7/23/2019 Sistemas de medicion y control
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P
Medición y control
Indicadores de vacíoIndicador de convección lineal Active 11-5
Indicador Active Pirani 11-7
Indicador lineal Active Pirani 11-9
Indicador iónico Active 11-11
Indicador de magnetrón invertido Active 11-13
Indicador de amplio rango Active 11-15
Indicador de termoacoplamiento Active 11-17
Deformímetros Active 11-19
Transductores de presión de vacío Barocel 11-21
Pantallas y controladores de vacíoControlador de indicadores iónicos 11-25
Controlador de instrumentos TIC 11-27
Controlador de indicadores Active 11-32
Controlador digital Active 11-34
Pirani 501 y PRE10K 11-36
Pantallas indicadoras Active 11-37
Pantalla digital Active 11-38
Pantalla de presión modelo 1575 11-39
Ejemplos de instalación deindicadores y controladores 11-40
Indicadores analógicos tipo cápsula,interruptores de vacío e indicadores
McLeodIndicadores analógicos tipo cápsula CG16K 11-43
Interruptor de vacío ajustable VS16K 11-43
Interruptor de enclavamiento de vacío IS16K 11-44
Indicadores Vacustat McLeod 11-45
Equipo de calibraciónEC6ST – Sistema de calibración de 6 puertos 11-46
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SISTEMAS DE MEDICIÓN Y CONTROL DEVACÍO
Indicadores de vacío
La familia de instrumentos BOC Edwards ofrece:• Medición sobre el rango de 2000 a 10-11 mbar• Controladores avanzados basados en microprocesadores• Calibración de instrumentos según las normas nacionales del RU
Selección de su indicador de vacíoBOC Edwards brinda una amplia gama de productos para la medición ycontrol de vacío – desde indicadores analógicos hasta controladores basadosen microprocesadores. Dentro de cada línea de productos, existe una familia
de modelos diseñada para cumplir con las más amplias especificaciones denuestros usuarios.
El primer paso en seleccionar el indicador correcto para su aplicación esdecidir el rango de presiones que desea medir en cada uno de los puntos demedición. El gráfico que aparece a continuación indica los amplios rangos depresión cubiertos por el espectro de instrumentos de BOC Edwards: utiliceeste gráfico como guía primaria para la elección de un cabezal de calibre.
El segundo paso es establecer su requerimiento para la salida de la mediciónde presión. Si simplemente desea una indicación de que se ha alcanzado uncierto nivel de vacío (por ejemplo, abrir una válvula o iniciar un proceso),entonces un interruptor de vacío o un cabezal de calibre Active pueden serapropiados. Si desea la presión a nivel local, entonces un indicador analógicopuede ser adecuado. Si necesita que la presión se visualice en un lugar lejanocon respecto al punto de medición (por ejemplo, en un panel de control),entonces seleccione el Pirani 501, la pantalla indicadora Active, el controlador
Active o la pantalla digital Active, dependiendo de las características quenecesite. (También tendrá que seleccionar el cabezal (o cabezales) de calibreapropiado para acompañar estas pantallas y controladores.) Si el sistema decontrol (como PLC, PC o controlador con microprocesador dedicado)necesita conocer la presión para tomar decisiones en secuencia pero no senecesita una pantalla de vacío separada, entonces puede utilizar un cabezal de
calibre Active como transductor autónomo conectado a un suministroeléctrico apropiado y a una entrada analógica del sistema de control.
En tercer lugar, necesita seleccionar un indicador adecuado para los gases delproceso y fabricado para soportar la exposición al ambiente externo delsistema de vacío. Considere si el indicador sobrevivirá al proceso y también silos gases del proceso pueden tener efecto sobre las mediciones del indicador.Por ejemplo, las mediciones realizadas por indicadores mecánicos(interruptores de vacío, indicadores analógicos, deformímetros ymanómetros de capacitancia) no son afectadas por la composición del gas,mientras que las realizadas por otros tipos de indicadores dependen del gas.
Calibración para diferentes gasesTodos nuestros cabezales de calibre están calibrados para nitrógeno seco; lacalibración para aire seco es la misma. Si se utiliza conductividad térmica oindicadores de ionización con gases que no sean nitrógeno o aire, puede sernecesario aplicar un factor de corrección de gas para obtener una lecturaprecisa de la presión del sistema. Comuníquese con nosotros si necesita másinformación.
Instalación del cabezal de calibreLa forma en que se instala el cabezal de calibre en el sistema de vacío afectarála precisión y confiabilidad de la medición de presión. Para un mejordesempeño, recomendamos que:• Se conecte el cabezal de calibre al sistema de vacío con una tubería recta
y corta. Esta tubería debe tener un diámetro interno no inferior al deltubo del indicador. Las conexiones largas, angostas o angulares puedencausar un error significativo en la medición. Observe que la presiónindicada puede ser superior o inferior a la presión real.
• Se conecte el cabezal de calibre tan cerca del punto en el que desea medirla presión del sistema como sea posible.• Se oriente el cabezal de calibre de modo que quede en posición vertical,
con la conexión al sistema de vacío como base. Esto impide que caigasuciedad en el indicador.
10-11 10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1 10 102 103 mbar
ULTRA ALTO VACÍO ALTO VACÍO MEDIO VACÍO BAJO VACÍO
DEFORMÍMETROS ACTIVE
CG16K
PIRANI 501 Y PRE10K
INDICADOR DETERMOACOPLAMIENTO ACTIVE
ACTIVE PIRANI
MANÓMETRO DE CAPACITANCIA
MAGNETRÓN INVERTIDO ACTIVE
INDICADOR DE AMPLIO RANGO
INDICADOR IÓNICO ACTIVE
CONTROLADOR DE INDICADORES IÓNICOS ACTIVE
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P
El concepto de indicadores Active
• Opera desde suministros eléctricos estándar para una instalación simple• Señal de identificación del tipo de indicador y una salida común de 0 – 10
V c.c.• Cables con longitudes de hasta 100 m para una operación remota• Familia de controladores de indicadores Active basados en
microprocesadores• La familia de indicadores Active con el controlador de indicadores Active
ofrecen una medición continua de 2000 mbar a 10-11 mbar
• Están disponibles pantallas y controladores analógicos y digitales, de bajocosto
Los indicadores y controladores de vacío Active BOC Edwards ofrecen undesempeño, flexibilidad y facilidad de uso inigualables. Por lo general, losindicadores de vacío consistían en un elemento sensor y una pantalla/controlador separada. Con los indicadores Active de BOC Edwards, lasfunciones que son específicas al tipo de indicador (como el acondicionamientode la señal y los suministros eléctricos especializados) se retiraron delcontrolador dedicado y se incorporaron en el cabezal mismo. Ahora, elcabezal de calibre puede puede utilizarse como un transductor autónomo:requiere sólo un suministro eléctrico sencillo y brinda una salida de 2 a 10 V.Alternativamente, puede conectar los indicadores a la pantalla o al controladoruniversal de BOC Edwards: éstos aceptarán todo tipo de indicadores encualquier combinación para la más flexible solución.
La familia de indicadores ActiveIndicador Active Pirani Una familia de indicadores Pirani que incluyen lamedición lineal de la presión atmosférica a 10-4 mbar, con punto de controlintegrado para uso OEM.
Indicador iónico Active Una nueva familia de pequeños indicadoresiónicos Active autónomos con un rango de medición de 5 x 10-2 a 5 x 10-10
Torr. Los indicadores incorporan desgasificación, conmutación de corrientede emisión automática, protección automática de filamentos, un punto decontrol ajustable con un botón y LED indicador de estado.
Magnetrón invertido Active Operando en el rango de 10-2 mbar a 10-9
mbar, con punto de control integrado para uso OEM. Está disponible unaversión con un campo magnético activo bajo externo.
Indicador de amplio rango Active Una familia de indicadores quemiden desde la presión atmosférica hasta 10-9 mbar con una salida lineal y unpunto de control integrado para uso OEM. Está disponible una versión con un
campo magnético bajo externo.Indicador de termoacoplamiento Active Una familia de indicadoresque miden desde la presión atmosférica hasta 10-3 mbar, con un punto decontrol integrado para uso OEM e indicación por LED del estado del vacío.
Deformímetros Active Una familia de deformímetros que miden desde2000 mbar a 1 mbar. Este tipo de indicador es extremadamente resistente ybrinda una medición precisa e independiente del gas.
Controlador de indicadores iónicos El controlador de indicadoresiónicos puede operar uno o dos tubos indicadores iónicos, al igual que unindicador de enclavamiento de alta presión. Tiene un rango de medición de 5× 10-3 a 2 × 10-11 mbar, con 3 niveles de corriente de emisión y desgasificaciónpor bombardeo de electrones.
Manómetros de capacitancia BarocelLos manómetros Barocel brindar una medición de presión de alta precisión,alta estabilidad e independiente del gas lo que los hace ideales para una ampliavariedad de proceso industriales, investigación y aplicaciones de calibración. Sufabricación en iconel/monel significa que también pueden utilizarse con gasescorrosivos y radiactivos.• Precisión 0,15% de la lectura• Medición real de la presión total, independiente del tipo de gas• Resistencia muy alta a la corrosión• Respuesta rápida• Rango amplio, rango de 4 décadas con un único cabezal• Manómetros controlados por temperatura de 45 a 123 °C
• Excelente estabilidadLos manómetros de capacitancia Barocel 655, 658 y 659 incorporan unalojamiento herméticamente sellado y calefaccionado que contiene elementospara medir la presión y circuitos electrónicos críticos. Esto significa que loscambios en la temperatura ambiente, humedad y presión atmosférica tienenun impacto mínimo en la lectura, lo que brinda una excelente repetibilidadcero y estabilidad a largo plazo. Los tres modelos ofrecen una opción deregulación de temperatura a 45, 100 o 123 °C.• La escala completa oscila entre 0,05 Torr y 1000 Torr• Controlado por temperatura
Controladores y pantallas ActiveLos indicadores de la familia Active de BOC Edwards pueden operar comotransductores de presión autónomos con sólo un suministro eléctrico simplecon una salida analógica de 2 a 10 V. Si necesita un sistema completo demedición y pantallas de vacío, también ofrecemos una familia de controladores
y pantallas.Nuestras pantallas y controladores están diseñados para la máxima flexibilidady facilidad de uso. Son adecuados para montarlo sobre bancos de trabajo opaneles y las opciones incluyen la interfaz RS232.
Controlador de instrumentos TIC Un controlador de instrumentoscompacto con una pantalla para gráficos grande y clara, una interfaz del usuariointuitiva y una interfaz de comunicaciones serial que brindan control remotototal y funciones de inscripción de datos para uno o más sistemas TIC pormedio de un nuevo programa de PC basado en WindowsTM.El controlador reconoce automáticamente y soporta hasta tres indicadores dela familia BOC Edwards (con excepción de IGC y Barocels), con cobertura de2000 a 6,6 x 10-10 mbar. Los indicadores de alta presión pueden controlar yproteger los indicadores de baja presión y hay tres salidas de punto de controlde apertura del colector. Una caja de relés opcional utiliza estas salidas para
controlar tres relés de transferencia de la red eléctrica de 3A.El controlador de instrumentos TIC puede montarse en un bastidor o bancoy brinda un medio útil para la operación flexible de una amplia variedad deconfiguraciones de sistemas de vacío.
Controlador de indicadores Active El controlador de indicadoresActive (AGC) es un controlador de vacío inteligente universal capaz de operar6 indicadores Active en cualquier combinación. Esto le da un capacidad demedición de vacío de 2000 mbar a 2 × 10-11 mbar. El AGC estándar sesuministra con 6 salidas de punto de control independientes que cualquiera delos indicadores puede controlar. Las opciones incluyen una conexión RS232para control remoto total o una pantalla con uno o tres indicadores.
Controlador digital Active El controlador digital Active (ADC) deBOC Edwards es un controlador con un único indicador y pantalla. Cuentacon una brillante pantalla LED y simples controles con botones El ADCreconoce automáticamente los indicadores BOC Edwards compatibles, carga
la tabla de búsqueda apropiada y muestra la presión en las unidades de vacíocomúnmente utilizadas.El ADC está disponible en versiones estándar y mejorada. El controladorestándar muestra la presión medida por un único indicador Active. Elcontrolador mejorado soporta dos indicadores similares – tiene dos puntosde control de histéresis variables conectados a relés de transferencia de 48 Vc.c. y 1 A y dos salidas analógicas de 0 a 10 V c.c. Para ayudar a la integracióndel sistema, el controlador mejorado se suministra con una interfaz RS232.
Cuando se lo combina con un indicador adecuado como el indicador Pirani deconvección APGX-H o el indicador de amplio rango (WRG) deBOC Edwards, el ADC representa una manera rentable de monitorear ycontrolar el vacío del proceso en una amplia gama de aplicaciones.
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Pantalla indicadora Active La pantalla indicadora Active (AGD) es uncontrolador de bajo costo capaz de operar dos cabezales de calibre (delmismo tipo) desde los siguientes dispositivos: Pirani, magnetrón invertido,WRG y termoacoplamiento. La AGD cuenta con una pantalla analógica claray fácil de leer y está disponible con dos relés de transferencia de 3A opcionalespara el control de procesos.
Pantalla digital Active La pantalla digital Active (ADD) brinda el controlde un único deformímetro Active o manómetro de capacitancia Barocel. LaADD cuenta con una pantalla clara de cuatro dígitos con unidades de presiónseleccionables. Al igual que la pantalla indicadora Active, la ADD cuenta condos relés de transferencia opcionales de 3A para el control de procesos.
Pantalla de presión 1575 La pantalla de presión modelo 1575 es una
nueva pantalla de presión y controlador de puntos de control en miniatura(1/8 DIN) para los manómetros de capacitancia 600, 622 y 655. Loscontroladores se suministran con cuatro puntos de control de apertura delcolector seleccionables por el usuario y ajuste a cero mediante un botón delcontrol remoto. Existen otras dos versiones, una con salida analógica y otracon RS232.
Otros instrumentosAdemás de la familia de indicadores Active, BOC Edwards ofrece una variedadde productos de medición y control de vacío más tradicionales.
Nuestros sencillos indicadores analógicos brindan una alternativa resistentepara medir la presión local desde la presión atmosférica hasta 1 mbar y sonideales para cámaras de vacío en un ambiente industrial. Los interruptores devacío, con alta capacidad nominal de corriente, ofrecen un método sencillopara controlar las cargas directamente sin la necesidad de relés o suministroseléctricos adicionales.
La pantalla Pirani 501 con cabezal de calibre PRE10K brinda una soluciónsencilla y de bajo costo para la medición en un rango de 10 a 10-3 mbar. Esideal para utilizarla sobre un banco de trabajo en un laboratorio, o parainstalarla en un panel de control industrial.La familia de indicadores Vacustat McLeod ofrece una medición tradicionaldel vacío absoluto para laboratorios o aplicaciones industriales ligeras.
Servicio de calibración de indicadoresTodos los indicadores de BOC Edwards pueden suministrarse con uncertificado de calibración o ser recalibrados a solicitud.• Brinda un certificado de calibración atribuible a las normas nacionales del
RU, las cuales cumplen con los requerimientos ISO9000 en todo elmundo
• Servicio disponible para instrumentos nuevos o devueltos• Los transductores se calibran de manera separada o con pantalla/
controladorComo líder en la fabricación de instrumentos de vacío, BOC Edwards ofreceservicios calibración y reparaciones a cargo de expertos con 25 años deexperiencia. Los instrumentos de vacío de otros fabricantes incluyendo laspérdidas de helio también están cubiertos. Los instrumentos se calibran connitrógeno seco; para calibración con otros gases o a presiones específicas,consulte con BOC Edwards. También está disponible la opción de cifras decalibración antes o después de los ajustes o reparaciones.La familia de instrumentos incluye:• Indicadores, pantallas y controladores Active. Tenga en cuenta que los
indicadores Active pueden calibrarse solos o con una pantalla ocontrolador.
• Familia de indicadores pasivos, en la que, por ejemplo, el 501 se calibracon su cabezal. La tensión de salida del oscilógrafo puede suministrarse asolicitud.
• Manómetros de capacitancia. Tenga en cuenta que algunos tipos demanómetros pueden calibrarse como instrumentos autónomos o con uncontrolador o monitor de presión, por ejemplo, el controlador deindicadores Active.
• Pérdidas de helio cuarzo para detectores de pérdidas con espectrómetrode masas.
Comuníquese con BOC Edwards para obtener más detalles.
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INDICADOR DE CONVECCIÓN LINEALACTIVE APGX-H DE 1000 A 2 x 10-4 Torr
Indicadorde convección linealActive
El nuevo indicador de convección lineal de BOC Edwards cuenta con unamplio rango de medición de 1333 a 3 x 10-4 mbar (1000 a 2,3 x 10-4 Torr).El uso de la tecnología de convección asegura que la precisión y sensibilidad semantendrán al máximo del rango. El indicador es compacto y puedeempotrarse en cualquier orientación, lo que simplifica la instalación cuando elespacio es limitado. El indicador incorpora un punto de control y dos LED, loscuales indican el estado del punto de control y del indicador. Para un menorcosto de mantenimiento, el indicador se suministra con un tubo reemplazable,en el que se almacenan los datos de calibración.
