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DS-VA-1350E-eng-J Preliminary(R4) Dec. 2011
Brooks Model 1350E and 1355E
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TMTMTMTM ““““50505050”””” MODEL1350E MODEL1350E MODEL1350E MODEL1350E
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TMTMTMTM ““““150150150150”””” MODEL1355E MODEL1355E MODEL1355E MODEL1355E 一般的特徴一般的特徴一般的特徴一般的特徴 ・1：10のレンジアビリティ ・ホウケイ酸ガラスを採用 ・幅広い流量に対応 ・端面シール構造 ・配管から取り外さずにテーパ管の着脱が容易
概要概要概要概要
Brooksショーレートパージメータ 1350Eおよび 1355Eは、 小流量用に設計されたモデルで、精度±5%(1355E)、 精度±10%(1350E)で提供いたします。ニードルバルブ、NRS 精密ニードルバルブ、フローコントローラのオプションが利用 できます。 仕様仕様仕様仕様
※仕様の FS流量、流量表 1～5に記載の Airの最大流量は、流量単位および体積基準が混在しています。 ※個別仕様のご相談は、巻末に記載しています事業所へご連絡ください。
項目 1350E 1355E 流量レンジ 1:10 1:10
FS 流量(Water) 0.7~1,833 mL/min 0.59~2,080 mL/min
FS 流量( A I R ) 61~64,200 mL/min[s] 50~64,700 mL/min[s] 精度 標準：±10 % FS 標準：±5 % FS 繰り返し性 ±0.5 % FS 目盛長 65 mm 150 mm 目盛形式 ディカル管目盛,ミリ目盛
(オプション) 実流量目盛 ボディ材質 真鍮または SUS316 テーパ管材質 ホウケイ酸ガラス パッキン材質 ネオプレン,バイトン
(オプション) EPM フロート材質 ガラス、サファイア、SUS316、カーボロイ、タンタル 最高使用圧力 0.9 MPa 耐圧 1378 kPa at 121℃ 耐温度 120℃ 制御バルブ 標準ニードルバルブ、カートリッジバルブ
(オプション) NRS 精密ニードルバルブ、フローコントローラ 接続規格 NPT(F)1/8、NPT(F)1/4、Rc1/8, Rc1/4, Rc3/8
(オプション) 1/8 チューブ継手、1/4 チューブ継手, 1/4ID ホース アクセサリ アルミニウムベゼル
ステンレスサイドプレート 原産国 米国
Model 1350E Sho-Rate “50” with optional Needle Valve
Model 1350E-8900 Sho-Rate “50”
with optional integral flow contoller
Model 1355E Sho-Rate “150”
with optional Needle Valve
DS-VA-1350E-eng-J Preliminary(R4) Dec. 2011
Brooks Model 1350E and 1355E
流量表 1 1350E リブガイド付きガラステーパ管、ボールフロート 最大流量
WATER *Air メータ サイズ
チューブ フロート
L/h コード L/h[n] コード ガラス 0.042 JB9 3.4 JB8 サファイア 0.085 JC2 5.0 JC1
SUS 0.18 JC5 9.0 JC6 カーボロイ 0.38 JB5 17.0 JB3
R-2-65-A タンタル 0.42 JC9 19.0 JD3 ガラス 0.048 KB2 4.0 KB9 サファイア 0.10 KD3 5.5 KC3
SUS 0.22 KC6 11.0 KC8 カーボロイ 0.48 KB5 22.0 KB6
R-2-65-B タンタル 0.50 KD5 22.0 KD1 ガラス 0.42 LB7 24.0 LB8 サファイア 0.6 LC2 34.0 LC4
SUS 1.4 LC8 50.0 LC6 カーボロイ 2.4 LB2 80.0 LB5
R-2-65-C タンタル 2.6 LD2 85.0 LD4 ガラス 2.4 MB7 100 MC1 サファイア 3.6 MC3 130 MC5
SUS 6.0 MD1 200 MC8 カーボロイ 9.0 MB2 280 MB4
2
