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Mikrotechnik (Mikrostrukturtechnik: 0,1–1000 µm)
<100 nm: Nanotechnik
Mikroelektronik Mikrosystemtechnik Mikroverfahrenstechnik
Integrierten Schaltkreise (ICs) auf Basis von Halbleitern
(Hauptwerkstoff: Silicium)
Physik + Chemie in kleinen Volumen
im Durchflussbetrieb
Vakuumtechnik
Dünnschichttechnik
Festkörperphysik
Management
Reinraumtechnik
PICVD-Verfahren (Plasma Impulse Chemical Vapour Deposition)
Windkraftanlage mit Vakuum ?
Siemens Vakuumschütz 110kW/400V/AC 3RT1264-6NP36
Vakuuminfusionsverfahren
Vakuumheber
Mikrowellenherd mit Magnetron Glühlampe Röhren-Fernseher
Thermoskanne Vakuumverglasung
Vakuumverpackung
Vakuum im Haushalt?
Mikroelektronik
Dünnschichttechnik
Mikroelektronik
Dünnschichttechnik
Öfen Nass Belichten Ätzen Polierien
Was ist Vakuum? Fachrichtung Physik • Theorie: Raum ohne Materie • Praxis: Raum mit einem Gasdruck weit unterhalb des normalen atmosphärischen Drucks,
so dass das Restgas keinen wesentlichen Einfluss auf den betrachteten Prozess hat.
DIN 28400, Teil 1 (Mai 1990, Vakuumtechnik; Benennung und Definitionen) • Druck < 300 mbar (< 3*104 Pa d.h. niedrigster auf der Erdoberfläche vorkommende Druck)
Mikrosystemtechnik • Vakuum herrscht in einem gasgefüllten Behälter, wenn der Druck im Behälter niedriger ist als der Umgebungsdruck
http://www.youtube.com/watch?v=v2gDMj42sIM
Intel 22nm 3D-Tri-Gate-Transistoren
http://www.comsol.com/blogs/vacuum-system-simulations-webinar-videos/
Vacuum System Simulations Webinar and Videos
Thermodynamische Potentiale (Gibbs-Funktionen)
Zwei Systeme in Kontakt => thermodyn. Gleichgewicht Entropie des Gesamtsystems => maximal thermodynamischen Potentials => minimal
intensiven Parameter
innere Energie