ.cm（※HE-480R(W)、 HE-960R-GCは 0.000-0.200MΩ.cm対応可、100.0MΩ.cmのレンジは温度補償なしにて測定可能）

繰り返し性 ±0.5％FS（等価入力にて）

±0.1％FS（等価入力にて）

±0.5％FS（等価入力にて）

直線性 ±0.5％FS（等価入力にて）

伝送出力 1点 2点 1点 2点

接点出力 2点 4点 2点 4点

通信出力 - RS-485 - RS-485

電源仕様 AC 100-240V 10VADC 24V 5W

AC 100-240V15VA

DC 24V 10WDC 24V 5W DC 24V 10W

外形寸法図

■指示変換器

■比抵抗センサケーブルタイプ

HE-480R(W) HE-960RW, HE-960R-GC(W), HE-960RW-GC(W)

ERF-001 Series 流通形ホルダ（オプション） EFA-30 Series

Resistiivity

HE-480R(W) HE-960RW-GC(W)

仕様

単位：mm

9

パネルカット寸法

130

70

92+0

.8 0

45+0.60

(最小)

(最小)

11548

96

92+

0.8

0

92+0.8 0

118(最小)

130

(最小)

92+

0.8

0

92+0.8 0

118(最小)

130

(最小)パネルカット寸法

導電率計HE-480C(W), HE-480C-GC, HE-480-H(W), HE-960LC, HE-960HC

ケーブル長 10m

161.5

98

（193）

φ24

（φ10）

φ20

φ28

最低液面レベル

ねじ込みアダプタ付ケーブル長 10m

126.5

98

R（PT）3/4

（193）

（φ10）

φ36

φ20

最低液面レベル

35.5

20

115.5

φA

φ26

25

最低液面レベル

R 3/4

35.5

20

115.5

φA

25

最低液面レベル

R 3/4

50（7）

防水コネクタ

φ26

リードタイプ コネクタタイプ（φ6.5）

10m +5%0

対辺29φ32 対辺29

φ32

（Φ6.5）

Φ26

Φ32

対辺29

Φ18

液面要求レベル

（78）（25.5）

1020

22.5

15.5（※）

（Φ6.5）

Φ26

R3/4

Φ18

液面要求レベル

29 Φ32

（106）

（26）

1020

50 43

（142.5） （142.5）（375）90

2-Φ7穴

10（20）

50

70

（Φ7）

10m+5%

0

63

（60.5）

（76.5）

70

13.5

42

パネルカット寸法

130

70

92+0

.8 0

45+0.655 0

(最小)

(最小)

11548

96

9292+

0.8

+0.

800

9292+0.8+0.8 00

118118(最小)(最小)

130

130

(最小)

(最小)パネルカット寸法

ケーブル長 10m

161.5

98

（193）

φ24

（φ10）

φ20

φ28

最低液面レベル

ねじ込みアダプタ付ケーブル長 10m

126.5

98

R（PT）3/4

（193）

（φ10）

φ36

φ20

最低液面レベル

35.5

20

115.5

φA

φ26

25

最低液面レベルベベ

R 3/4

35.5

20

115.5

φA

25

最低液面レベルベベ

R 3/4

50（7）

防水コネクタ

φ26

リードタドド イプ コネクタタイプ（φ6.5）

10m +5%0

対辺29φ32 対辺29

φ32

（Φ6.5）

Φ26

Φ32

対辺29

Φ18

液面要求レベル

（78）（25.5））

1020

22.5

15.5（※）

（Φ6.5）

Φ26

R3/4

Φ18

液面要求レベル

29 Φ32

（106）

（26）

1020

50 43

（142.5） （142.5）（375）90

2-Φ7穴

10（20）

50

70

（Φ7）

10m+5%

0m

63

（60.5）

（76.5）

70

13.5

42

型式 ΦAESH-1 16ESH-01 138ESH-001 138

測定サンプルに応じた機種選定が可能。温度補償機能の標準搭載により安定測定も実現しました。

型式 HE-480C（W） HE-480C-GC HE-480H（W） HE-960LC HE-960HC

濃度換算機能 - 有

極材質/接液部材質 チタン、SUS、FKM GC、カルレッツ、PFA チタン or Ni、PPS or PVC、FKM or EPDM GC、カルレッツ、PFA

組合センサESH-1 SeriesESH-01 SeriesESH-001 Series

ESH-1L-GC9-Y10MESH-01L-GC5-Y10M FES-126F Series FS-07F Series FES-510 Series

接続センサ数 1ch

測定範囲 0.00-2000μS/cm0.00-200.00μS/cm0-2000μS/cm0-9999μS/cm（※）

0.0-200.0mS/cm0.0-500.0mS/cm（※）

0-1000μS/cm（※）0-10000μS/cm（※） 0-1000mS/cm（※）

繰り返し性 ±0.5％FS（等価入力にて）

直線性 ±0.5％FS（等価入力にて）

伝送出力 1点 4点

接点出力 2点 5点

通信出力 - RS-485

電源仕様 AC 100-240V 10VADC 24V 5W DC 24V 10W AC 100-240V

外形寸法図

HE-480C-GC HE-960HCHE-960LC

Conductivity

■指示変換器 ■センサESH-1/01/001シリーズ ESH-01L-GC5-Y10MESH-1L-GC-9-Y10MHE-480C, HE-480C-GC, HE-480H(W)