Características y ventajas• Amplio rango de medición
- 1333 a 3 x 10-4 mbar (1000 a 2,3 x 10-4 Torr). Más amplio que muchosproductos de la competencia
• Uso de tecnología de convección- Asegura una precisión consistente en la medición (por lo general ±10%)
y repetibilidad (±5%) al máximo del rango• Tubo reemplazable
- Reduce el costo de mantenimiento y elimina la contaminación ambiental
innecesaria• Salida analógica estándar- Logarítmico lineal en el rango de 2,5 a 9,125 V (1 V/década)- Compatible con los controladores AGC, AGD y TIC de BOC Edwards
• Datos de calibración almacenados en tubo- Los tubos se envían precalibrados, de modo que el usuario no necesita
un sistema de vacío capaz de bombear hasta 10-5 mbar• Puede montarse en cualquier orientación
- A diferencia de muchos indicadores de convección, el APGX-Hmantiene su precisión en cualquier orientación a lo largo de todo elrango de medición, lo que simplifica la instalación en espaciosrestringidos
• Instrumento compacto- El APGX-H es el indicador de alta presión más pequeño que ofrece
BOC Edwards y es significativamente más pequeño que los productosde la competencia
• Indicación del estado local- Los LED indican el estado del punto de control y del indicador en el
cabezal de calibre
DATOS TÉCNICOS
ANW16 Al 75 mm/2,95 pulg.NW16 Ac. In. 75 mm/2,95 pulg.
NW25 Ac. In. 75 mm/2,95 pulg.1/8" NPT Ac. In. 87 mm/3,42 pulg.
Rango de presión 1333 a 3 x 10-4 mbar /1000 a 2,3 x 10-4 Torr
Precisión* ±15% de la lectura ± 3 x 10-4 mbarSobrepresión máxima 10 bar absoluto (145 psia)Repetibilidad ±5% de la lecturaResolución Incrementos de 6 mV, correspondientes a 1,2% FSTiempo de respuesta <100 msSuministro eléctrico 14,5 a 30 V c.c.Consumo de energía 1,5 W máx
Señal de salida Logarítmico lineal en el rango de 2,5 a 9,125 V(1 V / década)P = 10V-6 o V = log P + 6
Diagnóstico† (errores)Significado
Salida delindicador
Filamento roto Filamento roto 9,5 VError de calibración Se intentó la calibración fuera de
los límites (>1E-2 mbar o<200 mbar) o degradación delfilamento
9,6 V
Tubo desconectado Componentes electrónicosencendidos sin que el tubo estéconectado
9,7 V
1 La precisión se reduce al límite mínimo del rango de medición
† La salida del punto de control se apagará en caso de que se detecte un error
Los errores pueden resolverse al apagar y encender el indicador
56 (2.21)
5 6 ( 2 . 2 1 )
A
-410 10
-310
-210
-110
010
110
210
310
410
5
310 10
-2 -1 010
110
210 10 1010
4 5 610
710
mbar
Pa
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
APGX-H
-410 10
-310
-210
-110
010
110
210
310
410
5
V
Torr1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
APGX-H
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Pantalla Significado ColorEstado El indicador no recibe corriente o
no funcionaApagado
Encendido, el indicadorfunciona normalmente
Verde
Error Rojo
El indicador se está inicializando
Rojo yVerde sealternan
Punto de control Punto de control desactivado(presión por encima del umbral) ApagadoPunto de control encendido(presión por debajo del umbral) Ámbar
Ajustes Vacío y atmósfera predeterminadosPara permitir variaciones en la presiónbarométrica, la atmósfera puedepredeterminarse en el rango de 700 a 1100 mbar(525 a 825 Torr)
Punto de control (transistor de apertura del colector)Rango del punto de control 1,8 a 9,3 VHistéresis fija 500 mV (1/2 década)Capacidad 30 V c.c. 100 mAConfiguración por defecto 6 V (1 mbar)Resolución configurable 6 mV
Rango de temperaturaTemperatura de operación +5 a +60 °CTemperatura dealmacenamiento -30 a +70 °C
Materiales expuestos al vacíoTubo de aluminio Aluminio, tungsteno, níquel, PTFE,
fluoroelastómero y bronceTubo de acero inoxidable Ac. In. 316L, tungsteno, níquel, PTFE,
fluoroelastómero y bronceFilamento TungstenoVolumen interno 11 cm3
PesoNW16 Aluminio 0,11 kgNW16 Acero inoxidable 0,16 kgNW25 Acero inoxidable 0,17 kg1/8" NPT Acero inoxidable 0,15 kg
Conector de una interfazexterna Toma de 8 clavijas FCC68(RJ45)Cables de interfaz Utiliza la familia existente de cables para
indicadores ActiveAccesorio de vacío NW16, NW25 y 1/8" NPTNormas
Diseño electrónico BS EN 61010-1 2001Inmunidad al ruido eléctrico BS EN 61326
Ubicación industrial, emisiones clase BCarcasa pirorretardante UL 94 (V0)Capacidad del alojamiento IP 40
Distribución de las clavijas1. Suministro positivo 5. Retorno de tierra del
circuito de señal2. Al imentación de tierra 6. Salida del punto de
control3. Señal de salida 7. Entrada de calibración remota4. Resistor ID 8. No se utiliza
CompatibilidadAGC El APGX-H cuenta con soporte de los nuevos
AGCs con números de serie superiores a:027376147 (versiones sin RS232) y 027274158(versiones con RS232).Los controladores anteriores requieren de unaactualización de software.
AGD El APGX-H cuenta con soporte del AGD paraAPGX.
TIC El APGX-H cuenta con soporte del software delTIC en su versión D39700640 o superior.Las actualizaciones de software para el TICpueden obtenerse en primera instanciaelectrónicamente por medio de una solicitud dedicha actualización por parte del usuario. Con el
tiempo, esto será posible desde un sitio webdedicado.
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
APGX-M-NW16 AL D02391000
APGX-H-NW16 Ac. In. D02395000
APGX-H-NW25 Ac. In. D02392000
APGX-H 1/8" NPT Ac. In. D02396000
REPUESTOS Y ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
APGX-H - Módulo de componentes electrónicos D02391800
Tubos de repuesto
NW16 AL D02391801NW16 Ac. In. D02395801
NW25 Ac. In. D02392801
1/8" NPT Ac. In. D02396801
Cables de indicador Active (incluyen conexiones FCC68/RJ45compatibles en ambos extremos)
Cable de indicador Active, 0,5 m D40001005
Cable de indicador Active, 1 m D40001010
Cable de indicador Active, 3 m D40001030
Cable de indicador Active, 5 m D40001050
Cable de indicador Active, 10 m D40001100
Cable de indicador Active, 15 m D40001150
Cable de indicador Active, 25 m D40001250Cable de indicador Active, 50 m* D40001500
Cable de indicador Active, 100 m* D40001999
Están disponibles a solicitud los cables blindados o de longitudes especiales
Otros accesorios y productos de soporte
APGX-H - Paquete de fi ltros 5 unidades (no la versión NPT) D02391805
Conjunto de actualización AGC (el AGC debe ser entregado aBOC Edwards para realizar la actualización)
D38660800
AGD para APGX con relés de control (mbar/Torr) D39571000
AGD para APGX con relés de control (Pa) D39571600
AGD para APGX (mbar/Torr) D39576000
AGD para APGX (Pa) D39576600
* Se recomienda un protector contra sobretensiones en caso de que se utilicen cables de más de 30 m delargo en ambientes con ruido eléctrico.
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INDICADORES ACTIVE PIRANI APGPRESIÓN ATMOSFÉRICA A 10-4 mbar
IndicadorActive Pirani
Los indicadores Active Pirani (APG) de BOC Edwards combinan el cabezal decalibre y el controlador en una unidad Active compacta. La probada, rentabley confiable familia Pirani cuenta con una importante base de usuarios con unexitoso historial en la medición de presiones preliminares y de refuerzo a lolargo de un amplio espectro de aplicaciones.
Características y ventajas• Suministro eléctrico interno, regulado, de amplio rango- Funciona con suministros de c.c estándar de +20 a +36 V- Tolera las fluctuaciones de tensión
• Componentes electrónicos de accionamiento combinados en el cabezalde calibre- Reduce el costo del sistema- Ahorra valioso espacio en el bastidor
• Están disponibles las versiones para mediana y baja presión- APG-M y -MP desde la presión atmosférica a 10-3 mbar- APG-L desde la presión atmosférica a 10-4 mbar
• Salida analógica estándar de 0 a 10 V c.c.- Fácil de conectar a una computadora o plc- Indicación de falla de salida
• Punto de control ajustable
- Para control de proceso y enclavamiento- Brinda una indicación del estado del vacío- El nivel del punto de control puede leerse visualmente o con un
voltímetro• Baja impedancia de salida y jaula de Faraday integrada
- Brinda un alto nivel de inmunidad al ruido- Permite cables de gran longitud (hasta 100 m)
• Están disponibles versiones resistentes a la corrosión• Dos tipos de tubos (AI & Ac In) y numerosos tipos de bridas para
adaptarse a las aplicaciones del cliente
C = Espacio para el cable y el conector
DATOS TÉCNICOS
A B
NW16 22 mm/0,86 pulg. 120 mm/4,72 pulg.NW25 22 mm/0,86 pulg. 124 mm/4,88 pulg.15 mm diá. ext. 52 mm/2,05 pulg. 150 mm/5,91 pulg.
V
A
S
9 8 ( 3 . 8 6 )
56 (2.20) 34 (1.34)
B
A
( 0 . 5 5 )
C = 1 4
Rango de presiónAPG-M Y APG-MP Presión atmosférica a 10-3 mbar / TorrAPG-L Presión atmosférica a 10-4 mbar / Torr
Precisión* APG-M Y APG-MP Por lo general, ±15% a <100 mbar / TorrAPG-L Por lo general, ±15% a <10 mbar / Torr
Sobrepresión máxima 10 bar absoluto (145 psi)Suministro eléctrico +20 a +36 V c.c. (máx 1 V ondulación)Consumo de energía 1,5 W máxSeñal de salida 2 a 10 V c.cAjustes Vacío y atmósfera predeterminadosPunto de control Transistor de apertura del colector
Rango del punto de control 5% a 95% de tensión de escala completaHistéresis fija 7% de tensión de escala completaConfiguración del nivel deresolución
±2% de tensión de escala completa
Capacidad 40 V c.c., 100mA máxRango de temperatura
Operación +5 a +60 °CAlmacenamiento -30 a +70 °C
Materiales expuestos al vacíoTubo de aluminio Aluminio, níquel, fluoroelastómero,
PTFETubo de acero inoxidable Acero inoxidable (316), níquel,
fluoroelastómero, PTFEFilamento
APG-M, APG-L Tungsteno recubierto de oroAPG-MP Platino / rodio (90/10)
Volumen interno NW: 6 cm3 15 mm diá. ext.: 10 cm3
PesoAluminio 0,12 pulg.Acero inoxidable 0,2 pulg.
Conector de una interfaz externa Toma de 8 clavijas FCC68 / RJ45Accesorio de vacío NW16, NW25 o tubo de 15 mm diá. ext.
* La precisión se reduce a los límites del rango de medición
10-5
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
-410
-310
-210
-110
010
110
210 10
3
APG-L
APG-M, APG-MP
10-3
10-2
10-1
100
101
102
103
104
105
APG
mbar
Pa
10-5
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
-410
-310
-210
-110
010
110
210 10
3
APG-L
APG-M, APG-MP
APG
Torr
7/23/2019 Sistemas de medicion y control
http://slidepdf.com/reader/full/sistemas-de-medicion-y-control 8/46
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NormasDiseño electrónico EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326 Emisiones Clase B
Carcasa pirorretardante UL94 (V0)Capacidad del alojamiento IP40Distribución de las clavijas**
1. Suministro eléctricopositivo
5. Común de la señal
2. Suministro eléctrico común 6. Salida del punto de control3. Salida del indicador 7. Punto de control de lectura4. Identif icación del indicador 8. No se conecta
** No aparece en el diagrama
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
APG-M-NW16 AL D02171000
APG-M-NW16 Ac. In. D02175000
APG-M-NW25 Ac. In. D02172000
APG-M 15 mm diá. ext. Ac. In. D02176000
APG-MP-NW16 Ac. In. D02185000
APG-MP-NW25 Ac. In. D02182000
APG-MP 15 mm diá. ext. Ac. In. D02186000
APG-L-NW16 AL D02173000APG-L-NW16 Ac. In. D02177000
APG-L-NW25 Ac. In. D02174000
APG-L 15 mm diá. ext. Ac. In. D02178000
Los indicadores mencionados pueden suministrarse con uncertificado de calibración.Cables de indicador Active con conexiones compatibles con FCC68 enambos extremos
Llámenos paraobtener detalles
0,5 m D40001005
1 m D40001010
3 m D40001030
5 m D40001050
10 m D40001100
15 m D4000115025 m D40001250
50 m* D40001500
100 m* D40001999
Están disponibles a solicitud los cables blindados o de longitudes especiales
Otros accesorios y productos de soporte
Conjunto de repuesto de filtros con tela de alambre (5 unidades) D02171810
NW10/16 - filtro sinterizado D02110760
Protector contra sobretensiones* D40006000* Se recomienda un protector contra sobretensiones en caso de que se utilicen cables de más de 30 m delargo en ambientes con ruido eléctrico.
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P
INDICADORES LINEALES ACTIVE PIRANIAPGX PRESIÓN ATMOSFÉRICA A 10-4 mbar
Indicadorlineal Active Pirani
Los nuevos indicadores lineales Active Pirani se basan en la probada tecnologíaPirani de BOC Edwards. Sin embargo, este nuevo indicador se diseñó parasuministrar una salida logarítmica/lineal de 1 voltio por década, junto consencillos botones de control, un segundo punto de control y diagnóstico deerrores. El indicador es particularmente adecuado para su integración directaen sistemas OEM, no requiere tablas de búsqueda, simplemente la inclusión deuna fórmula sencilla para la interpretación de la salida del indicador.
Características y ventajas• Los componentes electrónicos integrados con una salida lineal de 1 voltio
por década permiten un funcionamiento autónomo y facilitan laintegración a sistemas de control OEM, con recorridos de cable dehasta 100 m
• La nueva función de diagnóstico permite que el indicador reporte loserrores por filamentos rotos, por estar fuera del rango o de calibración
• Dos puntos de control, con botones de ajuste y de fácil uso para el controlde procesos y/o reporte de diagnósticos
• El interruptor de un sólo botón configura tanto la presión atmosféricacomo el vacío
• El innovador diseño electrónico permite cumplir con las normas de bajaemisión y alta inmunidad EMC.• Están disponibles las versiones para mediana y baja presión• Están disponibles versiones resistentes a la corrosión• Opción de tubos indicadores de acero inoxidable o aluminio con una
selección de accesorios de vacio y materiales de filamentos paraadecuarse a su aplicación.
C = Espacio para el cable y el conector
DATOS TÉCNICOS
A B
NW16 22 mm/0,86 pulg. 120 mm/4,72 pulg.
NW25 22 mm/0,86 pulg. 124 mm/4,88 pulg.15 mm diá. ext. 52 mm/2,05 pulg. 150 mm/5,91 pulg.
9 8
( 3 . 8 6 )
56 (2.21) 34 (1.34)
B
A
( 0 . 5 5 )
C = 1 4
Rango de presiónAPGX-L Presión atmosférica a 10-4 mbar / TorrAPGX-M Y APGX-MP Presión atmosférica a 10-3 mbar / Torr
Precisión* APGX-L Por lo general, +/-15% a <10 mbar / TorrAPGX-M Y APGX-MP Por lo general, +/-15% a <100 mbar / Torr
Sobrepresión máxima 10 bar absoluto (145 psi)Suministro eléctrico +14,5 a +36 V c.c
Consumo de energía 1,5 W máx(Versiones M y MP)2,0 W máx (Versión L)
Señal de salidaAPGX-L 2,0 a 9,0 V c.c. en el rango de
1000 a 10-4 mbarAPGX-M Y APGX-MP 3,0 a 9,0 V c.c. en el rango de
1000 a 10-3 mbar / TorrDiagnóstico
Por debajo del rango 1,9 VPor encima del rango 9,1 VFilamento roto 9,5 VError de calibración 9,6 V
Ajustes Vacío y atmósfera predeterminadosPuntos de control (2 off) Transistor de apertura del colector
Rango del punto de control Rango total de medición de la presiónHistéresis fija 0,5 V (1/2 década)Capacidad 40 V c.c. 100 mA
Rango de temperaturaOperación +5 a +55°CTemperatura de almacenamiento -30 a +70°C
Materiales expuestos al vacíoTubo de aluminio Aluminio, níquel,
fluoroelastómero, PTFETubo de acero inoxidable Acero inoxidable (316), níquel,
fluoroelastómero, PTFE
1 La precisión se reduce a los límites del rango de medición
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
-410
-310
-210
-110
010
110
210 10
3
V
0
APGX-M/MP
APGX-L
10-2
10 -1
100
101
10 2
103
104
10 5
APGX
mbar
Pa
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
-410
-310
-210
-110
010
110
210 10
30
APGX-M/MP
APGX-L
APGX
Torr
7/23/2019 Sistemas de medicion y control
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FilamentoAPGX-L Y APGX-M Tungsteno recubierto de oroAPGX-MP Platino / rodio (90/10)
Volumen interno 6 cm3
PesoAluminio 0,12 kgTubo de acero inoxidable 0,20 kg
Conectores de interfaz externos Toma de 8 clavijas FCC68 / RJ45Accesorio de vacío NW16, NW25 y 15 mm diá. ext.Normas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidad electromagnética EN 61326 Ubicación industrial,
Emisiones clase BCarcasa pirorretardante UL 94 (V0)Capacidad del alojamiento IP 40
Distribución de las clavijas** 1. Suministro eléctrico positivo 5. Común de la señal2. Suministro eléctrico común 6. Salida del punto de control 13. Salida del indicador 7. Entrada de calibración remota4. Identif icación del indicador 8. Salida del punto de control 2
11 No aparece en el diagrama
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
APGX-M-NW16 AL D02371000
APGX-M-NW16 Ac. In. D02375000APGX-M-NW25 Ac. In. D02372000
APGX-M 15 mm diá. ext. Ac. In. D02376000
APGX-MP-NW16 Ac. In. D02385000
APGX-MP-NW25 Ac. In. D02382000
APGX-MP 15 mm diá. ext. Ac. In. D02386000
APGX-L-NW16 AL D02373000
APGX-L-NW16 Ac. In. D02377000
APGX-L-NW25 Ac. In. D02374000
APGX-L 15 mm diá. ext. Ac. In. D02378000
REPUESTOS Y ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Cables (incluyen conexiones compatibles con FCC68 en ambos extremos)
0,5 m D400010051 m D40001010
3 m D40001030
5 m D40001050
10 m D40001100
15 m D40001150
25 m D40001250
50 m* D40001500
100 m* D40001999
Están disponibles a solicitud los cables blindados o de longitudes especiales
Otros accesorios y productos de soporte
Conjunto de repuesto de filtros con tela de alambre (5 unidades) D02171810
NW10/16 - filtro sinterizado D02110760Protector contra sobretensiones* D40006000
* Se recomienda un protector contra sobretensiones en caso de que se utilicen cables de más de 30 m delargo en ambientes con ruido eléctrico.
