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ZX Series
真空ユニット
エジェクタシステム・真空ポンプシステム対応
特長・用途例 P.864エジェクタユニット基本仕様 P.865
型式表示方法 P.866供給弁・破壊弁の組み合わせ P.868構造図 P.869エジェクタユニット P.870バルブユニット P.872サクションフィルタユニット P.874真空用圧力スイッチユニット P.875外形寸法図/バルブユニットなし P.881外形寸法図/供給弁・破壊弁組み合わせK1、K3、K6、K8、J1、J2タイプ P.882~893マニホールド仕様 P.894外形寸法図 P.896~901
型式表示方法 P.902供給弁・破壊弁の組み合わせ P.904構造図 P.905バルブユニット P.906サクションフィルタユニット/真空圧力スイッチユニットP.907外形寸法図/供給弁・破壊弁の組み合わせK1、K3、K6、K8タイプ P.908~915マニホールド仕様 P.916外形寸法図 P.918~923
エジェクタシステム/単体、マニホールド P.924真空ポンプシステム/単体、マニホールド P.926単体からマニホールド組換 P.928
供給弁・破壊弁の標準外組み合わせ P.930
高消音タイプサイレンサアッシ P.934
100gまでの電子部品、小物精密部品に
モジュール設計による最適機能組み合わせ可能使用目的に応じて、必要な機能を自由に組み合わせることが可能です。
lNDEX……………………………………………
…………………………
………………………………………………………………………
…………………………………………………………………………………………
……………………………………………………………………………………………………………………
………………………………………………………
………………………………………
………………………………………………………………………
………………………………………………………………………………………………
………………………………………………………………
………………………………………
……………………
……………………………
…………………………………
エジェクタシステム
真空ポンプシステム
ユニット構成
オーダーメイド仕様13
2
[オプション]
863
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
A
エジェクタシステム対応 エジェクタシステム対応
フルセット
真空ポンプシステム対応
用途例
フルセット
チップボンディング チップマウンタ 極小部品の吸着搬送 印刷機への紙送り
単体
100gまでの電子部品、小物精密部品にモジュール設計による最適機能組み合わせ可能使用目的に応じて、必要な機能を自由に組み合わせることが可能です。
コンパクト、軽量(機能フルセット時120g)によりアクチュエータ取付に最適
エジェクタノズル径ø0.5~ø1.0(吸込流量5~22l/min(ANR))から選定
真空ユニット エジェクタシステム・真空ポンプシステム
ZX SeriesZX Series
864
単体
マニホールド
・真空ポンプシステムのマニホールドの手配方法についてはP.916をご参照ください。・組換用ユニットの手配方法についてはP.924~927をご参照ください。
・各ユニットの詳細仕様については、P.870~880をご参照ください。・エジェクタシステムの単体の手配方法についてはP.866、867をご参照ください。・エジェクタシステムのマニホールドの手配方法についてはP.894をご参照ください。・真空ポンプシステムの単体の手配方法についてはP.902、903をご参照ください。
システム対応 エジェクタシステム
構成機器 項目
ノズル径 mm 0.5
一般用圧力スイッチ 吸着確認スイッチ
0~-101kPa -20kPa~-101kPa
3%以下
DC24V
2~25 0.3~1.2
一般用圧力スイッチ 吸着確認スイッチ
0~-101kPa -20kPa~-101kPa
0.5kPa
DC24V
2~25 0.3~1.2
0.7 1.0
5 10 22
13 23 46
-84kPa
内蔵サイレンサ・マニホールド排気個別排気ポート(Rc )
最大吸込流量 l/min(ANR)
空気消費量 l/min(ANR)
最高真空圧力
構成機器
制御方式
操作方式
電源電圧
シリーズ
設定圧力範囲
応差
通用パッド径 mm
供給電圧
供給弁、破壊弁
N.C.、N.O.
電磁弁、エアオペレート
DC3、5、6、12、24V、AC100、110V(50/60Hz)
空気供給接続口径
真空パッド接続口径
空気供給接続口径
排気ポート接続口径共通仕様
外部パイロット接続口径
連数
M5(標準)、M6(準標準)
M5(標準)、M6(準標準)
Rc
Rc
M5
Max.8連
マニホールド
単体
マニホールド
単体
使用圧力範囲 負圧~0.5MPa
30μm
排気方式
P.866~901
真空ポンプシステム
P.902~929
エジェクタユニットZX1シリーズ
バルブユニットZX1-V
真空圧力スイッチユニットZSシリーズ
サクションフィルタユニットZX1-F
1 8
1 8
1 8
エジェクタユニット基本仕様
OrderMade オーダーメイド仕様
(詳細→P.930~934をご参照ください。)
ろ過度
ZX Series
865
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
ZX1
ZX1
1エジェクタユニット
バルブユニットNCタイプ
真空スイッチユニット 10
110
5 L Z E CK1エジェクタユニット
バルブユニットNOタイプ
真空スイッチユニット 5 L Z E CK3
ZX1 110エジェクタユニット
真空スイッチユニット E C
ZX1 110エジェクタユニット
フィルタユニット F
エジェクタユニットノズル径
エジェクタ排気方式
供給弁・破壊弁の組合わせ
パイロット弁仕様
電磁弁定格電圧
リード線取出し方法
ランプ・サージ電圧保護回路
手動操作真空スイッチユニット
フィルタユニット
真空スイッチ
リード線取出し方法
PV・Vポート管接続口径
破壊流量調整ニードル
0507
0.5mm
0.7mm
10 1.0mm
無記号DC:1Wタイプ(ランプ付:1.05W)
ACタイプ
※YDC:0.45Wタイプ(ランプ付:0.5W)
PV・Vポート管接続口径
CE対応
無記号Y
M5×0.8
M6×1(準標準)
※1注)※3注)
AC100V50/60Hz
AC110V50/60Hz
5 DC24V
6 DC12V
V DC6V
S DC5V
R DC3V
無記号エアオペレート
(K6、K8、J3、J4、D3、D4に適用)
手動操作無記号
Bノンロック式プッシュ式ロック式ドライバ操作形
ランプ・サージ電圧保護回路無記号
※S
なしZ ランプ・サージ電圧保護回路付
サージ電圧保護回路付
真空スイッチユニット/フィルタユニットの場合無記号
EE55
PS注)PB注)
F
真空用圧力スイッチ(一般用)(ZSE2)(NPN仕様)真空用圧力スイッチ(一般用)(ZSE2)(PNP仕様)
なし
ノズル径ø0.3~0.7
ノズル径ø0.5~1.2
サクションフィルタのみ
サクションフィルタ付吸着確認スイッチ
(ZSP1)
真空スイッチリード線取出し方法無記号
Lリード線長さ0.6mグロメット
タイプ
コネクタタイプ
リード線長さ3m
C リード線長さ0.6m
CLCN
リード線長さ3m
コネクタなし (リード線も付いていません。)
¡コネクタ付リード線品番についてはP.867の表3をご参照ください。
真空用デジタル圧力スイッチユニットの場合(ZSE3)
D
21222324
2出力/アナログ出力なし2出力/アナログ出力付
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
LLN
リード線長さ0.3m
M型プラグコネクタタイプ
L型プラグコネクタタイプ
リード線なし(DCのみに適用)
MNMO
リード線なし(DCのみに適用)
グロメットタイプ
GH
無記号
コネクタなしリード線長さ0.3m(DCのみに適用)リード線長さ0.6m(DCのみに適用)エアオペレート
LO コネクタなしM リード線長さ0.3m
注)アナログ出力付のタイプはグロメットタイプのみです。
注)PS, PBのCE対応品はありません。
注1)ポート排気をマニホールドでご使用される場合、パイロットエキゾーストは集合排気されますのでマニホールドベースのエキゾーストポートは開放状態で使用してください。
注2)本製品をマニホールド仕様集合排気にて使用される際、作動しているエジェクタと作動していないエジェクタがある場合、作動しているエジェクタの排気エアが作動していないエジェクタの真空ポートにまわり込みエアを出力してしまいます。エジェクタの排気方法をサイレンサ排気もしくはポート排気仕様を選定してください。
※ACの場合/Sタイプはありません。DCの場合(サージ電圧保護回路)極性を間違えますとダイオードまたはスイッチング素子の焼損を招く場合がありますので十分ご注意ください。
注)供給弁・破壊弁の組み合わせが、K1・J1の場合、Mプラグコネクタタイプは取付きません。
リード線取出し方法
電磁弁定格電圧
1 サイレンサ付ポート排気Rc
集合排気(マニホールドのみ)
エジェクタ排気形式
注)1, 3のCE対応品はありません。※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタAss’yが、付属されています。
パイロット弁仕様
バルブユニット/供給弁・破壊弁組み合わせP.867の表1をご参照ください。
※ 0.45WタイプはDC24、12Vのみとなります。
1 8
エジェクタユニットノズル径
・コネクタ付リード線品番についてはP.867表2をご参照ください。・マニホールドの手配方法についてはP.894をご参照ください。・組換用ユニットの手配方法についてはP.924、925をご参照ください。
構成機器
破壊流量調整ニードル無記号
Lロックナット無ロックナット付
無記号Q
―CE対応品
注意
注意サージ電圧保護回路
ランプ・サージ電圧保護回路
ACタイプの場合、整流器を介して、DCソレノイドを使用しています。ご使用の際は必ず、整流器付コネクタAss'yと専用ソレノイドを組み合せてください。他の組合せでは、コイル焼損、作動不良等のトラブルを生じます。
本製品に組み込まれているフィルタは簡易的なものです。ダストの多い環境等にて使用される場合、ユニットのフィルタでは目詰りが早くなるためZFA, ZFB, ZFCシリーズとの併用をおすすめします。
DCの場合極性をコネクタの+、-表示に合せて接続してください。極性を間違えますとダイオードまたは、スイッチング素子の焼損を招く場合がありますので十分にご注意ください。あらかじめ、リード線が接続されている場合には+赤、-黒となっています。
ACの場合整流器Ass'yによりサージ電圧の発生を防いでいますので、サージ電圧保護回路付はありません。
型式表示方法
真空ユニットエジェクタシステム
ZX Series
2注1)
3注2)
L
OrderMade オーダーメイド仕様
(詳細→P.930~934をご参照ください。)
[オプション]注)CE対応品は型式表示方法をご確認ください。
CE対応――●●●●●
―
CE対応●●●――●
(エアオペレート部除く)
866B
3A36VJ10
無記号6
1015202530
0.3m(標準)0.6m1m1.5m2m2.5m3m
1A36VJ10
(DCのみ適用)
(AC100Vのみ適用)
(AC110Vのみ適用)
4A20VJ10
リード線長さ
6
6
6無記号
3050
0.6m3m5m
リード線長さ
5A10ZSコネクタAss'y品番 ZSE2用ZSP1用
5A20ZS
手配方法リード線長さが600mm以上の真空ユニットを必要な場合には、コネクタなしの真空ユニットの品番とコネクタAss'yの品番を併記してください。例)ZX1051-K15L0Z-EC(-Q)……………1ケ
*VJ10-20-4A-6 …………………………2ケ
注)リード線長さが3mのスイッチを発注する場合には、コネクタなしのスイッチとコネクタ付リード線の品番を併記してください。
例)ZX1051-K15L0-ECN(-Q)… 1ケ
*VJ10-20-4A-6 ………………2ケ*ZS-10-5A-50…………………1ケ
ノズル径(mm)
0.5
0.7
1.0
エジェクタ排気形式
サイレンサ付 DC24Vプラグコネクタタイプ
ランプ・サージ電圧保護回路付
一般用真空圧力スイッチ(ZSE2)
コネクタタイプ
電磁弁定格電圧
リード線取出し方法
ランプ・サージ電圧保護回路
真空スイッチユニット
真空スイッチリード線取出し方法
供給弁・破壊弁組合せ供給弁
(パイロット弁)N.C.
(VJ114)N.O.
(VJ324M)N.C.
(VJ114)N.O.
(VJ324M)N.C.
(VJ114)N.O.
(VJ324M)
N.C.(VJ114)N.C.
(VJ314)N.C.
(VJ114)N.C.
(VJ314)N.C.
(VJ114)N.C.
(VJ314)
破壊弁(直動弁)
型式
ZX1051-K15LZ-EC
ZX1051-K35MZ-EC
ZX1071-K15LZ-EC
ZX1071-K35MZ-EC
ZX1101-K15LZ-EC
ZX1101-K35MZ-EC
エジェクタシステムの代表的な推奨型式/下記型式は短納期品となります。
ZX1□□□-K15LZ-E□ ZX1□□□-K35MZ-E□
表2.バルブユニットコネクタ付リード線 表3.真空スイッチコネクタ付リード線
表1.バルブユニット/供給弁・破壊弁の組み合わせ(詳細仕様はP.868をご参照ください)バルブユニット構成機器
供給弁
電磁弁(N.C.)
電磁弁(N.C.)
電磁弁(N.O.)
電磁弁(N.C.)
エアオペレート(N.C.) 外部破壊
なし
なし
エアオペレート(N.O.)
エアオペレート(N.C.)
電磁弁(N.C.)電磁弁(N.O.)
