VSYS VC412 · 2 H 6, SiH 2 Cl 2, SiHCl 3 폭발성 H 2, CH 4, C 2 H 2, C 3 H 3, H 2 S, CO 독성 AsH 3, PH 3, SiH 4, B 2 H 6, C 2 H 2, CHClF 2, BF 3, NH 3, CO, H 2 S, Cl 2, HCl, CCl

VSYS VC412

PRESSURE & FLOW CONTROLLER

2019. 1

Ver 2.60

WARRANTY

㈜브이시스의 VC412 PRESSURE & FLOW CONTROLLER 의 보증 수리 기간을 1 년으로 한다.

단, 사용자의 부주의로 인한 고장일 경우 보증 수리 기간에 관계없이 유상 수리를 원칙으로 한다.

RA312는 기본적으로 AC95~265VAC(50/60Hz) 에서 동작하도록 제작 되었다.

Cable 연결 또는 분리할 경우 본 기기의 전원을 OFF한 후 진행한다. 사용자는 제품에 하자가 있거나 이상한 증상을 발견 하였을 경우 임의로 제품을 분해 할 수 없으며, 임의로 제품을 분해 할 경우

보증 수리 기간은 자동 해지된다.

반드시 (주)브이시스에 연락하여 적절한 조치 및 수리를 받도록 한다.

Tel : 031 - 8065 - 5570

Fax : 031- 8065 - 5575

www.vsys.co.kr

CONTENTS

PAGE

Introduction / General information 2

Description 2

VC412 specifications 2

Safety 3

General 3

Safety Warning & Attention 3

Environmental requirements 3

Customer Support & FAQ 4

Installation 5

Sensor connect advices 5

Model & Serial Number 6

APC Valve Connector Pin out 7

Capacitance Manometer Connector Pin out 7

MFC Connector Pin out 8

Convection Gauge Connector Pin out 8

RS232 / RS 485 Connector Pin out 9

Interface Connector Pin out 10

Orientation 11

Front Panel Components 11

Key combination 12

Operation 13

SPT 13~14

GAIN&LEAD 14

SET POINT 설정 시 유의 사항 14

VALVE 15

SENSOR 16

CALs 17

PLs ※ 18~19

SYSTEM 20

가스유량 보정비율 21

RS232 & RS485 COMMAND 22~29

2

1. Introduction / General Information

Description

VC412 PRESSURE & FLOW CONTROLLER는 압력센서(Capacitance Manometer)에서 측정된 압력을

화면에 표시하며, 사용자가 설정한 압력은 PID 알고리즘을 통해 Throttle valve를 제어 사용자가

원하는 압력을 안정적으로 유지시키는 장치이다.

옵션 사항으로 VC412에 MFC 또는 Convection Gauge를 최대 4개까지 선택할 수 있다.

VC412의 고유 기능인 압력제어뿐만 아니라 MFC를 장착하여 유량제어를 할 수 있다.

Convection Gauge 옵션을 사용하면 중·저진공 압력 (0.1 mTorr~1000Torr)표시가 가능하여

보다 넓은 대역의 압력 제어를 할 수 있다.

232 통신이 기본이며 제어 및 통신 옵션으로 Analog출력 및 RS485 통신 사용이 가능하다.

VC412 PRESSURE & FLOW CONTROLLER Specifications

Physical

Width 240 mm

Height 88 mm

Depth 202 mm

Weight 1.2Kg ~ 2Kg (Depends on options)

Electrical

Input power 95 ~ 265 VAC @50/60 Hz

Fuse rating 250VAC @6.3 A

Output power +/- 15 VDC ±5% @3.5A

Input Signal 0~5V(MFC) , 4~20mA(MFC), 0~10V(CM)

Output Signal 0~5V(MFC) , 4~20mA(MFC), 0~10V(CM)

Display window 256*64 Dot 6” Wide OLED LCD

Interface RS232C

RS485

RS422

External Set Point Analog In/Output

Flow TTL On/Off

Relay Trip Point 8ea

3

2. Safety

General

제품 설치 및 작동 전에 반드시 이 매뉴얼을 숙지 하시기 바랍니다.

매뉴얼에 있는 주의사항을 따르지 않으면 심각한 신체적, 물질적

피해를 당할 수 있습니다.

제품의 설치 및 작동에 있어 주의사항을 위반하거나 따르지 않아 발생되는 문제

의 모든 책임은 사용자에게 있습니다.

SAFETY WARNING

고전압이 사용되는 진공시스템에서 전기적인 충격의 위험이 있으므로 사용시에는 반드시 접지를

해야 합니다. 접지가 안된 상태에서 가스들과 반응하여 큰 위험을 초래할 수 있습니다.

또한 고전압에 의해 방전의 위험이 있으며, 고전압으로 인하여 신체적 손상 및 사망의 위험이 있

습니다. 가스를 이용하는 환경에서는 모든 제품에 이와 같은 위험성이 있습니다.

제품과 동봉한 케이블로 연결을 해야 합니다. 진공장비에 연결 시 접지를 반드시 확인하십시오.

안전뿐만 아니라 정상적인 작동을 위해서 반드시 필요합니다.

