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PROCESSGARD® PDP カラーレジスト用フィルター
カラーレジストアプリケーションにおける先端のろ過処理
クリティカル マテリアルズ ハンドリング
2 ENTEGRIS, INC.
PROCESSGARD PDP カラーレジスト用フィルター
カラーレジストアプリケーションにおける 先端のろ過処理
概要ProcessGard® (プロセスガード) PDP フィルターは、幅広いカラーレジストアプリケーションにおいて先端のろ過処理を実現します。不織布ポリプロピレン (PP) メンブレンによる多層のデプスプリーツ構造のプロセスガード PDP フィルターは、顔料分散レジストろ過処理において、ゲル状の凝集物を除去します。プロセスガード PDP のメディアの組み合わせにより、粒子保持力を発揮するとともに、優れた流量特性を維持しながら、歩留まりを向上させます。フィルターの寿命が延びることでフィルターのダウンタイムが短縮され、運用コストを最小限に抑えます。プロセスガード PDP フィルターにはカートリッジとディスポーザブルのラインアップがあ
り、カラーレジストろ過の最適化と先進の研究開発に向けた最適な選択肢です。
アプリケーション• カートリッジフィルター : ミルベース材料および顔料分散レジスト製造におけるプレフィルターおよび最終フィルター
• ディスポーザブルフィルター : フラットパネルディスプレイのカラーレジストコーティングにおける使用点 (POU) 用フィルター
特長と利点特長 利点
多層構造 顔料分散カラーレジストろ過処理において、ゲル状の凝集物を除去
優れたメディアの組み合わせにより、高い粒子保持力を発揮
優れた分級特性によるディフェクトの低減
最適化された デプスプリーツメディア
膜面積の増加によるろ過性能のアップ
フィルターの寿命を延長
低い運用コストで効果的なろ過
高流量 ろ過時間を短縮し、コストオブオーナーシップに寄与
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PROCESSGARD PDP カラーレジスト用フィルター
φ70 MM コード 0 φ70 MM コード F
φ70 MM コード 5 φ70 MM コード 7
Ø70 mm
A
フィルター長さ A
10” 263 mm
20” 509 mm
30” 756 mm
A
Ø70 mm
フィルター長さ A
10” 316 mm
20” 562 mm
30” 809 mm
A
Ø70 mm
フィルター長さ A
10” 253 mm
20” 497 mm
30” 745 mm
A
Ø70 mm
フィルター長さ A
10” 318 mm
20” 566 mm
30” 815 mm
仕様カートリッジ ディスポーザブル
材質: フィルター ポリプロピレン 0.2、 0.4、 0.5 µm
ポリプロピレン/ナイロン 1.5 µm
サポート、コア、スリーブ ポリプロピレン
シール材 EPDM、 FKM (フッ素ゴム)、E-FKM (被覆フッ素ゴム)
ハウジング ポリプロピレン
公称除粒子孔径: 0.2、 0.4、 0.5、 1.5 µm
使用条件: 最大許容正差圧 0.4 MPa @ 20°C
最大許容逆差圧 0.25 MPa @ 20°C
最高使用圧力 0.5 MPa @ 20°C
最高使用温度 80°C 60°C
カートリッジ形状: コード 0、コード 5 O-リング AS568-222
コード 7 O-リング AS568-226
コード F ガスケット (EPDM またはフッ素ゴムのみ)
