株式会社 ＡＤＥＫＡ〒116-8553 東京都荒川区東尾久7-2-35

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■本資料中の情報は、ご使用上の便宜を図るための指針を提供する事を目的としており、製品の性能を保証するものではありません。 ■本資料でご紹介しました用途へのご使用については、工業所有権にご注意願います。 ■本資料に記載の実験データ等は、記載された条件下で得られた測定値の代表例です。 ■本製品の取り扱いに際しては、化学物質の事故防止のために、製品安全データシート（MSDS）をご確認ください。尚、本資料記載以外の用途にご検討頂く場合は、本製品を安全に、より有効に御使用頂くために、予め当社担当までご連絡願います。

作成 2013.05.13改訂 2014.12.04

用途Use

分類Item

元素名Element

製品名Product

性状Appearance

高誘電体High-k

強誘電体Ferroelectrics

Al2O3 AlAI(MMP)3 液体 LiquidTMA：AlMe3 液体 Liquid

BITBi　 Bi(MMP)3

Ti(MMP)4固体 ( 融点49℃) Solid (m.p. 49℃)

Ti 液体 Liquid

Ta2O5 TaTBTDET ：t-BuN=Ta(NEt2)3 液体 LiquidTBTEMT ：t-BuN=Ta(NEtMe)3 液体 Liquid

Nb2O5 NbTBTDEN ：t-BuN=Nb(NEt2)3 液体 LiquidTBTEMN：t-BuN=Nb(NEtMe)3 液体 Liquid

HfO2 Hf　Hf(MMP)4 液体 LiquidHTTB　　：Hf(OtBu)4 液体 LiquidTDMAH　：Hf(NMe2)4 固体 ( 融点32℃) Solid (m.p. 32℃)

ZrO2 ZrZr(MMP)4 液体 LiquidZTTB　　：Zr(OtBu)4 液体 LiquidTEMAZ　：Zr(NEtMe)4 液体 Liquid

TiO2 TiTi(MMP)4 液体 LiquidTTTB　　：Ti(OtBu)4 液体 Liquid

TiN TiTiCl4 液体 LiquidTDMAT　 : Ti(NMe2)4 液体 LiquidTEMAT　 : Ti(NEtMe)4 液体 Liquid

Ru/RuO RuRu(OD)3 粘性液体 Viscous liquidRu(EtCp)2 液体 Liquid

TMCTS　 : (-Me(H)SiO-)4 液体 Liquid

TEMAT　：Ti(NEtMe)4 液体 Liquid

電極・バリアメタルElectrode, Barrier metal

光デバイスOptical Devices ZnO Zn

Zn(EDMDD)2Zn(OD)2

液体 Liquid液体 Liquid

ECH 　　　: Ethylcyclohexane 液体 ( 沸点132℃) Liquid (b.p. 132℃)Hexane 液体 ( 沸点69℃) Liquid (b.p. 69℃)Octane 液体 ( 沸点126℃) Liquid (b.p. 126℃)

高純度溶剤High-Purity Solvent

SiO2

Si

Si(MMP)4 液体 LiquidTEOS　　 : Si(OEt)4 液体 Liquid

液体 LiquidSiO2/SiN

Low-k

TDMAS　 : HSi(NMe2)3TICS 　　 : Si(NCO)4

液体 LiquidOMCTS　 : (-Me2SiO-)4 液体 Liquid

絶縁膜Dielectric Film

STO

Rare earth

DyDy(EDMDD)3 粘性液体 Viscous liquidDy(s-BuCp)3 液体 Liquid

LaLa(EDMDD)3 固体 ( 融点150℃) Solid (m.p. 150℃)La(i-PrCp)3 液体 Liquid

SrTi　

Sr(METHD)2 粘性液体 Viscous liquidTi (MPD)(THD)2 粘性液体 Viscous liquid

PrPr(EDMDD)3 固体 ( 融点50℃) Solid (m.p. 50℃)Pr(s-BuCp)3 液体 Liquid

ScY

Sc(EDMDD)3 粘性液体 Viscous liquidY(s-BuCp)3 液体 Liquid

Yb Yb(EDMDD)3 粘性液体 Viscous liquid

Aluminum

Tantalum

Niobium

Hafnium

Zirconium

Titanium

Dysprosium

Lanthanum

Praseodymium

ScandiumYttriumYtterbiumStrontiumTitaniumBismuthTitanium

Titanium

Ruthenium

Silicon

Zinc

TECHNICALINFORMATION