SURFCOM…NEXシリーズは、粗さ測定、輪郭形状測定、粗さ輪郭統合測定の３つの機能に対応しており、用途に応じて検出器を自由に選択できます。

各種検出器の単体利用はもちろん、検出器を複数組み合わせて複合機としてご利用いただくこともできるマルチセンサ仕様です。また、輪郭形状専用検出器や三次元粗さ測定ユニット等、測定に応じたシステムアップが可能です。

表面粗さ・輪郭形状測定機 表面粗さ・輪郭形状統合測定機

デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器　NEX100（E-DT-CR14A） 特許取得済

サーフコム…NEX…100

用途に応じて検 出 器・ 駆 動 部・ 測 定 台を選 択できる幅広い拡張性

NEXシリーズ

NEX

●デュアルセンサ…テクノロジ搭載広範囲･高精度センサと狭範囲･高分解能センサを搭載し、ふたつのセンサから測定データを同時にサンプリングできる新たな原理の検出器です。これにより、検出器を交換することなしに、表面粗さと輪郭形状を一度に測定することができ、測定効率が大幅に向上します。

Dual Sensor

輪郭測定用 広範囲･高精度センサZ軸指示精度

±(1.0＋|2H|/100) μm

粗さ測定用 狭範囲･高分解能センサ分解能 /測定範囲

1.0 nm/0.05 mm 〜 100 nm/5 mm

専用カタログを準備しています。

16

NEX

マルチセンサ対応用途に応じて選べる検出器ハイブリッドも、粗さも、輪郭も、複合も

SURFCOM…NEXシリーズは、用途に応じて検出器を自由に選択できます。各種検出器の単体利用はもちろん、検出器を複数組み合わせて複合機としてご利用いただくこともできるマルチセンサ仕様です。

デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器E-DT-CR14A

世界初のデュアルセンサを搭載し、粗さと輪郭を一度に測定する統合検出器です。詳しくは次頁をご参照ください。

輪郭測定用 汎用検出器 E-DT-CH18A

高精度スケールを搭載した汎用タイプの新型検出器です。Z軸測定範囲は60…mm。新開発のクイックチェンジアーム機構でアーム交換も…ストレスなく行えます。オプションで上下測定が可能です。

輪郭測定用 高精度検出器 測定力自動調整機構付 E-DT-CH19A

レーザ光回折スケールを搭載した高精度タイプの新型検出器です。フルレンジで測定分解能は0.02…μm。Z軸測定範囲60…mm、クイックチェンジアーム機構に加えて、測定力自動調整機構を搭載しています。オプションで上下測定が可能です。

粗さ測定用 検出器（ピックアップ）E-DT-SS01A

高倍率・広範囲測定に対応したコンパクトデザインのピックアップです。外径14…ｍｍで測定範囲1000…μｍ、測定倍率は50万倍まで対応します。また、ピックアップ上向き測定（オートストップ機能付）や、横トレース測定にも対応します。

SURFCOM NEX は個々の専用機ではなく、ニーズにあった検出器を選択して仕様を決定します。納入後にセンサを追加して機能アップすることが可能です。

17

表面粗さ

・輪郭形

状統合測

定機表

面粗

さ・

輪郭

形状

複合

測定

機輪

郭形

状測

定機

表面

粗さ

測定

機

輪郭測定用汎用検出器　NEX030（E-DT-CH18A）

輪郭測定用高精度検出器　NEX040（E-DT-CH19A）

粗さ測定用検出器（ピックアップ）　NEX001（E-DT-SS01A）

●クラス最高精度を実現した汎用検出器高精度スケールを搭載した汎用タイプの新型検出器です。Z軸測定範囲は60…mm。新開発のクイックチェンジアーム機構でアーム交換もストレスなく行えます。オプションで上下測定が可能です。

