8/18/2019 Makalah Coating
1/21
CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION
DISUSUN OLEH :
KELOMPOK 7
IKHLASUL AMAL (3334121757)
ACTUR SAKTIANTO NUGROHO (3334131364)
RHEA WERDANINGSIH (3334131716)
SUKMA SUCI FRIANDANI (3334131140)
IDO WISNU RAMADHAN (3334131027)
TEKNIK METALURGI
UNIERSITAS SULTAN AGENG TIRTA!ASA
2015
8/18/2019 Makalah Coating
2/21
KATA PENGANTAR
8/18/2019 Makalah Coating
3/21
DAFTAR ISI
H"#"$"%
HALAMAN &UDUL'''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''
KATA PENGANTAR''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''
DAFTAR ISI''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''
A I PENDAHULUAN
1'1 K*+,'''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''
1'2 P-#".,+"% L/"$'''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''''
A II CHEMICAL APOUR DEPOSITION
A III KESIMPULAN
DAFTAR PUSTAKA
8/18/2019 Makalah Coating
4/21
A II
PENDAHULUAN
1'1 K*+,
Korosi adalah kerusakan atau degradasi logam akibat reaksi redoks
antara suatu logam dengan berbagai zat di lingkungannya yang menghasilkan
senyawa-senyawa yang tidak dikehendaki. Dalam bahasa sehari-hari, korosi
disebut perkaratan. Contoh korosi yang paling lazim adalah perkaratan besi.
Pada peristiwa korosi, logam mengalami oksidasi, sedangkan oksigen
(udara) mengalami reduksi. Karat logam umumnya adalah berupa oksida atau
karbonat. Rumus kimia karat besi adalah e!"#.n$!", suatu zat padat yang
berwarna %oklat-merah.
Korosi dapat &uga diartikan sebagai serangan yang merusak logam karena
logam bereaksi se%ara kimia atau elektrokimia dengan lingkungan. 'da
deinisi lain yang mengatakan bahwa korosi adalah kebalikan dari proses
ekstraksi logam dari bi&ih mineralnya. Contohnya, bi&ih mineral logam besi
di alam bebas ada dalam bentuk senyawa besi oksida atau besi sulida,
setelah diekstraksi dan diolah, akan dihasilkan besi yang digunakan untuk
pembuatan ba&a atau ba&a paduan. elama pemakaian, ba&a tersebut akan
bereaksi dengan lingkungan yang menyebabkan korosi (kembali men&adi
senyawa besi oksida). Ke%epatan korosi sangat tergantung pada banyak aktor,
seperti ada atau tidaknya lapisan oksida, karena lapisan oksida dapat menghalangi
beda potensial terhadap elektroda lainnya yang akan sangat berbeda bila masih
bersih dari oksida.
Korosi logam melibatkan proses anodik, yaitu oksidasi logam
men&adi ion dengan melepaskan elektron ke dalam (permukaan) logam dan
proses katodik yang mengkonsumsi elektron tersebut dengan la&u yang sama,
proses katodik biasanya merupakan reduksi ion hidrogen atau oksigen dari
lingkungan sekitarnya. Dilihat dari aspek elektrokimia, korosi merupakan proses
ter&adinya transer elektron dari logam ke lingkungannya. *ogam berlaku
8/18/2019 Makalah Coating
5/21
sebagai sel yang memberikan elektron (anoda) dan lingkungannya sebagai
penerima elektron (katoda). Reaksi yang ter&adi pada logam yang mengalami
korosi adalah reaksi oksidasi, dimana atom-atom logam larut
kelingkungannya men&adi ion-ion dengan melepaskan elektron pada logam
tersebut. edangkan dari katoda ter&adi reaksi, dimana ion-ion dari lingkungan
mendekati logam dan menangkap elektron- elektron yang tertinggal pada logam.