破壊弁記号
K1 ●
ー
ー
ー
●
ー
ー
●
ー
ー
ー
●
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー 82
132
58
132
77
100
ー
ー
ー
●
●
K3
K6
K8
J1
J2
無記号 バルブユニットなし
電磁弁供給弁 破壊弁
質量(g)N.C.(VJ114)
N.O.(VJ324)
エアオペレートN.C.
(ZX1A)N.O.
(VJA324)
電磁弁N.C.
(VJ114)N.C.
(VJ314)
エアオペレート 外部破壊N.C.
(VJA314) ZX1Aなし なし
※エアオペレートは外部からの3ポート弁にて制御。※外部破壊は外部2ポートより直接破壊します。
ZSE3用
*が組み込み品番になります
867
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
A
供給弁(N.C.)電磁弁ONOFFOFF
OFFONOFF
電磁弁破壊弁(N.C.)操作
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
供給弁(N.O.)エアオペレート弁
OFFONON
OFFONOFF
エアオペレート弁破壊弁(N.C.)操作
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
供給弁(N.O.)電磁弁OFFONON
OFFONOFF
電磁弁破壊弁(N.C.)操作
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
供給弁(N.C.)電磁弁ONOFFOFF
なし破壊弁操作
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
供給弁外部3ポート弁
ONOFFOFF
OFFONOFF
外部2ポート弁破壊弁操作
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
供給弁(N.O.)電磁弁OFFONOFF
なし破壊弁操作
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
組み合わせ記号K1
操作方法
用途:電気信号により、制御する場合に使用します。
組み合わせ記号K3
操作方法
用途:電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。
組み合わせ記号K8
操作方法
用途:エア信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。
組み合わせ記号 J1
操作方法
用途:電気信号により、制御する場合に使用します。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。
組み合わせ記号K6
操作方法
用途:エア信号により、制御する場合に使用します。
組み合わせ記号 J2
操作方法
用途:電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジエクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。
エジェクタシステム/供給弁・破壊弁の組み合わせ
破壊圧供給ポート(PD)
破壊エア供給(D)
空気圧出力ポート(A)
パイロット圧排気(PE)
パイロット圧供給ポート(PS)
空気圧供給ポート(PV)
868
ZX Series
エアオペレート N.C.(ZX1A) ZX1A- K6
適用バルブ組み合わせ
ZX1-VJ3 4 -
ZX1-VJA3 4
ZX1-VJ114- K1、J1
K3、J2
K8
型式番号構成機器
q
w
e
r
供給弁 破壊弁電磁弁N.C.(VJ114)電磁弁N.O.(VJ324)エアオペレートN.O.(VJA324)
電磁弁N.C.(VJ114)電磁弁N.C.(VJ314)エアオペレートN.C.(VJA314)
12
12
ZL5ZX1
VJ3
VJ114
ZL42 5ZX1
ランプ・サージ電圧保護回路ボディオプション
手動操作方法
リード線取出し方
定格電圧
切換方式
※プラグコネクタのみに適用
無記号
DC:0.45Wタイプ(ランプ付:0.5W)
ACタイプ
DC:1Wタイプ(ランプ付:1.05W)
※Y
※0.45WタイプはDC24、12Vのみとなります。注)ZXシリーズ用VJ100、VJ300は、ビスの長さが標準品と異なります。
〈ビスの長さ〉VJ100ーM1.7×15VJ300ーM1.7×22
パイロット弁仕様
注)ノーマルクローズの場合、無記号のパイロット弁個別排気形です
注)ZX1-VJ114の場合、M・MN・MOは不適当です。
注)ZX1-VJ324M-□ZX1-VJ314-□のみの対応となります。
エジェクタシステム/構造図
表2.電磁弁/型式表示方法
表1.パイロット弁/型式表示方法
材質
ー
PVF
ーーーーー
部品品番表1、表2、表3をご参照ください
表4をご参照くださいZX1-FE
番号 部品名
9
10
11
フィルタエレメント
パイロット弁エアオペレート
エジェクタアセンブリZX1-FG12 ガスケットZX1-SAE13 サイレンサエレメントZX1-PK14 パッキンセット
ZX1-HS2-□(□はノズル径)(7,13)サイレンサAss'y
注)フィルタケース取扱い上のご注意1)ケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油(アルカリ性)等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。
2)直射日光を避けてご使用ください。
交換部品
ポートサイズ
M3ZX1A
M3M5
M3×0.5 パイロットポート外部破壊ポートM5×0.8
表3.エアオペレートタイプ/型式表示方法
123
サイレンサ排気ポート排気集合排気型
050710
0.5mm
0.7mm
1.0mm
05ZX1 1DWエジェクタ形式(排気方式)
エジェクタユニットノズル径
アセンブリ品番
表4.エジェクタアセンブリ/型式表示方法
※アセンブリにアダプタを組付けることによりユニットとなり、PVポート、Vポートの接続が可能となります。
¡組み合わせ使用/ZX1-WD
¡アダプタを付けて単体使用/ZX1-W
エジェクタアセンブリ
注意破壊流量調整ニードルの調整は、時計回りで、破壊流量は絞られ、止まったところで全閉となります。全閉状態から反時計回りで、2回転しますと全開となります。4回転以上回しますと、ニードルが外れますのでご注意してください。また緩み止め対策品としてロックナット付破壊流量調整ニードル(ZX1-ND-L)を用意しておりますので御検討ください。
材質ー
ステンレス鋼アルミニウム
ーーーー
ポリカーボネート
備考ZX1-PV-0
ZX1-NA
ZSE2、ZSP1、ZSE3
ZX1-VA -D-
(PV PS PD)
番号 部品名1
2
3
4
5
6
7
8
ポペット弁Ass'y
破壊流量調整ニードルマニホールドベース真空スイッチバルブユニットインタフェイスプレートサイレンサケースフィルタケース注)
構成部品!4
!3
!4 !4
!4
!2!4
!4
ノンロックプッシュ式ロック式ドライバ操作形
無記号B
N.C.(ノーマルクローズ)N.O.(ノーマルオープン)
12
AC100VAC110VDC24VDC12VDC6VDC5VDC3V
※1※3
56VSR
コネクタ(0.3m)コネクタ(リード線なし)コネクタなしコネクタ(0.3m)コネクタ(リード線なし)コネクタなしグロメット(0.3m)グロメット(0.6m)
LLNLOMMNMOGH
パイロット弁個別排気形主弁パイロット弁集合排気形
無記号M ランプ・サージ電圧保護回路なし
サージ電圧保護回路付ランプ・サージ電圧保護回路付
無記号SZ
869
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
A
ユニット品番 ZX1-W05 0.5
5
13
記号q
記号w
0.7
10
23
ー84kPa
0.7MPa
0.2MPa~0.55MPa
0.45MPa
5~50℃サイレンサ内蔵・・・・・・単体・マニホールド用ポート排気・・・・・・・・・・単体・マニホールド用サイレンサ内蔵35g、ポート排気45g
ブラケットB(ZX1-OBB)
1.0
22
46
ノズル径 mm
最大吸込流量 l/min(ANR)空気消費量 l/min(ANR)最高真空圧力最高使用圧力供給圧力範囲標準供給圧力使用温度範囲※形式(エジェクタ排気方法)質量標準装備
12 ZX1-W07 12 ZX1-W10 12
※記号q、wは型式表示方法のエジェクタ排気方法を表します。
エジェクタ排気方法
PV、Vポートの管接続口径ノズル径
W 105ZX1
仕様
外形寸法図/ZX1-W□□
型式表示方法
12
エジェクタユニット
注1)外部破壊を行う場合プラグを外してください。 注2)※寸法は、ブラケットB取付時の寸法です。
0.5mm
0.7mm
1.0mm
050710
1 8
サイレンサポート排気Rc
12
M5×0.8
M6×1(準標準)無記号
Y
3
50
13 (33.2)
※48.2
17
17.5
※5.4
※ (55.4)
8
※1
※47
27
※8
※20
※11.5
18
6
10
ポート排気サイレンサ排気
ポート排気の場合
排気ポート(EXH.)Rc1/8
表示記号
P
PD
V
2×ø3
(取付穴)
2×ø3.6
(取付穴)
ブラケットB
ZX1-OBB
(標準装備)
真空ポート(V)M5(またはM6)
注1)
破壊圧供給ポート(PD)M5(またはM6)プラグ
空気圧供給ポート(P)M5(またはM6)
V
P
PD
870
ZX Series
A
排気特性 流量特性
流量特性・排気特性 流量特性は供給圧力が0.45MPaの時のものです。
ZX1-W07
排気特性 流量特性
ZX1-W05 流量特性の図の見方
排気特性 流量特性
ZX1-W10
製品個別注意事項
注意
流量特性は、エジェクタの真空圧力と吸込流量の関係を表わし、吸込流量が変化すると真空圧力も変化することを示しています。一般には、エジェクタの標準使用圧力での関係を示しています。図で、Pmaxは最高真空圧力、Qmaxは最大吸込流量を示しています。カタログ等で仕様として掲載されている値はこの値です。真空圧力の変化のしかたについて、順を追って説明します。qエジェクタの吸込口を塞ぎ、密閉すると吸込流量は0となり、真空圧力は最高(Pmax)となります。
w吸込口を序々に開き、空気が流れる(空気が漏れる)ようにすると、吸込流量は増加しますが、真空圧力は低くなります。(P1とQ1の状態)
eさらに吸込口を開け、全開とすると、吸込流量は最大(Qmax)となりますが、この時の真空圧力はほとんど0(大気圧)となります。このように、吸込流量が変化すると、真空圧力も変化します。言い換えますと、真空ポート(真空配管)に漏れがない場合は真空圧力は最高となりますが、漏れ量が増えるに従って真空圧力が低下し漏れ量と最大吸込流量が等しくなると真空圧力はほとんど0となります。通気性のあるワークや漏れのあるワークを吸着させる場合は、真空圧力があまり高くなりませんので注意が必要です。
ZXの選定およびサイジングについては、P.825~P.843真空用機器機種選定方法をご参照ください。
ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意については前付38、39、真空用機器/共通注意事項についてはP.844~846をご確認ください。
871
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
バルブユニット/ZX1-VA
定格電圧VJ114
DC24・12・6・5・3V、※AC100・※110V(50/60Hz)L形コネクタ、グロメット L形コネクタ、M形コネクタ、グロメット
あり、なしノンロックプッシュ形、ロック式ドライバ操作形
VJ314, VJ324
リード線取出し方法ランプ・サージ電圧保護回路手動操作※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタAss'yが付属されています。
ZX1 V A K1 5 L Z
PV、Vポートの管接続口径
手動操作
ランプサージ電圧保護回路
リード線取出し方法
パイロット弁仕様定格電圧
システム対応
供給弁破壊弁組合せ
破壊流量調整ニードル
CE対応
型式表示方法/詳細はP.866をご参照ください。
ユニット品番 ZX1-VA - (-Q)構成
操作方法
Cv値 0.17主弁 ー動作圧力 0.3~0.6MPa
5Hz
5~50℃
ブラケットC(ZX1-OBC)
最大作動頻度使用温度範囲インタフェイスプレート記号標準装備品
供給弁 破壊弁直動方式パイロット方式
電磁弁 電磁弁エアオペレートN.C.
(VJ114)N.O.
(VJ324M)N.C.
(VJ314)N.C.
(VJ114)0.08 0.008
N.C.(VJA314)
外部破壊
(ZX1A)N.C.
(ZX1A)N.O.
