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SEMI緊急遮斷用(EMO)開關SEMI EMERGENCY OFF SWITCHES
759
一覽
緊急停止用按鈕開關
ø16XA一體型
ø16XA
ø16H6
ø22XW
ø22YW
ø22HW
ø30XN
ø30HN
EMO SEMI
保護罩
停止用開關
一覽
促動開關
HE1B
HE2B
HE3B
HE5B
HE2G
HE1G-L
HE1G
促動器
一覽 安全繼電器模組
HR1S-AC
HR1S-AF
HR1S-AK
一覽安全控制器FS1A
Flush Silhouette
開關/指示燈
(圓孔)
電氣控制箱
開關/指示燈
(方孔)
表面安裝指示燈
LUMIFALED照明裝置
組合式
數字顯示器
安全元件 1
安全元件 2
端子台
繼電器/計時器/
插座
回路保護器
電源供應器
PLC/SmartRelay
人機介面
感測器
防爆電控設備
各種資料
XA/XW/HW系列 緊急遮斷用(EMO)開關 與開關保護罩配套使用時符合 SEMI S2標準。• 可與 FB系列樹脂製控制盒配套使用。• 直接開路動作結構。• (符合 IEC60947-5-5; 5-2項、IEC60947-5-1附件 K)安全鎖定結構(IEC60947-5-5; 6-2項)• 保護構造: IP65(IEC60529)•
型號 ❏
ø16mm XA系列 EMO按鈕開關 焊接端子型按鎖定拉出或旋轉復歸型(非照光型)•
名稱 ·外觀主接點
(NC接點)輔助接點(NO接點)
型號(訂購型號) 按鈕顏色 銷售單位
ø40mm大蘑菇頭形 1NC - XA1E-BV401RH-EMO
僅鮮紅色
(白色文字)
1個
2NC - XA1E-BV402RH-EMO 1個
3NC - XA1E-BV403RH-EMO 1個
4NC - XA1E-BV404RH-EMO 1個
1NC 1NO XA1E-BV411RH-EMO 1個
2NC 1NO XA1E-BV412RH-EMO 1個
3NC 1NO XA1E-BV413RH-EMO 1個
ø22mm XW系列 EMO按鈕開關 螺絲端子型按鎖定拉出或旋轉復歸型(非照光型)•
名稱 ·外觀主接點
(NC接點)輔助接點
(NO接點)型號(訂購型號)
按鈕顏色 銷售單位IP20型 觸電防止蓋型
ø40mm大蘑菇頭形 1NC - XW1E-BV401MFRH-EMO XW1E-BV401MRH-EMO
僅鮮紅色
(白色文字)
1個
2NC - XW1E-BV402MFRH-EMO XW1E-BV402MRH-EMO 1個
3NC - XW1E-BV403MFRH-EMO XW1E-BV403MRH-EMO 1個
4NC - XW1E-BV404MFRH-EMO XW1E-BV404MRH-EMO 1個
1NC 1NO XW1E-BV411MFRH-EMO XW1E-BV411MRH-EMO 1個
2NC 1NO XW1E-BV412MFRH-EMO XW1E-BV412MRH-EMO 1個
3NC 1NO XW1E-BV413MFRH-EMO XW1E-BV413MRH-EMO 1個
2NC 2NO XW1E-BV422MFRH-EMO XW1E-BV422MRH-EMO 1個
ø22mm HW系列 EMO按鈕開關 按鎖定旋轉復歸型•
品名 ·外觀主接點
(NC接點)輔助接點(NO接點)
型號(訂購型號) 按鈕顏色 銷售單位
ø40mm EMO按鈕開關HW1B-V4∗∗R-EMO
1NC - HW1B-V401R-EMO
僅紅色(白色文字)
1個
1NO 1NC HW1B-V411R-EMO 1個
2NC - HW1B-V402R-EMO 1個
2NO 2NC HW1B-V422R-EMO 1個
TP-K-713-766.indb 759TP-K-713-766.indb 759 2010.6.29 9:44:36 AM2010.6.29 9:44:36 AM黑色黑色
760
SEMI緊急遮斷用(EMO)開關
外形尺寸圖(mm) ❏
ø16mm XA系列 EMO按鈕開關•
安裝孔加工圖
ø29.
