E4990A インピーダンス・アナライザ、 20Hz10/20/30/50/120MHz E4991B インピーダンス・アナライザ、 1MHz500MHz/1GHz/3GHz 新世代4端子対オートバランス・ブリッジ採用 インピーダンス・アナライザ 4294A後継機種 インピーダンスおよび材料測定の トータルソリューションを提供 RF帯での確度を追求したRF-IV法採用、確度保証 基本確度: 0.65%(E4991A20%改善)  低損失キャパシタを使用した校正で高Q測定にも対応 従来のアクセサリを継承7mmコネクタ 高速測定 E4991A比で3倍高速、トレースノイズ1/2 4 トレース/チャネル、 4チャネル同時使用可能 使いやすい新プラットフォーム 10.4インチ、タッチスクリーン・ディスプレイ 前面に2、背面に4個のUSB I/F 小型 奥行約30cmのコンパクト設計 高確度測定 基本確度0.045%代表値、 0.08%仕様 低インピーダンスから高インピーダンスまで最高の性能 治具の誤差を除去オープン/ショート/ロード補正 上限周波数で5モデルから選択可能 20Hz10MHzモデルなら約290万円から 高速測定 3ms/点(120MHzモデルopt. 12030ms/点(10203050MHzモデルOpt. 001を追加しOpt. 120同速) トレースノイズ 4294A比で1/10に改善 等価回路解析機能搭載 4 トレース/チャネル、 4チャネル同時使用可能 例) Ch1 広帯域Z測定 Ch2 狭帯域Z測定 Ch3 AC依存性測定 Ch4 DCバイアス依存性測定 使いやすい新プラットフォーム Windows 7 embedded system 10.4インチ、タッチスクリーン・ディスプレイ 前面に2、背面に4個のUSB I/F 小型 奥行約30cmのコンパクト設計 アクセサリ対応表 E4990A Option 120 120 MHzE4990A 低周波モデル 10/20/30/50 MHz4端子対用フィクスチャ 使用可能 ケーブル長 0 m / 1 m / 2 m 16451B 誘電体テストフィクスチャ 使用可能 42941A インピーダンスプローブ 使用可能 120 MHzまで 使用不可 120 MHzモデルに アップグレード必要 42942A + 161xxA 7mm フィクスチャ 42942A + 16454A 磁性体テストフィクスチャ 仕 様 周波数 20 Hz 10 / 20 / 30 / 50 / 120 MHz 出力信号レベル 5 mV 1 V200 uA 20 mA 測定速度 3 ms/ 点 @ f> = 500 kHzBW = 1 Fast測定範囲 25 m Ω~ 40 M Ω(10% 確度範囲) 補正機能 オープン/ショート/ロード補正 オーダー情報 E4990A インピーダンス・アナライザ 20Hz 10/20/30/50/120MHz ¥206,262 Opt. 120 周波数範囲 20 Hz 120 MHz ¥5,828,872 Opt. 050 周波数範囲 20 Hz 50 MHz ¥4,561,726 Opt. 030 周波数範囲 20 Hz 30 MHz ¥3,674,723 Opt. 020 周波数範囲 20 Hz 20 MHz ¥3,041,150 Opt. 010 周波数範囲 20 Hz 10 MHz ¥2,661,007 Opt. 001 高速測定(Opt.120 と同速) ¥0 オーダー情報 E4991B RF インピーダンス・アナライザ ¥317,900 Opt. 300 周波数範囲 1 MHz 3 GHz ¥6,969,303 Opt. 100 周波数範囲 1 MHz 1 GHz ¥5,955,586 Opt. 050 周波数範囲 1 MHz 500 MHz ¥4,688,440 Opt. 001 DC バイアス機能追加 ¥380,871 Opt. 002 材料測定機能追加 ¥688,208 Opt. 007 耐熱テストキット ¥888,699 仕 様 周波数 1 MHz 500 MHz1GHz3GHz 出力信号レベル Open 4.47 mV – 0.502 V @ all frequency Short 0.0894mA – 10mA @ all frequency 測定範囲 120 m Ω52 k Ω(10% 確度範囲) 測定点数 2 1601 校正機能 オープン/ショート/ 50 Ω/低損失キャパシタ 補正機能 オープン/ショート、フィクスチャ電気長補正 Keysight E4990A 20Hz 10/20/30/50/120MHz インピーダンス・アナライザ Keysight E4991B 1MHz 500MHz/1GHz/3GHz インピーダンス・アナライザ 真のインピーダンス測定は高確度、広測定範囲のインピーダンス・アナライザが実現

Keysight E4990A / E4991B インピーダンス・アナラ …E4990A インピーダンス・アナライザ、20Hz~10/20/30/50/120MHzE4991B インピーダンス・アナライザ、1MHz~500MHz/1GHz/3GHz新世代4端子対

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Page 1: Keysight E4990A / E4991B インピーダンス・アナラ …E4990A インピーダンス・アナライザ、20Hz~10/20/30/50/120MHzE4991B インピーダンス・アナライザ、1MHz~500MHz/1GHz/3GHz新世代4端子対