+entuk-bentuk korosi dapat berupa korosi merata, korosi galanik, korosi
sumuran, korosi %elah, korosi retak tegang (stress %orrosion %ra%king), korosi
retak atik (%orrosion atiue %ra%king) dan korosi akibat pengaruh hidogen
(%orrosion indu%ed hydrogen), korosi intergranular, sele%tie lea%hing, dan
korosi erosi.
. Korosi merata adalah korosi yang ter&adi se%ara serentak diseluruh
permukaan logam, oleh karena itu pada logam yang mengalami
korosi merata akan ter&adi pengurangan dimensi yang relati besar per
satuan waktu. Kerugian langsung akibat korosi merata berupa
kehilangan material konstruksi, keselamatan ker&a dan pen%emaranlingkungan akibat produk korosi dalam bentuk senyawa yang
men%emarkan lingkungan. edangkan kerugian tidak langsung, antara lain
berupa penurunan kapasitas dan peningkatan biaya perawatan (preentie
maintenan%e).!. Korosi galanik ter&adi apabila dua logam yang tidak sama
dihubungkan dan berada di lingkungan korosi. alah satu dari logam
tersebut akan mengalami korosi, sementara logam lainnya akan
terlindung dari serangan korosi. *ogam yang mengalami korosi adalah
logam yang memiliki potensial yang lebih rendah dan logam yang
tidak mengalami korosi adalah logam yang memiliki potensial lebih
tinggi.#. Korosi sumuran adalah korosi lokal yang ter&adi pada permukaan yang
terbuka akibat pe%ahnya lapisan pasi. /er&adinya korosi sumuran ini
diawali dengan pembentukan lapisan pasi di permukaannya, pada
antarmuka lapisan pasi dan elektrolit ter&adi penurunan p$, sehingga
8/18/2019 Makalah Coating
6/21
ter&adi pelarutan lapisan pasi se%ara perlahan-lahan dan menyebabkanlapisan pasi pe%ah sehingga ter&adi korosi sumuran. Korosi sumuran ini
sangat berbahaya karena lokasi ter&adinya sangat ke%il tetapi dalam,
sehingga dapat menyebabkan peralatan atau struktur patah mendadak.0. Korosi %elah adalah korosi lokal yang ter&adi pada %elah diantara
dua komponen. 1ekanisme ter&adinya korosi %elah ini diawali dengan
ter&adi korosi merata diluar dan didalam %elah, sehingga ter&adi
oksidasi logam dan reduksi oksigen. Pada suatu saat oksigen (" !) di
dalam %elah habis, sedangkan oksigen ("!) diluar %elah masih
banyak, akibatnya permukaan logam yang berhubungan dengan bagian
luar men&adi katoda dan permukaan logam yang didalam %elah men&adi
anoda sehingga terbentuk %elah yang terkorosi.2. Korosi retak tegang (stress corrosion cracking ), korosi retak atik
(corrosion fatique cracking ) dan korosi akibat pengaruh hidogen
(corrosion induced hydrogen) adalah bentuk korosi dimana material
mengalami keretakan akibat pengaruh lingkungannya. Korosi retak
tegang ter&adi pada paduan logam yang mengalami tegangan tarik statis
dilingkungan tertentu, seperti ba&a tahan karat sangat rentan terhadap
lingkungan klorida panas, tembaga rentan dilarutan amonia dan ba&a
karbon rentan terhadap nitrat.3. Korosi retak atik ter&adi akibat tegangan berulang dilingkungan
korosi. edangkan korosi akibat pengaruh hidogen ter&adi karena
berlangsungnya diusi hidrogen kedalam kisi paduan.4. Korosi intergranular adalah bentuk korosi yang ter&adi pada paduan
logam akibat ter&adinya reaksi antar unsur logam tersebut di batas
butirnya. eperti yang ter&adi pada ba&a tahan karat austenitik apabila
diberi perlakuan panas. Pada temperatur 0!2562oC karbida krom (Cr !#C3)
akan mengendap di batas butir. Dengan kandungan krom dibawah 7 8,
didaerah pengendapan tersebut akan mengalami korosi dan menurunkan
kekuatan ba&a tahan karat tersebut.6. Selective leaching adalah korosi yang ter&adi pada paduan logam
karena pelarutan salah satu unsur paduan yang lebih akti, seperti yang
biasa ter&adi pada paduan tembaga-seng. 1ekanisme ter&adinya korosi
8/18/2019 Makalah Coating
7/21
sele%tie lea%hing diawali dengan ter&adi pelarutan total terhadap semua
unsur. alah satu unsur pemadu yang potensialnya lebih tinggi akan
terdeposisi, sedangkan unsur yang potensialnya lebih rendah akan larut ke
elektrolit. 'kibatnya ter&adi keropos pada logam paduan tersebut. Contoh
lain sele%tie lea%hing ter&adi pada besi tuang kelabu yang digunakan
sebagai pipa pembakaran. +erkurangnya besi dalam paduan besi tuang
akan menyebabkan paduan tersebut men&adi porous dan lemah, sehingga
dapat menyebabkan ter&adinya pe%ah pada pipa.
