2600-PCT-xB 参数曲线跟踪仪配置

• 为最优性能价格比设计的完整的 解决方案

• 现场可升级，可重新配置 – 把PCT 转换成可靠性或晶圆分类测试仪

• 可以配置功率电平： –从200V到3kV –从1A到100A

• 宽动态范围： –从μV到kV –从fA到100A

• 范围全面的电容电压(C-V)功能：

–从fF到μF

–支持2端子、3端子和4端子器件

–高达3kV DC偏置

• 高性能测试夹具支持多种封装类型

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分析各种功率器件类型的电特性，包括：

MOSFET BJT

IGBT 二极管

Triac 电容器

电阻器 等等……

测量关键参数，如：

击穿电压 (Bvdss, Bvceo)

开态电流 (Vdson, Vcesat, Vf)

漏极/集电极泄漏

阈值或截止电压

(Idss, Ir/Icbo,Iceo)

机极/基极泄漏 (Igss, Ib)

(Vth, Vf, Vbeon)

正向传输 (yfs, Gfs, Hfe, gain)

电容 (Ciss, Coss, Crss) 等等……

Parame

tric c

urve

trace

r co

nfig

urat

ions

2600-PCT-4B型，带有8010型

测试夹具

探测站接口支持大多数探头类型，包括HV三同轴、SHV同轴、标准三同轴探头及其他探头

应用

功率半导体器件特性分析与测试

GaN、SiC、LDMOS以及其他器件特性分析

功率器件可靠性研究

器件检测与质量认证

高性能器件特性分析

开发和使用MOSFETS、IGBTs、二极管及其他高功率器件要求完善的器件级特性分析，如击穿电压、开态电流和电容测量。吉时利一系列高功率参数曲线跟踪仪配置支持全系列器件类型和测试参数。吉时利参数曲线跟踪仪配置包括特性分析工程师迅速开发完整的测试系统所需的一切。ACS基本版软件提供了完整的器件特性分析，包括实时跟踪模式及全部参数模式，实时跟踪模式用来迅速检查基础器件参数，如击穿电压；全部参数模式用来提取精确的器件参数。ACS基本版超越了传统曲线跟踪仪接口的能力，提供了广泛的一系列样本库。更重要的是，用户可以全面控制所有测试资源，创建以前在曲线追踪仪上不能实现的更先进的测试。

参考

曲线

跟踪

仪配

置半

导体

2600-PCT-xB 参数曲线跟踪仪配置

配置选型指南

型号1

集电极/漏极电源2

高压模式

高流模式

低功率 2600-PCT-1B 200 V/10 A 200 V/10 A 200 V/10 A N/A

高流 2600-PCT-2B 200 V/10 A 40 V/50 A 200 V/10 A 200 V/10 A

高压 2600-PCT-3B 3 kV/120 mA 200 V/10 A 200 V/10 A 200 V/10 A

高流和高压

2600-PCT-4B 3 kV/120 mA 40 V/50 A 200 V/10 A 200 V/10 A

可供附件

Probe Chuck

Wafer

Prober

PROBE STATION

晶圆级特性分析

封装部件特性分析结果!

订购信息2600-PCT-1B 低功率2600-PCT-2B 高电流2600-PCT-3B 高电压2600-PCT-4B 高电压和高电流

提供的附件

ACS-BASIC元件测试软件

KUSB-488B USB-GPIB适配器

全部线缆与适配器，连接8010测试夹具或8020高功率接口面板

注：不包括PC和监视器；用户必须提供Windows XP/7 PC，须有一个USB端口。

2651A 高功率系统数字源表(任何系 统都可以增加到50A，最大 100A)

2657A 高功率系统数字源表(任何系 统都可以增加到3kV，这是每 个系统一个单元最大值)