●オートバランス(測定力自動調整)機構を実現した高精度検出器レーザ光回折スケールを搭載した高精度タイプの新型検出器です。フルレンジで測定分解能は0.02…μm。Z軸測定範囲60…mm、クイックチェンジアーム機構に加えて、…測定力自動調整機構を搭載しています。オプションで上下測定が可能です。

測定分解能　0.04…μm…（フルレンジ）指示精度　　±（1.5…+丨2H丨/100）μm

測定分解能　0.02…μm…（フルレンジ）指示精度　　±（0.8…+丨2H丨/100）μm

T字スタイラスを使用した直径測定例

●粗さ測定用ピックアップは…1000…μm仕様高倍率・広範囲測定に対応したコンパクトデザインのピックアップです。外径14…ｍｍで測定範囲1000…μｍ、測定倍率は50万倍まで対応します。また、ピックアップ上向き測定（オートストップ機能付）や、横トレース測定にも対応します。

φ14

表面粗さ・輪郭形状測定機 表面粗さ・輪郭形状統合測定機

18

検出器の交換を工具レスに （オプション）

輪郭測定用 上下測定専用 T 字スタイラスオプション●上下測定用マスターボール校正ユニット（E-MC-S97A）サーフコム NEX 030 ／ 040 において、上向き測定と下向き測定の空間精度を保証するための校正ユニットです。触針の上向き、下向きのパラメータを校正するために用います。算出したパラメータにより、円弧補正や触針先端半径補正を行い、高度な測定を実現します。寸法　150(W) × 120(D) × 230(H)mm質量　約 3.3Kg

●上下測定用触針

長さ 先端半径 先端角度 材質

DM83502 L=26 mm rtip=25 μm 24°円錐 超硬合金

DM83503 L=32 mm rtip=25 μm 24°円錐 超硬合金

DM83504 L=44 mm rtip=25 μm 24°円錐 超硬合金

クイックチェンジアーム対応アタッチメント （オプション） （DM83506）従来のアームをクイックチェンジタイプの輪郭測定用検出器に取り付けるためのアタッチメントです。従来タイプの測定機と、アームを共用してご使用される場合等、今までのアームを流用できるため無駄がありません。また、このアタッチメントと従来アームを組み合せたときの全長が、標準付属のストレートアームと同じ長さに設計されており、従来アーム使用時でも、検出器の Z 軸測定範囲は 60 mm（± 30 mm）を確保することができます。 （使用可能なアームについては、弊社営業までお問い合わせください。）

24°円錐、rtip=25 μm

L

φ 3 mm

クイックチェンジアーム用アームアタッチメント装着例

頻繁に複数のセンサ（検出器・ピックアップ）を交換してご使用される場合に有効なメーカーオプションです。検出器を交換しやすくするため駆動部と検出器のクリアランスを広げ、検出器取り付け・取り外し用の専用ピンを装備しました。専用ピンを引き出して、左右のいずれかに半回転回すことで、簡単に検出器の取り付けや・取り外しができます。ドライバー工具は必要ありません。