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P
INDICADOR IÓNICO ACTIVE AIGX5 x 10-2 Torr a 5 x 10-10 Torr
Indicadoriónico Active
Un indicador iónico Active compacto con filamentos de iridio con doblerecubrimiento de itria, un amplio rango de medición de 6,6 x 10-2 a6,6 x 10-10 mbar Torr (5 x 10-2 a 5 x 10-10) y una salida lineal de 1 Voltio/década.
El nuevo indicador AIGX de BOC Edwards incorpora todos los beneficios delconcepto de indicadores Active que son estándar de la industria, concomponentes electrónicos integrados y tubo reemplazable. El indicadorcuenta con una función de desgasificación e incluye características paraproteger y extender la vida útil de los filamentos.
El AIGX se beneficia de las emisiones extremadamente bajas de partículascargadas, lo que lo transforma en una excelente opción para procesos en losque se busca evitar el ruido de fondo.
Características y ventajas• Capacidad de medición total de 8 décadas, a 6,6 x 10-10 mbar
(5 x 10-10 Torr)
• Están disponibles dos versiones, cada una con tres variantes deacoplamiento de vacío:- Las versiones "D" cuentan con un conector "D" de 9 clavijas y una
interfaz estándar- Las versiones "S" cuentan con una funcionalidad mejorada y son
totalmente compatibles con la familia de controladores deBOC Edwards
• La contaminación del proceso por partículas cargadas se reduce hasta 30veces en comparación con nuestros principales competidores
• Protección automática de filamentos contra el encendido a presiónatmosférica y el funcionamiento o la desgasificación a alta presión
• La sensibilidad del indicador permanece constante a lo largo de todo elrango de medición, manteniendo así la precisión de la salida a presionesmás altas
• Salida continua de la medición de la presión durante la desgasificación
• El innovador diseño elimina los efectos de los límites de rayos X• El LED bicolor brinda una indicación local del estado del indicador• Amplio rango de tensión de entrada• Los componentes electrónicos se desmontan para un desecado de hasta
200 °C• Las versiones "S" cuentan con conmutación de corriente de emisión
automática, para prolongar la vida útil del filamento• Las versiones "S" cuentan con salidas de diagnóstico con mensajes como
"emission off" (emisión desconectada), "broken filament" (filamento roto)y "overpressure trip" (disparo de sobrepresión) para ayudar con laresolución de problemas
• Las versiones "S" cuentan con un punto de control ajustable con un botón
Versiones S
Versiones D
DATOS TÉCNICOS
Rango de presión 6,6 x 10-2 a 6,6 x 10-10 mbar(5 x 10-2 a 5 x 10-10 Torr)
Suministro eléctrico +14,5 a +30,0 V c.cConsumo de energía Funcionamiento normal: 7 W (Máx),
Desgasificación: 14 W (Máx)Señal de salida Lineal, 1 Voltio / décadaTiempo de respuesta 1,33 x 10-8 mbar (> 10-8 Torr) 100 ms
1,33 x 10-8 mbar (< 10-8 Torr) 1-2 sDetalles del tubo
Precisión* Por lo general +/-15% de la lectura(mejor con calibración opcional)
Repetibilidad +/-5%Filamentos Iridio con doble recubrimiento de itria
seleccionable en forma manualDesgasificación Ciclo de bombardeo de electrones de tres
minutosCorriente de emisión 0,1 mA y 1 mAVersiones "S" Alterna automáticamente a 1,33 x 10-5 mbar
(10-5 Torr) para proteger los filamentos apresiones más altas
Versiones "D" Control manualSobrepresión máxima 10 bar absoluto (145 psi)Materiales expuestos al vacío Tungsteno, Molibdeno recubierto con
Tantalio Pt , Iridio recubierto con Itria, Ac In304L y vidrio/cerámica compatible con UHV
* La precisión se reduce al límite mínimo del rango de medición
70 (2.76)
7 0 ( 2 . 7 6 )
6 115 (4.53)
106 (4.17)
85 (3.35)
94 (3.70)
98 (3.86)
107 (4.21)
(0.24)
104 (4.09)
75 (2.95)
96 (3.78)
7 0 ( 2 . 7 6 )
70 (2.76)
125 (4.92)
88 (3.47)
117 (4.61)
-1010
2
Pressure
V
10-9
3
4
5
6
7
8
8.7
0
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1 0
10
1
101
Torr/mbar
Pascal
7/23/2019 Sistemas de medicion y control
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Accesorios de vacío NW25, DN16CF Y DN40CF(Acoplamientos CF giratorios)
Desecado Máx 200 °C con los componenteselectrónicos desmontados
Diagnósticos (salida delindicador – error / estado)Nota: todos los errores requierenreinicio mediante un encendido yapagado manual Versiones "S" Versiones "D"
Emisión desconectada (suministroconectado, emisión desconectada) 9,0 V 10,0 V
Error de emisión (p.ej. filamento
seleccionado roto) 9,5 V 10,0 V
Disparo de sobrepresión(protección contra el encendido apresión atmosférica) 9,7 V 10,0 V
Diagnósticos (LED – error/estado)Suministro conectado, emisióndesconectada AmbarComienzo de emisión Verde / ambar alternados de manera
intermitenteFuncionamiento normal: VerdeDesgasificación Verde
intermitenteError de Sobrepresión RojoError de emisión Rojo
intermitenteProtección
Apagado a alta presión En todos los casos, el indicador se apagará a6,6 x 10-2 mbar (> 5 x 10-2 Torr), lo querequerirá un reinicio mediante un encendidoy apagado manual
Desgasificación En la desgasificación, si la presión se eleva porencima de 1,33 x 10-4 mbar (1 x 10-4 Torr),la desgasificación se desactivará, pero elcronómetro de desgasificación continuarácorriendo. La desgasificación se reanudaráautomáticamente cuando la presióndescienda debajo de 4 x 10-5 mbar (3 x 10-5
Torr), en caso de que el cronómetro nomarque qué tiempo de retardo hatranscurrido.
Ajustes No se requieren ajustes de calibración porparte del usuarioPunto de control (transistor de apertura del colector)
1 en las versiones "S" solamenteTensión máxima 30 V c.c.Corriente máxima 100 mA máx
Rango de temperaturaTemperatura de operación 0 ° a +40 °CTemperatura de almacenamiento -30 ° a +70 °C
Conectores de interfaz externosVersiones "S" Toma de 8 clavijas FCC68 / RJ45Versiones "D" Conector de 9 clavijas tipo "D"
Cables de interfazVersiones "S" Al utilizar un controlador de instrumentos
de BOC Edwards o un suministro de 24 V, se
puede llegar a lograr un recorrido de cablede 30 m al utilizar los cables especificados.(La longitud de los cables es menor contensiones de suministro inferiores)
Versiones "D" La longitud máxima de los cables paradeterminadas secciones transversales delconductor y tensiones de suministroaparecen en la siguiente tabla.
Sección delconductor
Suministro de24 V
Suministro de15 V
0,75 mm2 100 m 10 m0,50 mm2 75 m 6 m0,34 mm2 50 m 4,5 m0,22 mm2 30 m 3 m
Peso NW25 DN16CF DN40CFVersiones "S" y "D" 260 g 300 g 510 g
NormasDiseño electrónico EN 61010-1Compatibilidad electromagnética EN 61326 Ubicación industrial, emisiones
Clase BCapacidad del alojamiento IP30
Compatibilidad El AIGX cuenta con soporte de los nuevosAGC con números de serie mayores a006737476 (versiones sin RS 232) y006741851 (versiones con RS 232).Los controladores anteriores requieren deuna actualización de software.
Distribución de las clavijas Versiones "S" Versiones "D"Control del encendido/apagado
del indicador 7 1Suministro común 2 2Señal de salida 3 3Suministro positivo 1 4Punto de control 8 – Estado de desgasificación – 5Control del encendido/apagado dela desgasificación 6 6Común de la señal 5 7Resistor ID 4 – Selección de corriente de emisión – 8Estado de emisión – 9
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Indicadores
AIGX-S-NW25 D04850000
AIGX-S-DN16CF D04851000
AIGX-S-DN40CF D04852000
AIGX-D-NW25 D04860000
AIGX-D-DN16CF D04861000
AIGX-D-DN40CF D04862000
REPUESTOS Y ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Módulos de componentes electrónicos
AIGX-S D04850800
AIGX-D D04860800Fusibles de repuesto
Conjunto de fusibles de repuesto (Paq. de 5 unidades) D04850805
Tubos de repuesto
NW25 D04850801
DN16CF D04851801
DN40CF D04852801
Cables
Las versiones "S" (incluyen conexiones compatibles con FCC68 en ambos extremos)
Cable de indicador Active, 0,5 m D40001005
Cable de indicador Active, 1,0 m D40001010
Cable de indicador Active, 3,0 m D40001030
Cable de indicador Active, 5 m D40001050Cable de indicador Active, 10 m D40001100
Cable de indicador Active de 15 m (24 AWG) D40005150
Cable de indicador Active de 30 m (24 AWG) D40005300
Versiones "D" Suministrado por el cliente
Están disponibles a solicitud los cables blindados o de longitudes especiales
Otros accesorios y productos de soporte
NW25 - portador del anillo "O" retenido (Viton ®) C10514490
DN16CF - junta de cobre recocido (Paq. de 5 unidades) C10001270
DN16CF M4 - conjunto de tuercas, tornillo y arandelas(Paq. de 25 unidades) C10001630
DN40CF - junta de cobre recocido (Paq. de 5 unidades) C10005270
DN40CF M6 - conjunto de tuercas, tornillo y arandelas(Paq. de 25 unidades) C10005630
7/23/2019 Sistemas de medicion y control
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P
INDICADOR DE MAGNETRÓN INVERTIDOACTIVE AIM 10-2 A 10-9 mbar
Indicadorde magnetróninvertido Active
Los indicadores de magnetrón invertido Active (AIM) de BOC Edwardscombinan el cabezal de calibre y el controlador en una unidad Activecompacta. Estos indicadores han probado ser confiables y resistentes en una
amplia gama de aplicaciones que van desde instrumentos científicos hastaprocesos industriales.
Características y ventajas• Componentes electrónicos de accionamiento combinados en el cabezal
de calibre- Reduce el costo del sistema- Ahorra valioso espacio en el bastidor
• Suministro eléctrico interno, regulado, de amplio rango- Funciona con suministros de c.c estándar de +13,5 a +36 V- Tolera las fluctuaciones de tensión
• Salida analógica estándar de 0 a +10 V c.c. e identificador de indicadores- Fácil de conectar a una computadora o plc- Indicación de falla de salida
• Baja impedancia de salida y jaula de Faraday integrada- Brinda un alto nivel de inmunidad al ruido
- Permite cables de gran longitud (hasta 100 m)• Tubo de cuerpo intercambiable
- Rápido reemplazo del tubo sin precalibración- El conjunto de mantenimiento de electrodos permite al usuario realizar
la limpieza y mantenimiento• Tubo desecable
- El tubo DN40CF es desecable a 300 °C (con los componenteselectrónicos desmontados)
• Diseño único de bombardeador- Asegura un rápido bombardeo incluso en condiciones de alto vacío o
contaminantes• Versiones de campos magnéticos bajos externos (SL y XL)
- Para instrumentos analíticos sensibles (patentado)
NW25
A = Espacio para el cable y el conector
DN40CF
A = Espacio para el cable y el conector
4 1 ( 1 . 6 1 )
2 0
1 5
1 1 6 ( 4 . 5 7 )
Ø79 (3.11)
Ø72 (2.84)
NW25 Flange
( 0 . 7 9 )
( 0 . 5 9
)
A=11
(0.43)
2 9 5 1
( 2 . 0 1 )
1 5
A=11
1 2 5 ( 4 . 9 2 )
Ø79 (3.11)
Ø72 (2.84)
Ø70 (2.76)
( 1 . 1 4
)
( 0 . 5 9 )
(0.43)
-910
2
V
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
3
4
5
6
7
8
9
10
11
AIM-S
AIM-X
10-7
10-6
10-5
10-3
10-4
10 10-2
10-1 0
101
AIM
mbar
Pa
-910
2
V
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
3
4
5
6
7
8
9
10
11
AIM-S
AIM-X
AIM
Torr
7/23/2019 Sistemas de medicion y control
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DATOS TÉCNICOS
Rango de presiónAIM-S 10-2 a 10-8 mbar / TorrAIM-X 10-2 a 10-9 mbar / Torr
Precisión* Por lo general ±30%Sobrepresión máxima 10 bar absoluto (145 psi)
Suministro eléctrico +13,5 a +36 V c.c.(ondulación máx de 1 V)
Consumo de energía 2 W máximoSeñal de salida 2 a 10 V c.c
Punto de control Transistor de apertura del colectorTensión máxima 40 V c.c.Corriente 100 mA máx
Rango de temperaturaOperación +5 a +60 °CAlmacenamiento -30 a +70 °CDesecado (Versiones DN40CFsolamente)
+300 °C (con el póduloelectrónico desmontado)
Materiales expuestos al vacíoVersión NW25 Acero inoxidable 304, 306 y 347
fluoroelastómero, vidrioVersión DN40CF Acero inoxidable 304, 316 y 347
cobre, cerámicaVolumen interno 26 cm3
PesoNW25 0,81 kgDN40CF 1,09 kg
Conector de una interfaz externa Toma de 8 clavijas FCC68 / RJ45Accesorio de vacío NW25 o DN40CFNormas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidad electromagnética EN 61326 (Emisiones Clase B)Carcasa pirorretardante UL94 (V0)Capacidad del alojamiento IP40
Distribución de las clavijas** 1. Suministro eléctrico positivo 5. Común de la señal2. Suministro eléctrico común 6. Salida del punto de control3. Salida del indicador 7. Activación del indicador4. Identif icación del indicador 8. Nivel de disparo del punto de
control
1 La precisión se reduce a los límites del rango de medición
11 No aparece en el diagrama
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
AIM-S-NW25 D14641000
AIM-SL-NW25 D14644000
AIM-S-DN40CF D14661000
AIM-SL-DN40CF D14664000
AIM-X-NW25 D14642000
AIM-XL-NW25 D14645000
AIM-X-DN40CF D14662000
AIM-XL-DN40CF D14665000
REPUESTOS Y ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Componentes electrónicos de repuesto y alojamiento magnético
AIM-S D14641800
AIM-SL D14644800
AIM-X D14642800
AIM-XL D14645800
Conjunto de tubo del cuerpo de repuesto
NW25 D14545801
DN40CF D14661801
Conjunto de mantenimiento del tubo del cuerpo
NW25 D14545802
DN40CF D14661802
Otros accesorios y productos de soporte
Deflector de centrado 3D NW25 Ac. In. Viton ® D02110000
Protector contra sobretensiones* D40006000
Cables (incluyen conexiones compatibles con FCC68 en ambos extremos)
0,5 m D40001005
1 m D40001010
3 m D40001030
5 m D40001050
10 m D4000110015 m D40001150
25 m D40001250
50 m* D40001500
100 m* D40001999Están disponibles a solicitud los cables blindados o de longitudes especiales
* Se recomienda un protector contra sobretensiones en caso de que se utilicen cables de más de 30 m delargo en ambientes con ruido eléctrico.
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
7/23/2019 Sistemas de medicion y control
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P
INDICADOR DE AMPLIO RANGO ACTIVEWRG PRESIÓN ATMOSFÉRICA A 10-9 mbar
Indicadorde amplio rango Active
La familia de indicadores de amplio rango (WRG) ofrece la posibilidad demedición de presión por un solo puerto en un rango que va desde presiónatmosférica hasta 10-9 mbar con una salida lineal. Es una solución compacta,
que reduce por la mitad el espacio y los requerimientos de conectividad de loscomponentes físicos, que pueden ser de enorme importancia en muchasaplicaciones. El WRG cuenta con muchas características novedosas, queincluyen un nuevo bombardeador patentado, calibración con sólo presionarun botón y controles de los puntos de control y diagnósticos exhaustivos. ElWRG es una solución rentable para la gestión de vacío cuando se utiliza conun controlador BOC Edwards o se integra directamente a los controles delsistema.