R-2-65-D タンタル 10.0 MD6 300 MD4 ガラス 8.5 NB7 340 NB9 サファイア 13.0 NC3 460 NC5
SUS 20.0 ND3 650 ND2 カーボロイ 32.0 NB3 950 NB6
R-6-65-A タンタル 34.0 ND5 1000 ND4 ガラス 30.0 PB8 1100 PB7 サファイア 44.0 PC3 1500 PC2
SUS 70.0 PC9 2200 PC6 カーボロイ 100 PB2 3400 PB4
6
R-6-65-B タンタル 110 PD6
3600 PD4
*Air の最大流量は、温度 21.1℃, 圧力 1atm のときの流量です。体積の基準温度は、0℃です。
DS-VA-1350E-eng-J Preliminary(R4) Dec. 2011
Brooks Model 1350E and 1355E
流量表 2 :スケール板目盛 チューブ 流量表 3 スケール板目盛 フロート 目盛仕様(スケール板) コード 1350E チューブ
1355E チューブ
A R-2-15-A
B R-2-15-AA
流量精度 フロート MM
実目盛 シングル
実目盛 デュアル ブランク
C ガラス 1A 2A 2N 3A
D R-2-15-B SUS 1B 2B 2P 3B
E R-2-15-C サファイア 1C 2C 2Q 3C
F R-2-15-D カーボロイ 1D 2D 2R 3D
G R-6-15-A
標準 1350E - 10% 1355E – 5% タンタル 1E 2E 2S 3E
H R-6-15-B ガラス 1G 2G 2U
J R-2-65-A R-2-15-AAAA SUS 1H 2H 2V
K R-2-65-B サファイア 1J 2J 2W
L R-2-65-C カーボロイ 1K 2K 2X
M R-2-65-D
特殊
1350E – 5% 1355E – 2% タンタル 1L 2L 2Y
N R-6-65-A N/A フロート無し 9A 9C
P R-6-65-B
Y チューブ無し チューブ無し 流量表 4 1355Ｅリブガイド付きガラステーパ管、ボールフロート 最大流量※2 管目盛 メータ サイズ
チューブ フロート WATER CC/MIN
Air SCC/MIN 0-150MM ガラス 0.59 50 JA6 サファイア 1.1 79 JA8
SUS 2.6 150 JA7 カーボロイ 5.2 280 JA9
Ｒ-2-15-AAAA タンタル 5.8 310 JB1 ガラス 1.11 88 BA6 サファイア 2.15 136 BA8
SUS 4.93 258 BA7 カーボロイ 9.33 439 BA9
R-2-15-AA タンタル 10.4 478 BB1 ガラス 5.75 380 FA6 サファイア 10.5 518 FA8
SUS 20.6 832 FA7 カーボロイ 33.2 1240 FA9
R-2-15-D タンタル 35.9 1320 FB1 ガラス 16.6 830 AA6 サファイア 26.3 1100 AA8
SUS 46.2 1690 AA7 カーボロイ 70.8 2440 AA9
R-2-15-A タンタル 75.9 2600 AB1 ガラス 52.8 2370 DA6 サファイア 79.7 3080 DA8
SUS 133 4700 DA7 カーボロイ 199 6700 DA9
R-2-15-B タンタル 212 7100 DB1 ガラス 84.6 3900 EA6 サファイア 129 5100 EA8
SUS 218 7600 EA7 カーボロイ 326 10600 EA9
2
R-2-15-B タンタル 349 11300 EB1 ガラス 200 8700 GA6 サファイア 297 11200 GA8
SUS 493 16600 GA7 カーボロイ 726 23200 GA9
R-6-15-A タンタル 772 24600 GB1 ガラス 573 23900 HA6 サファイア 851 30200 HA8
SUS 1350 43800 HA7 カーボロイ 1950 61200 HA9
6
R-6-15-B タンタル 2060 64700 HB1
*Air の最大流量は、温度 21.1℃, 圧力
1atm のときの流量です。体積の基準温度は、21.1℃です。 ※2最大流量は、前述条件における測定流量です。実際の目盛では、端数の丸めや個体差があります。
DS-VA-1350E-eng-J Preliminary(R4) Dec. 2011
Brooks Model 1350E and 1355E
寸法図寸法図寸法図寸法図
注文形式注文形式注文形式注文形式
項目 (記載例)
1 モデルコード (次頁,モデルコード表参照) 1355EH2A1G1A
2 材質指定 SUS316, バイトン
