24 第2章　解説！ミニマルファブ構想 ～半導体業界にどのようなインパクトがあり、何をもたらすのか～

ミニマルファブ ハンドブック　ミニマル開発の今が分かる・すべてが分かる

解説！ミニマルファブ構想

　ミニマルファブ構想とは、多品種少量および変種変量生産のニーズに適応できる、まったく新しい

半導体生産システムの姿である。工場ラインと試作ラインの投資規模を大幅にコンパクト化していく

ことで、コスト競争力だけでなく、研究開発直結型であるというメリットも有している。1ラインの

投資額は従来のメガファブと比べて1/1000の5億円程度。流すウエハーは、ハーフインチ径、装置サ

イズは幅約30cm、局所クリーン化生産システムによるクリーンルームレスという特徴を持っている。

～半導体業界にどのようなインパクトがあり、何をもたらすのか～

第2章

達した後も、景気の振幅で40兆円規

模に上ブレする可能性もあるが、継続

的な成長を見込んで設備投資を行って

いくと、デバイスメーカーをはじめと

した関連メーカーは大きなしっぺ返し

を食らうことになると思われる。「デ

長が減速している。ロジスティック

曲線をフィッティングすると29兆円

が半導体業界の飽和値であると試算で

き、現在の半導体市場はすでに成熟期

にあると言える。もちろん、今後も若

干の成長は見込むことができ飽和点に

　半導体世界市場は、リーマンショッ

クから市場が大きくシュリンクした

時期もあったが、ここ数年の出荷額は

すでに年間20兆～30兆円に達して

いる。しかし、成長曲線の分岐点は

1999年であり、その後は緩やかに成

mfh2014.indb 24 2013/11/25 17:56:14

52 第3章　ミニマル装置・部材開発の最新動向

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　同社では長年にわたる経験・知見・

ノウハウにより、ヒーターの高精密な

温度制御を可能にし、製品の品質向上

に役立っている。

レーザー平面瞬間加熱装置の開発に成功

　同社では、06年に2インチ基板

対応のレーザー平面瞬間加熱装置

「ExLASER」を開発。例えば、2インチ

Siウエハーでは100℃→1000℃の急

速昇温が4秒、1000℃→400℃の急速

降温（自然冷却）を7秒、ウエハー面内

の温度均一性は1000℃で±3℃を実

現している。

　さらに、ExLASERの小型版でハー

フインチウエハーに対応可能なレー

ザー平面瞬間加熱装置「ExLASER Lite」

（H1420mm×W655mm×D660mm）

もすでに製品化。小型版ではあるが

ExLASERと同レベルの温度分布と昇

温降温性能を実現している。

　電熱に関する技術集約型企業である

同社の核となるのが、千葉県佐倉市に

あるR&Dセンターだ。1986年7月に

竣工し、敷地面積は約3万㎡、事務所

兼研究棟の建屋（2階建）には、様々な

評価・試験機が設置され、年間3万点

以上の製品開発を手がけている。

オーダーメードでお客様の課題を解決

　坂口電熱ではセールスエンジニアが

顧客の要望を伺い、加熱対象、加熱環

境、加熱用途などを考慮して最適なソ

リューションをオーダーメードで提供

することを得意としている。例えば産

業用ヒーターの分野では、金属・金型

加熱に適したカードリッジヒーター、

配管加熱などに適したフレキシブル

なシリコーンラバーヒーター、各種乾

燥用ヒーター、気体加熱用

ヒーター、液体加熱用ヒー

ターなど、多様な要望に応

える体制を整えている。

電熱技術にこだわり続け90年

　1923年の創業から90周年を迎え

た坂口電熱は、電熱技術を中心として、

真空やバイオ、化学分野の製品開発と

電熱機器の販売・製造を幅広く手がけ

ている。

　創業当時の服飾業界では、炭を燃や

してその熱を利用する炭火アイロンが

一般的であったが、炭が燃え尽きるた

びに新しい炭と交換しなければならな

いなど非常に不便なものであった。創

業者の坂口太一氏は、その不便さを解

消し、もっと効率がよく便利なアイロ

ンとして工業用電気アイロンを考案・

開発し販売を行った。これがその後、

数多くの電熱製品を世に送り出す元と

なり、同社ではこれまでに300万点以

上もの製品を開発している。

創業：1923年資本金：4億 6000万円代表者：蜂谷 真弓住所：〒 101-0021 東京都千代田区外神田 1-12-2電話番号：03-3253-8211主な事業内容：電熱技術を中心に真空・バイオ・光学・化学分野の製品開発と電熱機器の製造・販売

　坂口電熱では、これまでに300万点以上もの製品を開発している。産業用電

熱機器の開発・設計・製造・販売から大型装置やプラントに至るまで、電熱に関

するフルラインアップをパッケージにして手がける。例えるなら、「電熱製品

の百貨店」的存在だ。その原点は、創業者である初代社長の坂口太一氏が特許

を取得し、割賦販売をスタートした工業用電気アイロン。

■ミニマルファブ技術研究組合　参画企業

坂口電熱㈱工業用・産業用電熱製品のリーディングカンパニー300万点超えるオーダーメード製品を開発

主要製品 ExLASER／ExLASER Lite

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書　名 ..................ミニマルファブ　ハンドブック

体裁・頁数 ...........A4 変形判　オフセット刷り　100 頁

定　価 ..................9,000 円＋税