Características y ventajas• El procesamiento de la señal del microprocesador brinda una transición
perfecta entre las salidas de Pirani y las del magnetrón como tambiénsalida lineal (escala logarítmica de presión)
• Configuración de vacío automática del indicador Pirani• Ajuste de la presión atmosférica con sólo tocar un botón• El punto de control de fácil programación cubre todo el rango de
medición• El magnetrón utiliza una avanzada técnica patentada para un bombardeo
altamente confiable, incluso en condiciones de alto vacío o relativamentecontaminadas
• Intervalos en el mantenimiento y vida útil del indicador extendidos, pormedio de la reducción de la corriente de alta tensión tras el encendido yuna baja corriente de descarga
• La versión tipo D incluye una protección contra los tirones del cable y unaprotección de ingreso mejorada (IP44)
• Está disponible una versión con un campo magnético bajo (SL) paraaplicaciones particularmente sensibles p.ej. espectrometría de masas ymicroscopía
• Ultracompacto, cuenta con un conector eléctrico empotrado• mantenimiento sencillo; tantos los elementos del Pirani como del
magnetrón son individualmente reemplazables
• Completa función de diagnósticos de modo de fallas
Ø70 (2.76)
2 3Ø65 (2.56)
1 1 6 ( 4 . 5
7 )
1 0 6 ( 4 . 1
7 )
Ø65 (2.56) 1 4
9 0 ( 3 . 5
4
9
1 0 6 ( 4 . 1
7 )
6 ( 0 . 2
4 )
( 0 . 3
5 )
( 0 . 5
5 )
( 0 . 9
1 )
V
10
8
6
4
2-9
10 10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
100
10-1
101
102
103
-710 10
-610
-4-510 10
-110
-310
-210
010
110
3210
410
510
WRG
mbar
Pa
V
10
8
6
4
2-9
10 10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
100
10-1
101
102
103
WRG
Torr
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DATOS TÉCNICOS
Rango de presión Presión atmosférica a 10-9 mbar / TorrPrecisión* Por lo general, ±15% a <100 mbar / Torr
±30% < 10-3 mbarSobrepresión máxima 6 bar absoluto (87psia)Suministro eléctrico +14,5 a +36 V c.cConsumo de energía 2 W máximoSeñal de salida 1,8 a 10,2 V c.cAjustes Presión atmosférica y punto de controlPunto de control Transistor de apertura del colector
Tensión máxima 40 V c.c.Corriente 100 mA máx
Rango de temperaturaOperación +5 a +60 °CTemperatura dealmacenamiento
+0 a +70 °C
Materiales expuestos al vacío Acero inoxidable (AISI 304, 316, 321, 347)fluoroelastómero, vidrio de sosa y cal,TungstenoTraza de níquel y Hierro níquel
Volumen interno 26 cm3
Peso 0,8 kgConectores de interfaz externos
Versiones "S", "SL" y "CF" Toma de 8 clavijas FCC68 / RJ45Versión "D" Conector de 9 clavijas tipo D
Cables de interfazVersiones "S", "SL" y "CF" Utiliza la familia de cables para indicadores
ActiveVersión "D" Suministrado por el cliente (está disponible
un cable adaptador especial)Accesorio de vacío NW25 y DN40CFNormas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326 Ubicación industrial, EmisionesClase B
Carcasa pirorretardante UL 94 (V0)Capacidad del alojamiento
Versiones "S" y "SL" IP 40Versión "D" IP44
Distribución de las clavijas** 1. Suministro eléctrico
positivo5. Común de la señal
2. Suministro eléctrico común 6. Salida del punto de control3. Salida del indicador 7. Calibración de la presión atmosférica4. Identif icación del indicador 8. No se conecta
1 La precisión se reduce a los límites del rango de medición
11 No aparece en el diagrama
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
WRG-S-NW25 D14701000
WRG-S-DN40CF D14703000
WRG-SL-NW25 D14711000
WRG-D-NW25 D14702000
REPUESTOS NÚMERO DE PEDIDO
Alojamiento de los componentes electrónicos y del imán
WRG-S D14701800
WRG-SL D14711800WRG-D D14702800
Conjunto de tubo con cuerpo de repuesto
NW25 D14701801
DN40CF D14703801
Conjunto de armado de electrodos D14701802
Conjunto de reemplazo del tubo Pirani D14701803
Conjunto de mantenimiento del tubo de cuerpo completo D14701804
Otros accesorios y productos de soporte
Deflector de centrado 3D NW25 Ac. In. Viton ® D02110000
Protector contra sobretensiones* D40006000
Cables
Cable adaptador para el WRG-D (0,5 m) D40003100
Conjuntos de cables (incluyen conexiones compatibles con FCC68 en ambos extremos)
0,5 m D40001005
1 m D40001010
3 m D40001030
5 m D40001050
10 m D40001100
15 m D40001150
25 m D40001250
50 m* D40001500
100 m* D40001999Están disponibles a solicitud los cables blindados o de longitudes especiales
* Se recomienda un protector contra sobretensiones en caso de que se utilicen cables de más de 30 m delargo en ambientes con ruido eléctrico.
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INDICADOR DE TERMOACOPLAMIENTOACTIVE ATC 65 A 1,3 x 10-3 mbar
Indicadorde termoacoplamientoActive
Los indicadores de termoacoplamiento Active (ATC-E) de BOC Edwards semontan directamente sobre el tubo de termoacoplamiento para formar untransductor autónomo y compacto.El módulo de componentes electrónicos del ATC-E controla tubosindicadores tanto de baja como de media presión. Estos indicadores ofrecenuna solución de medición rentable para presiones más altas.
Características y ventajas• Los componentes electrónicos de accionamiento se montan
directamente sobre el tubo del indicador- Simplifica el diseño del sistema- Ahorra valioso espacio en el bastidor
• Suministro eléctrico interno, regulado, de amplio rango- Funciona con suministros de c.c. estándar- +13,5 a +36 V- Tolera las fluctuaciones de tensión
• Salida analógica estándar de 0 a +10 V c.c. e identificador de indicadores- Fácil de conectar a una computadora o PLC- Indicación de falla de salida
• Punto de control ajustable con LED de estado del vacío- Se utiliza para control de proceso y enclavamiento- Incluye una señal digital de estado del vacío- Nivel del punto de control listo visualmente
• Baja impedancia de salida y jaula de Faraday integrada- Brinda un alto nivel de inmunidad al ruido- Permite cables de gran longitud (hasta 100 metros)
• Opción de tubos de indicadores de media y baja presión- ATC-D cubre de 50 a 5 x 10-2 Torr- ATC-M cubre de 1 a 10-3 Torr
DATOS TÉCNICOS
115 (4.53)
56 (2.20)
12
Ø 3 2 ( 1 . 2
6 )
Ø 5 8 ( 2 . 2
8 )
A
= 2 0
(0.63)16
( 0 . 7
9 )(0.47)
A = Espacio para el cable y el conector
Módulo electrónico del ATC-E
Suministro eléctrico +13,5 a +36 V c.c.(ondulación máx. de 1 voltio)
Consumo de energía 0,54 W máxSeñal de salida
Operación 2 a 10 V c.cSalida de fallas 0 a 2 V d.c., 10 a 13,5 V d.c.Impedancia de salida 0,1Carga mínima 10 k
Selección del tipo de tubo
Ajustes Ajuste visual del punto de control por mediode un potenciómetro
Punto de control Transistor de apertura del colectorRango del punto de control 2% a 85% de tensión de escala completaHistéresis fija 12% de tensión de escala completaConfiguración del nivel ±2% de tensión de escala completaCapacidad 40 V c.c., 100 mA máx
Rango de temperatura
Operación +5 a +60 °CAlmacenamiento 0 a +70 °C
Peso 110 gConector de una interfaz externa Toma de 8 clavijas FCC68 / RJ45Normas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326 (Emisiones Clase B)
Carcasa pirorretardante UL94 (V0)Tubos de indicadores ATC-D, ATC-M
Rango de presiónATC-D 50 a 5 x 10-2 Torr
(65 a 6,5 x 10-2 mbar)ATC-M 1 a 1 x 10-3 Torr
(1,3 a 1,3 x 10-3 mbar)
10 -5
1-4
10 -3
10 -2
10 -1
10 0
10 1
10 2
10 3
10
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
V ATC-M
ATC-D
-1-310 1010
-21010
010
210
1 410
3 510
ATC
mbar
Pa
10 -5
1
-410
-310
-210
-110
010
110
210
310
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
V ATC-M
ATC-D
ATC
Torr
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Sobrepresión máximaATC-D 10 bar absolutoATC-M 3,4 bar absoluto
Peso 55 gVolumen interno
ATC-D / ATC-M 1 cm3 / 8 cm3
Accesorio de vacío 1/8" NPTDistribución de las clavijas**
1. Suministro eléctricopositivo
5. Común de la señal
2. Suministro eléctrico común 6. Salida del punto de control3. Señal de salida 7. Sin conexiones
4. Identificación del indicador 8. Sin conexiones11 No aparece en el diagrama
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
ATC-E - Módulo electrónico D35108000
ATC-D - Tubo de indicador de !/8 pulg. NPT D35512000
ATC-M - Tubo de indicador de !/8 pulg. NPT D35513000
REPUESTOS Y ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Adaptador de !/8 pulg. NPT a NW10 C10501072
Protector contra sobretensiones* D40006000
Conjuntos de cables (incluyen conectores compatibles con FCC68 en ambos extremos)
0,5 m D40001005
1 m D40001010
3 m D40001030
5 m D40001050
10 m D40001100
15 m D40001150
25 m D40001250
50 m* D40001500
100 m* D40001999Están disponibles a solicitud los cables blindados o de longitudes especiales
* Se recomienda un protector contra sobretensiones en caso de que se utilicen cables de más de 30 m delargo en ambientes con ruido eléctrico.
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DEFORMÍMETRO ACTIVE ASG 2000 A 1 mbar
Deformímetros ActiveNota: El cable adaptador ASG se suministra por separado. Este cable debe utilizarse con TIC, AGC, ADC
y ADD.
El deformímetro Active (ASG) de BOC Edwards es un robusto indicador dediafragma resistente a la corrosión que brinda una medición de presión precisa
e independiente del gas desde 2000 mbar hasta 1 mbar. Puede utilizarse comoun transductor autónomo para que los OEM y diseñadores de sistemasdesarrollen soluciones flexibles y de bajo costo para sus necesidades deinstrumentación de vacío. Alternativamente, puede conectarse a uncontrolador de indicadores Active donde puede combinarse con muchosotros tipos de sensores para brindar una solución completa deinstrumentación de vacío.
Características y ventajas• Componentes electrónicos de accionamiento combinados en el cabezal
de calibre- Simplifica el diseño del sistema- Ahorra valioso espacio en el bastidor
• Suministro eléctrico interno, regulado, de amplio rango- Funciona con suministros de c.c estándar de +13,5 a +36 V- Tolera las fluctuaciones de tensión
• Salida analógica estándar de 0 a 10 V c.c.- Fácil de conectar a una computadora o PLC
• Alta precisión y estabilidad- Precisión ±0,2% de escala completa- Estabilidad 0,2% de escala completa
• Resistente a la corrosión, diseño robusto- El único material expuesto al vacío es el acero inoxidable 316- Capacidad del alojamiento IP65
• Medición independiente del gas- La medición de la presión es completamente independiente del tipo de
gas lo que hace que este indicador sea ideal para aplicaciones en las quese utilizan otros gases en lugar de nitrógeno
• Excelente resolución a alta presión- Su habilidad para resolver cambios de 1 mbar en la presión del sistema
incluso a presiones cercanas a la atmosférica hace que este indicador
sea ideal para monitorear grandes sistemas de bombeo lento.• Parte de la familia de indicadores Active
- Los requerimientos de suministro eléctrico y tensión de salida estándarpermiten una integración sencilla en sistemas que utilizan indicadoresActive Pirani, de termoacoplamiento, magnetrón invertido,deformímetro, de amplio rango y de ionización. Todos son compatiblescon el controlador de indicadores Active, un controlador y pantalladigital de múltiples canales
DATOS TÉCNICOS
Rangos de presión de escalacompleta
2000, 1000 mbar
Precisión ±0,2% de escala completaEstabilidad 0,2% de escala completa
Coeficiente de temperatura 0,05% de escala completa por °CSuministro eléctrico + 13,5 +36 V c.cConsumo de energía 0,4 WSeñal de salida
Operación 0 a 10 V c.c. linealImpedancia de salida >200Carga mínima 50 kVelocidad de respuesta 5 msecAjustes Ajustar escala completa y ajusta a cero
Rango de temperaturaCompensada +10 a +50 °COperación -20 a +90 °C
Materiales expuestos al vacío Acero inoxidable 316Volumen interno 1,25 cm3
Peso 120 g
Conector eléctrico Miniatura de 4 clavijas DinAccesorio de vacío 1/8" NPT macho o NW16
1 1 2 ( 4 . 4 1 )
1 2 . 5 ( 0 . 4 9 )
7 7 ( 3 . 0 3 )
34 (1.34)NW16
26 (1.02)
*
0.01
0.001
0.1
1
10
ASG 1000 mbar
ASG 2000 mbar
mbar
Pa
ASG
10-1
100
10101
102 3
104
101
10102 3
10 104 5
106
0.01
0.001
0.1
1
10
ASG 1000 mbar
ASG 2000 mbar
10-1
10100 1
10 102 3
104
ASG
Torr
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NormasDiseño general EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326 (Emisiones Clase B)
Capacidad del alojamiento IP 65
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
ASG NW16 1000 mbar D35726000
ASG NW16 2000 mbar D35728000
ASG !/8 pulg. NPT 1000 mbar D35725000ASG !/8 pulg. NPT 2000 mbar D35727000
REPUESTOS Y ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Cable adaptador ASG (0,5 m) miniatura DIN a hembra FCC68 D40003060
Protector contra sobretensiones* D40006000
Conjuntos de cables (incluyen conectores compatibles con FCC68 en ambos extremos)
0,5 m D40001005
1 m D40001010
3 m D40001030
5 m D40001050
10 m D40001100
15 m D40001150
25 m D40001250
50 m* D40001500
100 m* D40001999Están disponibles a solicitud los cables blindados o de longitudes especiales
* Se recomienda un protector contra sobretensiones en caso de que se utilicen cables de más de 30 m delargo en ambientes con ruido eléctrico.
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MODELO 600 BAROCEL ® TRANSDUCTOR DEPRESIÓN DE VACÍO ABSOLUTO
Transductores de presiónde vacíoBarocel
El transductor modelo 600 Barocel es un manómetro de capacitancia dediseño avanzado que utiliza tecnología patentada para mejorar la estabilidad delajuste a cero después de cambios bruscos de temperatura o sobrecargas depresión. Una referencia integral de vacío de construcción totalmente soldadacontiene material de absorción de gases residuales para asegurar la estabilidada largo plazo.
En sistemas de vacío, el modelo 600 es el reemplazo ideal para indicadoresMcLeod, Pirani, o de termoacoplamiento. Dado que la presión se determinapor medio de la medición eléctrica del desplazamiento de una delgadamembrana de metal inducido por la presión, la precisión de la calibración nose ve afectada por la composición química de los medios de entrada.
Características y ventajas• Rango amplio
- 4 décadas
• Alta precisión- 0,15% de la lectura• Alta resolución
- 0,01% de escala completa• No se ve afectado por la sobrepresión
- Repeticiones dentro del 0,01% de escala completa tras ser expuesto a2,4 bar (35 psia)
• Presión total real- Lectura independiente de la composición del gas
• Alto nivel de salida- 0 – 10 voltios c.c. escala completa, lineal con presión
• Estabilidad superior del ajuste a cero- El diseño patentado elimina los errores ocasionados por los efectos de
la temperatura y la sobrepresión.• Referencia de ajuste a cero estable
• Alternativa para los indicadores McLeod, de Termoacoplamiento y Pirani• Versatilidad del sistema- Compatible con una variedad de lecturas y controladores
• Resistencia a la corrosión- Célula de medición fabricada con Inconel/Monel para una alta
resistencia a la corrosión
DATOS TÉCNICOS
ACCESORIO DIM "X"Tubo recto 56 mm/2,20 pulg.NW16 58 mm/2,28 pulg.
Rangos de presión 0-10, 0-100, 0-1000 mbar0-10, 0-100, 0-1000 TorrTambién están disponibles rangos hasta10000 Torr
Precisión ±(0,15% de la lectura + 0,01% de escalacompleta)También está disponible 0,5% de la lectura
Resolución Mejor que ±0,01% de escala completa
Temperatura de operación 0 – 65 CEfecto de la temperatura sobre elajuste a cero < 0,005% de escala completa/ CEfecto de la temperatura sobre lasensibilidad < 0,02% de a lectura/ CSobrepresión sin daños 1,25 x el rango de la escala completa o
2,4 bar (35 psia), el que sea mayorEfecto de la sobrepresión Repeticiones dentro del 0,01% de escala
completa tras una exposición absolutade 2,4 bar (35 psia)
Material expuesto al proceso Inconel y MonelVolumen interno 8,3 cm3 (incluye un tubo de ½" de diámetro)Constante de tiempo 8 msecSeñal de salida 0 – 10 voltios c.c., lineal con presiónRequerimientos de alimentación ±15 V c.c. ±5% regulados a ±1% a 30 mA
Peso 0,7 kg (1,5 lb)NormasDiseño electrónico EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326 Ubicación industrial,Emisiones Clase A
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSTipo de conector D 15-clavijas "D"
Rango de presión2 103 1004 1000
Unidades de presión
1 Torr2 mbarP Pascal
Accesorio de vacío1 Tubo 1/2" diá. ext.3 1,33" Mini Conflat®
6 8 VCR7 8 VCO8 NW16
ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Cable adaptador de Barocel 600 a AGC (hembra FCC68) 0,5 m D40003050
66.27 (2.60) 10.16 (0.40)
Ø 7 6 . 2 0 ( 3 . 0 0 )
Ø 1 2 . 7 0 ( 0 . 5 0 )
56.00 (2.20)
5.37 (0.21)
W – – 16 1D 0
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MODELO 622 BAROCEL ®
TRANSDUCTOR DE PRESIÓN/VACÍODESECABLE
El modelo 622 Barocel desecable es una adaptación del transductor depresión/vacío Modelo 600, los componentes electrónicos de
acondicionamiento de señal están separados del sensor, lo que permiteoperarlo a 200 °C, tal como lo requieren algunas aplicaciones. Entre estasaplicaciones se encuentran los procesos que involucran gases condensables,procesos nucleares y aquellos que requieren esterilización a altastemperaturas.El sensor emplea las mismas características de alto desempeño que seencuentran en el Modelo 600. Un sensor de temperatura dentro del cabezaldel transductor brinda la compensación de sensibilidad del ajuste a acero paramantener la precisión en un amplio rango de temperatura. Los conectoresremovibles en la unidad electrónica ayudan a simplificar la instalación. Unareferencia integral de vacío de construcción totalmente soldada contienematerial de absorción de gases residuales para asegurar la estabilidad a largoplazo y elimina la necesidad de bombas de vacío de referencia.