Dampak yang ditimbulkan korosi sungguh luar biasa. +erdasarkan
pengalaman pada tahun-tahun sebelumnya, 'merika erikat mengalokasikan
biaya pengendalian korosi sebesar 9 67-!3 milyar per tahun. Di :ndonesia,
dua puluh tahun lalu sa&a biaya yang ditimbulkan akibat korosi dalam
bidang indusri men%apai Rp. 2 trilyun . ;ilai tersebut memberi gambaran
kepada kita betapa besarnya dampak yang ditimbulkan korosi dan nilai ini
semakin meningkat setiap tahunnya karena belum terlaksananya pengendalian
korosi se%ara baik bidang indusri. Dampak yang ditimbulkan korosi dapat berupakerugian langsung dan kerugian tidak langsung. Kerugian langsung adalah
berupa ter&adinya kerusakan pada peralatan, permesinan atau stuktur
bangunan. edangkan kerugian tidak langsung berupa terhentinya aktiitas
produksi karena ter&adinya penggantian peralatan yang rusak akibat korosi,
ter&adinya kehilangan produk akibat adanya kerusakan pada kontainer, tanki
bahan bakar atau åan pemipaan air bersih atau minyak mentah,
terakumulasinya produk korosi pada alat penukar panas dan åan
pemipaannya akan menurunkan eisiensi perpindahan panasnya, dan lain
sebagainya. Pen%egahan korosi dapat dilakukan dengan berbagai ma%am teknik
sehingga dapat disesuikan dengan kebutuhan penggunanya antara lain coating
atau pelapisan, pengorbanan anoda, alloying , galvanizing , inhibitor dan lain-lain
1'2 P-#".,+"% L/"$
Pelapisan logam adalah suatu %ara yang dilakukan untuk memberikan
siat tertentu pada suatu permukaan benda ker&a, dimana diharapkan benda
8/18/2019 Makalah Coating
8/21
tersebut akan mengalami perbaikan baik dalam hal struktur mikro maupun
ketahanannya, dan tidak menutup kemungkinan pula ter&adi perbaikan terhadap
siat isiknya. Pelapisan logam merupakan bagian akhir dari proses produksi
dari suatu produk. Proses tersebut dilakukan setelah benda ker&a men%apai
bentuk akhir atau setelah proses penger&aan mesin serta penghalusan terhadap
permukaan benda ker&a yang dilakukan. Dengan demikian, proses pelapisan
termasuk dalam kategori peker&aan inishing atau sering &uga disebut tahap
penyelesaian dari suatu produksi benda ker&a.