(VJA324)
エアオペレート
PV PS PD
型式/仕様
電磁弁仕様
電磁弁形式
エジェクタシステム真空ポンプシステム
AB
※ZX1-VB□□の仕様についてはP.906をご覧ください。
バルブ型式
破壊弁
供給弁電磁弁
N.C.(VJ114)電磁弁
N.C.(VJ114)電磁弁
N.C.(VJ314)外部破壊(ZX1A)
エアオペレートN.C.(VJA314)
なし
電磁弁N.O.(VJ324M)
エアオペレートN.C.(ZX1A)
●K1〔82〕
●K5〔73〕
●D1〔77〕●
D2〔100〕●
D3〔41〕●
D2〔100〕
●K3〔132〕
●K2〔73〕
●K6〔58〕
●K4〔119〕●
J2〔100〕●
J1〔77〕●
J3〔41〕
なし
ー
ーー
ー
ー
ー
ー
〔 〕の数値は質量(g)です。
872
ZX Series
A
AC100Vの場合は、整流器付コネクタAss'yが付属されています。
AC100V用コネクタAss'y
36 AVJ10
1
3
AC100V50/60HzAC110V50/60Hz(AC115V/60Hz)
青(2本)記号 定格電圧 リード線の色
灰(2本)
無記号61015202530
300記号 L mm
60010001500200025003000
定格電圧 リード線の長さ
整流器付コネクタAss'y品番
バルブユニット
N.C.タイプ
回路図
回路図
N.O.タイプ
注)※寸法はブラケットCの取付時、※※寸法はスペーサの取付時の寸法です。
空気圧出力
ポート(A)
破壊圧出力
ポート(D)
空気圧供給
ポート(PV)
パイロット圧
排気ポート(PE)
空気圧供給ポート(PV)
空気圧供給ポート(PV)
破壊圧出力ポート(D)
空気圧出力ポート(A)
破壊圧出力ポート(D)
空気圧出力ポート(A)
パイロット圧排気ポート(PE)
供給用パイロット弁
パイロット圧排気ポート(PE)
供給用パイロット弁
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
A
873
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
注)使用圧力範囲外および使用温度範囲外でのご使用は故障の原因となります。
フィルタ
ユニット品番使用圧力範囲使用温度範囲ろ過度ろ材質量
ZX1-F-100~500kPa
5~50℃30μm
PVF
35g
標準装備 ブラケットA(ZX1-OBA)
仕様
フィルタケースについて 本製品について注意
注)※寸法はブラケットAの取付時の寸法です。
サクションフィルタユニット/ZX1-F
qケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油(アルカリ性)等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。
w直射日光を避けてご使用ください。
本製品は簡易的なフィルタです。ダストの多い環境等において使用される場合、本製品では目詰まりが早くなると考えられるためZFA等、容量の大きいフィルタを選定してください。
表示記号
VPV
874
ZX Series
A
-15NPNオープンコレクタ -55PNPオープンコレクタ
主回路
DC12~24V負荷MAX80mA
+
-
主回路
DC12~24V負荷+
-MAX30V,80mA
DC(+)茶
OUT黒
DC(-)青
DC(+)茶
OUT黒
DC(-)青
LED赤 LED赤
真空圧力スイッチユニット/真空用圧力スイッチ:ZSE2-0X
ユニット品番使用流体設定圧力範囲応差繰り返し精度温度特性使用電圧管接続口径
ZSE2-0X空気
0~ー101kPa
3%F.S.以下±1%F.S.以下±3%F.S.以下
DC12~24V(リップル±10%以下)M5×0.8、M6×1(準標準)
質量 50g
出力 オープンコレクタ30V、80mA
動作表示灯 ON時点灯消費電流 17mA以下(DC24V ON時)使用温度範囲 0~60℃最高使用圧力 0.5MPa※
※エジェクタ使用の場合、瞬間的に0.5MPaの圧力が加わっても問題ありません。注)使用圧力範囲外および使用温度範囲外での使用は故障の原因となります。
一般用真空圧力スイッチ
型式表示方法
配線ZSE2の接続方法
高速応答/10ms小型サイズ/39H×20W×15D
(標準形接続部を除く)
配線性向上/コネクタタイプ拡散型半導体圧力センサ使用
圧力検出部(シリコン拡散型半導体センサを使用)
真空圧力の設定方法
qケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油(アルカリ性)等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。
w直射日光を避けてご使用ください。
ZSE2の場合¡圧力設定トリマでON圧力を設定します。時計回りで高真空の設定となります。
¡吸着確認に使用する場合には、確実に吸着できる真空圧力の最低値に設定します。それ以下に設定した場合吸着ミスや、不十分な吸着状態でもスイッチがONしてしまいます。また、高すぎる設定では、吸着が良好でも、スイッチがONしない場合がありますのでご注意ください。
¡フィルタケースについて注意
真空圧力設定の際は、次のことを注意してください。ドライバは指先で軽く回すようにしてください。ドライバは握り部が大きいものや先端幅がトリマ溝に合わないものは、トリマ溝を破損させる恐れがありますので、使用しないでください。
¡設定について注意
確実に吸着
吸着不安定
吸着しない0大気圧
設定圧力
高真空
供給圧力
PV、Vポートの管接続口径
出力仕様
リード線取出方法
0X 15ZSE2
M5×0.8
M6×1(準標準)無記号
Yグロメット(0.6m)グロメット(3m)コネクタ(0.6m)コネクタ(3m)コネクタなし
無記号LC
CLCN
NPNオープンコレクタ30V 80mA
15
55 PNPオープンコレクタ30V 80mA
本製品に組み込まれているフィルタは簡易的なものです。ダストの多い環境等にて使用される場合、ユニットのフィルタでは目詰りが早くなるためZFA, ZFB, ZFCシリーズとの併用をおすすめします。
圧力スイッチ詳細仕様に関しましては圧力スイッチ・ZSE2シリーズのカタログを必ず参照してください。
875
ZX Series真空ユニット真空圧力スイッチユニット
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
B
真空用圧力スイッチ/ZSE2-0X-
表示記号
コネクタタイプ:ZSE2-0X- C
回路/ワーク吸着の場合
エジェクタの場合
真空ポンプの場合
真空圧力スイッチユニット/真空用圧力スイッチ:ZSE2-0X
真空圧力スイッチユニットの使い方設定圧力ワーク吸着確認に、使用する場合、ワークが確実に吸着する圧力に設定してください。
吸着に小径吸着ノズルを使用する場合ノズルの直径が1mm程度のON/OFFの圧力差が小さくなり、ZSE2/ZSE3では吸着確認を行えない場合があります。このような場合は、吸着確認スイッチZSP1(P.879)を検討ください。注)エジェクタ/ポンプの能力も影響しますのでご注意ください。
1つの真空源に複数の圧力スイッチを使う場合1つの真空源を分岐し、個々のラインに圧力スイッチを使用する場合には、吸着と非吸着の個数によって、真空源の圧力が変動するため、スイッチの設定値におさまらない場合があります。特に、小径ノズルでの吸着の場合には、圧力の変動による影響か大きくなります。下記対策を施してください。
¡ニードルにより、吸着・非吸着の変動圧を小さくする。
¡タンクおよび真空用減圧弁(真空調圧弁)を入れて元圧を安定させる。
¡個々に真空用切換弁を入れて、ミスが起こるとすぐにOFFすることにより他のパッドへの影響を低減させる。
1555
1555グロメットタイプ:ZSE2-0X- 15
55
5.8
リード線長さ
600
9.5
50
10 17.6
6.5
18
58
35.67
20
10
8
リード線長さ
600
250 57.6
186.5
17.610
10.2
35.67
20
2×ø3.3(取付穴)
圧力設定用トリマ 表示灯(赤) 圧力設定用トリマ 表示灯(赤)
(※)
真空圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
2×ø3.3(取付穴)
アダプタ
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空ポンプシステムヘの応用
876
ZX Series
真空圧力スイッチユニット/真空用圧力スイッチ:ZSE3-0X
出力仕様
配線仕様
0X 21ZSE3
21NPNオープンコレクタ2出力アナログ出力なしNPNオープンコレクタ2出力アナログ出力付22
NPNオープンコレクタ1出力・故障予知出力アナログ出力なし23
NPNオープンコレクタ1出力・故障予知出力アナログ出力付24
無記号 グロメットタイプリード線長さ0.6m
CN コネクタなしCL コネクタタイプリード線長さ3mC コネクタタイプリード線長さ0.6mL グロメットタイプリード線長さ3m
ただし、アナログはグロメットタイプのみです。
一般用真空圧力スイッチ
真空圧力の設定方法Best Pneumatics No.yをご参照ください。
真空圧力スイッチユニットの使い方P.876をご参照ください。
qケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油(アルカリ性)等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。
w直射日光を避けてご使用ください。
¡フィルタケースについて注意
配線
型式表示方法
故障予知出力機能内蔵真空システム(エジェクタ)のサイレンサの目詰りによる性能低下、パッドの亀裂、真空配管の洩れ等で真空到達度が低下した場合、異常をすばやく検知しシステムの停止を事前に外部に出力します。
2点の独立した圧力設定が可能真空吸着パッド径の変更により設定圧力が2出力必要な場合や正圧ラインのライン切換による2圧確認が必要な場合などに好適です。
充実した自己診断機能■過電流検知機能■過圧力検知機能■データエラー
データ保持機能専用のIC(EEPROM)を使用していますので、設定されたデータは電源を切っても10万時間(約11年)保持しています。
ユニット品番使用流体設定圧力範囲
応差
精度使用電圧管接続口径
ZSE3-0X空気
0~ー101kPa可変(0から可変)ヒステリシスモード
ウインドコンパレータモード 固定(3digits)±1%F.S.以下
DC12~24V(リップル±10%以下)M5×0.8、M6×1(準標準)
質量 50g動作表示灯 ON時点灯消費電流 25mA以下使用温度範囲 0~60℃最高使用圧力 0.5MPa
M5×0.8M6×1(準標準)
無記号Y
PV、Vポートの管接続口径
877
ZX Series真空ユニット真空圧力スイッチユニット
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
真空用圧力スイッチ/ZSE3-0X□-21、22、23、24
グロメットタイプ:ZSE3-0X□-□ コネクタタイプ:ZSE3-0X□-□C
真空圧力スイッチユニット/真空用圧力スイッチ:ZSE3-0X
表示記号
真空圧供給ポート(PV)真空ポート(V)
(取付穴)真空圧供給ポート(PV)
真空ポート(V)(取付穴)
878
ZX Series
吸着確認スイッチ/仕様小径吸着ノズル/ø0.3~ø1.2
サクションフィルタ付配線性向上/コネクタタイプ拡散型半導体センサ使用
qケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油(アルカリ性)等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。
w直射日光を避けてご使用ください。
¡フィルタケースについて
¡配線方法はZSE2と同じです。
注意
適用吸着ノズル範囲外の吸着ノズルや吸着パッドをご使用になりますと、吸着しないことがありますのでご注意ください。
¡その他注意
型式表示方法
回路と配線
適用吸着ノズル範囲グラフ1/ZSP1-S グラフ2/ZSP1-B
空気圧回路と原理
供給圧力と吸着ノズル径との関係は、下のグラフの様になります。
真空圧力スイッチユニット/吸着確認スイッチ:ZSP1-SB
ユニット品番使用流体使用圧力範囲適用吸着ノズル径
内部オリフィス径質量
応差
ZSP1-S ZSP1-B空気
ー20kPa~ー101kPa0.3~0.7mm(グラフ1参照)0.5~1.2mm(グラフ2参照)
ø0.5 ø0.80.5kPa
62g供給電圧 DC12~24V(リップル±10%以下)出力 NPNオープンコレクタ30V 80mA動作表示灯 ON時点灯消費電流 17mA(DC24V ON時)使用温度範囲 0~60℃(結露しないこと)管接続口径 M5×0.8、M6×1(準標準)
注)使用圧力範囲外および使用温度範囲外での使用は故障の原因となります。
PV、Vポートの管接続口径
配管仕様
S 0X 15ZSP1
記号S
適用適用吸着ノズル径0.3~0.7mm
B 適用吸着ノズル径0.5~1.2mm
機種
空気圧によるブリッジ回路を構成し、吸着ノズル(S4)を非吸着状態にし、調整用ニードルS2で圧力センサに加わる圧力をバランス(P1≒P2)させます。吸着ノズル(S4)に部品を吸着した時に生じる小さな差圧(P2-P1)を圧力センサにより検知します。
グロメット(0.6m)グロメット(3m)コネクタ(0.6m)コネクタ(3m)
無記号LC
CL
M5×0.8M6×1(準標準)
無記号Y
本製品に組み込まれているフィルタは簡易的なものです。ダストの多い環境等にて使用される場合、ユニットのフィルタでは目詰りが早くなるためZFA, ZFB, ZFCシリーズとの併用をおすすめします。
879
ZX Series真空ユニット真空圧力スイッチユニット
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
真空圧力スイッチユニット/吸着確認スイッチ:ZSP1- SB
応差 吸着確認調整用ニードルの設定方法応差とは、出力信号がONする圧力と、出力信号がOFFする圧力の差のことです。設定圧力はONする圧力になります。
q真空および電源を供給し、調整用ニードルを止まるまで右回転させ、全閉にします。
w吸着ノズルにワークを付けない状態で調整用ニードルを左回転させ、表示灯が点灯する位置を確認します。
ewの状態から調整用ニードルを1/4~1回転位、右へ戻します。
rワークを吸着ノズルに吸着させ吸着が確実になされた時に表示灯が点灯するように調整用二一ドルを再度調整してください。
吸着確認スイッチ/ZSP1-□0X□-15
コネクタタイプ:ZSP1-□0X□-15
注)(※)エジェクタ組み付ける場合は、アダプタをはずしてください。
真空圧供給ポート(PV)
真空ポート(V)
(取付穴)(取付穴)
880
ZX Series
バルブユニットなし
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX1□□□-E□
ZX1□□□E□P□□FD□□□
吸着確認スイッチ(ZSP1)フィルタユニット(F)
真空用圧力スイッチ(ZSE2)エジェクタユニット+
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
吸着確認スイッチの場合(P)
フィルタユニットの場合(F)
注1)外部破壊を行う場合プラグを外してください。 注2)※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法は、スペーサ1取付時の寸法です。
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX1□□□-P□□
フィルタユニット(F)の場合ZX1□□□-F
※13.6
4.210
41.6
※19
※1 ※10
29.2
620
※41
※51
※4
63.5
57.6
※※1810.259.5
50
57.154.6
6.5
17.610
18
6
10ブラケットA(ZX1-OBA)(標準装備)
圧力設定用トリマ
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
※ø3.6(取付穴)
※2×R1.8(取付穴)
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空スイッチ(ZSE2)
2×ø3.3(取付穴)
フィルタ
注1)
破壊圧供給ポート(PD)M5(またはM6)プラグ
空気圧供給ポート(P)M5(またはM6)
ポート排気の場合
Rc1/8排気ポート(EXH.)