Características y ventajas• Sensor desecable y operable a 200 °C• Con compensación total de temperatura• Alta precisión
- 0,15% de la lectura• Alta resolución
- Mejor que 0,01% de escala completa• Referencia de ajuste a cero estable• Ligero efecto de sobrepresión
- Repeticiones dentro del 0,01% de escala completa tras ser expuesto a2,4 bar (35 psia)
• Presión total real- Lectura independiente de la composición del gas
• Alto nivel de salida- 0 – 10 V c.c. escala completa, lineal con presión
DATOS TÉCNICOS
I/O CONN.
SIGNAL
SENSOR
Ø12.70
5 5 . 8
8
6 6 . 3
0
Ø76.20609.60
130.0511.18
7 6 . 2
0
1 0 1 . 6
0
152.40
4 2 . 9
3
Ø4.75 (0.19) x 4
CONDITIONER
(3.00)(24.00)
(0.50)
(5.12)(0.44)
(6.00)
( 3 . 0
0 )
( 4 . 0
0 )
( 1 . 6
9 )
( 2 . 2
0 )
( 2 . 6
1 )
Rango de presión 0-10, 0-100, 0-1000 mbar0-10, 0-100, 0-1000 TorrTambién están disponibles rangos hasta10000 Torr
Precisión ±(0,15% de la lectura + 0,01% de escalacompleta)También está disponible 0,5% de la lectura
Resolución Mejor que ±0,01% de escala completaTemperatura de operación
Sensor 0 a 200 °CAcondicionador de señales 0 a 65 °C
Efecto de la temperatura sobre elajuste a cero
< 0,005% de escala completa/°C
Efecto de la temperatura sobre lasensibilidad
< 0,02% de la lectura/°C
Sobrepresión sin daños 1,25 x el rango de la escala completa o2,4 bar (el que sea mayor)
Efecto de la sobrepresión Repeticiones dentro del 0,01% de escalacompleta tras una exposiciónde 2,4 bar (35 psia)
Material expuesto a los medios depresión Inconel y MonelVolumen interno 8,3 cm3 (incluye un tubo de ½" de diámetro)Constante de tiempo 8 msecSeñal de salida 0 – 10 voltios c.c., lineal con presión
Requerimientos de alimentación ±15 V c.c. ±5% regulados a ±1% a 30 mAPeso aproximado 1,3 kg (2,9 lbs)Normas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326 Ubicación industrial,Emisiones Clase A
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS:
ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Cable adaptador de Barocel 622 a AGC (hembra FCC68) 0,5 m D40003030
Rango de presión2 103 1004 1000
Unidades de presión1 Torr2 mbarP Pascal
W 116 2 2 - --
Accesorio de vacío
1 Tubo diá. ext. de !/2 pulg.
3 1,33" Mini Conflat®
6 8VCR
7 8VCO
8 NW16
7/23/2019 Sistemas de medicion y control
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P
MODELOS 655, 658 Y 659 BAROCEL ®
TRANSDUCTORES DE PRESIÓN DE VACÍO
La Serie 655 de transductores Barocel emplea una variedad de característicasde diseño propio para mejorar la confiabilidad y el desempeño. La célulasensora utiliza un diseño de diafragma único, un proceso de soldadura de
puntos y una nueva geometría de la cavidad sensora que brinda un resistenciamejorada a la contaminación por partículas. El desempeño mejora aún más alaislar el sensor en un alojamiento patentado, con temperatura controlada yherméticamente sellado que neutraliza el efecto de la presión barométrica,humedad y cambios en la temperatura ambiente. El resultado es untransductor que ofrece estabilidad a largo plazo.
Características y ventajas• Amplio rango de medición
- Medición total de cuatro décadas• Alta precisión
- 0,15% de la lectura• Alta resolución
- Mejor que 0,005% de EC• Controlado por temperatura
- La temperatura interna se mantiene a 45, 100, o 123 °C dependiendo
del modelo seleccionado- Estabilidad del ajuste a cero mejorada: Mejor que 0,002% de EC / °C
• Presión total real- Calibración y medición independiente de la composición del gas
• Alto nivel de salida c.c.- 0 a 10 V c.c. escala completa, lineal con presión
APLICACIONES
Deposición/grabado de plasma
Pulverización catódica/PVD/RTP
CVD industrial/lmplantación iónicaLPCVD
Desarrollo de cristales/Secadores por congelamiento
DATOS TÉCNICOS
Rangos estándar 0-50, 0-100 m Torr0-1, 0-2, 0-5, 0-10, 0-100 Torr y mbar0-1000 Torrtambién están disponibles otros rangos
Precisión ±(0,15% de la lectura +0,005% de escalacompleta)
Repetibilidad ±0,01% de escala completaResolución ±0,005% de escala completaTiempo de precalentamiento 2 horasTemperatura del calentador
655 45 °C658 100 °C659 123 °C
Temperatura ambiente de operación655 15 – 40 °C658 15 – 70 °C659 15 – 70 °C
Temperatura de almacenamiento -45 a +85 °CEfecto de la temperatura sobreel ajuste a cero
>1 Torr < 0,002% de escala completa / °C<1 Torr < 0,005% de escala completa / °C
Efecto de la temperatura sobre lasensibilidad
< 0,02% de la lectura / °C
Efectos de la presión barométrica <0,005% de escala completa / 760 Torr
Efectos de la humedad ambienterelativa
< 0,005% de escala completa en el rango0-95% HR
Límite de sobrepresión 3,1 bar absoluto (45 psia)Velocidad de fuga a presiónambiente
<1 x 10-10 std cc / seg. a 760 Torrde presión aplicada
Volumen interno 8,33 cc (incluyendo el tubo diá. ext. de ½")Materiales expuestos a losmedios de presión
Inconel y Monel, AI 316(para los accesorios de vac)
Alimentación requerida ±15 V c.c. ±5% regulada al 1%655 250 mA como máximo658 500 mA como máximo659 700 mA como máximo
Señal de salida 0 – 10 voltios c.c., lineal con presiónImpedancia de salida <0,1Ruido de salida (0-2 KHz) < 0,002% de escala completa rms
Peso 0,55 kg (0,54 kg)Normas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326 Ubicación industrial,Emisiones Clase A
ACCESORIO DIM "X"
Mini Conflat® 35 mm/1,37 pulg.Cajon 8VCR 62 mm//2,44 pulg.Cajon 8VCO 44 mm/1,73 pulg.
NW16 36 mm/1,41 pulg.Tri-clover 34 mm//1,33 pulg.
Ø 7 6 . 2
0 ( 3 . 0
0 )
5.33 (0.21) 92.71 (3.65) 50.03 (1.97)
33.78
Ø
1 2 . 7
0 ( 0 . 5
0 )
’X’
Zero (Fine)
Span
Zero (Coarse)
Pressure Transducer
(1.33)
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INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS:
ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Cable adaptador de Barocel 655 a AGC (hembra FCC68) 0,5 m D40003050
Tipo Barocel5 6558 6589 659
Rango de presión05 50 mTorr (655 solamente)16 100 mTorr (655 y 658
solamente)11 1 Torr12 1 mbar1P 100 Pascal14 2 Torr21 10 Torr22 10 mbar2P 1 k Pascal31 100 Torr32 100 mbar3P 10 k Pascal41 1000 Torr42 1000 mbar4P 100 k Pascal
W 116 5 - --
Accesorio de vacío1 Tubo diá. ext. de !/2 pulg.
3 1,33 pulg. Mini Conflat®
6 8VCR7 8VCO8 NW16
H Tri-clover
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CONTROLADOR DE INDICADORES IÓNICOSACTIVE IGC 5 × 10-3 A 2 × 10-11 mbar
Pantallas y controladoresde vacíoControlador de indicadoresiónicos
El controlador de indicadores iónicos (IGC) de BOC Edwards brinda toda lapotencia, control y acondicionamiento de señales requeridas para controlaruno o dos cabezales de calibre iónicos. Cuando se lo conecta a un controlador
de indicadores Active (AGC) de BOC Edwards, el usuario tiene el controltotal de las funciones del indicador iónico desde el panel frontal del AGC. Estoincluye características como selección automática de corriente de emisión yenclavamiento con otros tipos de indicadores. Alternativamente, el IGC puedeconectarse directamente a un sistema de control como un PLC para darle alos OEM o a los diseñadores de sistemas acceso directo a las entradas decontrol y salidas de señales.
Características y ventajas• Amplio rango de medición
- Versiones de desgasificación por haz electrónico: 5 x10-3 a 2 x 10-11
mbar• Está disponible la selección del cabezal
- Opción de desgasificación por haz electrónico, controlador desnudo oencapsulado en vidrio y filamentos de tungsteno o iridio toriado
• Sistema de cableado flexible- Están disponibles los cables de los indicadores iónicos en longitudes de
2 y 3m, incluyendo la versiones desecables. Están disponibles los cablespara conectar indicadores Active a IGC y AGC, en longitudes de hasta100 m.
• Enclavamiento de vacío por medio de un indicador auxiliar de alta presión- Para proteger el indicador iónico de un funcionamiento accidental a alta
presión, puede enclavárselo por medio de un indicador Active Pirani oun indicador de termoacoplamiento conectado al IGC o al AGC
• Sistema de medición Ratiomatic- Precisión de la medición mejorada- Permite un arranque suave durante el encendido del filamento lo que
brinda un mayor grado de protección del filamento• Opción de interfaz BOC Edwards o puerto de comando y estado paralelo
(PCSP)- Permite la conexión con el controlador de indicadores Active de
BOC Edwards- PCSP: el conector de 15 clavijas tipo D da acceso a todas las entradas
de control y salidas de señales
DATOS TÉCNICOS
Suministro eléctricoRango de tensión de entrada 90 a 265 V c.a.Rango de frecuencia de entrada 45 a 70 HzToma de suministro de la redeléctrica
IEC 320
Rango de temperaturaOperación 10 a 50 °CAlmacenamiento -20 a +70 °C
Humedad relativa (sin condensación) 10 a 90%Normas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidad electromagnética EN 61326 (Emisiones Clase B)Capacidad del alojamiento IP20
Rango de presiónDesgasificación por haz electrónico(EBEAM)
5 x 10-3 a 2 x 10-11 mbar
Señal de salidaDesgasificación por haz electrónico(EBEAM)
1 a 10 V c.c. logarítmica
Corriente de emisión 0,1, 1,0 o 10 mA (seleccionable)Suministro eléctrico del filamento
Tensión 8 V c.c. máxCorriente 5 A máxPotencia 40 W máx
Nota: Las versiones de 2 cabezales del IGC sólo accionarán un cabezal por vezPotencia de desgasificación
Haz electrónico (EBEAM) 60 W máx (ajustable)Interfaz PCSP Baja activa (menos de 3 V) con resistores
de parada internos (150 k ) a 28 VConexiones
Toma de la interfaz PCSP o 15 clavijas hembra tipo DToma de la interfaz plus (AGC) Toma de 8 clavijas FCC68 / RJ45Toma del indicador auxiliar Toma de 8 clavijas FCC68 / RJ45Toma del indicador iónico Multipolo circular de 7 clavijas
DimensionesSin conjunto para montaje en bastidor 203 x 87 x 273 mmCon conjunto para montaje en bastidor Medio bastidor de 19", 2UPeso 1,8 kg
88 (3.46)
76 (2.99)3.2 (0.13)
273 (10.75)147 (5.79)
2 2 3 ( 8 . 7 8 )
2 4 0 ( 9 . 4 5 )
2 0 7 ( 8 . 1 5
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INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Controladores
IGC EBEAM, 2 cabezales, PCSP D04846000
IGC EBEAM, 2 cabezales D04847000
Las combinaciones de controlador/indicador puedensuministrarse con un certificado de calibración
Llámenos paraobtener detalles
REPUESTOS Y ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Conjunto para montaje en bast idor de 19 pulgadas para IGC D04830300
Conjunto de supresión del haz electrónico para medio bastidorde 19 pulgadas D04830301
Conjunto de unión para medio bastidor de 19 pulgadas D04830302
Tubos de indicadores iónicos para desgasificación por haz electrónico(EBEAM) (Límite de rayos X 2 x 10-11 mbar)
Filamentos de 2¾ pulgadas Conflat ®, desnudos y de dobletungsteno.
D02999380
Filamentos de repuesto para lo mencionado anteriormente D02999360
Filamentos de 2¾ pulgadas Conflat ®, desnudos y dedoble iridio toriado
D02999390
Filamentos de repuesto para lo mencionado anteriormente D02999370
Cables para los tubos mencionados (desecables a 250 °C)
Cable EBEAM desnudo, 2 m D04847060
Cable EBEAM desnudo, 3 m D04847100Tubos de indicadores iónicos encapsulados en vidrio para desgasificación resistiva 2R)(Límite de rayos X 3 x 10-10 mbar)
Nota: Los tubos I2R pueden utilizarse con controladores EBEAM
Filamentos Kovar de doble tungsteno para orificiosde ¾ de pulgada
D02998010
Filamentos Kovar de iridio toriado para orificiosde ¾ de pulgada
D02998040
Filamentos Kovar de doble tungsteno para orificios de 1 pulgada D02998070
Filamentos Kovar de iridio toriado para orificios de 1 pulgada D02998110
Filamentos Kovar de doble tungsteno Conflat ®de 2¾pulgadas para orificios de ¾ de pulgada
D02998140
Filamento Kovar de iridio toriado Conflat ®de
2¾ pulgadas para orificio de ¾ de pulgada
D02998170
Cables para los tubos mencionados
I2R - cable de 1,8 m D04831060
I2R - cable de 3 m D04831100
Tubos de indicadores iónicos desnudos para desgasificación resistiva 2R)(Límite de rayos X 4 x 10-10) mbar
Nota: Los tubos I2R pueden utilizarse con controladores EBEAM
Filamentos de 2¾ pulgadas Conflat ®, de doble tungsteno D02998380
Filamentos de 2¾ pulgadas Conflat ®, de iridio toriado D02998390
Cables para los tubos mencionados
I2R - cable de 1,8 m D04846060
I2R - cable de 3 m D04846100
Están disponibles otras combinaciones de tubos/cables Llámenos paraobtener detalles
Cables de conexión de IGC a AGC y para el indicador auxiliar
Utilice la familia de cables para indicadores Active FCC68 que se menciona en lasespecificaciones del AGC y del indicador Active
Cables de red eléctrica
Enchufe para RU, 2 m D40013025
Enchufe para EE.UU., 2 m D40013120
Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030
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CONTROLADOR DE INSTRUMENTOS TIC
Controlador de instrumentosTIC
Un controlador de instrumentos compacto con una pantalla para gráficosgrande y clara, una interfaz del usuario intuitiva y una interfaz decomunicaciones serial que brindan control remoto total y funciones deinscripción de datos por medio de un nuevo programa de PC basado enWindowsTM.El controlador reconoce automáticamente y soporta hasta tres indicadores dela familia BOC Edwards (con excepción de IGC y Barocels), con cobertura de2000 a 6,6 x 10-10 mbar. Los indicadores de alta presión pueden controlar yproteger los indicadores de baja presión y hay tres salidas de punto de controlde apertura del colector. Una caja de relés opcional utiliza estas salidas paracontrolar tres relés de transferencia de 3A de 250 V c.a.
El controlador de instrumentos TIC puede montarse en un bastidor o bancoy brinda un medio útil para la operación flexible de una amplia variedad deconfiguraciones de sistemas de vacío.
Características y ventajasControlador universal de indicadores de vacío• El TIC reconoce automáticamente y soporta hasta tres indicadores Active
incluyendo Pirani, Pirani lineal, de termoacoplamiento, deformímetros,
magnetrón invertido, de amplio rango e indicadores iónicos.Opciones de relé• El TIC cuenta con tres puntos de control relacionados con la presión, los
que operan las salidas de apertura del colector que funcionan con24 V c.c. 50 mA. Mediante una caja de relés opcional, éstos puedenconectarse a tres relés de transferencia de 3 A de 250 V c.a. para brindaruna útil capacidad de control de accesorios.
• Todas las cajas de relés incluyen un equipo de derivación lógica para unamayor integración del sistema.