1a%am-ma%am pelapisan logam berdasarkan tu&uannya, antara lain<
. Pelapisan Dekorati Pelapisan dekorati bertu&uan untuk menambah keindahan tampak luar
suatu benda atau produk. ekarang ini pelapisan dengan bahan krom
sedang digemari karena warnanya yang %emerlang, tidak mudah terkorosi
dan tahan lama. Produk yang dihasilkan banyak digunakan sebagai
aksesoris pada kendaraan bermotor baik yang beroda dua maupun
pada kendaraan beroda empat. Dengan kata lain pelapisan ini hanya
untuk mendapatkan bentuk luar yang baik sa&a. *ogam-logam yang umum
digunakan untuk pelapisan dekorati adalah emas, perak, nikel dan krom.!. Pelapisan Protekti
Pelapisan protekti adalah pelapisan yang bertu&uan untuk melindungi
logam yang dilapisi dari serangan korosi karena logam pelapis
tersebut akan memutus interaksi dengan lingkungan sehingga terhindar
dari proses oksidasi.#. Pelapisan untuk iat Khusus Permukaan
Pelapisan ini bertu&uan untuk mendapatkan siat khusus permukaan
seperti siat keras, siat tahan aus dan siat tahan suhu tinggi atau
gabungan dari beberapa tu&uan diatas se%ara bersama-sama. 1isalnya
dengan melapisi bantalan dengan logam nikel agar bantalan lebih keras
dan tidak mudah aus akibat gesekan pada saat berputar.
8/18/2019 Makalah Coating
9/21
A II
CHEMICAL APOUR DEPOSITION
Pelapisan atau %oating merupakan salah satu metode untuk mendapatkan
bentuk dan siat baru dari suatu material. $ingga saat ini ada beberapa teknologi
yang %ukup amliar dikembangkan di bidang industri. etiap &enis %oating
memilki siat hasil pelapisan yang berbeda sesuai dengan prinsip dasar
8/18/2019 Makalah Coating
10/21
pelapisannya. $al ini yangmenyebabkan penggunaan metode %oating dalam
aplikasi industri dan riset berbedabeda. /u&uan dilakukannya pelapisan adalah
untuk memperbaiki siat ketahan aus, konduktiitas listrik, siat optik, ketahanan
korosi, kimia. $ingga saat ini ada beberapa teknologi yang %ukup amliar
dikembangkandibidang industri. +eberapa diantaranya antara lain, chemical
vapor deposition (C=D ), physical vapor deposition (P=D) , electroplating,
spraying, danspin coating.
1etode pelapisan permukaan dengan %ara mengendapkan logam
atau senyawa logam kepermukaan komponen melalui asa uap didalam be&ana
tertutup. Dua %ara, yaitu melalui dekomposisi atau reaksi kimia disekitar
permukaan komponen (C=D) atau peristiwa kondensasi isika (P=D).
>ambar .Kondisi pelapisan asa uap
C=D merupakan proses pengendapan senyawa atau unsur ter&adi
akibat reaksi dekomposisi kimia akibat aktiasi termal di seputar komponen
yangdilapisi. Pada proses C=D, substrat diletakkan di depan pada satu atau
lebihprekursor yang bereaksi pada permukaan substrat untuk menghasilkan
deposit yang diinginkan, kemudian dikeluarkan oleh aliran gas melalui reaksi
ruangan.C=D dilakukan dalam reaktor, yang terdiri dari sistem suplai reaktan
(reactant supply system), ruang deposisi (deposition chamber ), dan sistem daur
ulang (recycle/disposal system)
8/18/2019 Makalah Coating
11/21
>ambar !. Reaktor C=D thermal
>as-gas dari sistem suplai reaktan dimasukkan ke dalam ruang deposisi.Karena temperatur %ukup tinggi, maka gas-gas tersebut akan berdekomposisi
membentuk lapisan di atas permukaan benda ker&a (substrat). *imbah bera%un,
korosi, dan atau mudah terbakar dikumpulkan dan diproses dalam sistem daur
ulang.