K420 工作台塔，用于小型PCT配置 的移动推车

K475 工作站塔，用于所有PCT配置 的移动推车

PCT-CVU 多频率电容电压(C-V)表

70161-MSA 键盘/监控器摇臂，用于K420 与K475推车

8020 高功率接口面板：为连接探 测站提供理想的解决方案

8010 高功率器件测试夹餐

8010选项

CVU-3K-KIT 高达3kV C-V的偏置T型套件

CVU-200-KIT 高达400V C-V的偏置T型套件

8010-CTB 可定制测试板

8010-DTB 器件测试板，带TO-247插座

8010-DTB-220 器件测试板，带TO-220插座

8010-DTB-CT 器件测试板，兼容泰克曲线 跟踪仪插座

8020高功率接口面板

PCT配置2600-PCT-4B型

8010高功率器件测试夹具

吉时利参数曲线跟踪仪配置是完整的特性分析工具，包括功率器件分析所需的主要要素。测量通道包括吉时利数字源表®源测量单元(SMU)仪器和选配的多频率电容-电压(C-V)表。这些仪器的动态范围和准确度比传统曲线跟踪仪高出若干量级。

完整的系统附件为了实现这种性能，吉时利公司已经开发出一系列高精密电缆，实现与吉时利8010型高功率器件测试夹具或8020型高功率接口面板的连接，前者用于封装部件测试，后者用于晶圆级测试。对于高电压通道，定制三轴电缆可以提供保护路径，支持快速稳定和超低电流，包括在3kV全高压情况下。对于高电流通道，专用低电感电缆可以提供快速上升时间脉冲，使器件自热效应达到最小。

高压电容-电压(C-V)测试器件电容相对DC电压的关系正变得越来越重要。吉时利提供了PCT-CVU型多频率电容电压表。在与选配的200V或3kV偏置T型装置结合使用时，可以在两端子、三端子或四端子器件上测量电容相对电压的关系。可以测量从pF到100nF的电容，支持10kHz ~ 2MHz的测试频率。ACS基本版软件提供了60多种内置C-V测试，包括MOSFET Ciss、Coss、Crss、Cgd、Cgs、Cds及全套其他器件，如BJTs和二极管。一如既往，用户可以实现全面控制，在ACS基本版软件中开发自己的测试算法。

吉时利参数曲线跟踪仪同时支持封装部件测试和晶圆级测试。

阶跃发生器基极/栅极

电源辅助电源

1. 关于定制配置，请与吉时利现场应用工程师联系。

2. 通过添加2651A型号，可以将高电流模式增加到50A或100A。

3. 可以在任何配置中增加PCT-CVU多频率电容表。

参考

曲线

跟踪

仪配

置半

导体

典型功率晶体管参数

参数 符号 测试方法1 最大量程 典型最佳分辨率

典型精度

击穿电压 Bvdss, Bvceo Id-Vd或Id (脉冲) ±3000 V 2 100 µV, 10 fA 0.05% rdg + 0.05% rng

开态电流(直流) Vdson, Vcesat, Vf Id–Vd ±20 A 4 ，可选：±40A 4 100 nA, 1 µV 0.05% rdg + 0.05% rng

开态电流(脉冲) Vdson, Vcesat, Vf Id–Vd 100 µA, 1 µV 0.05% rdg + 0.05% rng

漏极/集电极漏电流 Idss, Ir/Icbo, Iceo Id–Vd ±20 mA @ 3000 2, 510 fA, 1 µV 0.2% rdg + 1% rng