V
P
PD
- +O
※※1
真空ポート(V)
空気圧供給
ポート(PV)
881
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX1□□□-K1□□□□-E□
ZX1□□□ K1□□□□
真空用圧力スイッチ(ZSE3)吸着確認スイッチ(ZSP1)フィルタユニット(F)
E□D□□□P□□F□無記号
スイッチ、フィルタ無し
真空用圧力スイッチ(ZSE2)
エジェクタユニット バルブユニット(K1)+ +
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
(D)
フィルタユニットの場合(F)
スイッチフィルタ無しの場合
吸着確認スイッチの場合(P)
注)※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
バルブユニット:K1タイプ
※17.6※13.6
※1 ※10※19
41.6
4.2
※ (68.6)
64.6
※※18
10.2
※15.5
59.5
18
6.5
17.610
76
28
5.8
5
4.71
78
9.3
29.2
20
※41
※51
2
21.6
10
2×ø3.3(取付穴)
ブラケットA(ZX1-OBA)(標準装備)
破壊弁VJ114
供給用パイロット弁VJ114
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空スイッチZSE2
空気圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
パイロット圧排気ポート(PE)M3
インターフェイスプレート
破壊流量調整ニードル
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
※ø3.6(取付穴)
※2×R1.8(取付穴)
エジェクタ+サイレンサ
マニュアル(ノンロック)
Rc1/8排気ポート(EXH.)ポート排気の場合
VJ114VJ114
PS1(PV PD)
PV
PS
PE
PD
V
※※1
真空ポート(V)
空気圧供給
ポート(PV)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
8(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
882
ZX Series
真空用圧力スイッチ(ZSE3)の場合ZX1□□□-K1□□□-D□□□
スペーサ1/ZX1-S1
フィルタユニットの場合ZX1□□□-K1□□□□-F
スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-K1□□□□
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX1□□□-K1□□□□-P□□
カベ取付時に製品との間に挟んで取付けます。
真空ポート(V)
真空ポート(V)
空気圧供給ポート(PV)
真空ポート(V)
パイロット圧排気ポート(PE)
供給用パイロット弁
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
A
A A
883
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX1□□□-K3□□□-E□
ZX1□□□ K3□□□□
吸着確認スイッチ(ZSP1)フィルタユニット(F)
E□P□□FD□□□無記号
スイッチ、フィルタ無し
真空用圧力スイッチ(ZSE2)真空用圧力スイッチ(ZSE3)エジェクタユニット バルブユニット(K3)+ +
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
(D)
吸着確認スイッチの場合(P)
フィルタユニットの場合(F)
スイッチフィルタ無しの場合
注)※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
バルブユニット:K3タイプ
※17.6
※ (82.5)
50.3 6178.5
41.6
4.2
10.2
※※18
4
※15.5
59.5
58
50
186.5
17.610
5.82528
154.7
※1
129.2
204151
※10※19 ※13.6
99.6
22.7
21.610
真空ポート(V)M5(またはM6)
ブラケットA(ZX1-OBA)(標準装備)
空気圧供給ポート(PV)M5(またはM6)パイロット圧排気ポート(PE)
M3
※ø3.6(取付穴)
※2×R1.8(取付穴)
2×ø3.3(取付穴)
破壊流量調整ニードル
インターフェイスプレート
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
真空スイッチZSE2
破壊弁VJ314
供給用パイロット弁(N.O.)VJ324M
Rc1/8排気ポート(EXH.)
ポート排気の場合
SMCSMC
SMCSMC
-+-+
SMCSMC
PD)PS3(PV
PV
PS
PE
PD
V
- +- +
真空ポート(V)
空気圧供給
ポート(PV)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
884
ZX Series
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX1□□□-K3□□□□-P□□
フィルタユニット(F)の場合ZX□□□-K3□□□□-F
スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-K3□□□□
スペーサ1/ZX1-S1
真空ポート(V)
真空ポート(V)
A
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
A
885
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX1□□□-K6-E□
ZX1□□□ K6
吸着確認スイッチ(ZSP1)フィルタユニット(F)
E□P□□FD□□□無記号
スイッチ、フィルタ無し
真空用圧力スイッチ(ZSE2)真空用圧力スイッチ(ZSE3)
エジェクタユニット バルブユニット(K6)+ +
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
(D)
吸着確認スイッチの場合(P)
フィルタユニットの場合(F)
スイッチフィルタ無しの場合
注)※寸法はブラケットBの取付時、※※寸法はスペーサ2の取付時の寸法です。
バルブユニット:K6タイプ
13
10
※10※1※13.6
※17.6※19
※ (63.5)
41.6
4.2
※※1810.2
※15.5
59.5
18
6.5
17.61076
28
5.8
54.71
7829.2
20
※41
※51
2
21.6
M5パイロットポート
ブラケットA(ZX1-OBA)(標準装備)
破壊用外部破壊(ZX1A)
供給用エアオペレート(ZX1A)
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空スイッチZSE2
空気圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
パイロット圧排気ポート(PE)M3
インターフェイスプレート
破壊流量調整ニードル
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
※ø3.6(取付穴)※2×R1.8
(取付穴)
エジェクタ+サイレンサ
Rc1/8排気ポート(EXH.)
ポート排気の場合
V
PD)PS1(PV
PV
PS
PE
PD
※※1
真空ポート(V)
空気圧供給
ポート(PV)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
2×ø3.3(取付穴)
M5外部破壊ポート
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
886
ZX Series
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX1□□□-K6-P□□
フィルタユニット(F)の場合ZX1□□□-K6-F
スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-K6
スペーサ1/ZX1-S1
真空ポート(V)
真空ポート(V)
A
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
A
887
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX1□□□-K8-E□
ZX1□□□ K8
吸着確認スイッチ(ZSR1)フィルタユニット(F)
E□P□□FD□□□無記号
スイッチ、フィルタ無し
真空用圧力スイッチ(ZSE2)真空用圧力スイッチ(ZSE3)
エジェクタユニット バルブユニット(K8)+ +
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
(D)
吸着確認スイッチの場合(P)
フィルタユニットの場合(F)
スイッチフィルタ無しの場合
注)※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
バルブユニット:K8タイプ
56.5
18
6.5
17.610
59.5
58
50
2×ø3.3(取付穴)
真空スイッチZSE2
41.6
Rc1/8排気ポート(EXH.)
4.3
6
3
78.6
10
21.6
29.2
※※1
20
※41
※51
※17.6※13.6
※1 ※10※19
M3×0.5(破壊用パイロットポート)
M3×0.5(供給用パイロットポート)
エジェクタ+サイレンサ
圧力設定用トリマ
※ø3.6(取付穴)
※2×R1.8(取付穴)
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
※63.5
※4
※※1810.2
※15.5
4.2
ブラケットA(ZX1-OBA)(標準装備)
真空ポート(V)M5(またはM6)
V
50
25
154.7
28
5.8
(ノンロック)マニュアル
供給用弁N.O(エアオペレートVJA324)
(エアオペレートVJA314)
破壊用弁
空気圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
破壊流量調整ニードル
インターフェイスプレート
PD)PS3(PV
PV
PS
PE
PD
ポート排気の場合
真空ポート(V)
空気圧供給
ポート(PV)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
パイロット圧排気ポート(PE)M3
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
888
ZX Series
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX1□□□-K8-P□□
フィルタユニット(F)の場合ZX1□□□-K8-F
スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-K8
スペーサ1/ZX1-S1
真空ポート(V)
真空ポート(V)
A
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
AA
889
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX1□□□-J1□□□□-E□
ZX1□□□ J1□□□□
吸着確認スイッチ(ZSP1)フィルタユニット(F)
E□P□□FD□□□無記号
スイッチ、フィルタ無し
真空用圧力スイッチ(ZSE2)真空用圧力スイッチ(ZSE3)
エジェクタユニット バルブユニット(J1)+ +
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
(D)
吸着確認スイッチの場合(P)
フィルタユニットの場合(F)
スイッチフィルタ無しの場合
注)※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
バルブユニット:J1タイプ
※17.6※1※13.6
※10※19
25
41.6
4.2
※ (68.6)
64.6
※※1810.2
※15.5
59.5
18
6.5
17.61076
285.8
54.71
78
9.3
29.2
20
※41
※51
2
21.610
2×ø3.3(取付穴)
ブラケットA(ZX1-OBA)(標準装備)
供給用パイロット弁VJ114
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空スイッチZSE2
空気圧供給ポート(PV)M5(またはM6)パイロット圧排気ポート(PE)
M3
インターフェイスプレート
破壊流量調整ニードル
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
※ø3.6(取付穴)※2×R1.8
(取付穴)
エジェクタ+サイレンサ
マニュアル(ノンロック)
Rc1/8排気ポート(EXH.)
ポート排気の場合
PS1(PV PD)
PV
PS
PE
PD
V
※※1
真空ポート(V)
空気圧供給
ポート(PV)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
890
ZX Series
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX1□□□-J1□□□□-P□□
フィルタユニット(F)の場合ZX1□□□-J1□□□□-F
スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-J1□□□□
スペーサ1/ZX1-S1
真空ポート(V)
真空ポート(V)
A
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A A
891
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX1□□□-J2□□□□-E□
ZX1□□□ J2□□□□
吸着確認スイッチ(ZSP1)フィルタユニット(F)
E□P□□FD□□□無記号
スイッチ、フィルタ無し
真空用圧力スイッチ(ZSE2)真空用圧力スイッチ(ZSE3)
エジェクタユニット バルブユニット(J2)+ +
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
(D)
吸着確認スイッチの場合(P)
フィルタユニットの場合(F)
スイッチフィルタ無しの場合
バルブユニット:J2タイプ
注)※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
6178.5
99.6
22.7
5.8
620
※51
※41
29.2
※17.6※13.6
※1 ※10※19
50.3 59.5
58
50 ※ (82.5)
2528
51 4.7
5.8
18
6.5
17.610
※4
※※1810.2
※15.5
4.2
41.6
マニュアル(ロック式の場合は押してから回してください)
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
圧力設定用トリマ
エジェクタ+サイレンサ ※ø3.6(取付穴)※2×R1.8
(取付穴)供給用パイロット弁(N.O.)VJ324M
マニュアル
インターフェイスプレート
破壊流量調整ニードル
空気圧供給ポート(PV)M5(またはM6)パイロット圧排気ポート(PE)
M3
2×ø3.3(取付穴)
真空スイッチZSE2
真空ポート(V)M5(またはM6)ブラケットA
(ZX1-OBA)(標準装備)
Rc1/8排気ポート(EXH.)