Configuración de un sistema simple• En la mayoría de las instancias, los sistemas TIC pueden configurarse de
manera sencilla y rápida mediante el uso de la gran variedad de cablesestándar en oferta, por lo tanto, no hay necesidad de que el clienteprepare conjuntos de cables o cajas de relés e interfaces especiales.
Lectura de presión directa• El TIC incluye tablas de búsqueda para una variedad de gases de procesoque se encuentran comúnmente (N2, He, Ar, CO2, Kr & Ne). La seleccióndel gas apropiado permite una lectura directa de la presión correcta sinnecesidad de aplicar factores de conversión.
Instrumento compacto• El TIC se presenta en un gabinete compacto y puede montarse en un
panel o en un bastidor (bastidor 3U de ¼ 19"). Con la adición de unmarco, se transforma en un atractivo instrumento para montar en unbanco.
Interfaz gráfica del usuario clara y fácil de usar • La gran pantalla LCD retroiluminada de 128 x 64 píxeles y el sistema de
menús similar al de un teléfono celular simplifica la programación y unaelección de pantallas de resumen asegura la excelente visibilidad de losparámetros en pantalla.
Suministro eléctrico universal• El TIC operará con suministros de la red con una tensión que oscila entre
90 y 264 V c.a., y frecuencias entre 47 y 63 Hz. No se requiere laintervención del usuario.
Comunicaciones por puerto serial• Para permitir una integración completa a los procedimientos controlados
por PC y PLC, todas las variantes del TIC incluyen interfaces RS232 yRS485.
Programa para PC de WindowsTM
• El TIC se suministra con un nuevo programa para PC con WindowsTM quepermite una configuración y control totales desde una PC mediante lainterfaz RS232 como equipamiento estándar.
Actualizaciones de software• A medida que se lanzan nuevos productos compatibles, el software delTIC puede actualizarse de manera sencilla mediante el utilitario especialsuministrado con el programa de PC para WindowsTM.
• Las actualizaciones de software del TIC estarán disponibles por medio decorreo electrónico e Internet.
DATOS TÉCNICOS
Entradas de los indicadores Las variantes del TIC con soporte deinstrumentos reconocen y controlan lossiguientes indicadores:APG, APGX, ATC, ASG, AIM, WRG y AIGX*
Interfaz lógica El conector de la interfaz lógica incluye las
funciones mencionadas a continuación.Puede utilizarse para conectarse a relés delsistema, un sistema de control de nivelsuperior o una caja de relés opcional. Alutilizar el conector pasante de la caja de relés,puede utilizarse una combinación de unsistema de control superior y una caja de relés.
Entradas de controlActivación deindicadores 1, 2, 3
Cerrado cuando la energía es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la energía es alta: 4 a 24 V c.c
Interruptor de enclavamientodel sistema SYSI
Cerrado cuando la energía es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la energía es alta: 4 a 24 V c.c
Salidas de estadoSalida analógica (seleccionable) 0 – 10 V c.cPunto de control A, B, C O/C 24 V c.c. 50 mA
Alarma O/C 24 V c.c. 50 mAInterfaz serial El TIC tiene dos protocolos decomunicaciones incorporados,RS232 y RS485.Éstos pueden utilizarse para conectarse a unaPLC o a una PC mediante el uso del paquetede software de WindowsTM PC suministradopara un monitoreo y control totales de unsistema TIC.
Entrada de la redSuministro eléctrico 90 a 264 V c.a. 47 a 63 HzConsumo de energía (máx) 55 VAMáxima corriente de irrupción 4,4 A a 110 V c.a.
12 A a 230 V c.a.Fusible El TIC cuenta con protección propia y no
contiene fusibles que puedan serreemplazados por el usuario. La unidad serecuperará cuando se elimine la sobrecarga
Perno de tierra M4Cables de interfaz Utilice los cables que se especifican en la
"información sobre pedidos"Dimensiones
Alojamiento de loscomponentes electrónicos
110 mm de alto x 105 mm de ancho x 245 mmde profundidad
Panel frontal 106 mm de ancho x 128 mm de altoPeso
Controlador de instrumentosTIC RS232 1,31 kg
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Opciones de montaje en banco o bastidor (Sub bastidorde 3 U de 1/4 19")
Interfaces externas
Pantalla –Pantalla LCD para gráficos retroiluminada de 128 x 64 píxeles
Las funciones de control en el teclado del panel frontal incluyen:
Botón Desplazar hacia arriba
Botón Desplazar hacia abajo
Botón Enter/Seleccionar
Botón Menú/Volver
Botón Ciclar
1 Entradas de los indicadores FCC68 (RJ45)
2 Toma D de 25 clavijas para la interfaz lógica
3 Toma 'D' de 9 clavijas RS232/485
4 Perno de tierra M4
5 Enchufe CEE/IEC 320 de entrada de la red eléctrica
6 Interruptor de encendido/apagado de la red eléctrica
Datos operativos y dealmacenamiento
Temperatura de operación +0° a +40° CTemperatura dealmacenamiento
-30° a +70° C
Humedad ambiente deoperación máxima 90% HR sin condensación a 40° CMáxima altitud operativa 3000 m
NormasDiseño eléctrico EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326(Inmunidad industrial, Emisiones Clase B)
Capacidad del alojamiento IP20* No más de un indicador AIGX puede estar conectado al TIC por vez
BOC EDWARDS
BOC EDW ARDS
1
2
3
456
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Interfaz de la pantalla
El software del TIC está estructurado en una serie de pantallas fácilmenteaccesibles, similares a las de un teléfono celular.
El TIC reconoce automáticamente qué indicadores están conectados ymuestra la información apropiada en la pantalla de resumen por defecto.Mediante desplazamientos y selecciones se accede al control y a los menús deconfiguración para ese componente.
Se muestra el estado del indicador lo que da una clara indicación de lo que estásucediendo en el sistema de vacío.Existe una variedad de opciones de pantalla para obtener la máxima claridad.Además, pueden aplicarse dos niveles de protección con contraseña,restringiendo o impidiendo efectivamente la intervención no autorizada.
En caso de que ocurra un error, TIC mostrará un cartel de WARNING(advertencia) o uno parpadeante de ALARM (alarma). Una advertencia avisade una condición que se encuentra fuera de los parámetros normales, peroque no requiere acción, pero una alarma debe ser resuelta antes de que puedareanudarse la operación normal.
Las unidades de la pantalla pueden estar en mbar, Torr, Pa o VoltiosLos tres relés de punto de control, que son resaltados cuando se activan,pueden estar conectados a cualquier indicador.
Caja de relés (opcionales)Descripción general Una caja de relés se desarrolló para permitir que lassalidas de los puntos de control del TIC operen tres relés de transferencia (noinductivos) de 250 V a.c. y 3 A.
La caja de relés se conecta al TIC por medio de un cable para interfaz lógica,
el cual se suministra con un conector de derivación para conectarse con elequipo OEM.
1 Relés de transferencia de 250 V c.a. y 3 A Enchufe positrónico de 12 clavijas
2 Interfaz lógica (del TIC) Toma 'D' de 25 clavijas
3 Equipo de derivación lógica (a PC, PLC etc.) Toma 'D' de 25 clavijas
4 Perno de tierra M4
Programa para PC de WindowsTM
El TIC se suministra con un software para PC con WindowsTM totalmentefuncional, el cual replica y se agrega a los menús de control del TIC.
El software de PC permite que los sistemas TIC puedan ser configurados,controlados y monitoreados desde una sola PC.
También se incluye una útil función de inscripción de datos, la cual guardaparámetros seleccionables por el usuario en un archivo (en formato .csv) parasu posterior análisis utilizando software adecuado.
Las configuraciones del sistema TIC pueden crearse y guardarse para su usoposterior, ahorrando de esa manera tiempo de programación.
El software de PC incluye un utilitario de actualización, el cual permite que elsoftware incorporado del TIC pueda actualizarse por medio de la conexión alpuerto serial a partir de archivos suministrados electrónicamente.
4
L O G I C
I N T E R F A C E
3
USER TIC
3 0 V M A X
S E T P O I N T
R E L A Y S
2
1
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Ejemplos de configuraciones
* Se incluyen los cables para la red eléctrica de EE.UU. con los TIC comprados en América del Norte.
COMPONENTE NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A D39700000 Cont inst TIC 3 cabezales RS232
B D40013025* Cable de red eléctrica para RU, 2m
C D02171000 APGX-M-NW16 AL
D D04850000 AIGX-S-NW25
E D35728000 ASG NW16 2000 mbar
F D40003060 Cable adaptador ASG, 0,5 m
G D40001030 Cable de indicador Active, 3 m
COMPONENTE NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A D39700000 Cont inst TIC 3 cabezales RS232
B D40013025* Cable de red eléctrica para RU, 2m
C D02171000 APG-M-NW16 AL
D D14641000 AIM-S-NW25
E D14701000 WRG-S-NW25
F D04850000 AIGX-S-NW25
G D40001020 Cable de indicador Active, 2 m
H D40001050 Cable de indicador Active, 5 m
J D29700834 Cable de interfaz RS232 para el TIC, 2 m(opcional)
K N/D PC con interfaz RS232 (opcional)
L D39700833 Cable para interfaz lógica TIC, 2 m
COMPONENTE NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A D39700000 Cont inst TIC 3 cabezales RS232
B D40013025 Cable de red eléctrica para RU, 2m
C D02171000 APG-M-NW16 AL
D D14641000 AIM-S-NW25
E D14701000 WRG-S-NW25
F D04850000 AIGX-S-NW25
G D40001010 Cable de indicador Active, 1 m
H D39700834 Cable de interfaz RS232 para el TIC,2 m (opcional)
J N/D PC con interfaz RS232 (opcional)K D39700804 Instrumentos de la caja de relés del TIC
L D39700833 Cable para interfaz lógica TIC, 2 m
M D39700833 Cable para interfaz lógica TIC, 2 m
E
F
D
C
G
G
G
A
B
F
H
E
D
C
G
G
K J
A
B
L
F
G
E
D
C
G
G
J H
A
B
K
L
M
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P
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INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Controladores (suministrados con manuales y software)
Controlador de instrumentos TIC 3 cabezalesRS232
D39700000
Caja de relés
Instrumentos de la caja de relés del TIC(3 x Relés de transferencia de 250 V c.a. y 3 A)
D39700804
Cables
Cables de red eléctrica (Suministro del TIC y la caja de relés)Enchufe para RU, 2 m D40013025
Enchufe para EE.UU., 2 m D40013120
Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030
Cables de interfaz
Cable para interfaz lógica TIC, 2 m D39700833
Cable para interfaz RS232 TIC, 2 m D39700834
Cables de indicador Active (incluyen conexiones compatibles con FCC68 en ambos extremos)
Cable de indicador Active, 0,5 m D40001005
Cable de indicador Active, 1 m D40001010
Cable de indicador Active, 3 m D40001030
Cable de indicador Active, 5 m D40001050
Cable de indicador Active, 10 m D40001100Cable de indicador Active, 15 m D40001150
Cable de indicador Active de 15 m (24 AWG) D40005150
Cable de indicador Active, 25 m D40001250
Cable de indicador Active de 30 m (24 AWG) D40005300
Cable de indicador Active, 50 m D40001500
Cable de indicador Active, 100 m D40001999
Otros accesorios y productos de soporte
Conjunto de marco frontal TIC (repuesto) D39700803
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CONTROLADORES DE INDICADORESACTIVE AGC
Controladorde indicadores Active
El controlador de indicadores Active (AGC) es el primer controlador deindicadores de vacío inteligente y realmente universal. Están disponiblesmodelos para accionar tres o seis indicadores Active de cualquier tipo. Existenversiones disponibles con pantallas de presión simples o triples al igual que
versiones que manejan manómetros de capacitancia. Las funciones de controlse configuran por medio de un sencillo sistema de menú y quedan almacenadasdespués del apagado. El control remoto total o una sencilla inscripción dedatos son posibles mediante el uso de una interfaz RS232 y está disponible uncontrolador de software basado en WindowsTM.
Características y ventajas• Controlador universal de indicadores de vacío
- Puede accionar cualquier combinación de indicadores Active deBOC Edwards incluyendo Pirani, Pirani lineal, de termoacoplamiento,deformímetros, magnetrón invertido, indicadores de amplio rango eindicadores iónicos al igual que soporte opcional para manómetros decapacitancia
• Opciones de relé- Todos los modelos cuentan con seis interruptores de estado sólido que
funcionan a 40 V c.c. y 100 mA. También existe la opción de una tarjeta
interna con seis relés de transferencia que funcionan a 240 V y 3 A, oun módulo DIN externo montado sobre rieles con seis relés de 240 Vy 5 A
• Conmutación de rango y protección del indicador automáticas- Dos o más cabezales que cubren rangos de presión específicos pueden
estar conectados para brindar una indicación automática continuaacerca de sus rangos combinados de presión. Esta función tambiénprotege los indicadores que, de otro modo, resultarían dañados si se losenciende a altas presiones
• Identificación automática del tipo de cabezal de calibre- La identificación y escala de rango automáticas son posibles con sólo
conectar el indicador• Control remoto
- Están disponibles el control remoto total de todas las funciones delAGC o la sencilla inscripción de datos por medio de la opción RS232.
Está disponible un controlador de software basado en Windows, el cualpermite que el AGC se comunique con una amplia gama de paquetes desoftware basados en Windows como planillas de cálculo, bases dedatos, sistemas de pantallas para gráficos/control, etc
• Versiones de manómetros de capacitancia- Los manómetros de capacitancia que requieren un suministro eléctrico
de ± 15 V (Barocels Serie 600 de BOC Edwards) deben utilizarse conversiones CM del controlador de indicadores Active. Un máximo detres de dichos cabezales pueden conectarse, al igual que todos los tiposde indicadores Active
• Funcionamiento con suministro eléctrico universal- El AGC acepta tensiones entre 90 y 265 V y frecuencias entre 45 y 70
Hz sin necesidad de un ajuste por parte del usuario
DATOS TÉCNICOS
Suministro eléctricoRango de tensión de entrada 90 a 265 V c.a.Rango de frecuencia de entrada 45 a 70 HzToma de suministro de la redeléctrica
IEC 320
Rango de temperaturaOperación 0 a +40 °CAlmacenamiento -20 a +70 °C
Rango de humedad relativa(sin condensación)
10 a 90%
NormasDiseño electrónico EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326 (Emisiones Clase B)
Capacidad del alojamiento IP205Salidas del registrador gráfico
Indicadores Active 2 a 10 V c.cManómetros de capacitancia 0 a 10 V c.c
Relés estándar 6 salidas de transistoresde apertura del colector
Tensión (máxima) 40 V c.c.Corriente (máxima) 100 mA
Tablero opcional de relés 6 salidas para relés electromagnéticosTensión (máxima) 240 V c.c.Corriente (máxima) 3 A (carga no inductiva)
Unidad de relés opcional DINpara montar sobre rieles
6 salidas para relés electromagnéticos
Tensión (máxima) 240 V c.c.Corriente (máxima) 5 A (carga no inductiva)
Dimensiones Medio bastidor de 19", 2UPeso 2,4 kg
207 (8.15)
240 (9.45)
223 (8.78)
3 .2 ( 0 .1 3 )
2
8 5 ( 1 1 .2 2 )
7 0
7 6 ( 2 . 9 9 )
8 8 ( 3 .4 6 )
( 2 .7 6
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P
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Las versiones CM aceptan manómetros de capacitancia de la series 600, 622 y 655, al igualque indicadores Active
AGC pantalla única 6 cabezales D38654000
AGC pantalla única 6 cabezales CM D38653000
AGC pantalla única RS232 6 cabezales D38651000
AGC pantalla única RS232 6 cabezales CM D38650000
AGC pantalla triple RS232 6 cabezales D38661000
AGC pantalla triple RS232 6 cabezales CM D38660000Tablero de expansión de relés AGC D38651800
Unidad de relés con DIN para montaje D38504110
Conjunto de supresión del haz electrónico de medio bastidorde 19 pulgadas D04830301
Conjunto de unión para medio bastidor de 19 pulgadas D04830302
Controlador de software para WindowsTM D38662800
REPUESTOS Y ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Cables de indicador Active (incluyen conexiones compatibles con FCC68/RJ45 en ambosextremos)
0,5 m D40001005
1 m D40001010
3 m D40001030
5 m D40001050
10 m D40001100
15 m D40001150
25 m D40001250
50 m D40001500
100 m D40001999
Están disponibles a solicitud los cables blindados o de longitudes especiales
Cables para adaptadores para manómetros de capacitancia Barocel
Serie 600 (borne de tornillo) a hembraFCC68/RJ45, 0,5 m D40003010
Serie 622 a hembra FCC68/RJ45, 0,5 m D40003030
Series 600/655 (conector "D") a hembra
FCC68/RJ45, 0,5 m D40003050Cables para interfaz RS232C, 3 m
Termina con conectores de 25 clavijas D (hembra) D38650400
Termina con conectores de 9 clavijas D (hembra) D38650500
Cables para interfaz del controlador de bombas turbomoleculares
EXC100 a hembra FCC68/RJ45, 0,5 m D40003070
EXC120 a hembra FCC68/RJ45, 0,5 m D40003080
EXC300 a hembra FCC68/RJ45, 0,5 m D40003090
Cables de red eléctrica
Enchufe para RU, 2 m D40013025
Enchufe para EE.UU., 2 m D40013120
Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030
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CONTROLADOR DIGITAL ACTIVE ADC
Controladordigital Active
El controlador digital Active (ADC) de BOC Edwards es un controlador conun único indicador y pantalla. Cuanta con una brillante pantalla LED y simplescontroles con botones. El ADC reconoce automáticamente los indicadoresBOC Edwards compatibles, carga la tabla de búsqueda apropiada y muestra lapresión en las unidades de vacío comúnmente utilizadas.