접지를 하실 때에는 반드시 지면에 설치해야 합니다.

Attention

MFC & Capacitance manometer는 각각의 범위와 사용되는 가스가 할당되어 있습니다.

인체에 유해한 가스 및 폭발 가능성이 있는 가스는 특별 관리가 필요합니다.

또한 VC412 PRESSURE & FLOW CONTROLLER와 연결 시 각별한 주의를 바랍니다.

Environmental Requirements

⊙ 사용 주변 온도 : 15 ~ 50℃ ( 59 ~ 122℉)

⊙ 공기 순환이 잘 되는 곳

⊙ 습도가 낮고 건조 한곳

4

Customer Support

제품의 유지보수나 수리는 ㈜브이시스에서만 가능합니다.

문제가 발생시 ㈜브이시스에 연락하시면 적절한 조치를 받으실 수 있습니다.

본 제품의 무상 수리 보증기간은 1년입니다.

케이블을 잘못 연결 및 사용자의 부주의 및 과실의 경우 수리비용이 청구 될 수 있습니다.

본 매뉴얼의 Connector Pin out을 반드시 확인 후 연결해야 합니다.

단, 사용자가 임의로 분해 조립한 경우에는 보증기간은 종료되며 모든 서비스는 거절 될 수 있으

므로 임의 분해를 하지 마십시오.

※ 연락에 앞서 FAQ를 참고하십시오.

FAQ

브이시스 주소

경기도 용인시 기흥구 흥덕1로 13 콤플렉스동 405호(흥덕 IT밸리)

Tel : 031-8065-5570 E-mail : [email protected]

Fax : 031-8065-5575 Home page : www.vsys.co.kr

※당사에 문의할 때 제품의 Model & Serial Number가 반드시 필요합니다.

고장증상 고장원인 해결방법

액정화면이 꺼짐 전원공급 불량 케이블의 연결 확인

설정 압력과 다른 압력 표시 Cal setting 대기압과 제로 값 설정 확인

Cal 틀어짐 Re-cal 시기 확인 (1년)

표시 값이 흔들림 케이블 연결 불량 케이블 연결확인

과도한 진동 방진 가드 설치

대기압 및 제로 값 설정 이상 다른 원인에 의한 센서 불량 센서교체(제조사 문의)

‘++++’ or ‘ㅡㅡㅡㅡ’ 표시 제어범위 이탈 MFC, CM 용량, 압력상태 확인

Set point 설정 이상 Set point 설정 불량 Set point 설정 확인

버튼 KEY 작동 불능 ROMOTE 모드 확인 LOCAL 모드 변경 Page 20

통신이 작동 불능

Local / Remote 확인 SYSTEM Page 참조

Address 확인 SYSTEM Page 참조

mailto:[email protected]

http://www.vsys.co.kr/

5

Installation

Sensor connect advices

Capacitance Manometer

작업 환경에 따라 제품을 선택합니다. (Heating type 등)

제품의 요구사항을 확인한 후 Fitting Type에 맞게 설치 해야 합니다..

VC412의 CM Pin out을 반드시 확인한 후 케이블을 연결하십시오

타사 케이블과 커넥터 타입이 같은 수 있으나 호환되지 않음에 유의하십시오.

센서 및 VC412 모두 심각한 고장을 유발할 수 있습니다.

케이블 연결 잘못 시 발생하는 모든 책임은 사용자에게 있습니다.

MFC

사용하는 가스에 따라 특별한 주의가 요구됩니다.

질식성 Ar, N2, CO2

지연성 O2, 공기, N2O

가연성 GeH4, AsH3, PH3, SiH4, B2H6, SiH2Cl2, SiHCl3

폭발성 H2, CH4, C2H2, C3H3, H2S, CO

독성 AsH3, PH3, SiH4, B2H6, C2H2, CHClF2, BF3, NH3, CO, H2S, Cl2, HCl, CCl4, BCl3,

PCl3, SiCl4

부식성 NH3, HCl, Cl2, H2S, BF3, PCl3, PCl5, SnCl4, SiCl4

악취 N2O, H2S, Cl2, NH3, BF3, HCl

VC412 제품의 MFC Pin out을 반드시 확인한 후 케이블을 연결하십시오




Pirani/Convection Gauge

VC412 제품의 Convection Gauge Pin out을 반드시 확인한 후 케이블을 연결하십시오




6

Model & Serial Number

라벨은 제품의 옆 면에 부착되어 있으며, Model Number, Serial Number 등이 기록되어 있습니다.

Model : VC412-A(X)-B(Y)-C

주요 옵션 항목

A : Channel

B Capacitance manometer

B : Option 1

M MFC 2Ch 단위로 확장가능

C Convection gauge Card (MFC 포함 최대 4Ch 장착 가능)

C : Option 2

R RS232 통신

4 RS485 통신

A Analog In / TTL Option

L Relay Trip Point Limit Option

옵션이 없을 경우 O로 표기됩니다.

기타 특별 옵션이 필요하시면 당사로 연락 바랍니다.

※당사에 문의할 때 제품의 Model & Serial Number가 반드시 필요합니다.