ポート排気の場合
SMC
SMC
-+
PD)PS1(PV
SMC
PV
PS
PE
PD
V
+-
※※1
真空ポート(V)
空気圧供給
ポート(PV)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
892
ZX Series
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX1□□□-J2□□□□-P□□
フィルタユニット(F)の場合ZX1□□□-J2□□□□-F
スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-J2□□□□
スペーサ1/ZX1-S1
真空ポート(V)
真空ポート(V)
A
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
A
893
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
エジェクタシステム用/マニホールド仕様
マニホールド型式表示方法
供給ポート位置
マニホールド左右 左側 右側PV○●○
●●●
●○○
●●●
PS PV PSL(左側)R(右側)B(両側)
○供給します。 ●プラグが付いています。EXHポートは大気開放です。注)個々のバルブユニットの全てのポートには、プラグが付いています。
ポート
最大ユニット連数 MAX. 8連
1連:73gで1連増すごとに50g増加します
供給ポート〔PV〕管接続口径 排気ポート〔EXH〕
質量
(Rc, NPT, G)1 8
(Rc, NPT, G)1 8
(1)PDポートはすべてブランキングとなります。(2)ZX1103タイプのマニホールド4連以上ではEXHポートを両側排気としてください。
仕様
供給・排気ポートねじの種類
06 RZZX1供給ポート位置 ※1)連数
※1 バルブユニットを手前にして左右を判断してください。
※2 EXHポートは両側開放です。PDポートはつねにプラグが付きます。バルブのポートはすべてにプラグが付きます。
R1 1ZX1配列(バルブ側から見て右からバルブ連数の1連目)
※スペーサを交互に装着する場合には併記してご指示ください。※後付けする場合はM2.5×32(ZX用)3ヶも必要になります。また、直管個別スペーサを取付けない連数に対して、ダミースペーサ(ZX1-R16)を必ず取付けてください。
(例)1連目と3連目に装着ZZX106-R……1ケ*ZX1101-K15LZ-EL(-Q)……6ヶ
*ZX1-R1-1
*ZX1-R1-3
*ZX1-R16(ダミースペーサ)……4ケ
直管個別スペーサについて¡マニホールドからの供給、バルブユニットからの供給がポートごとに選択可能。下表、各品番ごとに 記号のポートかマニホールドからの供給になります。その他は、バルブユニットからの個別供給になります。
¡直管個別スペーサには上面に下表表示記号がプリントされております。
マニホールド化したエジェクタの供給ポートや排気ポートを個別にしたい場合には直管個別スペーサを指示してください。
※直管個別スペーサについて参照
〈マニホールドベース〉 〈直管個別スペーサ〉
(例)ZZX106-R……1ケ(マニホールドベース)*ZX1101-K15LZ-EC(-Q)…5ヶ(真空ユニット単体)*ZX1-BM1……1ケ(ブランキングプレート)
右側(右側PVポートより空気供給します。)左側(左側PVポートより空気供給します。)両側(両側PVポートより空気供給します。)
RLB
1連2連
8連
0102
08… … R1
R16
Rc
G注)
NPTF
無記号FT
…
連数全装着1連目のみ
8連目のみ
無記号1
8…
…
注)Gネジについてネジ山形状はGネジの規格(JIS BO203)に準拠しておりますが、その他の形状についてはI S O 1 6 0 3 0およびISO1179に準拠しておりません。
直管個別スペーサ
表示記号品番ZX1-R1
R2R3R4R5R6R7R8
R1
R2
R3
R4
R5
R6
R7
R8
PE
PE
PE
PEPD
PD
PS
PS
PS
PS
PD
PD
表示記号品番ZX1-R 9
R10R11R12R13R14R15R16
R 9
R10
R11
R12
R13
R14
R15
R16
PE
PE
PE
PEPD
PD
PS
PS
PS
PSPV
PV
PV
PV
PV
PV
PV
PV
PD
PD
供給方法
マニホールド型式表示上の注意
*は組込み記号です。搭載するエジェクタに*印を記入してください。*をつけない場合、マニホールドベースとエジェクタは別々に出荷されます。
894
ZX Series
B
マニホールド構成/システム回路例直管個別スペーサを使用しない場合 直管個別スペーサを使用した場合
(ZX1-R1を使用した場合)
〈システム回路例〉 〈システム回路例〉
PV:空気圧供給ポートPS:パイロット圧供給ポートPD:破壊圧供給ポートPE:パイロット圧排気ポートEXH:集合排気ポート
ダミースペーサZX1-R16側
ダミースペーサZX1-R16
直管個別スペーサZX1-R1側
ダミースペーサZX1-R16
直管個別スペーサZX1-R1
直管個別スペーサZX1-R1
895
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
連数(mm)
記号
L1 334550
1546671
2758792
396108113
4117129134
5138150155
6159171176
7180192197
8
L2L3
エジェクタシステム マニホールド
131.3
61
22.7
10
9.313
L3 L2
L1
6
10
10
10
28.4
29.5
16
32
620
ピッチ
=21
10
14.5
70.3
57.4
4737.4
3022
44
7.5
60
50
0.5
3
44
2.5
10
3361.5
20.5 50.5
28.550.8
5
ピッチ=2122.5
A
B
直管個別スペーサZX1-R1
アダプタD
M5×0.8(外部破壊ポート)
M5×0.8(パイロットポート)
ボディ(エアオペタイプ)(ZX1A)
マニュアル(ロック式の場合はそのまま
回してください。)
マニュアル(ロック式の場合は押してから回してください。)
マニホールドベース
エンドプレート
サイレンサ+エジェクタ
アダプタB
真空スイッチZSE2フィルタ
圧力設定トリマ
排気アダプタRc1/8
調整用ニードル
吸着確認スイッチZSP1
共通空気圧供給ポート(PV)1/8(Rc, NPTF, G)
集合排気ポート(EXH.)※11/8(Rc, NPTF, G)
破壊流量調整ニードル
破壊弁(VJ114)(ノーマルクローズ)
供給用パイロット弁(VJ114)(ノーマルクローズ)
破壊弁(VJ314)(ノーマルクローズ)
供給用パイロット弁(VJ324M)
(ノーマルオープン)
マニュアル(ロック式の場合は
そのまま回してください)
ø4×5.5(取付穴)
PV
PS
EXH
PD
-+-+
PD)PS1(PVPD)PS1(PV
SMCSMC
PV
PD
PD)PS3(PV
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
SMCSMC
共通空気圧供給ポート(PV)
集合排気ポート(EXH.)
個別空気圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
破壊圧供給ポート(PD)M5
20
37.4
※1 集合排気(EXH.)ポートはパイロット弁のパイロット圧排気(PE)ポートを兼ねています。大気開放にてご使用願います。
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
896
ZX Series
(直管個別スペーサを使用した場合)
B矢視
A矢視
システム回路例
(標準) (準標準)(直管個別スペーサを使用した場合)
39.9
2.5 10
63.5
133.8
25.5
6.3
1 4.7
7.5
5
ピッチ=2122.5
79
4.2ピッチ=21 22.5
65.1
8.5
10.7
ダミースペーサZX1-R16
ダミースペーサZX1-R16
直管個別スペーサZX1-R1
直管個別スペーサZX1-R1
R16PV
PSPD
PER16PV
PSPD
PER1SMCSMC
R1
-+-+
PD)PS1(PVPD)PS1(PV
SMCSMC
PV
PD
PD)PS3(PV
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
- +
VV V
V
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空ポート(V)M5(またはM6)
パイロット圧排気ポート(PE)M3
20
897
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
連数(mm)
記号
L1 334550
1546671
2758792
396108113
4117129134
5138150155
6159171176
7180192197
8
L2L3
エジェクタシステム マニホールド:K1タイプ
ピッチ=10
11.5
97
2
28.1
37.4
23.4 32 12.4 10
4
L2
6.5
20
ピッチ=21
L1
L3
6(44)
リード線長さ
約300
60
337.4
44
65
33
10
28.5
ピッチ=21
520
22.5
4×ø5.5(取付穴)
圧力設定用トリマ
エジェクタ+サイレンサ
エンドプレート
マニホールドベース
フィルタユニット
真空スイッチZSE2
集合排気ポート(EXH.)※11/8(Rc, NPTF, G)
共通空気圧供給ポート(PV)1/8(Rc, NPTF, G)
破壊弁VJ114
供給用パイロット弁VJ114
破壊流量調整ニードル
PV
PS
EXH
PDPD)PS1(PVPD)PS1(PV
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
共通空気圧供給ポート(PV)
集合排気ポート(EXH.)
真空ポート(V)
真空ポート(V)
※1 集合排気(EXH.)ポートはパイロット弁のパイロット圧排気(PE)ポートを兼ねています。大気開放にてご使用願います。
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
898
ZX Series
回路図
10.7
22.5214.2
VV
真空ポート(V)M5(またはM6)
899
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
連数(mm)
記号
L1 334550
1546671
2758792
396108113
4117129134
5138150155
6159171176
7180192197
8
L2L3
エジェクタシステム マニホールド:K3タイプ
21.6
10
118.6
22.7
61
45 3212.4 10
(44)
6.5
4
ピッチ=2120
L3
L2
L1
6
リード線長さ
約300
79
61.5
33
10
1017.5
50.8
28.5
5
22.5 ピッチ=21
20 37.4
44
3
マニュアル(ロック式の場合は押してから回してください。)
4×ø5.5(取付穴)
エジェクタ+サイレンサ
圧力設定用トリマエンドプレート
マニホールドベース
マニュアル
破壊弁VJ314
供給用パイロット弁(N.O.)VJ324M
破壊流量調整ニードル
フィルタユニット
真空スイッチZSE2
集合排気ポート(EXH.)※11/8(Rc, NPTF, G)
共通空気圧供給ポート(PV)1/8(Rc, NPTF, G)
SMCSMC
SMCSMC
PV
PS
EXH
PDPD)PS3(PVPD)PS3(PV
-+
SMC
-+
SMC
PV
PS
PE
PD
-+
SMC
-+
SMC
PV
PS
PE
PD
共通空気圧供給ポート(PV)
集合排気ポート(EXH.)
真空ポート(V)
真空ポート(V)
※1 集合排気(EXH.)ポートはパイロット弁のパイロット圧排気(PE)ポートを兼ねています。大気開放にてご使用願います。
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
900
ZX Series
回路図
10.7
22.5214.2
- +- +- +- +
VV
真空ポート(V)M5(またはM6)
901
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
注意ACタイプの場合、整流器を介して、DCソレノイドを使用しています。ご使用の際は必ず、整流器付コネクタAss'yと専用ソレイドを組み合せてください。他の組合せでは、コイル焼損、作動不良等のトラブルを生じます。
注意サージ電圧保護回路
ランプ、サージ電圧保護回路
DCの場合極性をコネクタの + 、- 表示に合せて接続してください。極性を間違えますとダイオードまたは、スイッチング素子の焼損を招く場合がありますので十分にご注意ください。あらかじめ、リード線が接続されている場合には+ 赤、- 黒となっています。ACの場合整流器Ass'yによりサージ電圧の発生を防いでいますので、サージ電圧保護回路付はありません。
ZX100
ZX100
5 L Z E CK1
5 L Z E CK3
5 L ZK1ZX100
バルブユニットNOタイプ
真空スイッチユニット
バルブユニットNCタイプ
真空スイッチユニット
FバルブユニットNCタイプ
フィルタユニット
供給弁・破壊弁の組合わせ
パイロット弁仕様
リード線取出し方法
ランプ・サージ電圧保護回路
手動操作真空スイッチユニット
フィルタユニット
真空スイッチ
リード線取出し方法
PV・Vポート管接続口径
無記号DC:1Wタイプ(ランプ付:1.05W)
ACタイプ
※YDC:0.45Wタイプ(ランプ付:0.5W)
PV・Vポート管接続口径無記号
YM5×0.8
M6×1(準標準)
※1注)※3注)
AC100V50/60Hz
AC110V50/60Hz
5 DC24V
6 DC12V
V DC6V
S DC5V
R DC3V
無記号エアオペレート
(K6、K8、J3、J4、D3、D4に適用)
手動操作無記号
Bノンロック式プッシュ式ロック式ドライバ操作形
ランプ・サージ電圧保護回路無記号
※S
なし
Z ランプ・サージ電圧保護回路付
サージ電圧保護回路付
真空スイッチユニット/フィルタユニットの場合E
E55PS注)PB注)
F
真空用圧力スイッチ(一般用)(ZSE2)(NPN仕様)真空用圧力スイッチ(一般用)(ZSE2)(PNP仕様)
ノズル径ø0.3~0.7
ノズル径ø0.5~1.2
サクションフィルタのみ
サクションフィルタ付吸着確認スイッチ
(ZSP1)
真空スイッチリード線取出し方法無記号
Lリード線長さ0.6mグロメット
タイプ
コネクタタイプ
リード線長さ3m
C リード線長さ0.6m
CL リード線長さ3m
CN コネクタなし リード線も付いていません。
真空用デジタル圧力スイッチユニットの場合(ZSE3)
D
21222324
2出力/アナログ出力なし2出力/アナログ出力付
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
LLN
リード線長さ0.3mL型プラグコネクタタイプ
M型プラグコネクタタイプ
リード線なし(DCのみに適用)
MNMO
リード線なし(DCのみに適用)
グロメットタイプ
GH
無記号
コネクタなしリード線長さ0.3m(DCのみに適用)リード線長さ0.6m(DCのみに適用)エアオペレート
LO コネクタなしM リード線長さ0.3m
注)アナログ出力付のタイプはグロメットタイプのみです。
注)供給弁・破壊弁の組み合わせがK1タイプの場合、Mプラグコネクタタイプは取り付きません。
リード線取出し方法
電磁弁定格電圧
注)1, 3のCE対応品はありません。※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタ
Ass’yが、付属されています。
パイロット弁仕様
バルブユニット/供給弁・破壊弁組み合わせP.903の表1バルブユニット/供給弁・破壊弁の組み合わせをご参照ください。
※0.45WタイプはDC24、12V
のみとなります。
※ACの場合/Sタイプはありません。DCの場合(サージ電圧保護回路)極性を間違えますとダイオードまたはスイッチング素子の焼損を招く場合がありますので十分ご注意ください。
構成機器
電磁弁定格電圧
・コネクタ付リード線品番についてはP.903の表3をご参照ください。
本製品に組み込まれているフィルタは簡易的なものです。ダストの多い環境等にて使用される場合、ユニットのフィルタでは目詰りが早くなるためZFA, ZFB, ZFCシリーズとの併用をおすすめします。
・コネクタ付リード線品番についてはP.903の表2をご参照ください。・マニホールドの手配方法についてはP.916をご参照ください。・組換用ユニットの手配方法についてはP.926、927をご参照ください。
型式表示方法
真空ユニット真空ポンプシステム
ZX Series
破壊流量調整ニードル
破壊流量調整ニードル無記号
Lロックナット無ロックナット付
L
注)PS, PBのCE対応品はありません。
CE対応無記号
Q―
CE対応品
[オプション]注)CE対応品は型式表示方法をご確認ください。
CE対応――●●●●●
―
CE対応●●――●
(エアオぺレートを除く)
902B
バルブユニット構成機器
供給弁
電磁弁(N.C.)
電磁弁(N.C.)
電磁弁(N.O.)
電磁弁(N.C.)
エアオペレート(N.C.) 外部破壊
エアオペレート(N.O.)
エアオペレート(N.C.)