E4990A インピーダンス・アナライザ、20Hz~10/20/30/50/120MHz

E4991B インピーダンス・アナライザ、1MHz~500MHz/1GHz/3GHz

新世代4端子対オートバランス・ブリッジ採用インピーダンス・アナライザ 4294A後継機種

インピーダンスおよび材料測定のトータルソリューションを提供

RF帯での確度を追求したRF-IV法採用、確度保証- 基本確度:0.65%(E4991A比20%改善) - 低損失キャパシタを使用した校正で高Q測定にも対応

従来のアクセサリを継承 : 7mmコネクタ高速測定- E4991A比で3倍高速、トレースノイズ1/2

4トレース/チャネル、4チャネル同時使用可能使いやすい新プラットフォーム- 10.4インチ、タッチスクリーン・ディスプレイ- 前面に2、背面に4個のUSB I/F- 小型 奥行約30cmのコンパクト設計

高確度測定- 基本確度0.045%代表値、0.08%仕様低インピーダンスから高インピーダンスまで最高の性能

- 治具の誤差を除去 : オープン/ショート/ロード補正

上限周波数で5モデルから選択可能- 20Hz~10MHzモデルなら約290万円から

高速測定- 3ms/点(120MHzモデルopt. 120)- 30ms/点(10、20、30、50MHzモデルOpt. 001を追加しOpt. 120同速)

トレースノイズ 4294A比で1/10に改善等価回路解析機能搭載4トレース/チャネル、4チャネル同時使用可能例) - Ch1 : 広帯域Z測定 - Ch2 : 狭帯域Z測定 - Ch3 : AC依存性測定 - Ch4 : DCバイアス依存性測定

使いやすい新プラットフォーム- Windows 7 embedded system- 10.4インチ、タッチスクリーン・ディスプレイ- 前面に2、背面に4個のUSB I/F- 小型 奥行約30cmのコンパクト設計

アクセサリ対応表 E4990A Option 120(120 MHz)

E4990A 低周波モデル(10/20/30/50 MHz)

4端子対用フィクスチャ 使用可能 ケーブル長 0 m / 1 m / 2 m

16451B 誘電体テストフィクスチャ 使用可能42941A インピーダンスプローブ

使用可能120 MHzまで

使用不可120 MHzモデルにアップグレード必要

42942A + 161xxA 7mm フィクスチャ42942A + 16454A 磁性体テストフィクスチャ

仕 様周波数 20 Hz ~ 10 / 20 / 30 / 50 / 120 MHz出力信号レベル 5 mV ~ 1 V、200 uA ~ 20 mA測定速度 3 ms/点 @ f> = 500 kHz、BW = 1(Fast)測定範囲 25 mΩ~ 40 MΩ(10%確度範囲)補正機能 オープン/ショート/ロード補正

オーダー情報E4990A インピーダンス・アナライザ 20Hz~ 10/20/30/50/120MHz ¥206,262Opt. 120 周波数範囲 20 Hz ~ 120 MHz ¥5,828,872Opt. 050 周波数範囲 20 Hz ~ 50 MHz ¥4,561,726Opt. 030 周波数範囲 20 Hz ~ 30 MHz ¥3,674,723Opt. 020 周波数範囲 20 Hz ~ 20 MHz ¥3,041,150Opt. 010 周波数範囲 20 Hz ~ 10 MHz ¥2,661,007Opt. 001 高速測定(Opt.120と同速) ¥0

オーダー情報E4991B RFインピーダンス・アナライザ ¥317,900Opt. 300 周波数範囲 1 MHz ~ 3 GHz ¥6,969,303

Opt. 100 周波数範囲 1 MHz ~ 1 GHz ¥5,955,586

Opt. 050 周波数範囲 1 MHz ~ 500 MHz ¥4,688,440Opt. 001 DCバイアス機能追加 ¥380,871

Opt. 002 材料測定機能追加 ¥688,208

Opt. 007 耐熱テストキット ¥888,699

仕 様周波数 1 MHz ~ 500 MHz、1GHz、3GHz出力信号レベル Open時 4.47 mV – 0.502 V @ all frequencyShort時 0.0894mA – 10mA @ all frequency測定範囲 120 mΩ ~ 52 kΩ(10%確度範囲)測定点数 2~ 1601点校正機能 オープン/ショート/ 50Ω/低損失キャパシタ補正機能 オープン/ショート、フィクスチャ電気長補正

Keysight E4990A 20Hz~10/20/30/50/120MHzインピーダンス・アナライザKeysight E4991B 1MHz~500MHz/1GHz/3GHzインピーダンス・アナライザ真のインピーダンス測定は高確度、広測定範囲のインピーダンス・アナライザが実現

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© Keysight Technologies, 2016Published in Japan, July 22, 20165991-4652JAJP0000-08cSwww.keysight.co.jp