8
21
ø40
+0.
2 0
+0.2 0
17.9
1.7+0.2 0
ø16.2
30.4
鎖緊環橡膠墊圈端子蓋
19.8
8.7
2.1
27.2
25.830.4 20.6
焊接端子型
面板厚度 0.5∼ 3.7
XA9Z-VL2
ø22mm XW系列 EMO按鈕開關•
面板厚度0.8∼6
安裝孔加工圖
XW9Z-VL2M端子蓋 鎖緊環
橡膠墊圈M3螺絲端子20.118.5
37
48.747.2
0.5
ø40
+0.4 0
ø22.3
R0.8以下
24.1
3.2
32.2
21+0.2 0
+0.
4 0
ø22mm HW系列 EMO按鈕開關•
1349.4(1或2接點)
41.4
69.4(4接點) 29.432
20
鎖緊環
26.5
25
銷鎖桿
ø40
LOCK銷鎖桿安全鎖
TP-K-713-766.indb 760TP-K-713-766.indb 760 2010.6.29 9:44:39 AM2010.6.29 9:44:39 AM黑色黑色
761
SEMI緊急遮斷用(EMO)開關
Flush Silhouette
開關/指示燈
(圓孔)
電氣控制箱
開關/指示燈
(方孔)
表面安裝指示燈
LUMIFALED照明裝置
組合式
數字顯示器
安全元件 1
安全元件 2
端子台
繼電器/計時器/
插座
回路保護器
電源供應器
PLC/SmartRelay
人機介面
感測器
防爆電控設備
各種資料
一覽
緊急停止用按鈕開關
ø16XA一體型
ø16XA
ø16H6
ø22XW
ø22YW
ø22HW
ø30XN
ø30HN
EMO SEMI
保護罩
停止用開關
一覽
促動開關
HE1B
HE2B
HE3B
HE5B
HE2G
HE1G-L
HE1G
促動器
一覽 安全繼電器模組
HR1S-AC
HR1S-AF
HR1S-AK
一覽安全控制器FS1A
以下的開關保護罩和緊急遮斷用開關組合取得 TÜV Rheinland的認證
取得 SEMI S2認證的組合 ❏
開關保護罩型號 對應機型 型號以及外觀照片的對比
XA9Z-KG1 XA1E-BV4∗∗∗∗-EMO( )、XA1E-BV3( )、XA1E-LV3( )、XA1E-BV4( )、XA1E-LV4( )
HW9Z-KG3XW1E-BV4∗∗∗∗-EMO( )、XW1E-BV4( )、XW1E-LV4( )、XW1E-TV4( )、HW1B-V3( )、HW1B-V4( )、HW1B-X4( )、HW1B-Y2( )
HW9Z-KG4XW1E-BV4∗∗∗∗-EMO( )、XW1E-BV4( )、XW1E-LV4( )、XW1E-TV4( )、XW1E-BV5( )HW1B-V3( )、HW1B-V4( )、HW1E( )、HW1B-X4( )、HW1B-Y2( )
• ∼ 請參閱以下照片。• XA9Z-KG1型 • HW9Z-KG3型 • HW9Z-KG4型
注意•
國際工業標準,如歐盟指令 IEC60204-1要求緊急停止用按鈕開關必須方便操作,且禁止使用開關保護罩。上述開關保護罩只能用於半導體加工設備上的緊急停止用按鈕開關。請切勿在工作機械及食品機械等機械設備的緊急停止用按鈕開關上使用。
與半導體業界安全標準 SEMI的關連 ❏