破壊弁記号
K1 ●
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
ー
K3
K6
K8
無記号 バルブユニットなし
電磁弁供給弁 破壊弁
N.C.(VJ114)
N.O.(VJ324)
エアオペレートN.C.
(ZX1A)N.O.
(VJA324)
電磁弁N.C.
(VJ114)N.C.
(VJ314)
エアオペレート 外部破壊N.C.
(VJA314) ZX1Aなし なし
3A36VJ10
無記号6
1015202530
0.3m(標準)0.6m1m1.5m2m2.5m3m
1A36VJ10
(DCのみ適用)
(AC100Vのみ適用)
(AC110Vのみ適用)
4A20VJ10 6
6
6リード線長さ
DC24V コネクタタイププラグコネクタタイプ
ランプ・サージ電圧保護回路付
電磁弁定格電圧
リード線取出し方法
ランプ・サージ電圧保護回路
真空スイッチユニット/フィルタユニット
真空スイッチリード線取出し方法
供給弁・破壊弁組合せ供給弁
(パイロット弁)N.C.
(VJ114)N.C.
(VJ114)N.O.
(VJ324M)
N.C.(VJ114)
サクションフィルタ(ZX1-F)
真空用圧力スイッチ(ZSE2)
N.C.(VJ114)N.C.
(VJ314)
破壊弁(直動弁)
型式
ZX100-K15LZ-F
ZX100-K15LZ-EC
ZX100-K35MZ-EC
※ 上記型式は短納期品です。
無記号3050
0.6m3m5m
リード線長さ
表2.バルブユニットコネクタ付リード線コネクタAss'y品番 手配方法
リード線長さが600mm以上の真空ユニットを必要な場合には、コネクタなしの真空ユニットの品番とコネクタAss'yの品番を併記してください。
例)ZX100-K15L0Z-EC(-Q)……………1ケ*VJ10-20-4A-6 ………………………2ケ
注)リード線長さが5mのスイッチを発注する場合には、コネクタなしのスイッチとコネクタ付リード線の品番を併記してください。
例)ZX100-K150Z-ECN(-Q)…1ケ*VJ10-20-4A-6 …………2ケ*ZS-10-5A-50 ……………1ケ
真空ポンプシステムの代表的な推奨型式/下記型式は短納期品となります。
ZX100-K15LZ-E□ ZX100-K35MZ-E□
表1.バルブユニット/供給弁・破壊弁の組み合わせ (詳細仕様はP.904をご参照ください)
5A10ZSZSE2用ZSP1用
5A20ZS
表3.真空スイッチコネクタ付リード線
ZSE3用
82
132
58
132
質量(g)
*が組み込み品番になります。
*が組み込み品番になります。
903
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
A
組み合わせ記号K1
操作方法
用途:電気信号により、制御する場合に使用します。
組み合わせ記号K6
操作方法
用途:エア信号により、制御する場合に使用します。
真空ポンプシステム/供給弁・破壊弁の組み合わせ
供給弁電磁弁ONOFFOFF
OFFONOFF
電磁弁破壊弁操作
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
供給弁電磁弁ONOFFOFF
OFFONOFF
電磁弁破壊弁操作
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
組み合わせ記号K3
操作方法
用途:電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止に使用します。
組み合わせ記号K8
操作方法
用途:エア信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止に使用します。
供給弁電磁弁OFFONON
OFFONOFF
電磁弁破壊弁操作
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
供給弁エアオペレート弁
OFFONON
OFFONOFF
エアオペレート弁破壊弁操作
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
904
ZX Series
材質ー
ステンレス鋼アルミニウム
ーーー
ステンレスポリカーボネート
備考ZX1-PV-0
ZSE2、ZSP1、ZSE3ZX1-VB -D-
(PV)・(PS PD)
番号 部品名12345678
ポペット弁Ass'y破壊流量調整ニードルマニホールドベース真空スイッチバルブユニットインターフェイスプレート復帰スプリングフィルタケース注)
電磁弁 エアオペレートエアオペレート 電磁弁
No.2~No.3のみ可能品番を各々併記願います
適用バルブ組み合わせ
ZX1-VJ3 4 -
ZX1-VJA3 4
ZX1-VJ114- K1、J1
K3、J2
K6
型式No.構成機器
1
2
3
4
供給弁 破壊弁電磁弁N.C.(VJ114)電磁弁N.O.(VJ324)エアオペレートN.O.(VJA324)
電磁弁N.C.(VJ114)電磁弁N.C.(VJ314)エアオペレートN.C.(VJA314)
12
12
材質
PVFー
部品品番表2、表3をご参照ください。
ZX1-FE
番号 部品名
109フィルタエレメント
ZX1-FG11 ガスケット
パイロット弁
注)フィルタケース取扱い上のご注意1)ケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油(アルカリ性)等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。
2)直射日光を避けてご使用ください。
ZL5ZX1-VJ114 -
ZL42 5ZX1-VJ3
ランプ・サージ電圧保護回路
手動操作方法
リード線取出し方
定格電圧
無記号
DC:0.45Wタイプ(ランプ付:0.5W)
ACタイプ
DC:1Wタイプ(ランプ付:1.05W)
※Y
※0.45WタイプはDC24、12Vのみとなります。注)ZXシリーズ用VJ100、VJ300は、ビスの長さが標準品と異なります。
〈ビスの長さ〉VJ100ーM1.7×15VJ300ーM1.7×22
パイロット弁仕様
注)ノーマルクローズの場合、無記号のパイロット弁個別排気形です
注)ZX1-VJ114の場合、M・MN・MOは不適当です。
無記号B
ノンロックプッシュ式ロック式ドライバ操作形
切換方式12
N.C.(ノーマルクローズ)N.O.(ノーマルオープン)
無記号S
ランプ・サージ電圧保護回路なしサージ電圧保護回路付
Z ランプ・サージ電圧保護回路付
※1※3
AC100VAC110V
5 DC24V6 DC12VV
ボディオプション
無記号 パイロット弁個別排気形
M 主弁パイロット弁集合排気形
DC6VS DC5VR DC3V
※プラグコネクタのみに適用
LLN
コネクタ(0.3m)コネクタ(リード線なし)
LO コネクタなしM コネクタ(0.3m)
MN コネクタ(リード線なし)MO コネクタなしG グロメット(0.3m)H グロメット(0.6m)
M3M5
M3×0.5 パイロットポート外部破壊ポートM5×0.8
ポートサイズ
M3ZX1A
真空ポンプシステム/構造図
構成部品
表1.パイロット弁/型式表示方法
交換部品
表2.電磁弁/型式表示方法
表3.エアオペレート/型式表示方法
注意破壊流量調整ニードルの調整は、時計回りで破壊流量は絞られ、止まったところで、全閉となります。全閉状態から、反時計回りで、2回転しますと全開となります。4回転以上回しますと、ニードルが外れますのでご注意ください。また緩み止め対策品を用意しております。
!1
注)ZX1-VJ324M-□ZX1-VJ314-□のみの対応となります。
-
905
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
A
ユニット品番 ZX1-VB -構成
操作方法
Cv値 0.17 ー動作圧力 0.3~0.6MPa
5Hz5~50℃
ブラケットB(ZX1-OBB)
最大作動頻度使用温度範囲インタフェイスプレート記号標準装備品
供給弁 破壊弁直動方式パイロット方式
電磁弁 電磁弁エアオペレートN.C.
(VJ114)N.O.
(VJ324)N.C.
(VJ114)N.C.
(VJ314)0.008 0.08
外部破壊
(ZX1A)N.C.
(ZX1A)N.O.
(VJA324)
エアオペレート(VJA314)
(PV)・(PS PD)
型式/仕様
K1(N.C.)タイプ K3(N.O.)タイプ
バルブユニット/ZX1-VB 詳細仕様については、P.872をご参照ください。
注)※寸法はブラケットBの取付時、※※寸法はスペーサの取付時の寸法です。
真空ポート(V)
パイロット圧供給
ポート(PS)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
真空圧供給
ポート(PV)
真空ポート(V)
真空圧供給
ポート(PV)
パイロット圧供給
ポート(PS)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
真空圧供給ポート(PV)真空ポート(V)
パイロット圧排気ポート(PE)
パイロット圧供給ポート(PS)
供給用パイロット弁
真空圧供給ポート(PV)真空ポート(V)
パイロット圧排気ポート(PE)
パイロット圧供給ポート(PS)
供給用パイロット弁(N.O.)
A
A
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
906
ZX Series
サクションフィルタユニット/ZX1-F 詳細についてはP.874をご参照ください。
真空圧力スイッチユニット/ZSE2・ZSE3・ZSP1 詳細についてはP.875~880をご参照ください。
ユニット品番使用圧力範囲使用温度範囲ろ過度ろ材質量
ZX1-F負圧~0.5MPa5~50℃30μmPVF35g
標準装備 ブラケットA(ZX1-OBA)
注)使用圧力範囲外および使用温度範囲外での使用は故障の原因となります。
ユニット品番使用流体設定圧力範囲応差繰り返し精度温度特性使用電圧管接続口径
ZSE2-0X ZSE3-0X空気
0~ー101kPa3%F.S.以下±1%F.S.以下±3%F.S.以下
DC12~24V(リップル±10%以下)M5×0.8、M6×1(準標準)
注)使用圧力範囲外および使用温度範囲外での使用は故障の原因となります。
ユニット品番使用流体使用圧力範囲適用吸着ノズル径
内部オリフィス径応差
ZSP1-S ZSP1-B空気
ー20~ー101kPa0.3~0.7mm 0.5~1.2mm
0.5mm 0.8mm0.5kPa
qケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油(アルカリ性)等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。
w直射日光を避けてご使用ください。
¡フィルタケースについて注意
適用吸着ノズル範囲外の吸着ノズルや吸着パッドをご使用になりますと、吸着しないことがありますのでご注意ください。
¡その他注意
真空用圧力スイッチ高速応答/10ms拡散型半導体圧力センサ使用
吸着確認スイッチ小型吸着ノズルに最適/ø0.3~ø1.2サクションフィルタ付配線性向上/コネクタタイプ拡散型半導体センサ使用
仕様
一般用真空圧力スイッチ/仕様 詳細仕様はBest Pneumatics No.yをご参照ください。
吸着確認スイッチ/仕様
907
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX100-K1□□□-E□
ZX100 K1□□□□
真空用圧力スイッチ(ZSE3)吸着確認スイッチ(ZSP1)
E□D□□□P□□F
フィルタユニット(F)
真空用圧力スイッチ(ZSE2)バルブユニット(K1)+
バルブユニット:K1タイプ
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
(D)
吸着確認スイッチの場合(P)
フィルタユニットの場合(F)
注)※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
66
66
※17.6※13.6
※1 ※10※19
4.2
※ (68.6)
64.6
64.6
※※18
10.2
※15.5
59.5
18
6.5
17.610
28
5.8
5
4.71
9.3
29.220
※41
※51
2
21.6
10
圧力設定用トリマ
パイロット圧供給ポート(PS)M3
ブラケットA(ZX1-OBA)(標準装備)
破壊弁VJ114
供給用パイロット弁VJ114
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空スイッチZSE2
真空圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
パイロット圧排気ポート(PE)M3
破壊流量調整ニードル
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
※ø3.6(取付穴)※2×R1.8
(取付穴)
マニュアル(ノンロック)
インターフェイスプレート
V
VJ114VJ114
(PS1(PV) PD)
PV
PS
PE
PD
2×ø3.3(取付穴)
※※1
真空ポート(V)
真空圧供給
ポート(PV)
パイロット圧供給
ポート(PS)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
908
ZX Series
真空用圧力スイッチ(ZSE3)の場合ZX100-K1□□□□-D□□
フィルタユニット(F)の場合ZX100-K1□□□□-F
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX100-K1□□□□-P□□
スペーサ1/ZX1-S1
真空圧供給ポート(PV)
真空ポート(V)
パイロット圧排気ポート(PE)
パイロット圧供給ポート(PS)
供給用パイロット弁VJ114
VJ114
真空ポート(V)
A
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
909
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX100-K3□□□-E□
ZX100 K3□□□□
吸着確認スイッチ(ZSP1)フィルタユニット(F)E□P□□FD□□□
パイロット圧供給ポート(PS)M3
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
パイロット圧排気ポート(PE)M3
真空用圧力スイッチ(ZSE2)真空用圧力スイッチ(ZSE3)
バルブユニット(K3)+
バルブユニット:K3タイプ
注)※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
(D)
吸着確認スイッチの場合(P)
フィルタユニットの場合(F)
※1 ※17.6
87.6
※ (82.5)
50.3 61
78.5
4.2
10.2
※※18
4
※15.5
59.5
58
50
186.5
17.610
5.82528
1
5
4.7
1
29.2
20
41
51
※10※19 ※13.6
22.7
21.6
10
圧力設定用トリマ(マニュアル)(ロック式の場合は押して
から回して下さい)
ブラケットA(ZX1-OBA)(標準装備)
※ø3.6(取付穴)
※2×R1.8(取付穴)
2×ø3.3(取付穴)
破壊流量調整ニードル
インターフェイスプレート
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
真空スイッチZSE2
破壊弁VJ314
供給用パイロット弁(N.O.)VJ324M
- +- +
V
-+-+
(PS3(PV) PD)
SMCSMC
PV
PS
PE
PD
SMCSMC
真空ポート(V)
真空圧供給
ポート(PV)
パイロット圧供給
ポート(PS)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
910
ZX Series
