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IPA 蒸気洗浄装置TAKADA IPA Vapor Drier TID Series
□ガス監視やN2パージ等の保安システム、万一の際の
□ デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず
せ
自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策
□豊富な納入実績
高純度の IPAを用いたクリーン乾燥が可能
TAKADA IPA Vapor Drier
装 置 仕 様
用 途
装置寸法
IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥
6インチ 1カセット相当
シリコン、ガラス、部品等
ステンレス製蒸気乾燥槽1層
幅 1,050(mm)×奥行 1,200(mm)×高さ 2,000(mm)
アルミヒートブロック間接加熱方式
WP-LF-TID-001- 31-March./2016■仕様は予告なく変更することがあります。■本シートを無断で複製することを禁じます。
装置事業部〒806-8567 福岡県北九州市八幡西区築地町2-1TEL(093)632-2600 FAX(093)632-2625http://www.takada.co.jp/usw/maiyo.html
●材質や形状を問わず、高純度 IPAを用いたクリーン乾燥が可能です●実績が示す万全の安全対策●オールステンレスにより破損の危険性を排除●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出し IPAを削減●お客様のワークに応じた仕様変更も可能です
◆IPA 比抵抗計もご用意しております(オプション)
乾燥対象
槽構成
シ ス テ ム フ ロ ー