VC412-08082013-08

VC412-A-B-C

7

APC Valve (Throttle Valve) Connector Pin-out

APC Valve (Throttle Valve) Connector Pin-out

Pin No. Assignment Cable Color

4 Motor winding A low Brown

5 Motor winding A high Red

12 Limit switch com Orange

1 Open limit switch signal Yellow

2 Close limit switch signal Green

14 Motor winding B high Blue

15 Motor winding B low Purple

11 +24VDC @25mA(for Opto switches) Grey

15-Pin, 3열 D-sub Connector (female)

Capacitance manometer

Capacitance manometer(9-Pin Female D-sub Type Pin Assignment)


1 No connection

2 Pressure signal input Red

3 +15VDC supply Green

4 Power GND Grey

5 -15VDC supply White

6 No connection

7 GND Black

8 GND Brown

9 Chassis GND Shield

※ 주의 : Pin Assignment에 나와있는 No Connection은 아무 것도 연결하지 않은 곳입니다.

임의적으로 pin의 형태나 순서를 변형하지 마십시오.

8

MFC Connector

MFC connector (9-Pin Female D-sub Type Pin Assignment)


1 No connection

2 Flow Signal (INPUT) Red

3 +15VDC supply Green

4 Power GND Grey

5 -15VDC supply White

6 Set point (OUTPUT) Orange

7 GND Black

8 GND Brown

9 Chassis GND Shield

※ 4~20mA set point option은 2번 핀에 연결합니다.

케이블 제작 시 반드시 상기 Pin out을 참고 하시길 바랍니다.


Convection Gauge Connector

Sensor (9-Pin Female D-sub Type Pin Assignment)


1 Bridge High

2 Bridge High

3 Bridge +

4 Bridge Low

5 Bridge -

6 No connection

7 GND

8 GND

9 Chassis GND

※ 주의 : Pin Assignment에 나와있는 No Connection은 아무 것도 연결하지 않은 곳입니다.

임의적으로 pin의 형태나 순서를 변형하지 마십시오.

9

RS232/ RS485/ RS422 Connect Pin out

RS232 / RS485 / RS422 (9-pin male D-sub Pin Assignment

Pin No. Assignment

1 Field GND (RS232 & RS485 GND)

2 TXD

3 RXD



6 NC

7 NC

8 485_A (DATA +)

9 485_B (DATA - )

※ 주의 : RS232C 사용시 1:1 Cable을 사용하십시오. Cross Cable을 사용시 동작하지 않음에 유의.

10

Interface connector Interface (44-Pin Female D-sub Type Pin Assignment)

Pin No. Assignment

1 Relay 1 Normal Open

2 Relay 1 Common

3 Relay 1 Normal Close


5 Relay 2 Common



8 Relay 3 Common



11 Relay 4 Common



14 Relay 5 Common



17 Relay 6 Common



20 Relay 7 Common



23 Relay 8 Common


25 Signal GND

26 External Pressure Setpoint IN(0!10VDC)

27 Pressure Out(0~10VDC)

28 Position Out(0~10VDC)

29 Reserve

30 Reserve

31 Signal Ground

32 Signal Ground

33 Signal Ground

34 Valve OPEN (Active Low)

35 Valve CLOSE (Active Low)

36 Valve STOP (Active Low)

37 Select Pressure/Position Control (High-> Pressure, Low->Position)

38 Select External Analog Setpoint ON (Active Low)

39 Select SP1 (Active Low)

40 Select SP2 (Active Low)

41 REM ZERO (Active Low)

42 Digital GND

43 Digital GND

44 Digital GND

※ 주의 : Interface Card는 옵션사양으로 제품 주문 시 선택할 경우에만 장착되어 있음.

11

Orientation

Front Panel Components

전원을 연결한 MFC 4채널 VC412 PRESSURE & FLOW CONTROLLER 초기화면(MAIN 화면)입니다.

채널의 수량에 따라 적절한 FONT SIZE가 적용됩니다.

No Key Function

1 Number(Black) 설정 값을 입력, 명령 번호 선택 시 사용

2 VALVE V mode(BLUE) 작동 기능 Key 화면 우측 상단에 V 표시

2 SP1~SP5(Blue) Set point 1~5번 (V mode에서 작동)

V mode

동작

3 OPEN Valve OPEN

4 CLOSE Valve CLOSE

5 STOP Valve STOP

6 MFC M mode(GREEN) 작동 기능 Key 화면 우측상단에 M 표시

7 ON MFC ON M mode

동작 8 OFF MFC OFF

9 SET MFC SET POINT 설정

10 ▲, ▼ 방향 조절

11 MENU/ESC MEUN 진입 / MAIN 화면으로 복귀

12 ENT 기능을 선택, 실행

※ 6,7, 8번의 기능은 MFC OPTION 채택 시 사용 가능함

12

Key combination

VALVE mode 동작

Blue color의 VALVE key를 누르면 화면 우측 상단에 V표시

Blue 계열의 기능이 동작함.

V mode 동작 시 numeric key 1~5은 SP1~SP5의 기능을 함

또한 OPEN, CLOSE, STOP 가능으로 동작함.