接続: 入口/出口 コンプレッションシール、NPT
ベント/ドレン コンプレッションシール、NPT
プロセスガード PDP カートリッジフィルター寸法
4 ENTEGRIS, INC.
PROCESSGARD PDP カラーレジスト用フィルター
流量
プロセスガード PDP 10 インチタイプカートリッジフィルター
流量 (L/min) 1 mPa • s @ 20°C
差圧
(kPa
)80
60
40
20
0
0 10 30 5020 60
0.5 µm
0.2 µm
0.4 µm
1.5 µm
製品型番のご案内*
オプション C = 純水洗浄ブランク = 洗浄なしシール材
E = EPDMV = フッ素ゴムT = 被覆フッ素ゴム
(コード F を除く)
カートリッジ 長さ1 = 10 インチタイプ
2 = 20 インチタイプ
3 = 30 インチタイプ
カートリッジ形状0 = コード 0F = コード F5 = コード 57 = コード 7
除粒子孔径 (公称) 02A = 0.2 µm
04A = 0.4 µm
05A = 0.5 µm
15NC = 1.5 µm
プロセスガード PDP カートリッジフィルター製品型番PGPN 1
* 参考情報です。記号の組み合わせによっては提供できない製品がありますので、 具体的な型番につきましては日本インテグリスまでお問い合わせください。
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PROCESSGARD PDP カラーレジスト用フィルター
プロセスガード PDP ディスポーザブルフィルター寸法
接続 ハーフ (11⁄2”) ショート (21⁄2”) ロング (5”)
入口/出口 ベント/ドレン A B A B A B
2C 1⁄4” コンプレッションシール
1⁄4” コンプレッションシール
68 mm 95 mm 98 mm 125 mm 153 mm 179 mm
3C 3⁄8” コンプレッションシール
1⁄4” コンプレッションシール
68 mm 95 mm 98 mm 125 mm 153 mm 179 mm
4C 1⁄2” コンプレッションシール
1⁄4” コンプレッションシール
68 mm 101 mm 98 mm 131 mm 153 mm 185 mm
2N 1⁄4” NPT オス 1⁄8” NPT オス 68 mm 98 mm 98 mm 128 mm 153 mm 182 mm
ハーフタイプ (11⁄2”) ショートタイプ (21⁄2”) ロングタイプ (5”)
26 mm
B A
Ø73.2 mm
Ø68.2 mm
26 mm
Ø73.2 mm
Ø68.2 mm
26 mm
Ø73.2 mm
Ø68.2 mm
B A
B A
ドレン入口
ドレン入口
ドレン入口
ベント出口
ベント出口
ベント出口
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流量
流量 (L/min) 1 mPa • s @ 20°C
プロセスガード PDP ショート (21⁄2”) タイプディスポーザブルフィルター
入口/出口 1⁄4” コンプレッションシール差圧
(kPa
)
80
60
40
20
0
0 1 32 4 5
0.5 µm
0.2 µm
0.4 µm
1.5 µm
製品型番のご案内*
オプション C = 純水洗浄ブランク = 洗浄なし接続
2C = 1⁄ 4” コンプレッションシール (ベント/ドレン 1⁄ 4” コンプレッションシール)
3C = 3⁄ 8” コンプレッションシール (ベント/ドレン 1⁄ 4” コンプレッションシール)
4C = 1⁄ 2” コンプレッションシール (ベント/ドレン 1⁄ 4” コンプレッションシール)
2N = 1⁄ 4” NPT オス (ベント/ドレン 1⁄ 8” NPT オス)
入口/出口の 接続サイズH = ハーフタイプ
(11⁄ 2”)S = ショート タイプ (21⁄ 2”)
L = ロングタイプ(5”)
除粒子孔径 (公称) 002A = 0.2 µm
004A = 0.4 µm
005A = 0.5 µm
015NC = 1.5 µm
プロセスガード PDP ディスポーザブルフィルター製品型番PGPDN
* 参考情報です。記号の組み合わせによっては提供できない製品がありますので、 具体的な型番につきましては日本インテグリスまでお問い合わせください。
詳細情報本製品に関する詳細情報および最新情報については、インテグリスまでお問い合わせください。インテグリス製品全般については、 www.entegris.com/nihon のホームページから「製品情報」にアクセスすると、ご覧いただけます。
販売条件全ての購入は、インテグリスの「販売条件」に従うものとします。インテグリスの「販売条件」は、www.entegris.com のホームページを開き、フッター欄の「Legal Notices」をクリックすると、閲覧または印刷することができます。