>ambar #. kema %hemi%al apor deposition (C=D)
+aru-baru ini, para ilmuwan telah dapat men%iptakan berlian sintetis yang
berhasil meniru kekuatan batu alam. :ni dilakukan denganmenggunakan dua
metode suhu dan tekanan yang tinggi ($P$/), serta pengendapan uap kimia
(C=D), yang mengendapkan lapisan berlian ke dalam bahandasar yang padat.
*apisan berlian yang di%iptakan dengan C=D dapat digunakan dalam berbagai
bidang seperti tribologi (ilmu pengetahuan dan teknologi gaya gesek dan
pelumasan), lapisan anti karat, elektroda, lensa optik, mesin pendingin, gas, sensor
partikel, dan pelapis untuk alat kedokteran. Pelapisan emas &uga bisa
menggunakan proses C=D. Pelapisan emas dengan C=D dapat menghasilkan
8/18/2019 Makalah Coating
12/21
lapisan emas dengan ketebalan yang sangat tipis. Ketangguhan dari lapisan emas
bergantung padaketebalan lapisan, namun dapat ditingkatkan dengan suatu
metodetertentu. elain digunakan dalam pelapisan emas, C=D &uga
dapat digunakan untuk memproduksi intan se%ara sintetik. +erikut ini merupakan
aplikasi C! hard coating (/abel ) pada material yang berbeda-beda serta umur
pakai dan waktu perbaikannya
/abel . 'plikasi C! hard coating pada material
C=D merupakan proses yang menghasilkan lapisan %oating se%arakimiawi atau dengan reaksi kimia pada permukaaan material yang dipanaskan.
Pelapis pada proses C=D berupa gas yang akan bereaksi dengan permukaan
material saat pemanasan berlangsung dan menghasilkan lapisan yang keras serta
menghasilkan produk gas yang akan dibuang melalui reaktor, dengan persamaan
reaksi sebagai berikut<
1Cl? @ $! @ 7.2;! A 1; @ ?$Cl
1Cl? @ C$0 A 1C @ ?$Cl
Contohnya<
/iCl0 @ C$0 A /iC @ 0$Cl
/iCl0 @ B!;! @ !$! A /i; @ 0$Cl
/iCl0 @ ;$# @ B!$! A /i; @ 0$Cl
Proses C=D sangatlah kompleks dengan melibatkan reaksi antara gas
dengan permukaan. +erlangsungnya proses keseluruhan
8/18/2019 Makalah Coating
13/21
>ambar 0. :lustrasi proses C=D
/erdapat beberapa metode C=D yang sudah diaplikasikan, antara lain<
. "tmospheric pressure C=D ('PC=D) 5 C=D, proses dilakukan pada
tekanan atmosir.!. "tomic layer C=D ('*C=D), proses C=D yang menggunakan ! &enis
precursor s ('l(C$#)# and $!"). alah satu dari precursor akan terabsorbsi
ke permukaan substrat, tetapi tidak akan terdekomposisi se%ara sempurna
tanpa precursor kedua. #recursor pertama akan terabsorbsi ke permukaa
substrat hingga konsentrasinya &enuh, namun untuk pertumbuhan lapisan
tipis hanya ter&adi ketika precursor kedua ditambahkan.#. "erosol "ssisted C=D (''C=D), precursor dikenakan pada substrat dala
bentuk gas aerosol maupun liuid aerosol. /eknik ini %o%ok untuk
digunakan utnuk precursor yang tidak mudah menguap.
8/18/2019 Makalah Coating
14/21
0. $ot %ire C=D ($C=D) dapat pula disebut sebagai Catalytic C=D (Cat -
C=D) atau $ot &ilament C=D ($C=D).2. 'opressure C=D (*PC=D) 5 C=D, proses dilakukan pada tekanan
subatmosir. Proses pada tekanan yang rendah %enderung akan mengurangi
reaksi ase gas yang tidak diinginkan dan meningkatkan keseragaman ilm
di seluruh lapisan.3. *etalorganic C=D (1"C=D) 5 C=D, precursor yang digunakan adalah
precursor logam-organik seperti /a("C!$2).4. *icroave plasmaassisted C=D (1PC=D).6. #lasma+nhanced C=D (PC=D) 5 C=D, proses yang memanaatkan
plasma untuk meningkatkan la&u reaksi kimia precursor . 1etode PC=D
memungkinkan ter&adinya dekomposisi precursor pada suhu yang lebih
rendah.E. apid thermal C=D (R/C=D) - C=D , proses yang menggunakan lampu
pemanas atau metode lain untuk memper%epat la&u pemanasan substrat.