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本社〒192-8550 東京都八王子市高倉町9-1

www.keysight.co.jp

お問い合せ先

10% 測定確度範囲比較

インピーダンスにより、LCR部品の実動作状態での特性、材料評価、半導体プロセス、構造評価が可能。

- 20Hz~3GHzと8桁周波数の広い範囲で評価 ⇒ 広いインピーダンス測定範囲が必要

- シミュレーションへの活用 ⇒ DCバイアス特性など様々な条件でのデータ必要 ⇒ 高確度測定必要 治具誤差補正も重要

- 等価回路解析で、LCR要素を分解

結 論:DUTの真の特性把握は高確度、広測定範囲のインピー ダンス・アナライザのみが実現

新E4991B(RF IV法)新E4991B(RF IV法)

新E4990A (オート・バランス・ブリッジ法)

新E4990A (オート・バランス・ブリッジ法)

10 Hz1 m

10 m

100 m

1

10

100

1 k

10 k

100 k

1 M

10 M

100 M

100 Hz 1 KHz 10 KHz 100 KHz

周波数 [Hz]

1 MHz 10 MHz 100 MHz 1 GHz

Z = ωL

Z = --ωC1

ネットワーク・アナライザ(反射係数法)

ネットワーク・アナライザ(反射係数法)

インピーダンス﹇Ω﹈

16047E

16197A

16196D

16453A

インピーダンス測定のすすめ

テスト・アクセサリ/フィクスチャ

E498

0A/A

L

E498

1A

E498

2A

E499

1B

E499

0A

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4294

2A

16034E SMD/チップ・テスト・フィクスチャ DC~ 40 MHz ¥208,607 ● ● ●

16034G SMD/チップ・テスト・フィクスチャ(小型SMD用) DC~ 120 MHz ¥256,943 ● ● ●

16034H SMD/チップ・テスト・フィクスチャ(アレイ部品タイプ) DC~ 120 MHz ¥256,943 ● ● ●

16044A 4端子接触SMD/ SMD/チップ・テスト・フィクスチャ DC~ 10 MHz ¥398,899 ● ● ●

16047A 4端子接続アキシュアル/ラジアル・リード・テスト・フィクスチャ DC~ 13 MHz ¥66,713 ● ● ●

16047E アキシュアル/ラジアル・リード・テスト・フィクスチャ DC~ 120 MHz ¥182,404 ● ● ●

16048A 1 mのテストリード(BNC) DC~ 30 MHz ¥78,877 ● ●

16048D 2 mのテストリード(BNC) DC~ 30 MHz ¥100,646 ● ●

16048E 4 mのテストリード(BNC) DC~ 1 MHz ¥100,646 ●

16048G 1 mのテストリード(BNC) DC~ 120 MHz ¥194,869 ●

16048H 2 mのテストリード(BNC) DC~ 120 MHz ¥226,924 ●

16065A 外部電圧バイアス・フィクスチャ(安全カバー付き、≦200 V DC)50 Hz~ 2 MHz ¥235,828 ● ● ●

16065C 外部電圧バイアス・フィクスチャ(≦40 V DC) 50 Hz~ 1 Hz ¥118,956 ●

16089A/B/C/D ケルピン・クリップリード 5 Hz~ 100 kHz ¥95,140~ ● ● ●

16092A RFスプリング・クリップ・テスト・フィクスチャ、SMDおよびリード DC~ 500 MHz ¥285,944 ● 1 ● 1 ● 2 ● ●

16192A 平行電極SMDテスト・フィクスチャ DC~ 2 GHz ¥393,143 ● 1 ● 1 ● 2 ● ●

16194A 耐熱テスト・フィクスチャ、SMDおよびリード DC~ 2 GHz ¥520,397 ● 1 ● 1 ● 2 ● ●

16196A/B/C/D 平行電極SMDテスト・フィクスチャ DC~ 3 GHz ¥862,891~ ● 1 ● 1 ● 2 ● ●

16197A 底面電極SMDテスト・フィクスチャ DC~ 3 GHz ¥719,415 ● 1 ● 1 ● 2 ● ●

16200B 外部DCバイアス・アダプタ 1 MHz~ 1 GHz ¥796,528 ● 2 ● ●

16334A SMD/チップ部品用ピンセット型テスト・フィクスチャ DC~ 15 MHz ¥123,310 ● ● ●

16451B 誘電体材料テスト・フィクスチャ 5 Hz~ 30 MHz ¥742,318 ● ● ●

16452A 液体材料テスト・フィクスチャ 20 Hz~ 30 MHz ¥1,572,148 ● ●

16453A 誘電体材料テスト・フィクスチャ 1 MHz~ 1 GHz ¥1,049,680 ●

16454A 磁性体材料テスト・フィクスチャ 1 kHz~ 1 GHz ¥787,387 ● ●

42941A インピーダンス・プローブ・キット DC~ 120 MHz ¥595,174 ●

42942A 4端子対構造から7 mm端子への変換用アダプタ DC~ 120 MHz ¥402,454 ●

注記 : 周波数及び使用時の詳細情報については、インピーダンス・アクセサリ・ガイド(part number 5965-4792JA)を参照ください。1 : 16085Bとの併用した場合に互換性があります。 2 : 3.5mmから7mmへの変換アダプタが必要です。価格は2016年6月のもので、消費税は含まれておりません。