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX100-K3□□□□-P□□
フィルタユニット(F)の場合ZX100-K3□□□□-F
スペーサ1/ZX1-S1
真空ポート(V)
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
A
911
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX100-K6-E□
ZX100 K6
吸着確認スイッチ(ZSP1)フィルタユニット(F)
E□P□FD□□□
真空用圧力スイッチ(ZSE2)真空用圧力スイッチ(ZSE3)
バルブユニット(K6)+
バルブユニット:K6タイプ
注)※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
(D)
吸着確認スイッチの場合(P)
フィルタユニットの場合(F)
13
10
66
※10
66
25
※1※13.6
※17.6※19
※ (63.5)
4.2
※※18
10.2
※15.5
59.5
18
6.5
17.610
28
5.8
5
4.71
29.220
※41
※51
2
21.6
圧力設定用トリマ
M5パイロットポート
M5外部破壊ポート
ブラケットA(ZX1-OBA)(標準装備)
破壊用外部破壊(ZX1A)
供給用エアオペレート(ZX1A)
真空スイッチZSE2
インターフェイスプレート
破壊流量調整ニードル
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
※ø3.6(取付穴)※2×R1.8
(取付穴)
V
(PS1(PV) PD)
PV
PS
PE
PD
※※1
真空ポート(V)
真空圧供給
ポート(PV)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
パイロット圧供給ポート(PS)M3
真空ポート(V)M5(またはM6)
パイロット圧排気ポート(PE)M3
2×ø3.3(取付穴)
真空圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
912
ZX Series
スペーサ1/ZX1-S1
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX100-K6-P□□
フィルタユニット(F)の場合ZX100-K6-F
真空ポート(V)
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
A
913
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
構成と組み合わせ
型式
真空用圧力スイッチ(ZSE2)の場合ZX100-K8-E□
ZX100 K8
吸着確認スイッチ(ZSP1)フィルタユニット(F)
E□P□□FD□□□
真空用圧力スイッチ(ZSE2)真空用圧力スイッチ(ZSE3)
バルブユニット(K8)+
バルブユニット:K8タイプ
注)※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
回路図(真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。)
真空用圧力スイッチの場合(E)
(D)
吸着確認スイッチの場合(P)
フィルタユニットの場合(F)
29.2
66.66
20
※41
※51
※1※19
※10 ※17.6※13.6
5056.5
※63.5
※4
10.2
※※18
※15.5
10 17.6
186.5
3
50
28
25
5.8
54.71 ブラケットA
(ZX1-OBA)(標準装備)
スペーサ1(ZX1-S1)(側面取付時に使用)
※ø3.6(取付穴)
※2×R1.8(取付穴)
圧力設定用トリマ
真空用圧力スイッチ(ZSE2)
2×ø3.3(取付穴)
M3(破壊弁用パイロットポート)
破壊用弁(エアオペレート
VJA314)
M3(供給弁用パイロットポート)
破壊用弁N.0(エアオペレート
VJA324)
インターフェイスプレート
真空ポート(V)M5(またはM6)
マニュアル(ノンロック) 破壊流量
調整ニードル
V
(PS3(PV) PD)
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
パイロット圧供給ポート(PS)M3
真空圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
パイロット圧排気ポート(PE)M3
4.2
真空ポート(V)
真空圧供給
ポート(PV)
パイロット圧供給
ポート(PS)
パイロット圧
排気ポート
(PE)
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
914
ZX Series
スペーサ1/ZX1-S1
吸着確認スイッチ(ZSP1)の場合ZX100-K8-P□□
フィルタユニット(F)の場合ZX100-K8-F
真空ポート(V)
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
A
915
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
真空ポンプシステム/マニホールド仕様
最大ユニット連数 MAX. 8連
1連:73gで1連増すごとに50g増加します
供給ポート〔PV〕管接続口径 排気ポート〔EXH〕
質量
(1)PDポートはすべてブランキングとなります。(2)ZX100タイプの外部真空ポンプ吸引の6連以上ではPVポートを両側吸引としてください。
仕様
供給ポート位置ポート
マニホールド左右 左側 右側PV○●○
○●○
●○○
●○○
PS PV PSL(左側)R(右側)B(両側)
○PVポートより真空を供給します。 ○PSポートより、空気供給します。●プラグが付いています。
注)バルブユニットの全てのポートには、プラグが付いています。
供給方法
マニホールド型式表示方法
・マニホールド化したエジェクタの供給ポートや排気ポートを個別にしたい場合には直管個別スペーサを指示してください。
〈マニホールドベース〉 〈直管個別スペーサ〉
供給・排気ポートねじの種類
06 RZZX1連数
※1 バルブユニットを手前にして右、左を判断ください。
※2 EXHポートは両側開放です。PDポートはつねにプラグが付きます。バルブのポートはすべてにプラグが付きます。
(例)ZZX106-R……1ケ(マニホールドベース)*ZX100-K15LZ-EC(-Q)……5ヶ(真空ユニット単体)
*ZX1-BM1……1ケ(ブランキングプレート)
供給ポート位置
記号
R
供給ポート位置※1)
右側
供給方法真空供給 空気供給右側PVポートより
右側PSポートより
L 左側左側PVポートより
左側PSポートより
B 両側両側PVポートより
両側PSポートより
1連2連
8連…
0102
08…
RcG注)
無記号FT NPTF
注)Gネジについてネジ山形状はGネジの規格(JIS BO203)に準拠しておりますが、その他の形状についてはI S O 1 6 0 3 0およびISO1179に準拠しておりません。
R1 1ZX1配列(バルブユニットを手前にして右からバルブ連数の1番目)
※スペーサを交互に装着する場合には併記してご指示ください。※後付けする場合はM2.5×32(ZX用)3ヶも必要になります。また、直管個別スペーサを取付けない連数に対して、ダミースペーサ(ZX1-R16)を必ず取付けてください。
無記号 連数全装着1 1番目のみ
8 8番目のみ……
(例)1番目と3番目に装着ZZX106-R……1ケ*ZX100-K15LZ-EC(-Q)…6ヶ*ZX1-R1-1*ZX1-R1-3*ZX1-R16……4ケ
(ダミースペーサ)
※直管個別スペーサについて参照
R1
R16…
直管個別スペーサ
表示記号品番ZX1-R1
R2R3R4R5R6R7R8
R1R2R3R4R5R6R7R8
PE
PE
PE
PEPDPD
PSPSPSPS
PDPD
表示記号品番ZX1-R 9
R10R11R12R13R14R15R16
R 9R10R11R12R13R14R15R16
PE
PE
PE
PEPDPD
PSPSPSPSPV
PVPVPVPVPVPVPV
PDPD
直管個別スペーサについて¡マニホールドからの供給、バルブユニットからの供給がポートごとに選択可能。下表、各品番ごとに 記号のポートかマニホールドからの供給になります。その他は、バルブユニットからの個別供給になります。
¡直管個別スペーサには上面に下表表示記号がプリントされております。
マニホールド型式表示上の注意
*は組込み記号です。搭載するエジェクタに*印を記入してください。*をつけない場合、マニホールドベースとエジェクタは別々に出荷されます。
(Rc, NPTF, G)1 8
(Rc, NPTF, G)1 8
916
ZX Series
A
マニホールド構成/システム回路例直管個別スペーサを使用しない場合 直管個別スペーサを使用した場合
(ZX1-R1を使用した場合)
〈システム回路例〉 〈システム回路例〉
PV:真空圧供給ポートPS:パイロット圧供給ポートPD:破壊圧供給ポートPE:パイロット圧排気ポートEXH:集合排気ポート
ダミースペーサZX1-R16側
ダミースペーサZX1-R16
直管個別スペーサZX1-R1側
直管個別スペーサZX1-R1
ダミースペーサZX1-R16
直管個別スペーサZX1-R1
917
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
連数(mm)
記号
L1 334550
1546671
2758792
396108113
4117129134
5138150155
6159171176
7180192197
8
L2L3
真空ポンプシステム マニホールド
2.5
7.5
20.5
28.5 50.5
61.5
15
10
9.3
13
L2
L1
L3
18
37.4
22 35
45.4
58.3
4 ピッチ=21
10
10
22.7
61
119.3
16.410
17.5
10
60
50
0.533
21.5
10
3
44
5
22.5 ピッチ=21
50.50
B
A
マニホールドベース
エンドプレート
M5外部破壊ポート
直管個別スペーサZX1-R1
アダプタD
ボディ(エアオペタイプ)(ZX1A)
マニュアル(ロック式の場合は
そのまま回してください。)
マニュアル(ロック式の場合は押してから回してください。)
アダプタB
フィルタ
真空スイッチZSE2
圧力設定トリマ
吸着確認スイッチZSP1
調整用ニードル4×ø5.5(取付穴)
M5パイロットポート
共通空気圧供給ポート(PV)1/8(Rc, NPTF, G)共通パイロット圧供給ポート(PS)
2×M5
マニュアル(ロック式の場合は
そのまま回してください。)
供給用パイロット弁(N.O.)VJ324M
破壊弁VJ314
破壊弁VJ114
供給用パイロット弁(N.C.)VJ114
破壊流量調整ニードル
PV
PS
EXH
PD(PS1(PV) PD)(PS1(PV) PD)(PS3(PV) PD)
SMCSMC
P
PD
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
-+-+
SMCSMC
20
32
37.420
(44)
共通真空圧供給ポート(PV)
共通パイロット圧供給ポート(PS)
集合排気ポート(EXH.)
個別真空圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
集合排気ポート(EXH.)※11/8(Rc, NPTF, G)
※1 集合排気(EXH.)ポートはパイロット弁のパイロット圧排気(PE)ポートとなっております。大気開放にてご使用願います。
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
918
ZX Series
(直管個別スペーサを使用した場合) システム回路例
(準標準)(直管個別スペーサを使用した場合)
(標準)B矢視
A矢視
121.8
22.5
39.9
2.5 10
63.5
25.5
6.3
1 4.7
7.5
5ピッチ=2122.5
79
4.2ピッチ=21
22.5
65.1
8.5
10.7
ダミースペーサZX1-R16
ダミースペーサZX1-R16
直管個別スペーサZX1-R1
直管個別スペーサZX1-R1
個別真空圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
個別真空圧供給ポート(PV)M5(またはM6)
R16PV
PSPD
PER16PV
PSPD
PER1
R1
SMCSMC
PD) (PS1(PV) PD)(PS1(PV) PD)(PS3(PV)
-+
SMC
-+
SMC
PV
PD
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
VV V
V
- +
20
真空ポート(V)M5(またはM6)
真空ポート(V)M5(またはM6) 真空ポート(V)
M5(またはM6)
919
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
真空ポンプシステム マニホールド:K1タイプ
連数(mm)
記号
L1 334550
1546671
2758792
396108113
4117129134
5138150155
6159171176
7180192197
8
L2L3
L1
L3
L2
6.5
4
6
1016.4
28.1
37.4
85
ピッチ=21
6
11.5
ピッチ=10
44
65
リード線長さ
約300
33
21.5
10
60
337.4
44
5
28.5
22.5 ピッチ=21
マニュアル
エンドプレート
マニホールドベース
圧力設定用トリマ
共通パイロット圧供給ポート(PS)2×M5
フィルタユニット真空スイッチZSE2
破壊流量調整ニードル
破壊弁VJ114
供給用パイロット弁VJ114
PV
PS
EXH
PD(PS1(PV) PD)(PS1(PV) PD)
PV
PS
PE
PD
PV
PS
PE
PD
32
4×ø5.5(取付穴)
20
23.4
共通真空圧供給ポート(PV)
共通パイロット圧供給ポート(PS)
集合排気ポート(EXH.)
真空ポート(V)
真空ポート(V)
20集合排気ポート(EXH.)※11/8(Rc, NPTF, G)
共通空気圧供給ポート(PV)1/8(Rc, NPTF, G)
※1 集合排気(EXH.)ポートはパイロット弁のパイロット圧排気(PE)ポートとなっております。大気開放にてご使用願います。
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
920
ZX Series
回路図
10.7
22.5214.2
真空ポート(V)M5(またはM6)
VV
921
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
真空ポンプシステム マニホールド:K3タイプ
連数(mm)
記号
L1 334550
1546671
2758792
396108113
4117129134
5138150155
6159171176
7180192197
8
L2L3
2.5
61.5
79
22.70
16.422.7
45
61
106.6
L3
44
6
6
ピッチ=21
L1
L2
6.5
4
10
37.4
44
3
60
33
21.5
10
1017.5
50.8
28.5
5
22.5 ピッチ=21
マニュアル(ロック式の場合は押してから回してください。)
エンドプレート
マニホールドベース
圧力設定用トリマ
フィルタユニット
真空スイッチZSE2マニュアル
破壊弁VJ314
破壊流量調整ニードル
SMCSMC
SMCSMC
PV
PS
EXH
PD(PS1(PV) PD)(PS1(PV) PD)
-+
SMC
-+
SMC
PV
PS
PE
PD
-+
SMC
-+
SMC
PV
PS
PE
PD
共通パイロット圧供給ポート(PS)2×M5
324×ø5.5(取付穴)
20
20
共通真空圧供給ポート(PV)
共通パイロット圧供給ポート(PS)
集合排気ポート(EXH.)