Ex)아래 화면은 V모드에서 SP1 기능 상태임

MFC mode 동작

▼key 좌측의 MFC KEY를 누르면 화면 우측 상단에 M 표시가 된다.

이 상태에서 ▲key 좌측의 SET KEY를 누르면 MFC 1~4의 SET POINT 값이 깜박거린다.

설치된 MFC의 range를 확인하고 숫자키를 이용하여 입력 후 저장한다.

Ex) 1번 Ch의 MFC 값 설정

MFC + SET + 1

Ch 1의 왼쪽 값이 깜박거린다. 숫자키를 이용하여 MFC range 입력 후 ENT 저장

Ex) MFC 1번 ON 할 경우 MFC, ON, 1 key 순서대로 누름(이하 동일)

MFC가 동작되면 화면에 Flow 표시등이 깜박거린다.

13

Operation

[MENU/ESC] key를 누르면 아래와 같이 MENU가 실행됩니다.

다시 한번 [MENU/ESC] key를 누르면 Esc 즉 원래 화면으로 복귀합니다.

SPTs

Pressure or Position control Detail setting part.

1) SETUP CHANNEL: SP1~5 선택

2)CTRL MODE

PRESSURE MODE는 압력을 설정하여 맞추기 위해 VALVE의 Position이 자동 조절되는 방식

POSITION MODE는 POSITION을 설정하여 VALVE가 고정되는 방식

3)SET POINT

위 2번의 CTRL MODE에 따라 PRESSURE MODE의 경우 압력 값을 설정

POSITION MODE의 경우 밸브의 열림 %를 설정한다.

4)GAIN(PRESSURE MODE의 경우 설정)

GAIN 설정은 0.1%~999.9%까지 선택할 수 있습니다. 기본설정은 50%입니다.

Gain 값이 클수록 밸브의 동작 범위는 커지며 따라서 압력 변화는 크다.

너무 큰 값은 시스템의 오버슈팅을 발생시키며 원하는 값에 도달되지 않고 진동됩니다.

5)LEAD TIME(PRESSURE MODE의 경우 설정)

LEAD TIME 설정은 0.01sec~2.00 sec까지 선택할 수 있으며, 기본설정은 2.00 SEC입니다.

LEAD TIME 값이 작을수록 샘플링 하는 시간이 짧아져서 VALVE는 빠르게 반응한다.

LEAD TIME이 너무 짧으면 설정한 값에서 안정되지 않고 진동합니다.

14

GAIN & LEAD

최상의 Auto Pressure Control을 하려면 Gain과 Lead Time의 최적화가 필요하다.

Gain은 VALVE의 OPEN/CLOSE의 반응속도를 의미한다. 값이 클수록 VALVE의 OPEN/CLOSE 변동

폭이 커서 압력 변화가 매우 빨라진다. 이 값이 너무 크면 설정 값에 수렴하지 못하고 설정 값에

서 큰 폭으로 Overshoot와 Undershoot를 왕복하게 되며, 너무 작으면 설정 값까지 도달하는데

많은 시간이 걸린다.

Lead Time은 설정 값에 도달할 때까지 오차를 반영하기 위한 샘플링 시간을 의미한다.

이 값이 작아질수록 Sampling Time이 짧아져서 많은 Sampling을 하고 이 값을 적분하여 오차에

반영하기 때문에 VALVE의 OPEN/CLOSE 반응이 빨라진다.

이 값이 너무 크면 설정 값에 안정하지 못하고 설정 값 근처에서 진동하게 되며 너무 작으면 설

정 값 근처에서 매우 천천히 진동하게 된 다.

사용하는 CHAMBER/TANK/배관 등의 크기와 유입되는 유량 및 PUMPING/EXHAUST RATE을

고려하여 GAIN 값과 LEAD 값을 설정해야 한다.

SET POINT 설정 시 유의 사항

GAIN과 LEAD를 설정하기에 앞서 AUTO PRESSURE CONTROL이 가능한 상황인지 확인

VALVE의 FULL OPEN(100%)때의 압력 값과 FULL CLOSE(0%) 때의 압력 변화 범위를 확인한다.

Ex) SETPOINT 10.000 Torr의 경우 VALVE FULL OPEN 시 압력이 1.0000 Torr이고

VALVE FULL CLOSE 압력이 30.000 Torr의 경우

GAIN & LEAD를 조정하여 설정 값 10.000 Torr로 실행이 가능하다.

다만 VALVE의 OPEN & CLOSE의 압력 차이가 적거나, 설정 값에 도달하지 못할 경우 제어는 원천

적으로 불가능하다.

원하는 설정 값이 VALVE OPEN/CLOSE의 중간 값에 위치하도록 CHAMBER 환경 설정을 권장한다.