ピン格納状態 ピンを引いた状態 左半回転アンロック　又は右半回転でロック

サーフコム NEX 030 ／ 040 において、上向き測定と下向き測定両用の触針です。

NEX

19

表面粗さ

・輪郭形

状統合測

定機表面粗さ測定機

輪郭形状測定機

表面粗さ・輪郭形状複合測定機

製品名称 SURFCOM NEX ＊＊＊ DX/SD - ○○

項目検出器／ピックアップ

型式（商品コード）

備考デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器

輪郭測定用 粗さ測定用ピックアップ

※ 3 桁のコードは以下を示します。

3 桁目（百の位）：ハイブリッド検出器の有無0 ＝ハイブリッド検出器 無し1 ＝ハイブリッド検出器 有り

2 桁目（十の位）：輪郭測定用検出器の有無0 ＝輪郭検出器 無し3 ＝輪郭検出器（汎用） 有り4 ＝輪郭検出器（高精度） 有り

1 桁目（一の位）：粗さ測定用検出器の有無0 ＝粗さ検出器 無し1 ＝粗さ検出器 有り

汎用検出器 高精度検出器型式 E-DT-CR14A E-DT-CH18A E-DT-CH19A E-DT-SS01A

外観

モデル名

100 ● - - - K2 △□ 100130 ● ● - - K2 △□ 130140 ● - ● - K2 △□ 140101 ● - - ● K2 △□ 101131 ● ● - ● K2 △□ 131141 ● - ● ● K2 △□ 141030 - ● - - K2 △□ 030040 - - ● - K2 △□ 040001 - - - ● K2 △□ 001031 - ● - ● K2 △□ 031041 - - ● ● K2 △□ 041

検出器の選択

モデルの選択

項目モデル

型式（商品コード）

DX SD

外観

仕様仕向地 日本 海外(日本以外) 日本 海外(日本以外)

パソコン付属 有 有 無 有 有 無

モデル名

DX● - - - - - K2 A □＊＊＊- ● - - - - K2 B □＊＊＊- - ● - - - K2 C □＊＊＊

SD- - - ● - - K2 D □＊＊＊- - - - ● - K2 E □＊＊＊- - - - - ● K2 F □＊＊＊

駆動部と測定台の選択項目 駆動部 測定台

型式（商品コード）

型式 E-RM-S214A E-RM-S215A E-ST-S389AE-CL-S148A

E-ST-S389AE-CL-S150A

E-ST-S390AE-CL-S150A

E-ST-S390AE-CL-S151A

外観

駆動部 X 軸ストローク(mm) 100 200 - - - -

測定台ベース

幅 (mm) - - 600 600 1000 1000奥行き(mm) - - 450 450 450 450最大積載質量 (kg)*1

- - 82 72 89 79- - 76 66 83 73

電動コラム 上下ストローク(mm) - - 250 450 450 650

モデル名

12 ● - ● - - - K2 △ A ＊＊＊13 ● - - ● - - K2 △ B ＊＊＊14 ● - - - ● - K2 △ C ＊＊＊15 ● - - - - ● K2 △ D ＊＊＊22 - ● ● - - - K2 △ E ＊＊＊23 - ● - ● - - K2 △ F ＊＊＊24 - ● - - ● - K2 △ G ＊＊＊25 - ● - - - ● K2 △ H ＊＊＊

*1　上段は 100 mm 駆動部搭載時の最大積載質量。下段は 200 mm 駆動部搭載時の最大積載質量。

表面粗さ・輪郭形状測定機 表面粗さ・輪郭形状統合測定機

20

…検出器 タイプ 駆動部と測定台

NEX測定部

デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器

（E-DT-CR14A）

測定範囲 Ｚ軸…(mm)：縦方向 5.0…(…標準アーム）、10.0…(…2倍アーム）

粗さセンシング方式 差動インダクタンス測定レンジ…(mm) 0.05…～…5.0測定分解能…(nm) 1.0…～…100

輪郭(H：測定高さmm）

センシング方式 高精度スケール測定レンジ…(mm) 5.0…測定分解能…(μm) 0.015…(フルレンジ)指示精度…(μm)：縦方向 ±（1.0+|2H|/100）※LH=50…mmスタイラス時

測定子

粗さ輪郭両用

型式 DM84071（LH=50…mm、標準アーム）測定力(mN) 0.75触針材質 ダイヤモンド触針形状 2…μmR/60°…円錐

輪郭用

型式 DM48775（LH=100…mm、2倍アーム）測定力…(mN) 4.0…触針材質 超硬合金　触針形状 25…μmR/24°…円錐

交換方式 交換式共通機能 下向き測定/上側リミット検出安全機構/リトラクト機能

検出器

輪郭測定用汎用検出器(E-DT-CH18A)