3 流量データ 検査成績書+NISTトレーサビリティ証明書
4 製作仕様 Water, 548mL/min, 20℃, 1atm, 1.0SG
5 オプション指定 無し
6 特殊仕様の相談 無し モデルコードのうち、項目【流量較正】については、製作仕様によって変更されることがあります。
TRADEMARKS Brooks……………………………Brooks Instrument LLC Carboloy……………………………General E lect r ic Co . Kal rez…………………………DuPont Dow Elastomers NRS………………………………Brooks Inst rument LLC Sho-Rate…………………………Brooks Instrument LLC Teflon……………………………E.I. DuPont de Nemours Viton…………………DuPont Performance Elastomers
1350E シリーズ 1355E シリーズ
DS-VA-1350E-eng-J Preliminary(R4) Dec. 2011
Brooks Model 1350E and 1355E
モデルコードモデルコードモデルコードモデルコード表表表表
Brooks Inst rument
407 West V ine Street ,
P .O. Box 903
Hatf ie ld , Pa 19440-0903 USA
T +1-215-362-3700
F +1-215-362-3745
E-Mai l BrooksAm@Brooksins trument.com
www.Brooksinst rument.com
Brooks Inst rument
Neonstraat 3
6718WX Ede, Nether lands
T +31-318-549-300
F +31-318-549-309
E-Mai l BrooksEU@Brooksinst rument.com
ブルックスインスツルメント株式会社 本社・東京営業所 〒136-0073 東京都江東区北砂1-4-4
TEL.03-5633-7100 FAX.03-5633-7101 大阪営業所 〒532-0003 大阪市淀川区宮原4-5-36-2F
TEL.06-6399-0760 FAX.06-6399-0761
E-Mail B rooksAs@Brooksins trument.com
モデルコード
1350E 65mm チューブ，サイズ 1-6
1355E 150mm チューブ, サイズ 2-6
ガラステーパ管,スケール,フロート
MODEL 1350E , 1355E スケール板目盛 流量表 2 および 3
XXX MODEL 1350E ディカル管目盛 流量表 1
MODEL 1355E 0-150mm 管目盛 流量表 4
シール材質 （パッキン） （O リング）
A NBR NBR
C バイトン バイトン
M EPM EPM
フィッティング･継手材質および継手種類
D 真鍮, NPT(F)1/8 ロックナット付き
L 真鍮, NPT(F)1/4 ロックナット付き
S 真鍮, 1/8 チューブ継手 ロックナット付き
Y 真鍮, 1/4 チューブ継手 ロックナット付き
2 真鍮, 1/4 ホース継手
F SUS, NPT(F)1/8 ロックナット付き
N SUS, NPT(F)1/4 ロックナット付き
T SUS, Rc1/8 ロックナット付き
W SUS, Rc1/4 ロックナット付き
3 SUS, Rc3/8 ロックナット付き
U SUS, 1/8 チューブ継手 ロックナット付き
1 SUS, 1/4 チューブ継手 ロックナット付き
4 SUS, 1/4 ホース継手
バルブオプション(1)
A バルブプラグ(メータの場合)
B-D 真鍮, 標準ニードルバルブ (B)Low, (C)Med, (D)High
E-G SUS, 標準ニードルバルブ (E)Low, (F)Med, (G)High
1-3 SUS, カートリッジバルブ (1)Low, (2)Med, (3)High
H-N 真鍮, NRS ニードルバルブ (H)＃1, (J) #2, (K)#3, (L)#4, (M)#5, (N)＃6
P-U SUS, NRS ニードルバルブ (H)＃1, (J) #2, (K)#3, (L)#4, (M)#5, (N)＃6
V フローコントローラ付き
W 標準,バルブ取付孔 – バルブ無しの場合はプラグを使用
バルブオプション(2) (取付位置) (流れ方向)
1 入口側 下背 → 上背
5 出口側 下背 → 上背
アクセサリ, 証明書
A 無し
B アルミニウムベゼル
L SUS サイドプレート
N NIST トレーサビリティ証明書類