HE-960HC, HE-960LC FES-126F FES-510, FS-07F

FS-07F

仕様

単位：mm

（※）温度補償する前の測定範囲

10

HolderCF-66I

HolderCH-101-XX Mounting Bracket

BA-1A HP-480（W)

HP-480（W)

pH計HP-480(W)

パネルカット寸法

130

70

92+0

.8 0

45+0.60

(最小)

(最小)

11548

96

ケーブル長：5000+5% 0

（Φ6）

Φ18

Φ19

Φ12

Φ40

64

166.5±5

87±3

（12）

ケーブル長：5000+5% 0

（Φ6）

Φ18

Φ19

Φ12

166.5±5

87±3

（12）

パネルカット寸法

130

70

92+0

.8 0

45+0.655 0

(最小)

(最小)

11548

96

ケーブル長：5000+5% 00

（Φ6）

Φ18

Φ19Φ

Φ12Φ

Φ40

64

166.5±5

87±3

（12））

ケーブル長：5000+5% 00

（Φ6）

Φ18Φ

Φ199Φ

Φ12Φ

166.5±5

87±3

（12））

豊富な電極ラインナップよりニーズに合った電極を選択可能。設置環境に応じてインライン、浸漬型をご提案します。

外形寸法図

型式 HP-480（W）

組合電極 6108-50B 6108G-50B

KCl 液状 ゲル状

使用温度範囲 -10 - 100℃

接続センサ数 1ch

測定範囲 0-14ｐH

繰り返し性 ±0.05pH以内（等価入力にて）

直線性 ±0.05pH以内（等価入力にて）

伝送出力 1点

接点出力 2点

通信出力 -

電源仕様 AC 100-240V 10VADC 24V 5W

■指示変換器

■インライン設置

■電極

■浸漬型設置

設置例

HP-480(W)

pH

HP-480 6108-50B 6108G-50B

仕様

単位：mm

日本

韓国

中国

ドイツ 台湾シンガポールフランス アメリカ合衆国ホリバ・ヨーロッパ社HORIBA Europe GmbH

ホリバ・フランス社HORIBA France Sarl

ホリバ・インスツルメンツ社HORIBA Instruments (Singapore) Pte. Ltd.

ホリバ・コリア社HORIBA KOREA Ltd.

台湾堀場股份有限公司HORIBA Taiwan, Inc.

堀場（中国）貿易有限公司HORIBA (China) Trading Co., Ltd.

●上海事務所Shanghai Office

●北京事務所Beijing Office

ホリバ・インスツルメンツ社HORIBA Instruments, Incorporated

（株）堀場製作所HORIBA, Ltd.

（株）堀場エステック阿蘇工場HORIBA STEC, Co., Ltd. Aso Factory

サンタクララオフィスSanta Clara Office

ホリバテクノロジーセンタHORIBA Technology Center

オースティンオフィスAustin Office

（株）堀場アドバンスドテクノHORIBA Advanced

Techno Co., Ltd.

（株）堀場エステックHORIBA STEC, Co., Ltd.

（株）堀場テクノサービスHORIBA TECHNO

SERVICE Co., Ltd.

イギリス

ワールドワイドなサービス体制により、スピーディなサポートを展開しています。

サンタクララオフィス & ホリバテクノロジーセンタ

オールバニオフィスAlbany Office

ポートランドオフィスPortland Office

ホリバ・インスツルメンツ社HORIBA Instruments Limited

●サービスステーション京都（075）321-7972 東京（03）6206-4751 名古屋（052）937-0812

東北セールスオフィス東京セールスオフィス名古屋セールスオフィス大阪セールスオフィス四国セールスオフィス九州セールスオフィス

仙台市泉区泉中央四丁目21-8東京都千代田区神田淡路町2-6（神田淡路町二丁目ビル3F）名古屋市東区葵3-15-31（千種第2ビル6F）大阪市淀川区西中島7-4-17（新大阪上野東洋ビル4F）香川県高松市今里町9-9福岡市博多区店屋町8-30（博多フコク生命ビル1F）

（022）776-8253（03）6206-4751（052）937-0812（06）6390-8211（087）867-4841（092）292-3595

〒981-3133〒101-0063〒461-0004〒532-0011〒760-0078〒812-0025

●このカタログの記載内容については、改良のために仕様・外観等、予告なく変更することがあります。●このカタログの製品詳細については別途ご相談ください。●このカタログと実際の商品の色とは、印刷の関係で多少異なる場合もあります。●このカタログに記載されている内容の一部または全部を無断転載することは禁止されています。●このカタログに記載されている製品は日本国内仕様です。海外仕様については別途ご相談ください。●このカタログで使用されている製品画面は、はめ込み合成です。●このカタログに記載されている各社の社名、製品名およびサービス名は、各社の商標または登録商標です。●希望販売価格は参考価格です。詳しくは代理店、販売店にお尋ねください。

〒601-8306 京都市南区吉祥院宮の西町31番地（075）321-7184http://www.horiba-adt.jp

HORIBAグループでは、品質ISO9001•環境ISO14001•労働安全衛生OHSAS18001を統合したマネジメントシステム（IMS:JQA-IG001）を運用しています。さらに事業継続マネジメントISO22301を加え、有事の際にも安定した製品•サービスを提供できるシステムに進化しました。

Printed in Japan 1512SK23カタログNo. HAJ-S0230B