15

VALVE

CONTROL DIRECTION

DIRECT MODE

VALVE의 OPEN이 CHAMBER/TANK 내의 Mixing Gases를 배출하는 시스템인 경우

(연결된 센서의 압력 값이 작아질 때 사용)

단 CHAMBER/TANK에 압력센서가 설치되어 VC412와 연결된 상태

REVERSE MODE: VALVE

VALVE의 OPEN이 CHAMBER/TANK 내의 Mixing Gases를 공급하는 시스템인 경우

(연결된 센서의 압력 값이 커질 때 사용)

단 CHAMBER/TANK에 압력센서가 설치되어 VC412와 연결된 상태

TYPE

VALVE TYPE 선택

사용하는 VALVE의 TYPE에 따라 253 STANDARD, 253 FAST, 653, CUSTOM을 선택할 수 있다.

기본설정은 VSYS TYPE(VT413)인 CUSTOM이다.

SPEED

Valve Moving Speed를 설정할 수 있다.

100에 가까울수록 빠르고 999는 가장 느림

값을 설정하고 ENT를 눌러서 저장

(사용하는 VALVE의 성능에 따라 속도를 맞추어야 하며 너무 빠른 속도를 설정하면 VALVE에

SLIP현상이 발행하여 오동작 할 수 있음에 유의할 것)

SCAN

Valve Scanning

Valve가 Close에서 Open으로 동작하면서 Valve의 Resolution을 측정

VC412와 Valve를 처음 연결하였을 때 Valve 각각의 오차들을 보정하기 위해서 Scan을

반드시 실행해야 한다.

만약 Valve의 Scan에서 정상동작 하지 않거나 ERROR 발생 시 연결에 문제가 있거나

제품에 문제가 있으므로 구매처에 문의해야 한다.

16

SENSOR

SETUP CHANNEL에서 CM, MFC, CONVECTION의 RANGE & UNIT을 설정한다.

기본 장착된 CM은 CH0 이며 옵션에 따라 CH1~CH4까지 설정 가능하다.

SENSOR TYPE은 자동 설정된다.

CM: CAPACITANCE MANOMETER

MFC: MASS FLOW CONTROLLER 위 두 TYPE은 RANGE와 UNIT 설정 가능

CONVECTION은 UNIT 설정만 가능하다.

RANGE 설정은 숫자 KEY로 입력 후 ENT 저장

CM UNIT의 경우 숫자 KEY 1번 Torr, 2번 mTorr, 3번 ubar등을 선택할 수 있다.

MFC UNIT은 숫자 KEY 1번 Sccm, 2번 Slm이다.

17

CALs

Sensor의 ZERO Cal과 CAL CLEAR를 할 수 있다.

숫자 KEY로 각 채널을 선택해서 ZERO CAL과 CAL CLEAR을 할 수 있다.

CAL ZERO RUN에서 ENT key를 누르면 ZERO CAL이 실행된다.

ZERO CAL이 성공하면 커서는 왼쪽 항목의 CAL로 이동합니다.

CAL이 실행되지 않을 경우 커서는 ZERO CAL : RUN에 그대로 있습니다.

Full Scale에서 ±5% 가 초과하면 ZERO CAL은 실행되지 않습니다.

위의 경우 SENSOR 제조사에 문의하여 검사해야 합니다.

CAL CLEAR

VC412사용 도중 SENSOR를 교체할 때 기존의 CAL 정보를 삭제하는 기능입니다.

정확한 압력 상태와 정밀한 제어를 위해 교체하기 전의 정보를 CAL CLEAR하시고

새 장비를 ZERO CAL한 후 사용하시기 바랍니다.

ZERO CAL 기능은 VC412 Controller에서의 CAL을 의미합니다.

각 제조사의 MFC, CM 및 기타 게이지 본체의 CAL과는 무관합니다.

18

PLs ※

Process Limit은 Relay의 Trip point 값을 설정하는 기능입니다.

※ 이 메뉴는 Relay Trip Point 옵션이 장착되어야 정상 동작 합니다.

Process Limit은 옵션사항으로 최대 8개의 Trip relay point를 제공합니다.

Chamber의 압력이 PL High의 값보다 높거나 PL Low가 설정 값보다 낮을 때 Relay가 동작합니다.

기능을 비활성화 하려면 High는 해당 CHANNEL의 RANGE 값을, Low는 0을 설정하면 된다.

SELECT PL

총 8개의 PL을 설정할 수 있으며 숫자 키를 이용하여 PL1 ~ PL8까지 선택할 수 있습니다.

단계별로 값을 입력하고 나서 ENT 키를 눌러 값을 저장합니다.

PL ASSIGN TO

Process Limit을 사용하려는 채널에 할당한다. 장착된 모든 채널에 할당할 수 있으며 중복 할당도

가능하다. CH1 번에 8개 모두 할당하는 것도 가능하다.

압력 센서에 할당하면 압력 값에 따라 RELAY가 Active or De-Active 되며 CM or MFC 채널에

할당하면 유량의 값에 따라 RELAY가 Active or De-Active 된다.

이 기능을 활용하면 유량의 흐름 이상을 감지하여 INTERLOCK으로 활용할 수도 있다.

19

PL HIGH / PL LOW

Process limit 기능을 사용하는 HIGH 값과 LOW 값을 설정합니다.

할당된 채널에 따라 압력값 혹은 유량값으로 설정한다.