El ADC está disponible en versiones estándar y mejorada. El controlador
estándar muestra la presión medida por un único indicador Active. Elcontrolador mejorado soporta dos indicadores similares – tiene dos puntosde control de histéresis variables conectados a relés de transferencia de 48 Vc.c. y 1 A y dos salidas analógicas de 0 a 10 V c.c. Para ayudar a la integracióndel sistema, el controlador mejorado se suministra con una interfaz RS232.
Cuando se lo combina con un indicador adecuado como el indicador Pirani deconvección APGX-H o el indicador de amplio rango (WRG) deBOC Edwards, el ADC representa una manera rentable de monitorear ycontrolar el vacío del proceso en una amplia gama de aplicaciones.
Características y ventajas• Funcionamiento "Plug and measure"
- Con sólo conectar al suministro de la red eléctrica y conectar elindicador, el ADC muestra la medición de la presión
• Amplio rango de presión- El ADC soporta indicadores de BOC Edwards con un rango de
medición total de 2000 a 1x10-9 mbar (1500 a 7,5 x 10-10 Torr)- El ADC y los indicadores de BOC Edwards se adaptan a una amplia
gama de aplicaciones industriales y de laboratorio• Pantalla de alta visibilidad
- La brillante pantalla LED es claramente legible desde largas distancias• Opción de unidades
- El ADC muestra datos en mbar, Torr, Pascales o Voltios• Instrumento compacto
- Pequeño alojamiento 1/8 DIN, puede montarse en un panel o banco detrabajo
• Muy fácil de usar- El sencillo control con botones hace que la operación sea muy intuitiva
• Una versión que se adecua a sus necesidades- El ADC estándar simplemente muestra la presión en la unidad
seleccionada por el usuario
- El ADC mejorado incluye una segunda conexión para indicadores, 2relés de punto de control, 2 salidas analógicas e interfaz RS232
DATOS TÉCNICOS
Compatibilidad con indicadoresEstándar Un único indicador de APG-L, APG-
MP, APG-M, APGX-H, APGX-L,APGX-MP, APGX-M y WRG.
Mejorada Hasta dos indicadores idénticos delos mencionados más AIM-S, AIM-Xy ASG.
Interfaz lógica(versión mejorada solamente)
El conector de la interfaz lógicaincluye las funciones mencionadas acontinuación. Puede utilizarse para
conectarse a relés del sistema o a unsistema de control de nivel superior.
Salidas de estadoSalidas analógicas (2, una porindicador) 0 – 10 V c.cPuntos de control (2, histéresis)variable, una por indicador)
Conmutación unipolar sin tensión1 A a 48 V c.c.2 A a 24 V c.c.
Interfaz serial(versión mejorada solamente)
La interfaz RS232 permite conectarel ADC a una PC, PLC o controladorde sistema OEM.Protocolo RS2329600 baudios, 1 bit de parada, 8 bitsde datos, sin paridad
Entrada de la redSuministro eléctrico 100 a 240 V c.a. 47 a 63 Hz
Datos operativos y de almacenamientoTemperatura de operación +0 a +40 °CTemperatura de almacenamiento -30 a +70 °CHumedad ambiente de operaciónmáxima
90% HR sin condensación a 40 °C
Máxima altitud operativa 2000 mNormas
Seguridad eléctrica BS EN 61010-1Inmunidad al ruido eléctrico BS EN 61326 (Ubicación industrial,
emisiones clase B)Materiales pirorretardantesde la caja UL94 V1Capacidad del alojamiento IP40
DimensionesDisyuntor del panel 92+0,8 x 45+0,6 mm a DIN43700Espesor del panel 1,5 mm mínimo
Peso 0,33 kg
15 9 ( 6 .2 6 )
9 0 ( 3 . 5 4 )
4 3
( 1 .
6 9 )
NUEVO
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P
Interfaces externasVersión estándar
Versión mejorada
Pantalla – LED verde de alto brillo, 0,47 pulgadas de alto, siete segmentos de pantalla
Las funciones de control en el teclado del panel frontal incluyen: Botón Desplazar hacia arriba
Botón Desplazar hacia abajo
Botón Enter/Seleccionar
G1 y G2 Indica el indicador que se visualiza
SP1 y SP2 Indica el disparo del punto de control
Hi, Lo Indica el umbral alto y bajo de los puntos de control para configurar
CAL Indica el mensaje de calibración enviado al indicador (para indicadores
que soporten calibración remota solamente)
Versión estándar
Versión mejorada
1 Conector de suministro eléctrico con conector CEE/IEC 320
2 Toma FCC68 (RJ45) para conector/es para indicadores Active
Versión mejorada solamente
3 Toma de 9 clavijas tipo 'D'
4 Conector analógico/de relés de 9 clavijas tipo 'D'
X 10
mbar
Torr
Pa
X 10
G1
mbar
Torr
Pa
G2 SP1 SP2 Hi Lo CAL
100-240 V47/63 Hz
GAUGE 1 DO NOT CONNECT
15 V BAROCELS
1
2
GAUGE 2
SERIAL COMMS
RELAY 48 V MAX
100-240 V47/63 Hz
GAUGE 1 DO NOT CONNECT
15 V BAROCELS
3 1
2
4
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Controladores
ADC estándar D39590000
ADC mejorado D39591000
Cables para interfaz
Cable para interfaz RS232, 2 m D39700834
Actualización de software
Conjunto de actualización de software del ADC D39591800
Ejemplo de indicadores compatiblesAPG-M-NW16 Al D02171000
APGX-H-NW25 Ac In D02392000
WRG-S-NW25 D14701000
REPUESTOS Y ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Cables de indicador Active (incluyen conexiones compatibles con FCC68/RJ45 en ambosextremos)
Cable de indicador Active, 0,5 m D40001005
Cable de indicador Active, 1 m D40001010
Cable de indicador Active, 3 m D40001030
Cable de indicador Active, 5 m D40001050
Cable de indicador Active, 10 m D40001100
Cable de indicador Active, 15 m D40001150Cable de indicador Active, 25 m D40001250
Cable de indicador Active, 50 m D40001500
Cable de indicador Active, 100 m D40001999
Cables de red eléctrica
Enchufe para RU, 2 m D40013025
Enchufe para EE.UU., 2 m D40013120
Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030
NUEVO
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PIRANI 501 Y PRE10K
Pirani501y PRE10K
Características y ventajas• Amplio rango en una escala de 230°
• Lectura continua – la conmutación de rango no es necesaria• Salida del registrador• Escalas mbar y Torr• Indicación de encendido/apagado del suministro eléctrico• Entrada de potencia: Conector IEC con fusible y selector de tensión• Controles simples: fácil de configurar o calibrar a presión atmosférica y al
vacío• Unidades compactas a DIN 43700• Incluye patas desmontables y abrazaderas para montaje en panelesUna pantalla y cabezal de calibre Pirani de un solo canal, de bajo costo.
DATOS TÉCNICOS
Rango de presión 5 a 1 × 10-3 mbar
Sobrepresión máxima 2 bar absolutoTemperatura de operación
Controlador 0 – 50 °CCabezal de calibre 5 – 60 °C
Temperatura de almacenamiento -10 a 70 °CMateriales expuestos al vacío Aluminio HETF, tungsteno, PTFE, níquelSuministro eléctrico (controlador)
Rango de tensión de entrada 94 a 127 o 188 a 254 VRango de frecuencia de entrada 50/60 Hz
Dimensiones DIN 43700 96 × 96 mmAccesorio de vacío NW10Normas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidad electromagnética EN 61326 (Emisiones Clase B)
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSDESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Pirani 501 con cable de suministro eléctrico de 2 m D39501000
Cabezal de cal ibre Pirani PRE10K con cable del cabezal de 2 m D02428000
PRE10K - cable de extensión, 5 m D36836005
PRE10K - cable de extensión, 15 m D36836015
PRE10K - cable de extensión, 30 m D36836030
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PANTALLA INDICADORA ACTIVE AGD
Pantallas indicadoras Active
Las pantallas indicadoras Active de BOC Edwards son una familia de sencillasunidades de bajo costo para la medición y control de vacío desde la presiónatmosférica hasta 10-9 mbar. Están diseñadas para utilizarse con indicadoresBOC Edwards y, por lo tanto, brindan a los usuarios un desempeño,flexibilidad y facilidad de uso inigualables con esta familia de instrumentos devacío.
Ahora, incluye Pa, además de las versiones mbar / Torr.
Características y ventajas• Acepta dos cabezales de calibre Active
- Interruptor único con indicación por LED para la selección de cabezalesde calibre
• Opción de dos puntos de control ajustables con indicación de estado delrelé- Dos relés de transferencia unipolar que funcionan a 3 A y 250 V
• Salidas del registrador gráfico analógico de 2 a I0 V c.c. estándard- Salida continua independiente para cada cabezal de calibre más salida
conmutada correspondiente al cabezal de calibre elegido• Uso en bancos de trabajo o montaje en paneles
- Suministrado con patas inclinables para un conveniente montaje en unbanco de trabajo y conjunto para montaje en paneles que cumple con lanorma DIN 43700
• Entrada de energía de la red eléctrica por medio del conector IEC- El fusible y el selector de tensión permiten la operación desde 90 a 265
V c.a., 45 a 70 Hz• Lectura continua – la conmutación de rango no es necesaria
- La pantalla analógica transparente cubre todo el rango de presión delcabezal de calibre
Además de las características de la unidad misma, el uso de la pantallaindicadora Active le brinda los beneficios de los indicadores Active.
Estos incluyen un cableado flexible con longitudes de hasta 100 m, un alto nivelde inmunidad al ruido eléctrico y componentes electrónicos robustos ycompactos para un montaje frontal.
DATOS TÉCNICOS
Suministro eléctricoRango de tensión de entrada 90 a 120 V c.a.
185 a 265 V c.a. (seleccionable)Rango de frecuencia de entrada 45 a 70 Hz
Rango de temperaturaOperación 5 a 60 °CAlmacenamiento -10 a +70 °C
Salidas del registrador gráfico 2 a 10 V c.c
9 2 ( 3 . 6 2 )
70 140 (5.51) 16 96 (3.78)
9 6 ( 3 . 7 8 )
(0.63)(2.76)
RelésTensión (máxima) 250 V c.c.Corriente (máxima) 3 A (carga no inductiva)
Dimensiones Norma DIN 43700 96 x 96 mmNormas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326 (Emisiones Clase B)
Ejemplos de indicadores compatibles
Indicadores Active PiraniAPG-M Y APG-MP Presión atmosférica a 10-3 mbar
APG-L Presión atmosférica a 10-4
mbarIndicadores Active Pirani linealesAPGX-H 1333 a 3 x 10-4 mbarAPGX-M Y APGX-MP Presión atmosférica a 10-3 mbarAPGX-L Presión atmosférica a 10-4 mbar
Indicadores de termoacoplamientoActive
ATC-D 65 a 6,5 x 10-2 mbarATC-M 1,3 a 1,3 x 10-3 mbar
Indicadores de Magnetrón invertidoActive
AIM-S, AIM-SL y AIM-X 10-2 a 10-9 mbarIndicadores de amplio rango Active
WRG-S, WRG-SL y WRG-D Presión atmosférica a 10-9 mbar
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
AGD para APG-M con relés de control (mbar/Torr) D39560000
AGD para APG-M con relés de control (Pa) D39560600
AGD para APG-L con relés de control (mbar/Torr) D39561000
AGD para APG-L con relés de control (Pa) D39561600
AGD para APGX con relés de control (mbar/Torr) D39571000
AGD para APGX con relés de control (Pa) D39571600
AGD para AIM-S con relés de control (mbar/Torr) D39562000
AGD para AIM-S con relés de control (Pa) D39562600
AGD para AIM-X con relés de control (mbar/Torr) D39570000
AGD para AIM-X con relés de control (Pa) D39570600AGD para ATC-M con relés de control (mbar/Torr) D39563000
AGD para ATC-M con relés de control (Pa) D39563600
AGD para ATC-D con relés de control (mbar/Torr) D39564000
AGD para ATC-D con relés de control (Pa) D39564600
AGD para WRG con relés de control (mbar/Torr) D39580000
AGD para WRG con relés de control (Pa) D39580600
AGD para APG-M (mbar/Torr) D39565000
AGD para APG-M (Pa) D39565600
AGD para APG-L (mbar/Torr) D39566000
AGD para APG-L (Pa) D39566600
AGD para AIM-S (mbar/Torr) D39567000
AGD para AIM-S (Pa) D39567600
AGD para ATC-M (mbar/Torr) D39568000
AGD para ATC-M (Pa) D39568600
AGD para AIM-X (mbar/Torr) D39575000
AGD para AIM-X (Pa) D39575600
AGD para APGX (mbar/Torr) D39576000
AGD para APGX (Pa) D39576600
AGD para ATC-D (mbar/Torr) D39569000
AGD para ATC-D(Pa) D39569600
AGD para WRG (mbar/Torr) D39585000
AGD para WRG (Pa) D39585600
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PANTALLA DIGITAL ACTIVE ADD
Pantalladigital Active• Compatible con el deformímetro Active, Barocel 600, 622 y 655• Pantalla transparente de 4 dígitos con opción de unidad de presión• Función automática de telemetría cuando se utiliza con Barocels• Para montaje en bancos de trabajo o en paneles que cumplen con la
norma DIN 43200• Opción de dos relés de transferencia de 3 A para el control de procesos
en los puntos de control
Es posible conectar un único deformímetro Active o manómetro decapacitancia Barocel 600, 622 o 655 mediante el uso del cable adaptadorapropiado y un cable de indicador Active estándar. Las unidades de presiónpueden seleccionarse de manera independiente de las unidades de escalacompleta del indicador. Las características de telemetría para Barocels brindauna visualización de 4 décadas.
La versión de relés brinda un punto de control de presión descendente conhistéresis ajustable y un punto de control de presión ascendente con histéresisfija.
DATOS TÉCNICOS
REPUESTOS Y ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Cables (incluyen conexiones compatibles con FCC68 en ambos extremos)
0,5 m D40001005
1 m D40001010
3 m D40001030
5 m D40001050
10 m D40001100
15 m D40001150
25 m D4000125050 m D40001500
100 m D40001999
Están disponibles a solicitud los cables blindados o de longitudesespeciales
Cables de red eléctrica
Enchufe para RU, 2 m D40013025
Enchufe para EE.UU., 2 m D40013120
Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
Suministro eléctricoRango de tensión de entrada 90 – 120 V o 185 – 265 V c.a. (conmutable)Rango de frecuencia de entrada 45 – 70 Hz
Rango de temperaturaOperación 5 – 60 °CAlmacenamiento -10 a 70 °C
Salidas del registrador gráfico 0 – 10 V c.cRelés
Tensión (máxima) 250 V c.c.Corriente (máxima) 3 A (carga no inductiva)
Dimensiones Norma DIN 43700 96x96 mmProfundidad del frente 140 mmNormas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidadelectromagnética
EN 61326 (Emisiones Clase B)
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
ADD D39556000
ADD con relés de control D39557000
Para los cables adaptadores, cables de indicadores Active y cables de suministro eléctricoconsulte la página 11-33.
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PANTALLA DE PRESIÓN MODELO 1575
Pantallade presión modelo 1575
La pantalla de presión modelo 1575 es una pantalla digital y controlador depuntos de control de bajo costo, basada en un microprocesador para losmanómetros de capacitancia Barocel 600, 622 y 655. El modelo 1575incorpora suministro eléctrico, pantalla digital, cuatro puntos de controlseleccionables por el usuario junto con salidas analógicas y RS232 opcionalesen una unidad compacta 1/8 DIN.
Características y ventajas• Ajuste a cero mediante un botón o desde el control remoto
- Para ajustar a cero el transductor, simplemente se presiona elinterruptor de membrana del panel frontal. Alternativamente, se lleva atierra una conexión del panel trasero.
• Calibración de escala completa con sólo presionar un botón- Utilice la función de calibración de escala completa si desea visualizar
unidades de ingeniería diferentes a las de la calibración del transductoro incorporar coeficientes arbitrarios para el transductor.
• Puntos de control seleccionables por el usuario con contactos deapertura del colector- Existen cuatro puntos de control de apertura del colector de estado
sólido, programables por el usuario; dos altos y dos bajos. La banda dehistéresis asociada con cada punto de control también puede ajustarsepara cumplir con los requerimientos del sistema.
• Pantalla LED de fácil lectura- La pantalla LED de 10 mm rojo brillante de alta eficiencia puede verse
con facilidad desde ángulos de visualización normales y en la mayoría delas condiciones de iluminación.
• Salida RS232 opcional- Está disponible un puerto RS232, a un costo mínimo, para la salida de
presión digital.