栅极/基极漏电流 Igss, Ib Ig–Vg ±1A或±10 A脉冲3 10 fA, 1 µV 0.2% rdg + 1% rng

开态阈值电压或截止电压

Vth, Vf, Vbeon, Vcesat Id–Vg 10 fA, 1 µV 0.2% rdg + 0.5% rng

正向传输导纳或正向跨导

|yfs| Gfs, Hfe, gain Vd–Id @ Vds 1 pA, 1 µV 1%

开态电阻 RDS(on), Vcesat Vd–Vg @ Id 1%

输入电容 Ciss C–V 100 kHz 100 nF 8±3 kV 10 fF, 100 µV 典型值5%+2pF

输出电容 Coss C–V 100 kHz 10 fF, 100 µV 典型值5%+2pF

反向传输电容 Crss C–V 100 kHz 10 fF, 100 µV 典型值5%+2pF

高电流、低电感电缆 高电压、低噪声三同轴电缆

8020高功率接口面板

2600-PCT-4B型，带有8010型测试夹具

8010高功率器件测试夹具

Parame

tric c

urve

trace

r co

nfig

urat

ions

2600-PCT-xB 参数曲线跟踪仪配置

±50 A 4，可选：±100A 4

±200 V 3

1 ms ～1000 s 6

<100μΩ 7

100 nF 8±3 kV

100 nF 8±3 kV

10μQ，1μV

1. 用于提取参数的测试方法。仅列出典型MOSFET，其他器件使用的方法类似。

2. 2657A型高功率系统数字源表仪器。

3. 2636B型数字源表或4210型源测量单元（SMU）仪器。

4. 2651A型高功率系统数字源表仪器或者可选择双2651A型高功率系统数字源表仪器。

5. 在3000V电压时最大电流20mA，在1500V电压时最大电流120mA。

6. 典型提取能力(示例: 1mA/1V ～ 1A/1mV)。

7. 典型提取能力(示例: 1mV/10A)。

8. 使用PCT-CVU和CVU-3K-KIT时，最大±200V直流 (±3kV)偏置。

参考

曲线

跟踪

仪配

置半

导体

典型测试简介器件 泄漏 击穿 增益 开态

双极型晶体管

IEBO, IECO, IEVEB, ICVCB

BVCBO, BVCEI, BVCEO, BVCEV, BVEBO, BVECO

HFE

IBCO, IBEO, IBICVBE, IBVBE, ICBO, ICEV, ICVCE_BiasIB, ICVCE_BiasVB, ICVCE_StepIB, ICVCE_StepVB, VBCO, VCE

MOSFET IDL,

IDS_ISD, IGL, ISL

BVDSS, BVDSV, BVGDO, BVGDS,

BVGSOGM

IDVD_BiasVG, IDVD_StepVG, IDVG_BiasVD, IDVG_StepVD, IDVG_StepVSUB, IGVG, VTCI, VTEXT, VTEXT_IISQ

二极管 IRDVRD VBRIRD NADYNAMICZ, IFDVFD, VFDIFD, VRDIRD

电阻器 NA NA NA IV

电容器 IVCiss, Coss, Crss, Cgd, Cds, Cgs

NAIndependent bias on up to 4 terminals.

公式函数简介类型

算术 ABS, AVG, DELTA, DIFF, EXP, LN, LOG, LOG10, SQRT

参数提取

GMMAX, RES, RES_4WIRE, RES_AVG, SS, SSVTCI, TTF_DID_LGT, TTF_LGDID_T, TTF_DID_T, TTF_LGDID_LGT, VTCI, VTLINGM, VTSATGM

拟合

EXPFIT, EXPFITA, EXPFITB, LINFIT, LINFITSLP, LINFITXINT, LINFITYINT, REGFIT, REGFITSLP, REGFITXINT, REGFITYINT, REGFIT_LGX_LGY, REGFIT_LGX_Y, REGFIT_X_LGY, TANFIT, TANFITSLP,TANFITXINT, TANFITYINT

操作AT, FINDD, FINDLIN, FINDU, FIRSTPOS, JOIN, LASTPOS, MAX, MAXPOS, MIN, MINPOX, POW, SMOOTH

多测试模式允许对一个器件进行多项测试。

跟踪模式支持器件的交互测试。

2600-PCT-xB 参数曲线跟踪仪配置半导体参数测试软件，适用于组件与分立器件ACS基本版本软件是专为利用吉时利仪器的高性能能力而开发的，它包括几个履行常见高功率器件测试的样本库。与其他系统不同的是，该软件在测量通道配置方面，给用户带来几乎不受限制的灵活性，可以创建传统曲线跟踪仪无法实现的测试。

与传统曲线跟踪仪相比，PCT图形提供了高分辨率屏幕数据分析功能、完整的图形定制能力，并能够简便地报告到任何字处理软件或报告软件。

参考

曲线

跟踪

仪配

置半

导体