所謂 SEMI標準是指半導體製造裝置、平板顯示螢幕裝置以及材料廠商構成的業界團體的業界規範。在半導體業界實際等於國際標準的效力。SEMI標準(S2 0706) 12.1項有以下記述:“裝置中應設置「緊急遮斷回路」(EMO回路:Emergency Off回路)。EMO執行元件(按鈕)動作時,為了避免對操作人員以及設備產生新的危險應將裝置移至安全狀態。”這是因為在上述作業現場使用多種溶劑以及藥劑等,其中含有危險物質或有害物質等,若停止了處理用動力等可能引起二次危險。為此,SEMI標準規定,為遮斷包括動力的能源供給,除設置通常的緊急停止用按鈕開關以外,必須設置能夠維持其他相關裝置(烟探知機、泄漏氣體/水探知機,壓力測定裝置等)運轉的緊急遮斷開關。為防止誤操作緊急遮斷開關,需設置開關保護罩,要求開關具備直接開路動作,操作按鈕為紅色,且背景顏色為黃色,操作部表面必需標誌 EMO。
SEMI S2對應緊急遮斷用(EMO)開關安裝高度 ❏
緊急遮斷用 EMO開關安裝到半導體製造裝置上時,請將其安裝在 838mm∼ 1638mm的高度範圍之內。(SEMI S8-0705)• SEMI規定 EMO開關必須安裝在距離操作人員 3米以內。(SEMI S2-0706 12.5.2)•
最高安裝高度1638mm
最低安裝高度838mm
(EMO) (EMO)(人)3米以內 3米以內
TP-K-713-766.indb 761TP-K-713-766.indb 761 2010.6.29 9:44:39 AM2010.6.29 9:44:39 AM黑色黑色
762
SEMI緊急遮斷用(EMO)開關保護罩
SEMI S2 對應開關/開關保護罩
名稱 ·外觀 型號 對應開關 外形尺寸圖(mm) 備註
ø16mm緊急遮斷用開關保護罩
XA9Z-KG1
XA1E-BV4**RH-EMOXAIEHA1EHA1B-V
ø57
36
23.119.1
ø16
42
ø51
• 符合 SEMI S2070312.5-1項。• 與 IDEC緊急停止用按鈕開關配套使用時,取得 TÜV認證。
• 顏色:黃色 孟賽爾色標 2.5Y8/10(近似值)
• 材質:聚醯胺樹脂(PA6)• 保護構造:IP65
ø22mm緊急遮斷用開關保護罩
HW9Z-KG3
XW1E-BV4**RH-EMOHW1B-V4**R-EMOXW1EHW1EHW1B-V(HW1B-V5除外)HW1B-XHW1B-Y
3525
52 ø74
42
ø22
ø66
• 符合 SEMI S2070312.5-1項。• 與 IDEC緊急停止用按鈕開關配套使用時,取得 TÜV認證。
• 對應開關與保護罩的高度差為 3mm以內。• 顏色:黃色 孟賽爾色標 2.5Y8/10(近似值)• 材質:聚醯胺樹脂(PA6)• 保護構造:IP65
ø22mm緊急遮斷用開關保護罩
HW9Z-KG4*
XW1E-BV4**RH-EMOHW1B-V4**R-EMOXW1EHW1EHW1B-V(HW1B-V5除外)HW1B-XHW1B-Y
35
67
25
ø90
50
ø22
ø76
• 符合 SEMI S2070312.5-1項。• 符合 SEMATECH Application Guide for SEMI
S2-93 12.4項。• 對應開關與保護罩的高度差為 3mm以內。• 顏色:黃色 孟賽爾色標 2.5Y8/10(近似值)
W:白色(孟賽爾色標 N9.5)• 材質:聚醯胺樹脂(PA6)• 保護構造:IP65
ø22mm緊急遮斷用開關保護罩
HW9Z-KG1
XW1E-BV4**RH-EMOHW1B-V4**R-EMOXW1EHW1EHW1B-V(HW1B-V5除外)HW1B-XHW1B-Y
32
22
38
ø80
ø66.