Pemanasan yang hanya dilakukan terhadap akan mengurangi reaksi ase gas
yang tidak diinginkan.7. emote plasmaenhanced C=D (RPC=D), prosesnya mirip dengan
PC=D. ;amun substrat tidak langsung dikenakan pada sumber plasma.. -ltrahigh vacuum C=D (F$=C=D) 5 C=D, proses berlangsung pada
tekanan yang sangat rendah, biasanya di kisaran -7 Pa.
Per%ursor yang biasanya digunakan di industri, yaitu hydrides ('i$0, 's$#),
metal alkyls ('li+u#, >at#), metal halides (3, /iCl0). Karakteristik yang harus
dimiliki oleh per%ursor, antara lain<. *iuid.!. 1emiliki olatilitas yang baik.
#. 1emiliki stabilitas termal yang baik.0. Dapat terdekomposisi se%ara sempurna.2. 1enghasilkan by-produ%t yang mudah dikeluarkan dari zona reaksi di
reaktor.3. $arganya mmurah.4. /idak bera%un dan tidak mudah terbakar.
/erdapat berbagai &enis reaktor yang digunakan sebagai tempat ter&adinya
reaksi pada proses C=D, perbedaan reaktor terletak pada sistem pengeluaran
precursor . itur-itur umum yang dimiliki oleh reaktor antara lain
8/18/2019 Makalah Coating
15/21
. /erdapat sumber precursor .!. istem penanganan gas untuk mengontrol masuknya gas atau uap precursor
ke zona reaksi.#. /erdapat zona reaksi, biasanya dalam sel tertutup, dengan holder yang
dapat menampung substrat, dan yang dipanaskan oleh oen atau tungku,
atau dengan rekuensi radio eksternal atau radiasi inramerah.0. /erdapat sistem pembuangan, termasuk pompa akum untuk operasi pada
tekanan rendah, untuk mengeluarkan produk buangan dan pusat pengolahan
limbah dengan perangkat pemantauan limbah yang diperlukan.
Reaktor terbagi men&adi dua berdasarkan sistem pemanasannya, yaituambar 2. kematik $ot all
reactor
. Cold %all eactor
Keunggulan<a. /ekanan dan suhu dapat dikontrol.
b. Dapat digunakan plasma.%. /idak ter&adi pengendapan pada dinding reaktor.d. Reaksi gas yang tidak diinginkan ditekan.e. isiensi precursor tinggi..
Kekurangan
8/18/2019 Makalah Coating
16/21
a. >radien temperatur yang ta&am di dekat permukaan substrat dapat
menyebabkan koneksi b. Dapat menampung satu substrat sa&a.
>ambar 3. kematik cold all reactor
/ahapan dalam proses C=D se%ara umum, yaitu<. /ransport reagen dalam asa gas ke dalam zona reaksi.!. Diusi melalui boundary layer.#. 'dsoprsi precursor pada substrat.0. #recursor berdiusi ke permukaan substrat dan berkembang membentuk
lapisan tipis.