測定範囲 Ｚ軸…(ｍｍ)：縦方向 60.0…

輪郭測定(H：測定高さmm）

センシング方式 高精度スケール測定レンジ…(mm) 60.0…測定分解能…(μm) 0.04…(フルレンジ)指示精度…(μm)：縦方向 ±（1.5+|2H|/100）機能 上下向き測定/衝突検知安全機構/リトラクト機能

測定子 輪郭用

型式 DM45505交換方式 交換式測定力…(mN) 10…～…30（手動調整）触針材質 超硬合金触針形状 25…μmR/24°…円錐

輪郭測定用高精度検出器(E-DT-CH19A)

測定範囲 Ｚ軸…(ｍｍ)：縦方向 60.0…

輪郭測定(H：測定高さmm）

センシング方式 レーザ光回折スケール測定レンジ…(mm) 60.0…測定分解能…(μm) 0.02…(フルレンジ)指示精度…(μm)：縦方向 ±（0.8+|2H|/100）機能 上下向き測定/衝突検知安全機構/リトラクト機能

測定子 輪郭用

型式 DM45505交換方式 交換式測定力…(mN) 2 ～…30（ACCTeeから設定）触針材質 超硬合金触針形状 25…μmR/24°…円錐

粗さ測定用ピックアップ(E-DT-SS01A)

測定範囲 Ｚ軸…(μm)：縦方向 1000

粗さ測定

センシング方式 差動インダクタンス測定レンジ…(μm) 6.4…～…1000測定分解能…(nm) 0.1…～…20機能 下向き上向き測定/上側リミット検出安全機構

測定子 粗さ用

型式 DM43801交換方式 交換式測定力…(mN) 0.75触針材質 ダイヤモンド触針形状 2…μmR/60°…円錐

型式SURFCOM NEX

12 13 14 15 22 23 24 25

駆動部 Ｘ軸(L：測定長さmm)

センシング方式 リニアスケール

真直度精度

デュアルセンサ搭載…ハイブリッド検出器使用時…(μm) (0.05+1.0L/1000)　※標準アーム時

輪郭測定用高精度検出器使用時…(μm/mm) 1.0/100 2.0/200輪郭測定用汎用検出器使用時…(μm/mm) 1.0/100 2.0/200粗さ測定用ピックアップ使用時…(μm) (…0.05+1.0L/1000)

Ｘ軸指示精度…(μm)：横方向 ±…(…1.0+1.0L/100…)　※100…mm駆動部…輪郭測定時分機能…(μm) 0.016

速度…(mm/s) 移動時 0.03…～…60測定時 0.03…～…20

傾斜角度…(°…)デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器使用時 ±…10…(傾斜装置オプション）

上記以外 ±…15…(傾斜装置オプション）

測定台 コラム 速度…(mm/s) 移動時 Max.…10ベース 材質 はんれい岩

その他電源 電圧(V)、周波数(Hz) 単相…AC100…～…240、50/60

消費電力…(VA) Max.…670

空気源（除振台）

供給圧力…(MPa) 0.45…～…0.7使用圧力…(MPa) 0.4空気消費量…(L/min) 0.1（Max.…10）供給位置 本体背面空気源接続口径 Rc1/4…オス　（外径φ6…mm…チューブ用ワンタッチ管継手）

設置・使用環境温度

精度保証温度…(℃ ) 20…±…5　（温度変化率±0.5℃ /1…時間以内、0.1℃ /1…測定時間以内）動作保証温度…(℃ ) 10…～…30保管温度…(℃ ) 5…～…40

湿度 動作保証湿度…(%) 40…～…80（結露なきこと）保管湿度…(%) 80…以下（結露なきこと）

※…精度保証における温度変化率は、±0.5℃ /1時間以内、0.1℃ /1測定時間以内としています。※…仕様などの記載事項は、製品改良のため、お断り無しに変更することがあります。