8
6447
ø22
• 符合 SEMI S20703.12.5-1項• HW9Z-KG1,為 ø29mm蘑菇頭形及 ø40mm大蘑菇頭形專用。不能用於 ø60mm特大蘑菇頭形。
• 顏色:黃色 孟賽爾色標 2.5Y8/10(近似值)• 材質:聚醯胺樹脂(PA6)• 保護構造:IP65
ø22mm緊急遮斷用開關保護罩
HW9Z-KG2
XW1E-BV4**RH-EMOHW1B-V4**R-EMOXW1EHW1EHW1B-V(HW1B-V5除外)HW1B-XHW1B-Y
ø22.2
36.5
ø76.
1
ø90
• 符合 SEMI S2070312.5-1項。• 符合 SEMATECH Application Guide for SEMI
S2-93 12.4項。• HW9Z-KG2為 ø29mm蘑菇頭形及 ø40mm大蘑菇頭形專用。不能用於ø60mm特大蘑菇頭形。
• 對應開關與保護罩的高度差為 3mm以內。*:顏色記號無:黃色
孟賽爾色標 2.5Y8/10(近似值)• 材質:聚醯胺樹脂(PA6)• 保護構造:IP65
ø22mm緊急遮斷用開關保護罩
HW9Z-KG5*
XW1E-BV4**RH-EMOHW1B-V4**R-EMOXW1EHW1EHW1B-V(HW1B-V5除外)HW1B-XHW1B-Y
75
ø22
76
27
ø90
3340
34.436.2
• 符合 SEMI S2070312.5-1項。• 符合 SEMATECH Application Guide for SEMI
S2-93 12.4項。• 對應開關與保護罩的高度差為 3mm以內。• 內側可安裝銘板*:顏色記號無:黃色
孟賽爾色標 2.5Y8/10(近似值)W:白色 (孟賽爾色標 N9.5)
• 材質:聚醯胺樹脂(PA6)• 保護構造:IP65
12/06/2014
763
SEMI緊急遮斷用(EMO)開關保護罩
Flush Silhouette
開關/指示燈
(圓孔)
電氣控制箱
開關/指示燈
(方孔)
表面安裝指示燈
LUMIFALED照明裝置
組合式
數字顯示器
安全元件 1
安全元件 2
端子台
繼電器/計時器/
插座
回路保護器
電源供應器
PLC/SmartRelay
人機介面
感測器
防爆電控設備
各種資料
一覽
緊急停止用按鈕開關
ø16XA一體型
ø16XA
ø16H6
ø22XW
ø22YW
ø22HW
ø30XN
ø30HN
EMO SEMI
保護罩
停止用開關
一覽
促動開關
HE1B
HE2B
HE3B
HE5B
HE2G
HE1G-L
HE1G
促動器
一覽 安全繼電器模組
HR1S-AC
HR1S-AF
HR1S-AK
一覽安全控制器FS1A
❏安裝孔加工圖(mm)• ø16mm
∗1.7 孔為防轉用。不使用防轉環時不需要。
A部
17.9
+0.2 0
ø16.2
+0.20∗1.7
+0.
20
+0.20
無需防轉環,或使用在無防轉孔的面板時,請用電工鉗折斷緊急遮斷用開關保護罩的 A部後再使用。
❏安裝• ø16mm
鎖緊環
TOP標誌
TOP標誌
操作部
面板厚度:1∼22mm
請使用專用的鎖緊環扳手(MT-001)鎖緊鎖緊環,推薦扭矩為0.88N·m。
❏EMO標籤訂購型號:HW9Z-EMO-NPP顏色:黃底紅字標籤
50mm
20m
m EMO
• ø22mm
A部
∗ 3.2 孔為防轉用。不使用防轉環時不需要。+0.20
24.1
+0.2 03.2∗
+0.4 0
ø22.3
R0.8以下
+0.
