CircleCircle

Long Focal DepthDOE Beam ShaperLong Focal DepthDOE Beam Shaper Focusing LensFocusing Lens

集光レンズ集光レンズImage SurfaceImage Surface像面像面

長焦点深度DOEビームシェイパ長焦点深度DOEビームシェイパ

Single-mode BeamSingle-mode Beamシングルモードビームシングルモードビーム

Flattop BeamFlattop Beamフラットトップビームフラットトップビーム

円形均一強度分布SquareSquare

正方形均一強度分布

(532nm, f=200mm)(532nm, f=200mm)ø20µm≒回折限界*

Diffraction Limit

ø40µm

0

1

* 回折限界:ø27µm(1/e2)Diffraction Limit

強

度(a.u.)

Inte

nsity

Long Focal Depth DOE Beam Shaper

長焦点深度DOEビームシェイパ

(532nm, f=200mm)

ø65µm

ø44µm

0

1

強

度(a.u.)

Inte

nsity

(Reference for Comparison) Aspheric Beam Shaper《比較参考》非球面ビームシェイパ

-600 -450 -300 -150 0 +150 +300 +450 +600 (μm)∆Z=デフォーカス量 (レンズ側がマイナス)

集光レンズと組み合わせて、焦点位置でのビームのピーク強度を低減し、長焦点深度を実現

組み合わせる集光レンズの焦点距離を変えることで、サイズが変化

円形と正方形の2タイプを用意。テーパを抑えた微細な切断・穴あけや正方形ビームを利用した高効率パターニング加工を実現

集光レンズと組み合わせて、焦点位置でのビームのピーク強度を低減し、長焦点深度を実現

組み合わせる集光レンズの焦点距離を変えることで、サイズが変化

円形と正方形の2タイプを用意。テーパを抑えた微細な切断・穴あけや正方形ビームを利用した高効率パターニング加工を実現

The combination with a focusing lens reduces the peak intensity of the beam at the focal position, which achieves the long focal depth.

Flattop beam size can be changed linearly with the focal length of the focusing lens.

We offer two types: circular and square. Micro-cutting and micro-drilling with suppressed taper and effective patterning using a square beam is achieved.

The combination with a focusing lens reduces the peak intensity of the beam at the focal position, which achieves the long focal depth.

Flattop beam size can be changed linearly with the focal length of the focusing lens.

We offer two types: circular and square. Micro-cutting and micro-drilling with suppressed taper and effective patterning using a square beam is achieved.

Defocus margin (a change of work distance)

デフォーカス特性 Defocus characteristics

長焦点深度DOEビームシェイパシングルモードレーザー用集光機能分離型

For Single-mode Laser / Non-Focus

Long Focal Depth DOE Beam Shaper [Diffractive Optical Element]

光学製品ガイド No.011

長焦点深度DOEビームシェイパLong Focal Depth DOE Beam Shaper

像面Image Surface

均一ビーム 0.04mm角Uniform Beam: 0.04mm Square 断面プロファイル

Cross-sectional Profile

波長：532nmWavelength

ø5.0mm平行シングルモードビームCollimated Single-mode Beam

集光レンズFocusing Lens(FL200mm）

型番 DHLQ2-5-S40Cat. No.

0.04mm

■組み合わせ例 Application Example　波長 Wave Length 532nm　FL200集光レンズ FL200 Foucsing Lens

■標準品ラインアップ Lineup

DHL Z1-8-290DHL Z1-7.2-S310DHL Q1-4.7-80DHL Q1-5-S80DHL Q2-4.7-40DHL Q2-5-S40DHL Q3-4.7-27DHL Q3-5-S27DHL Q4-4.7-20DHL Q4-5-S20DHL Q4-3-S34

8.07.24.75.04.75.04.75.04.75.03.0

ø290310 × 310

ø8080 × 80

ø4040 × 40

ø2727 × 27

ø2020 × 2034 × 34

約95%約90%約95%約90%約95%約90%約95%約90%約95%約90%約90%

型番Cat. No

波長Wavelength(nm)

入射ビーム径Incident Beam Diameter

(1/e2 ømm)フラットトップ形状（代表例）

Typical Flattop Shape (μm)※

回折効率Diffraction Efficiency

25.425.425.025.025.025.025.025.025.025.025.0

5.085.085.005.005.005.005.005.005.005.005.00

寸法(mm)Dimensions

øD T

※波長10600nmは FL127、それ以外の波長は FL200集光レンズ使用時※The wavelength of 10,600nm is the value with FL 127 focusing lens; the other wavelengths are values with the FL 200 focusing lens

10600

1064

532

355

266

波長、入射ビーム径、フラットトップ形状をご指定ください。Specify wavelength, incident beam diameter and flattop shape.

DHL Q2 - 5 - S40型番例Product No.

波長WavelengthZ1 :10600nmQ1 :1064nmQ2 :532nmQ3 :355nmQ4 :266nm

入射ビーム径Incident Beam Diameter(5mm)

フラットトップ形状Flattop Shape(S:Square 40×40mm)

0.0-60 -40 -20 0 20 40 60

0.2

0.4

0.6

0.8

1.0

1.2

X (μm)

強 度(a.u.)

焦点強度分布

0.0-60 -40 -20 0 20 40 60

0.2

0.4

0.6

0.8

1.0

1.2

X (μm)

強

度(a.u.)

焦点強度分布■入射ビーム径変化の影響 The influence of the incident beam diameter change ■入射光軸ズレの影響 The influence of the incident beam decenter

基 準

+10%-10%

0.0mm

0.5mm

1.0mm

532nm, =200mm, 円形f Circle

Standard

Focal Point-Intensity Distribution Focal Point-Intensity Distribution

Inte

nsity

Inte

nsity

（2015.9）Ⅰ NTこの印刷物は再生紙を使用しています。

●廃棄の際は、都道府県指定の産業廃棄物処理業者に処理を委託してください。Disposal should be in compliance with all applicable laws and regulations. 警告

●火中に廃棄しないこと。 ●酸、アルカリに浸さないこと。Do not dispose by incineration. ●レンズは酸やアルカリとは区別して保管してください。Please store away from acid and alkali.

Do not dip in acid or alkali.