※…供給電源、供給空気源、及び接続ホースは,必ず納入前にご準備をお願い致します。※…供給電源はアース付（D種接地）にてお願いいたします。 21

表面粗さ

・輪郭形

状統合測

定機表

面粗

さ測

定機

輪郭

形状

測定

機表

面粗

さ・

輪郭

形状

複合

測定

機

外観寸法表、寸法図

※1　(……)内はパソコン、ドライバーユニット、モニタ、プリンタ（DXのみ）を含んだ質量

ＤＸタイプ12 13 22 23

ＤＸタイプ14 15 24 25

※駆動部傾斜装置はオプションです。※空気源接続口径　Rc1/4…オス　（外径φ…6…mm…チューブ用ワンタッチ管継手）

※駆動部傾斜装置はオプションです。※空気源接続口径　Rc1/4…オス（外径φ…6…mm…チューブ用ワンタッチ管継手）

DXタイプ本体寸法 (mm) 測定範囲 (mm) ベース(mm) 質量 (kg)

幅 奥行き 高さ 定盤高さ

コラム高さ

X 軸（駆動部）

Z 軸(コラム) 幅 奥行

き 本体質量※ 1 最大積載質量

モデル 型式（コード） W…1 D…1 H…1 H…2 H…3 - - W…2 D…2 - -

DX

12

K2ABC

Ａ 960 762 1478 855 623 100 250 600 450 245…(275) 82

13 Ｂ 960 762 1678 855 823 100 450 600 450 255…(285) 72

14 C 1360 840 1673 850 823 100 450 1000 450 395…(425) 89

15 D 1360 840 1893 850 1043 100 650 1000 450 405…(435) 79

22 E 960 762 1478 855 623 200 250 600 450 250…(280) 76

23 F 960 762 1678 855 823 200 450 600 450 260…(290) 66

24 G 1360 840 1673 850 823 200 450 1000 450 400…(430) 83

25 H 1360 840 1893 850 1043 200 650 1000 450 410…(440) 73

表面粗さ・輪郭形状測定機 表面粗さ・輪郭形状統合測定機

22

※1　(……)内はパソコン、ドライバーユニット、モニタ、プリンタ（DXのみ）を含んだ質量… 下段は、オプションの除振台、架台、ラック、プリンタ（SDのみ）を含んだ総質量

外観寸法表、寸法図

SDタイプ12 13 22 23

SDタイプ14 15 24 25

※駆動部傾斜装置はオプションです。※空気源接続口径　Rc1/4…オス（外径φ…6…mm…チューブ用ワンタッチ管継手）

※駆動部傾斜装置はオプションです。※空気源接続口径　Rc1/4…オス（外径φ…6…mm…チューブ用ワンタッチ管継手）

SDタイプ本体寸法 (mm) 測定範囲 (mm) ベース(mm) 質量 (kg)

幅 奥行き 高さ 定盤高さ

コラム高さ

X 軸（駆動部）

Z 軸(コラム) 幅 奥行

き 本体質量※ 1 最大積載質量

モデル 型式（コード） W…1 D…1 H…1 H…2 H…3 - - W…2 D…2 - -

SD

12

K2DEF

Ａ 600 638 1441 818 623 100 250 600 450 120…(145)…　242 82

13 Ｂ 600 638 1641 818 823 100 450 600 450 130…(155)…　252 72

14 C 1000 780 1663 840 823 100 450 1000 450 215…(240)…　472 39

15 D 1000 780 1883 840 1043 100 650 1000 450 225…(250)…　488 29

22 E 600 638 1441 818 623 200 250 600 450 125…(150）…　247 76

23 F 600 638 1641 818 823 200 450 600 450 135…(160)…　256 66

24 G 1000 780 1663 840 823 200 450 1000 450 220…(245)…　483 33

25 H 1000 780 1883 840 1043 200 650 1000 450 230…(255)…　493 23

NEX

23

表面粗さ

・輪郭形

状統合測

定機表

面粗

さ測

定機

輪郭

形状

測定

機表

面粗

さ・

輪郭

形状

複合

測定

機