HYSTERE HIGH / LOW

PL HIGH / PL LOW 기능을 보조하는 기능입니다. 설정된 히스테리 값에 따라 실제 RELAY RE-

ACTIVE 값이 변경된다. 히스테리시스에 설정된 값만큼 실제 RE-ACTIVE 되는 값이 유보된다.

PLs 설정 그래프 참조.

20

SYSTEM

통신 및 통신환경, 화면표시에 대한 설정기능입니다.

CONTROL MODE

1 LOCAL Local Mode는 RA312 Controller에서 직접 제어합니다.

2 REMOTE Remote Mode는 연결된 PC 또는 단말기에서 원격제어를 할 수 있습니다.

REMOTE MODE가 되면 화면 우측 상단에 [R] 표시가 됩니다.

REMOTE MODE는 통신 MODE이므로 화면 아래의 Key가 작동되지 않습니다.

REMOTE MODE에서 LOCAL MODE로 변경을 원하시면 MAIN 화면에서

MENU key를 2초간 눌러서 MENU에 들어간 다음 CONTROL MODE를 LOCAL로 변경 후 ENT.

초기설정은 LOCAL 입니다.

BAUDRATE

Baudrate 는 데이터 전송속도를 의미합니다.

2400, 4800, 9600, 19200, 28800, 57600으로 각각 0~5번으로 선택할 수 있습니다.

초기설정은 9600 입니다.

DELIMITER

Delimiter는 통신 명령이 끝나는 것을 알리는 명령어입니다.

1 CR

2 CRLF

초기설정은 CR 입니다.

RS485 ADDRESS

Address는 원격통신을 사용할 때 기기에 적용되는 전용주소 입니다.

RA312는 0~255의 Address를 설정할 수 있습니다.

※ 어드레스 사용하지 않을 경우에는 000으로 설정합니다.

MAIN FONTSIZE

사용하는 채널 수에 따라 글자크기를 설정합니다.

DISPLAY CHs

CONTROLLER 화면에 채널을 선택하여 표시 또는 보이지 않도록 설정합니다.

한번 누르면 해당 채널이 설정되며, 다시 한번 누르면 해제가 됩니다.

21

가스 유량 보정 비율

가스 유량의 기준은 N2이다. N2 이외의 가스를 사용할 때 보정비율을 참고해야 한다.

실제 가스 유량 = N2 X 가스 보정 값

가스 보정비율 가스 보정비율

Ammonia(NH3) 0.73 Hydrogen Iodide(HI) 0.99

Argon(Ar) 1.45 Krypton(Kr) 1.453

Butane(C4H10) 0.26 Methane(CH4) 0.72

Carbon Dioxide(CO2) 0.74 Neon(Ne) 1.46

Freon 14(CF4) 0.42 Nitrogen(N2) 1.00

Chlorine(Cl2) 0.86 Nitrogen Dioxide(NO2) 0.74

Ethane(C2H6) 0.50 Nitrous Oxide(N2O) 0.71

Fluorine(F2) 0.98 Oxygen(O2) 0.99

Helium(He) 1.45 Propane(C3H8) 0.36

Hydrogen(H2) 1.01 Silane(SiH4) 0.60

Hydrogen Bromide(HBr) 1.00 Sulfur Dioxide(SO2) 0.69

Hydrogen Chloride(HCl) 1.00 Xenon(Xe) 1.44

예) He 가스를 사용할 때 N2 값에 He 보정 비율인 1.45를 곱한 값이 실제 흐르는 비율이다.

N2 : 0 ~ 1000 SCCM

He : 0 ~ 1000 SCCM X 1.45 = 0 ~ 1450 SCCM 이다.

사용자의 MFC 용량 1.45배만큼의 He를 제어할 수 있다.

22

<VC412 RS232 PROTOCOL> <22th Dec 2014REVISION 2.1>

Baud Rate : 9600 <USER CHANGEABLE>

Parity bit : None <USER NOT CHANGEABLE>

Stop bit : 1 <USER NOT CHANGEABLE>

Data bit : 8 <USER NOT CHANGEABLE>

End of line Delimiter : CR <USER CHANGEABLE>

Handshaking : Off <USER NOT CHANGEABLE>

<Command Format>

<RS485 Format>

# - RS485 Start Character

#XYZ_CMD Parameter<CR>

*Must be set Address in VC412 Address Field

<RS232 Format>

*VC412 support Address Mode and Normal Mode

#XYZ_CMD Parameter<CR> for Address Mode

*Must be set Address in VC412 Address Field

OR

CMD Parameter<CR> for Normal Mode

*Must be clear 000 in VC412 Address Field

# - RS485 Start Character of CMD STRING

* - RS485 Start Character of RESPONSE STRING

XYZ – RS485 Address : 1~255 via Local Mode

_ - Space Character (0x20)

CMD – Command

Parameter – for Setting Value

<CR> or <CRLF> - *Delimiter for end of string

<Installed CHs> - 2/4 channels of VC412 <OPTIOAL SUB CARD>

*XYZ_ – RS485 or RS232 Address Mode Response Header: XYZ is RA312 Set Address

*RS485 Function is not default. Have to order with RS485 option

*If Delimiter was set by <CRLF>, All Return End of Delimiter is <CRLF> instead of <CR>