4 0
TOP標誌
操作部
面板厚度:1.2∼4mm
TOP標誌
鎖緊環
請使用專用的鎖緊環扳手(MW9Z-T1)鎖緊鎖緊環,推薦扭矩為2.0N·m。
• ø22mm
❏銘板(ø22緊急停止用按鈕開關用銘板)名稱 文字符號 型號(訂購型號) 銷售單位 備註
ø40mm大蘑菇頭形用銘板 EMERGENCY OFF HWAV-74-Y 1個
• 背景:黃色• 文字:黑色• 適用面板厚度:0.8∼ 4.5mm• 材質:聚醯胺
φ22
1.01.5
φ60
EM
ERGENCY
O F F
12/06/2014
764
SEMI局部/部分停止用開關
符合 SEMI S26-0308的局部/部分停止用開關簡介
根據 2008年 3月所發行的「SEMI S26-0308 Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System﹝FPD製造系統(裝置)的環境、健康、安全指導手冊〕」,在限定的場所及僅限定某部分停止的開關(部分停止),無法使用傳統的紅色按鈕與黃色背景的組合。為此,IDEC研發了需要部分停止的機械以及裝置用黃色按鈕與白色背景的銘板及保護罩,供客戶選擇。
停止用開關(黃色按鈕)ø22mm XW系列停止用開關 螺絲端子型按鎖定拉出或旋轉復歸型•
名稱 ·外觀主接點
(NC接點)輔助接點(NO接點)
型號(訂購型號)銷售單位
IP20型 觸電防止蓋型
ø40大蘑菇頭形 1NC ー XW1E-BV401MFY XW1E-BV401MY 1個2NC ー XW1E-BV402MFY XW1E-BV402MY 1個3NC ー XW1E-BV403MFY XW1E-BV403MY 1個4NC ー XW1E-BV404MFY XW1E-BV404MY 1個1NC 1NO XW1E-BV411MFY XW1E-BV411MY 1個2NC 1NO XW1E-BV412MFY XW1E-BV412MY 1個3NC 1NO XW1E-BV413MFY XW1E-BV413MY 1個2NC 2NO XW1E-BV422MFY XW1E-BV422MY 1個
按鎖定拉出或旋轉復歸型,按下按鈕後呈鎖定狀態,拉出按鈕或順時針旋轉復歸。•
螺絲端子型具備 IP20型與觸電防止蓋型,請指定各自的訂購型號訂購。•
IP20僅能使用單線。•
ø22mm HW系列停止用開關•
名稱 ·外觀 接點結構型號(訂購型號)
銷售單位ø29mm蘑菇頭形 ø40mm大蘑菇頭形 ø60mm特大蘑菇頭形
按鎖定旋轉復歸型
照片為 ø29 mm蘑菇頭形
1NC HW1B-V301Y HW1B-V401Y HW1B-V501Y 1個
1NO-1NC HW1B-V311Y HW1B-V411Y HW1B-V511Y 1個
2NC HW1B-V302Y HW1B-V402Y HW1B-V502Y 1個
2NO-2NC HW1B-V322Y HW1B-V422Y HW1B-V522Y 1個
推拉型ø40mm大蘑菇頭形/2位置1NC ー HW1B-Y201Y ー 1個
1NO-1NC ー HW1B-Y211Y ー 1個
2NC ー HW1B-Y202Y ー 1個
按鎖定旋轉復歸型 ,按下按鈕後呈鎖定狀態,順時針旋轉復歸。•
推拉型,按下或拉出按鈕時,接點動作的 2位置開關,在各位置保持。•
ø16mm XA系列停止用開關 按鎖定拉出或旋轉復歸型(組合型)•
名稱 ·外觀主接點
(NC接點)輔助接點(NO接點)
型號(訂購型號)銷售單位
焊接端子型 PCB用端子型ø29mm蘑菇頭形 1NC ー XA1E-BV301Y XA1E-BV301VY 1個