DATOS TÉCNICOS
Entrada de señal ± 10 V c.c.Salida c.c. Señal de entrada del transductorResolución A/D ± 25000 conteosPrecisión1 ± 0,005% de la lectura ± 2 conteosCoeficiente de temperatura de escalacompleta
20 ppm/ °C
Coeficiente de temperatura cero 0,001 ppm/ °CSupresión de ceros ±100% de escala completaSuministro del transductor ±15 V c.c. a 250 mA (máximo)Suministro eléctrico (50 – 60 Hz)
Estándar 230 V ca ± 10%Opcional 115 V ca ± 10%
Puntos de control(4 transistores de apertura del colector)
Tensión (máxima) 50 VCorriente (máxima) 100 mA
Histéresis (ambos puntos de control) 0 – 99 conteosEstado de control Los LED indican los controles accionados
Rango de temperaturaOperación +0 a +55 °CAlmacenamiento -40 a +85 °C
Tiempo de precalentamiento (a 25 °C) 30 minutosNormas
Diseño electrónico EN 61010-1Compatibilidad electromagnética EN 61326 Ubicación industrial,
Emisiones Clase ALista de transductores compatibles
Barocels 600, 622, 655
1 Sin incluir el error del transductor
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSDESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Pantalla de presión modelo 1575
Salida analógica 115 V W60810000
Salida RS232, 115 V W60810004
Salida analógica 230 V W60820000
Salida RS232, 230 V W60820004
ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Cable (15 pies, 4,5 m)
Barocel 600 (versiones de bloque de terminales) W18997005
Barocel 622 W18999005
Barocel 600 (versiones con conector "D"), 655 W18992005Cables de suministro eléctrico
Enchufe para RU, 2 m D40013025
Enchufe para EE.UU., 2 m D40013120
Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030
7/23/2019 Sistemas de medicion y control
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EJEMPLOS DE INSTALACIÓN DEINDICADORES Y CONTROLADORES
Ejemplos de instalaciónde indicadores y controladores
La familia Active de indicadores de vacío y controladores brinda la flexibilidadde diseñar y configurar un sistema que cubrirá de forma precisa lasnecesidades de los clientes. Nuestro equipo de soporte técnico está disponiblepara brindar asesoramiento acerca del mejor sistema para cada aplicación. Acontinuación, se ilustran ejemplos de sistemas típicos:
Sistema de pantalla indicadora Active
Sistema TIC 1
Sistema TIC 2
* Se incluyen los cables para la red eléctrica de EE.UU. con los TIC comprados en América del Norte.
COMPONENTE CANTIDAD NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A 1 D39565000 AGD para APG-M
B 1 D40013025 Cable de suministro eléctrico para RU*
C 2 D02171000 APG-M
D 2 D40001030 Cable de indicador Active, 3 m
COMPONENTE NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A D39700000 Cont inst TIC 3 cabezales RS232
B D40013025 Cable de red eléctrica para RU*, 2m
C D02171000 APGX-M-NW16 AL
D D04850000 AIGX-S-NW25
E D35728000 ASG NW16 2000 mbar
F D40003060 Cable adaptador ASG, 0,5 m
G D40001030 Cable de indicador Active, 3 m
COMPONENTE NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A D39700000 Cont inst TIC 3 cabezales RS232
B D40013025 Cable de red eléctrica para RU*, 2m
C D02171000 APGX-M-NW16 AL
D D14641000 AIM-S-NW25
E D14701000 WRG-S-NW25
F D04850000 AIGX-S-NW25
G D40001010 Cable de indicador Active, 1 m
H D39700834 Cable de interfaz RS232, 2 m (opcional)
J N/D PC con interfaz RS232 (opcional)K D39700804 Instrumentos de la caja de relés del TIC
L D39700833 Cable para interfaz lógica, 2 m
M D39700833 Cable para interfaz lógica, 2 m
C
C
D
A B
E
F
D
C
G
G
G
A
B
F
G
E
D
C
G
G
J H
A
B
K
L
M
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P
Controlador de indicadores Active, sistema 1
Controlador de indicadores Active, sistema 2
Controlador de indicadores Active, sistema 3
* Se incluyen los cables para la red eléctrica de EE.UU. con los TIC comprados en América del Norte.
COMPONENTE CANTIDAD NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A 1 D38651000 AGC-6 cabezales, RS232
B 1 D40013025 Cable de suministro eléctrico para RU*
C 1 D14641000 AIM-S
D 1 D04851000 AIGX-S
E 1 D02173000 APG-L
F 1 D14701000 WRG-S
G 1D35108000
ATC-E
H 1 D35513000 ATC-M
J 1 D35726000 ASG
K 1 D40003060 Cable adaptador ASG
L 4 D40001030 Cable del indicador, 3 m
M 1 D38650500 Cable para interfaz RS232
COMPONENTE CANTIDAD NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A 1 D38655000 AGC-3 cabezales
B 1 D40013025 Cable de suministro eléctrico para RU*
C 1 D14641000 AIM-S
D 1 D04850000 AIGX-S
E 1 D02173000 APG-L
F 1 D14701000 WRG-S
G 1 D39616000 EXC120
H 3 D40001030 Cable de indicador Active, 3 m
J 1 D40003080 Cable adaptador EXC120
COMPONENTE CANTIDAD NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A 1 D38660000 Versión AGC-CM
B 1 D40013025 Cable de suministro eléctrico para RU*
C 1 W65512811 Barocel 655
D 1 W60042811 Barocel 600
E 1 D02173000 APG-L
F 1 W40003050 Cable adaptador 600/655
G 3 D40001030 Cable de indicador Active, 3 m
M
L
A
G
E
H
B
F
D
C
K
J
G
F
E
J H
H
H
C
B
A
D
E
D
C
F
F
G
A
B
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Controlador de indicadores Active, sistema 4
Sistema de pantalla digital Active
* Se incluyen los cables para la red eléctrica de EE.UU. con los TIC comprados en América del Norte.
COMPONENTE CANTIDAD NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A 1 D38655000 AGC-3 cabezales
B 2 D40013025 Cable de suministro eléctrico para RU*
C 1 D14641000 AIM-S
D 1 D02171000 APG-M
E 1 D04847000 IGC - haz electrónico, BOC Edwards
F 1 D02999390 Tubo de indicador iónico
G 1 D04847060 Cable para indicador iónico
H 3 D40001030 Cable de indicador Active, 3 m
COMPONENTE CANTIDAD NÚMERO DE PEDIDO DESCRIPCIÓN
A 1 D39556000 ADD
B 1 D40013025 Cable de suministro eléctrico para RU*
C 1 D35726000 ASG
D 1 D40003060 Cable adaptador ASG
E 1 D40001030 Cable de indicador Active, 3 m
F
G
B H
E
D
C
A
B
E
A B
D
C
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CG16K INDICADORES ANALÓGICOS TIPOCÁPSULA
Indicadores analógicos tipo cápsula, interruptores de vacío e indicadores McLeodIndicadores analógicos tipo cápsulaCG16K
Características y beneficios• Lectura independiente del tipo de gas• Preciso hasta ±2% de escala completa• Barométricamente independiente• Puede montarse sobre la tubería o en el panel• Escala lineal de fácil lectura• Construcción robusta• Marco frontal removible para una mejor limpieza
DATOS TÉCNICOS
INTERRUPTOR DE VACÍO AJUSTABLE VS16K
Interruptorde vacío ajustable VS16K
El VS16K es un interruptor de vacío para propósitos generales con un puntode control ajustable por el usuario y un pequeño diferencial de conmutación.Este interruptor operado con diafragma es compatible con alto vacío yresistente a la corrosión con todas las partes en húmedo hechas de aceroinoxidable. Una alta capacidad nominal de corriente permite una conmutacióndirecta de cargas sin relés adicionales o suministros de energía externos.• Rango del punto de control 30-1000 mbar• Ajustable por el usuario• Reproducible
• Contactos de transferencia para un funcionamiento normalmente abiertoo normalmente cerrado• Punto de conmutación independiente de la composición del gas• Materiales resistentes a la corrosión expuestos al vacío• Montaje directo sobre la tubería
A La mitad de contacto se muestra instalada
DATOS TÉCNICOS
Rangos 0-1040 mbar, 0-760 Torr0-125 mbar, 0-100 Torr0-50 mbar, 0-40 Torr0-25 mbar, 0-20 Torr
Precisión Desviación de ±2% de escala completaPresión máxima aplicada
Versión de 25 mbar 1 bar absoluto, 0 barOtras versiones 2 bar absoluto, 1 bar
Peso 1 kgConexión de vacío Brida NW16Accesorios suministrados Abrazadera y pasadores para montaje en
el panel
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
CG16K, 0-1040 mbar D35610000
CG16K, 0-125 mbar D35611000
CG16K, 0-50 mbar D35612000
CG16K, 0-25 mbar D35613000
CG16K, 0-760 Torr D35630000
CG16K, 0-100 Torr D35631000
CG16K, 0-40 Torr D35632000
CG16K, 0-20 Torr D35633000Unión de tubería de 6 mm para CG16K D35610201
90.75
48
706
Ø 1 1 5
6 7 . 5
6
12
Ø 1 1 1 / 1 1 2
15
NW16
Rango de ajuste 30 a 1000 mbar1
Máximo diferencial de conmutación 30 mbarPresión máxima de trabajo 1 bar, (2 bar absoluto)
Capacidad eléctrica 10 A resistiva, 5 A inductiva a 250 V c.a.Conector eléctrico Tipo 283 mPmVolumen interno 7 cm3
Materiales al vacío acero inoxidableVelocidad de fugas < 1 × 10-9 mbar I s-1
Clasificación del alojamiento IP52Peso 0,7 kgConexión de vacío NW16Accesorios suministrados Toma de contacto eléctrico tipo 183 mPm
1 El punto de control varía con la presión barométrica
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDOInterruptor de vacío ajustable VS16K D05915000
51 (2.01)
Ø102 (4.02) 58 (2.28) 26
5 6 ( 2 . 2
1 )
A
NW16
(1.02)
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INTERRUPTOR DE ENCLAVAMIENTO DEVACÍO IS16K
Interruptorde enclavamientode vacío IS16K
El interruptor de enclavamiento de vacío IS16K está diseñado para resguardaral operador asegurando que los circuitos eléctricos en la cámara de vacío noreciban energía cuando el sistema está a presión atmosférica. Las aplicacionestípicas incluyen el enclavamiento de limpieza HT o circuitos de procesamientoen una deposición de película delgada y sistemas de vacío.El IS16K es compatible con alto vacío y resistente a la corrosión, con todaslas partes en húmedo hechas de acero inoxidable. Una alta capacidad nominalde corriente permite una conmutación directa de cargas sin relés adicionaleso suministros de energía externos.
El diseño exclusivo de BOC Edwards ofrece las siguientes características deseguridad:• Punto de control único y no ajustable, no puede manipularse• Interruptor de corte positivo, como lo exige BS4794/IEC 338-1• Separación de contacto rápida, impide la formación de arcos• Corta el circuito directamente, no se requieren relés• Materiales resistentes a la corrosión expuestos al vacío• Montaje directo sobre la tubería
A La mitad de contacto se muestra instalada
DATOS TÉCNICOS
Punto de control fijo 640 ±120 mbar1
Máximo diferencial de conmutación 100 mbarPresión máxima de trabajo 1 bar, (2 bar absoluto)Capacidad eléctrica 10 A resistiva, 5 A inductiva a 250 V c.a.Conector eléctrico Tipo 283 mPmVolumen interno 7 cm3
Materiales al vacío Acero inoxidableVelocidad de fugas < 1 × 10-9 mbar I s-1
Clasificación del alojamiento IP52Peso 0,7 kgConexión de vacío NW16Accesorios suministrados Toma de contacto eléctrico tipo 183 mPm
1 El punto de control varía con la presión barométrica
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDOInterruptor de enclavamiento de vacío IS16K D05914000
51 (2.01)
Ø102 (4.02) 58 (2.28) 26
5 6 ( 2 . 2
1 )
A
NW16
(1.02)
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INDICADORES VACUSTATMcLEOD 1 A 10-3 mbar
Indicadores Vacustat McLeod
Modelo Vacustat 1• Indicador miniatura McLeod• Funcionamiento simple• Puede montarse en un banco de trabajo, panel o sistema (modelo 2G)
La familia de indicadores Vacustat de BOC Edwards está formada por tresindicadores miniatura McLeod diseñados para tareas generales industriales ode laboratorio.
El indicador se posiciona, por lo general, con el capilar de medición y la escalaen sentido horizontal. Para tomar una medición, el cabezal se rota a 90° de susello rotativo para enderezar el tubo y la escala. La rotación permite que elmercurio se mueva dentro del vidrio y aísle un volumen fijo del gas cuyapresión debe medirse. El gas atrapado se comprime entonces en el tubocapilar cerrado. Cuando el mercurio en el capilar abierto está al nivel de lamarca del cero en la escala de medición, se determina la presión del sistemapor la altura de la columna de mercurio en el capilar cerrado contra la escala
(la cual se calibra directamente en mbar).Modelo 1: puede ser autónoma o montarse en un panel, mide desde10 a 10-2 mbar
Modelo 2: puede ser autónoma o montarse en un panel, mide desde10 a 1-3 mbar
Modelo 2G: es un indicador liviano de vidrio para montar directamentesobre el sistema de vacío. Mide desde 1 a 10-3 mbar
Modelo Vacustat 2G
DATOS TÉCNICOS
RangoModelo 1 10 – 10-2 mbarModelo 2, Modelo 2G 1 – 10-3 mbar
Carga de mercurioModelo 1 97 gModelo 2, Modelo 2G 140 g
Peso sin mercurioModelo 1, Modelo 2 900 gModelo 2G 85 g
DimensionesTablero del Modelo 1 y Modelo 2 105 × 180 mmAltura del Modelo 1 y Modelo 2 220 mmModelo 2G 87 × 159 mm
Espacio necesario para la rotaciónModelo 1, Modelo 2 110 mmModelo 2G 95 mm
Conexión de vacíoModelo 1, Modelo 2 BOC Edwards SC5Modelo 2G Cono B14 (macho)
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSNo se suministra una carga de mercurio con estos elementos ni tampoco está disponible a
través de BOC Edwards.DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Modelo Vacustat 1 D06313000
Modelo Vacustat 2 D06314000
Modelo Vacustat 2G D06405000
Modelo 1 y Modelo 2 suministrados con: Anillo "O" SC5 , Portador del anillo "O" y tuerca,adaptador de la boquilla para un tubo de goma de 7 mm. Modelo 2G suministrado con elcono B14 (hembra) y la barra de fijación
REPUESTOS NÚMERO DE PEDIDO
Vidrio del cabezal de calibre
Modelo Vacustat 1 D06301001
Modelo Vacustat 2 D06303001
Modelo Vacustat 2G D06402001
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EQUIPO DE CALIBRACIÓNEquipo de calibración
EC6ST – SISTEMA DE CALIBRACIÓN DE6 PUERTOS
EC6ST – Sistemadecalibración de 6puertos
Características y ventajas• Permite a los fabricantes cumplir con las normas de calidad como
ISO 9000• Calibración de 1000 mbar a 10-6 mbar por comparación directa con los
indicadores de referencia maestros, atribuible a las normas nacionales• Funcionamiento simple• Calibración simultánea de varios indicadores• Cuenta con una función de desecado para reducir los tiempos del ciclo
Los sistemas de calibración de indicadores de BOC Edwards están diseñadospara permitir que los usuarios de los indicadores cumplan con las normas decalidad, como ISO 9000, las cuales son cada vez más especificadas por losestablecimientos comerciales, militares y gubernamentales. Estas normasexigen una calibración regular del equipo de medición utilizado en los procesosde producción.
La mayoría de los procesos de vacío se llevan a cabo dentro del rango depresión de 1000 mbar a 10-6 mbar y los instrumentos que requieren unacalibración más frecuente son los indicadores tipo cápsula, los deconductividad térmica (por ejemplo, los indicadores Pirani y determoacoplamiento), de magnetrones y los indicadores de ionización decátodo caliente.
El sistema de calibración consiste en una cámara de seis puertos con unatrampa de frío con nitrógeno líquido. la cámara puede aislarse de la bombaturbomolecular por medio de una válvula de aislamiento operadamanualmente.
La cámara entra en una "etapa preliminar" gracias a una bomba rotativaconectada a la cámara por medio de una válvula accionada eléctricamente.Cuando la bomba no está poniendo la cámara en esa "etapa preliminar", seutiliza como bomba "de refuerzo" para la bomba turbomolecular.
El gas de calibración se admite en el sistema por medio de una tubería delgada,que descarga gas en la parte superior de la cámara, con forma de domo. El flujode gas se controla por medio de una válvula tipo aguja de control fino operadamanualmente, a la cual está conectado el suministro de gas.
La calibración se realiza al conectar los indicadores de prueba a la cámara yevacuarla a una presión base de al menos una década y media por debajo delpunto más bajo a calibrar. La válvula de entrada de gas de calibración se utilizaentonces para incrementar la presión, tomando notas de las lecturas delindicador de prueba comparadas con las del indicador de referencia maestro.
DATOS TÉCNICOS
Presión base(trampa de frío vacía)
5 x 10-8 mbar tras 5-10 horas (por lo general)
Volumen de la cámara 5 litrosPuertos de prueba Total 6, 4 puertos utilizados por indicadores de
referenciaControl de entrada de gas Válvula tipo aguja de control finoControl de presión del sistema Control manual de la entrada de gas y velocidad
de bombeoIndicadores de referencia 1 x 10-6 a 5 x 10-3 mbar (indicador iónico)
1 x 10-3 a 1 mbar (Barocel con rango de 1 mbar)
0,1 a 10 mbar (Barocel con rango de 10 mbar)1 a 1000 mbar (Barocel con rango de 1000 mbar)Nota: Están disponibles a solicitud otrosindicadores.
Bombas de vacío Bomba turbomolecular EXT250, DN100CFBomba rotativa RV5
Temperatura de desecado 90 °CDimensiones ver diagramaPeso
embalado 400 kgsin embalar 300 kg
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
EUROPA AMÉRICA DELNORTE
EC6ST – Sistema de calibración de 6 puertos(230 V 50 Hz)
D15487000 N/D
EC6ST – Sistema de calibración de 6 puertos(115 V 60 Hz)
D15488000 N/D
900 (35.43)
9 8 0 ( 3 8 . 5 8 )
1300 (51.18)
1 6 0 0 ( 6 2 . 9 9 )