2. Reaksi kimia pada permukaan substrat dan terbentuk ilm padat serta produk samping.
3. Desorpsi produk samping.4. Produk samping berupa gas dikeluarkan dari reaktor.
8/18/2019 Makalah Coating
17/21
>ambar 3. kematik tahapan proses C=D
Proses C=D sangat sesuai digunakan untuk menghasilkan ilm tipis
dengan kualitas tinggi dan less defect . +erbagai &enis material dapat diendapkan
pada substrat dengan teknologi ini. ;amun, pada proses ini menghasilkan produk
sampingan berbahaya yang terbentuk selama pengolahan. Kelebihan dari C=D,
yaitu hasil lapisan yang memiliki kekerasan yang tinggi, gaya adhesi yang baik,
dan kerataan hasil lapisan yang baik.
8/18/2019 Makalah Coating
18/21
A III
KESIMPULAN
Korosi adalah kerusakan atau degradasi logam akibat reaksi redoks
antara suatu logam dengan berbagai zat di lingkungannya yang menghasilkan
senyawa-senyawa yang tidak dikehendaki. Dampak yang ditimbulkan korosi
dapat berupa kerugian langsung dan kerugian tidak langsung. Kerugian
langsung adalah berupa ter&adinya kerusakan pada peralatan, permesinan atau
stuktur bangunan. edangkan kerugian tidak langsung berupa terhentinya
aktiitas produksi karena ter&adinya penggantian peralatan yang rusak akibat
korosi, ter&adinya kehilangan produk akibat adanya kerusakan pada kontainer,
tanki bahan bakar atau åan pemipaan air bersih atau minyak mentah,
terakumulasinya produk korosi pada alat penukar panas dan åan
pemipaannya akan menurunkan eisiensi perpindahan panasnya, dan lain
sebagainya. Pen%egahan korosi dapat dilakukan dengan berbagai ma%am teknik
8/18/2019 Makalah Coating
19/21
sehingga dapat disesuikan dengan kebutuhan penggunanya, salah satunya adalah
coating (pelapisan logam).
Pelapisan logam adalah suatu %ara yang dilakukan untuk memberikan
siat tertentu pada suatu permukaan benda ker&a, dimana diharapkan benda
tersebut akan mengalami perbaikan baik dalam hal struktur mikro maupun
ketahanannya, dan tidak menutup kemungkinan pula ter&adi perbaikan terhadap
siat isiknya. /erdapat beberapa metode pelapisan logam, salah satunya dalah
C=D. C=D merupakan proses pengendapan senyawa atau unsur ter&adi
akibat reaksi dekomposisi kimia akibat aktiasi termal di seputar komponen
yangdilapisi. Pada proses C=D, substrat diletakkan di depan pada satu atau
lebihprekursor yang bereaksi pada permukaan substrat untuk menghasilkan
deposit yang diinginkan, kemudian dikeluarkan oleh aliran gas melalui reaksi
ruangan.C=D dilakukan dalam reaktor, yang terdiri dari sistem suplai reaktan
(reactant supply system), ruang deposisi (deposition chamber ), dan sistem daur
ulang (recycle/disposal system). >as-gas dari sistem suplai reaktan dimasukkan ke
dalam ruang deposisi. Karena temperatur %ukup tinggi, maka gas-gas tersebut
akan berdekomposisi membentuk lapisan di atas permukaan benda ker&a
(substrat). *imbah bera%un, korosi, dan atau mudah terbakar dikumpulkan dan
diproses dalam sistem daur ulang. Proses C=D sangat sesuai digunakan untuk
menghasilkan ilm tipis dengan kualitas tinggi dan less defect . +erbagai &enis
material dapat diendapkan pada substrat dengan teknologi ini. ;amun, pada
proses ini menghasilkan produk sampingan berbahaya yang terbentuk selama
pengolahan. Kelebihan dari C=D, yaitu hasil lapisan yang memiliki kekerasan
yang tinggi, gaya adhesi yang baik, dan kerataan hasil lapisan yang baik.
8/18/2019 Makalah Coating
20/21
DAFTAR PUSTAKA
Jones, A. C, and Hitchman, M. L. 2009. Chemical Vapour
Deposition: Precursors, Processes and Applications. !:
ni"ersit# o$ Li"erpool
https
8/18/2019 Makalah Coating
21/21