2NC ー XA1E-BV302Y XA1E-BV302VY 1個3NC ー XA1E-BV303Y XA1E-BV303VY 1個4NC ー XA1E-BV304Y XA1E-BV304VY 1個1NC 1NO XA1E-BV311Y XA1E-BV311VY 1個2NC 1NO XA1E-BV312Y XA1E-BV312VY 1個3NC 1NO XA1E-BV313Y XA1E-BV313VY 1個
ø40mm大蘑菇頭形 1NC ー XA1E-BV401Y XA1E-BV401VY 1個2NC ー XA1E-BV402Y XA1E-BV402VY 1個3NC ー XA1E-BV403Y XA1E-BV403VY 1個4NC ー XA1E-BV404Y XA1E-BV404VY 1個1NC 1NO XA1E-BV411Y XA1E-BV411VY 1個2NC 1NO XA1E-BV412Y XA1E-BV412VY 1個3NC 1NO XA1E-BV413Y XA1E-BV413VY 1個
按鎖定拉出或旋轉復歸型,按下按鈕後呈鎖定狀態,拉出按鈕或順時針旋轉復歸。•
端子蓋(XA9Z-VL2)另售。•
TP-K-713-766.indb 764TP-K-713-766.indb 764 2010.6.29 9:44:46 AM2010.6.29 9:44:46 AM黑色黑色
765
SEMI局部/部分停止用開關
Flush Silhouette
開關/指示燈
(圓孔)
電氣控制箱
開關/指示燈
(方孔)
表面安裝指示燈
LUMIFALED照明裝置
組合式
數字顯示器
安全元件 1
安全元件 2
端子台
繼電器/計時器/
插座
回路保護器
電源供應器
PLC/SmartRelay
人機介面
感測器
防爆電控設備
各種資料
一覽
緊急停止用按鈕開關
ø16XA一體型
ø16XA
ø16H6
ø22XW
ø22YW
ø22HW
ø30XN
ø30HN
EMO SEMI
保護罩
停止用開關
一覽
促動開關
HE1B
HE2B
HE3B
HE5B
HE2G
HE1G-L
HE1G
促動器
一覽 安全繼電器模組
HR1S-AC
HR1S-AF
HR1S-AK
一覽安全控制器FS1A
• ø16mm XA系列停止用開關 焊接端子型按鎖定拉出或旋轉復歸型(一體型)
名稱 操作部主接點
(NC接點)型號(訂購型號)
銷售單位IP40(主體顏色:黑色) IP65(主體顏色:黃色)
照片中為 ø29中蘑菇頭形
ø29mm中蘑菇頭形
1NC XA1E-BV3U01KY XA1E-BV3U01Y 1個
2NC XA1E-BV3U02KY XA1E-BV3U02Y 1個
ø40mm大蘑菇頭形
1NC XA1E-BV4U01KY XA1E-BV4U01Y 1個
2NC XA1E-BV4U02KY XA1E-BV4U02Y 1個
• 按鎖定拉出或旋轉復歸型,按下按鈕後呈鎖定狀態,拉出按鈕或順時針旋轉復歸。• 另具備焊接兼用 110扁平端子型。請在上表訂購型號的 Y前加入「T」表示,例如:XA1E-BV3U02KY→ XA1E-BV3U02KTY
• ø16mm H6系列短體停止用開關 按鎖定旋轉復歸型
名稱 接點結構型號(訂購型號)
銷售單位焊接端子型 PCB用端子型
ø25mm中蘑菇頭形1NC HA1E-V2S1Y HA1E-V2S1VY 1個
2NC HA1E-V2S2Y HA1E-V2S2VY 1個
銘板
外觀 名稱 文字符號型號
(訂購型號)銷售單位 材質 背景顏色
ø16mm系列用D2
D1
ø29mm中蘑菇頭形用銘板 無 HAAV-0-W 1個
聚醯胺白色 (孟賽爾色標 N9.5)
ø40mm大蘑菇頭形用銘板 無 HAAV4-0-W 1個
ø22mm系列用D2
D1
ø40mm大蘑菇頭形用銘板 無 HWAV-0-W 1個
ø60mm特大蘑菇頭形用板 無 HWAV5-0-W 1個
19/05/2014