*All response is *XYZ_ + <data field> in RS485 or RS232 Address Mode (5BYTE HEADER + DATA)

23

*VC412 RS-232 Protocol Summary

RS-232 Protocol Summary

Command Description Request Response

Pressure Reading

*NOT COMMAND

as % of FS R5 P value

value: %FS

Position Reading

*NOT COMMAND

as % of Open R6 P value

value: %open

Sub CHs Reading

*NOT COMMAND

*Response Data will

be matched by Install

Card

as % of FS for

MFC or CM

or

as Pressure for

Convection

Ex: 1.0E-3

Rxx

xx:

60 = All CHs

61 = CH1

62 = CH2

63 = CH3

64 = CH4

Qx Value

x: CH #

0 = All Install CHs

1 = CH1

2 = CH2

3 = CH3

4 = CH4

O Valve Open

C Valve Close

H Valve Stop

Dx

x:

0 = ext setpt

1 = setpoint 1

2 = setpoint 2

3 = setpoint 3

4 = setpoint 4

5 = setpoint 5

Activate Set point R7

Report:

-active setpoint

-valve status

-pressure

Mxyzw

x: active set point

0 = ext setpt

1 = setpoint 1

2 = setpoint 2

3 = setpoint 3

4 = setpoint 4

5 = setpoint 5

y: valve status

0 = controlling

2 = valve open

4 = valve close

z: pressure

0 = <= 10% FS

1 = > 10% FS

24



E value

value:

00 = 0.1

01 = 0.2

02 = 0.5

03 = 1

04 = 2

05 = 5

06 = 10

07 = 50

08 = 100

09 = 500

10 = 1000

11 = 5000

12 = 10000

13 = 1.33

14 = 2.66

15 = 13.33

16 = 133.3

17 = 1333

18 = 6666

19 = 13332

Sensor Range

R33

E value

value:

00 = 0.1

01 = 0.2

02 = 0.5

03 = 1

04 = 2

05 = 5

06 = 10

07 = 50

08 = 100

09 = 500

10 = 1000

11 = 5000

12 = 10000

13 = 1.33

14 = 2.66

15 = 13.33

16 = 133.3

17 = 1333

18 = 6666

19 = 13332

F value

value:

00 = Torr

01 = mTorr

02 = mBar

03 = uBar

04 = kPa

05 = Pa

06 = cmH2O

07 = inH2O

Pressure Unit

*Range is not

converted

automatically

R34 F value

value:

00 = Torr

01 = mTorr

02 = mBar

03 = uBar

04 = kPa

05 = Pa

06 = cmH2O

07 = inH2O

25



Mx value

x:

1 = Gain SP1

2 = Gain SP2

3 = Gain SP3

4 = Gain SP4

5 = Gain SP5

value:0.1 to 100%

Gain for PID control Rxx

xx:

46 = Gain SP1

47 = Gain SP2

48 = Gain SP3

49 = Gain SP4

50 = Gain SP5

Mx value

x:

1 = Gain SP1

2 = Gain SP2

3 = Gain SP3

4 = Gain SP4

5 = Gain SP5

value:0.1 to 100%

Xx value

x:

1 = Phase SP1

2 = Phase SP2

3 = Phase SP3

4 = Phase SP4

5 = Phase SP5

value:0.01 to 2sec

Phase Lead time

for PID control

Rxx

xx:

41 = Phase SP1

42 = Phase SP2

43 = Phase SP3

44 = Phase SP4

45 = Phase SP5

Xx value

x:

1 = Phase SP1

2 = Phase SP2

3 = Phase SP3

4 = Phase SP4

5 = Phase SP5

value: 0.01 to 2sec

Sx Value

x:

1 = Set Point1

2 = Set Point2

3 = Set Point3

4 = Set Point4

5 = Set Point5

6 = Ext A Setpt

value:

Set point 1 to 5 =

% FS pressure or

% open

Set point value Rx

x:

0 = Ext A Setpt

1 = Set Point1

2 = Set Point2

3 = Set Point3

4 = Set Point4

10 = Set Point5

Sx Value

x:

0 = Ext A Setpt

1 = Set Point1

2 = Set Point2

3 = Set Point3

4 = Set Point4

5 = Set Point5

value:

Set point 1 to 5 =

% FS pressure or

% open

26



Tx value

x:

1 = Set Point1

2 = Set Point2

3 = Set Point3

4 = Set Point4

5 = Set Point5

6 = Ext A Setpt

value:

0 = Position

1 = Pressure

Set Point Control

Mode

Rxx

xx:

25 = Ext Setpt

26 = Set Point1

27 = Set Point2

28 = Set Point3

29 = Set Point4

30 = Set Point5

Tx value

x:

1 = Set Point1

2 = Set Point2

3 = Set Point3

4 = Set Point4

5 = Set Point5

6 = Ext A Setpt

value:

0 = Position

1 = Pressure

Px value

x:

1 = PL1 Low

2 = PL1 High

3 = PL2 Low

4 = PL2 High

value: pressure

Process Limit Relays Rxx

xx:

10 = PL1 Low

11 = PL1 High

13 = PL2 Low

14 = PL2 High

Px value

x:

1 = PL1 Low

2 = PL1 High

3 = PL2 Low

4 = PL2 High

value: %FS

Wx Value

x:

1 = ch1 Range

2 = ch2 Range

3 = ch3 Range

4 = ch4 Range

value:

installed MFC/CM

1 to 5000 for MFC

1 to 10000 for CM

or

Installed Gauge

0 – VSYS

1 – GP

2 – Super Bee

Range for MFC

Range for CM

Type for Convection

Rxx

xx:

70 = ch1 Range

71 = ch2 Range

72 = ch3 Range

73 = ch4 Range

Wx Value

x:

1 = ch1 Range

2 = ch2 Range

3 = ch3 Range

4 = ch4 Range

value:

installed MFC/CM

1 to 5000 for MFC

1 to 10000 for CM

or

Installed Gauge

0 – VSYS

1 – GP

2 – Super Bee

27



Wx Value

x:

5 = ch1 Unit

6 = ch2 Unit

7 = ch3 Unit

8 = ch4 Unit

value:

1 = SCCM

2 = SLM

(for MFC)

0 = Torr

1 = mTorr

2 = mBar

3 = uBar

4 = kPa

5 = Pa

6 = cmH2O

7 = inH2O

(Installed CM or

Convection)

MFC/CM/Convection

Unit

Rxx

xx:

74 = ch1 Unit

75 = ch2 Unit

76 = ch3 Unit

77 = ch4 Unit

Wx Value

x:

5 = ch1 Unit

6 = ch2 Unit

7 = ch3 Unit

8 = ch4 Unit

value:

1 = SCCM

2 = SLM

(for MFC)

0 = Torr

1 = mTorr

2 = mBar

3 = uBar

4 = kPa

5 = Pa

6 = cmH2O

7 = inH2O

(Installed CM or

Convection)

Qx Value

x:

1 = ch1 set point

2 = ch2 set point

3 = ch3 set point

4 = ch4 set point

5 = ch1 set point

6 = ch2 set point

7 = ch3 set point

8 = ch4 set point

value:

0.01 to 100%

of FS

Set point for MFC

x: 1 to 4 for without

saving internal flash

(strongly recommend

this value)

x: 5 to 8 for with

saving internal flash

*CAUSION : internal

Flash memory

Lifetime guarantee

About 300,000

writing cycle

Rxx

xx:

65 = ch1 set point

66 = ch2 set point

67 = ch3 set point

68 = ch4 set point

Qx value

x:

1 = ch1 set point

2 = ch2 set point

3 = ch3 set point

4 = ch4 set point

5 = ch1 set point

6 = ch2 set point

7 = ch3 set point

8 = ch4 set point

value:

0.01 to 100%

of FS

28



L0 value

value: xxxx

CH1/CH2/CH3/CH4

Status of All MFCs

Each x:

0 = OFF

1 = ON

MFC Flow ON/OFF

R69

ON/OFF

Status of ALL

MFCs

L0 value

value: xxxx

CH1/CH2/CH3/CH4

Status of All MFCs

Each x:

0 = OFF

1 = ON

Lx value

x:

1 = ch1 status

2 = ch2 status

3 = ch3 status

4 = ch4 status

value:

0 = OFF

1 = ON

MFC Flow ON/OFF

L x value

x:

1 = ch1 status

2 = ch2 status

3 = ch3 status

4 = ch4 status

value:

0 = OFF

1 = ON

Lx param

x:

5 = ch1 cal/clear

6 = ch2 cal/clear

7 = ch3 cal/clear

8 = ch4 cal/clear

param:

0 = Zero CAL

1 = Clear CAL

Lx param (value)

param:

0 = VAC CAL

1 = Clear VAC CAL

2 = ATM CAL

3 = Clear ATM CAL

value:

under 1.0e-2 for VAC

over 2.0e+2 for ATM

Installed MFC/CM:

Zero CAL

Clear Zero CAL

Installed Convection:

ATM CAL

Clear ATM CAL

Vacuum CAL

Clear Vacuum CAL

If none of value,

760 torr for ATM

0 torr(below 1.0e-4)

for VAC CAL

29



Zx

x:

1 = Zero CAL

2 = Clear Zero

Sensor Zero CAL

Clear Zero CAL

System Status

*NOT COMMAND

Report:

-type of operation

-state of learning

-valve control

R37 Mxyz

x: type of operation

0 = Local

1 = Remote

y: Learn function

0 = not learning

4 = learning valve

z: pressure

0 = Open

1 = Close

2 = Stop

3 = Set point1

4 = Set point2

5 = Set point3

6 = Set point4

7 = Set point5

8 = Ext A Setpt

Documents

VSYS VC412 · 2 H 6, SiH 2 Cl 2, SiHCl 3 폭발성 H 2, CH 4, C 2 H 2, C 3 H 3, H 2 S, CO 독성 AsH 3, PH 3, SiH 4, B 2 H 6, C 2 H 2, CHClF 2, BF 3, NH 3, CO, H 2 S, Cl 2, HCl, CCl