真空ポート(V)
真空ポート(V)
供給用パイロット弁(N.O.)VJ324M
共通空気圧供給ポート(PV)1/8(Rc, NPTF, G)
集合排気ポート(EXH.)※11/8(Rc, NPTF, G)
※1 集合排気(EXH.)ポートはパイロット弁のパイロット圧排気(PE)ポートとなっております。大気開放にてご使用願います。
8
(ニードル全開時)
A:ロックナット付破壊流量調整ニードル
A
922
ZX Series
回路図
10.7
22.5214.2
- +- +- +- +
VV
真空ポート(V)M5(またはM6)
923
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
組換用ユニット
DC:1Wタイプ(ランプ付:1.05W)
K1AVZX1 5 Z B L D S
手動操作
PVポート管接続口径
破壊流量調整ニードル
無記号B
ノンロック式プッシュ式ロック式ドライバ操作形
L
ランプ・サージ電圧保護回路無記号 なし
Z ランプ・サージ電圧保護回路付
無記号ACタイプ
※YDC:0.45Wタイプ(ランプ付:0.5W)
※ 0.45WタイプはDC24、12Vのみとなります。
※1※3
AC100V50/60Hz
CE対応――●●●●●
AC110V50/60Hz
5 DC24V
6 DC12V
V DC6V
S DC5V
R DC3V
電磁弁定格電圧
※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタAss’yが、付属されています。
エジェクタシステム用供給弁・破壊弁の組み合わせ(詳細はP.867をご参照ください。)
パイロット弁仕様
リード線取出し方法L L形プラグコネクタ
無記号Y
M5×0.8
M6×1(準標準)
CE対応無記号
Q―
CE対応品
無記号L
ロックナット無ロックナット付
05 1DWZX1
0507
0.5mm
0.7mm
10 1.0mm
1
2
サイレンサ内蔵ポート排気
Rc1 8
エジェクタ排気方式ノズル径
組換用ユニット
15 C0XZSE2 D
配管仕様
組換用ユニット
無記号L
グロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
無記号L
グロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
配管仕様
組換用ユニット
C0XZSE3 D
21222324
2出力/アナログ出力なし2出力/アナログ出力付
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
注)アナログ出力付のタイプはグロメットタイプのみです。
S 0.3~0.7mm
B 0.5~1.2mm
適用吸着ノズル径
配管仕様
組換用ユニット
無記号L
グロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
15 C0XBZSP1 DD:組換用ユニットとは製品において、あるユニットを交換するためのユニットです。例. ZX1071-K15LZ-PBCにおいて、吸着確認スイッチユニットを真空圧力スイッチユニットに交換する場合、ZSE2-0X-15C-Dの品番となります。また、組付けるためのねじM2.5×51(2個)が必要となります。ユニットの組合せをしないで、ユニット単体で使用する場合は無記号です(バルブユニットとエジェクタアッセンブリとスイッチユニットを組合せて使用するのではなく、バルブユニットのみ、エジェクタアッセンブリのみ、スイッチユニットのみとして使用する場合)例. ZSE2-0X-15C、ZX1-VAK15LZ、ZX1-W051.
エジェクタシステム/ユニット構成(仕様変更、メンテナンス等でユニットの交換をする場合、下記型式表示方法を参照ください。)
型式表示方法(組換用ユニット)
単体の場合
qバルブユニット
eエジェクタアセンブリ
r真空圧力スイッチユニット
t真空用デジタル圧力スイッチユニット
w吸着確認スイッチユニット
出力仕様
21
1555
NPNオープンコレクタPNPオープンコレクタ
出力仕様
単体用(PD、PSポートにプラグが付きます。)
924
ZX Series
A
ランプ・サージ電圧保護回路
手動操作
組換用ユニット
マニホールド用
パイロット弁仕様電磁弁定格電圧リード線取出し方法
エジェクタシステム用供給弁・破壊弁の組み合わせ
K1AVZX1 5 Z B D MLCE対応
15 C0XZSE2 D
配管仕様組換用ユニット
システム対応エジェクタ用(PD、PSポートにプラグがつきます)
05ZZX1 R A C
無記号F G
Rc
T NPTF
1 8…
1連
8連…01
08
RL 左側
右側
B 両側
供給ポート位置
無記号C 集合排気用
個別排気用
排気形式対応連数
ポートねじの種類
05 1DWZX1
0507
0.5mm
0.7mm
10 1.0mm
1
2
サイレンサ内蔵ポート排気
Rc
3マニホ-ルド集合排気
1 8
エジェクタ排気方式ノズル径
組換用ユニット
配管仕様組換用ユニット
出力仕様
21 C0XZSE3 D
21222324
2出力/アナログ出力なし2出力/アナログ出力付
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
注)アナログ出力付のタイプはグロメットタイプのみです。
型式表示方法(組換用ユニット)
マニホールドの場合
qバルブユニット ※型式の詳細は→P.872をご参照ください。
wマニホールドベース
r吸着確認スイッチユニット
t真空用圧力スイッチユニット
y真空用デジタル圧力スイッチユニット
eエジェクタアセンブリ
S 0.3~0.7mm
B 0.5~1.2mm
適用吸着ノズル径
組換用ユニット
15 C0XBZSP1 D配管仕様無記号
Lグロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
無記号L
グロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
注1)集合排気用は、集合排気ポートが開いています。個別排気用は閉じています。集合排気用はエジェクタシステムの集合排気形式のみ適用します。
注2)ポートがM5の場合、品番末尾は-4、M6は-1です。注3)ポートがM5の場合、品番末尾は-1、M6は-2です。
無記号L
グロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
1555
NPNオープンコレクタPNPオープンコレクタ
出力仕様
L
PVポート管接続口径
破壊流量調整ニードル
無記号Y
M5×0.8
M6×1(準標準)
無記号L
ロックナット無ロックナット付
すべてのポートにプラグが付いています。
925
ZX Series真空ユニットエジェクタシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
A
真空ポンプシステム/ユニット構成(仕様変更、メンテナンス等でユニットの交換をする場合、下記型式表示方法を参照ください。)
型式表示方法(組換用ユニット)
単体の場合
qバルブユニット w吸着確認スイッチユニット
r真空用デジタル圧力スイッチユニット
単体用組換用ユニット
DC:1Wタイプ(ランプ付:1.05W)
K1BVZX1 5 Z B D S
手動操作無記号
Bノンロック式プッシュ形ロック式ドライバ操作形
L
ランプ・サージ電圧保護回路無記号 なし
Z ランプ・サージ電圧保護回路付
無記号ACタイプ
※YDC:0.45Wタイプ(ランプ付:0.5W)
※ 0.45WタイプはDC24、12Vのみとなります。
※1※3
AC100V50/60Hz
CE対応――●●●●●
AC110V50/60Hz
5 DC24V
6 DC12V
V DC6V
S DC5V
R DC3V
電磁弁定格電圧
※ プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタAss’yが、付属されています。
真空ポンプシステム用
供給弁・破壊弁の組み合わせ(詳細はP.903をご参照ください。)
パイロット弁仕様
リード線取出し方法L L形プラグコネクタ
S 0.3~0.7mm
B 0.5~1.2mm
適用吸着ノズル径
15 C0XBZSP1 D
配管仕様組換用ユニット
無記号L
グロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
無記号L
グロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
配管仕様
組換用ユニット
出力仕様
21 C0XZSE3 D
組換用ユニット
21222324
2出力/アナログ出力なし2出力/アナログ出力付
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
注)アナログ出力付のタイプはグロメットタイプのみです。
D:組換ユニットとは、製品において、あるユニットを交換するためのユニットです。例. ZX100-K15LZ-PBCにおいて、吸着確認スイッチユニットを真空用圧力スイッチユニットに交換する場合、ZSE2-0X-15C-D
の品番となります。また組付けるためのねじ、P3270148-39(2
個使い)が必要となります。ユニットの組合せをしないで、ユニット単体で使用する場合は無記号です。例. ZSE2-0X-15C、ZX1-VBK15LZ
15 C0XZSE2 D
配管仕様無記号
Lグロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
e真空圧力スイッチユニット
L
PVポート管接続口径
破壊流量調整ニードル
無記号Y
M5×0.8
M6×1(準標準)
無記号L
ロックナット無ロックナット付
1555
NPNオープンコレクタPNPオープンコレクタ
出力仕様
CE対応無記号
Q―
CE対応品(PDポートのみプラグが付きます。)
926
ZX Series
A
型式表示方法(組換用ユニット)
マニホールドの場合
qバルブユニット ※型式の詳細はP.906をご参照ください。 r真空用圧力スイッチユニット
wマニホールドベース ※型式の詳細はP.916をご参照ください。
t真空用デジタル圧力スイッチユニット
e吸着確認スイッチユニット
注1)ポートがM5の場合には品番末尾は-
4、M6は-1になります。注2)ポートM5の場合、品番末尾は-1、M6
は-2になります。
ランプ・サージ電圧保護回路 手動操作
組換用ユニットマニホールド用すべてのポートにプラグが付きます。パイロット弁仕様
電磁弁定格電圧リード線取出し方法
真空ポンプシステム用供給弁・破壊弁の組み合わせ
K1BVZX1 5 Z B D MLCE対応
PDポートにプラグがついています。
06ZZX1 R B
無記号F G
Rc
T NPTF
1 8…
1連
8連…01
08
RL 左側
右側
B 両側
供給ポート位置連数
システム対応真空ポンプ用
ポートねじの種類
S 0.3~0.7mm
B 0.5~1.2mm
適用吸着ノズル径 組換用ユニット
15 C0XBZSP1 D
配管仕様無記号
Lグロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
組換用ユニット
無記号L
グロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
15 C0XZSE2 D
配管仕様
無記号L
グロメット(0.6m)グロメット(3m)
C コネクタ(0.6m)CL コネクタ(3m)CN コネクタなし
配管仕様
組換用ユニット
出力仕様
21 C0XZSE3 D
21222324
2出力/アナログ出力なし2出力/アナログ出力付
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
注)アナログ出力付のタイプはグロメットタイプのみです。
L
PVポート管接続口径 破壊流量調整ニードル無記号
YM5×0.8
M6×1(準標準)無記号
Lロックナット無ロックナット付
1555
NPNオープンコレクタPNPオープンコレクタ
出力仕様
927
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
A
表.1
表.2
M2.5×51
P3270148-39♯1
(M2.5×39)
P3200152-12
(M2.5×28)
真空スイッチZSE3,ZSP1場合
真空スイッチZSE2の場合
フィルタユニットZX1-Fの場合
組合わせ 品番
注).1組合わせにより使用ビス(表.2)は異なりますが単体とマニホ-ルドは共通のビスとなります。
1.プラマイナベ小ネジを外す。2.精密機器用十字穴付きさらコネジを外す。3.バルブユニットにプラグを取付る。4.バルブユニットをプラマイナベ小ネジ(P3200152-12)3本にてマニホ-ルドに取付る。
5.真空スイッチをプラマイナベ小ネジ2本にてマニホ-ルドに取付る。締付けトルクは表.1に従ってください。
使用する使用しない使用しない使用する使用する
使用する
使用する使用する使用する使用しない使用しない
使用しない
単体の場合マニホ-ルドの場合個数2
1
1
2
1
3
品番 名称
P3200150
P3200152-24
M-3P
ZX1-MP1
※P3200152-12
(M2.5×28)
プラマイナベ小ネジプレートA
精密機器用十字穴付きさらコネジプラグプラグ
プラマイナベ小ネジ
注).1 0.28±0.1(N・m)
0.28±0.1(N・m)
0.46±0.05(N・m)
1.6±0.15(N・m)
0.28±0.1(N・m)
単体からマニホ-ルドの組換
適正締付トルク値
プラマイナベ小ネジ
P3200152-12(M2.5×28)
バルブユニット
真空スイッチ
注).1プラマイナベ小ネジ
1(PV)(PSPD)
PS
PE
PD
PV
PV
1(PV)(PSPD)
PS
PE
PD
PV
ZX1-MP1
プラグ
プラグ
M-3P
十字穴付きさらコネジP3200152-24
精密機器用
プレートA
P3200150
1(PV)(PSPD)
PS
PE
PD
PV
マニホールドベース
1(PV)(PSPD)
PS
PE
PD
PV
PS
PD
EXH
真空ポンプシステム/単体からマニホールドの組換
※直管個別スペーサを用いる場合はM2.5×32を使用してください。
q
w
e
r
t
928
ZX Series
A
注).1組合わせにより使用ビス(表.2)は異なりますが単体とマニホ-ルドは共通のビスとなります。締付けトルクは表.1に従ってください。
1.プラマイナベ小ネジを外す。2.プラマイナベ小ネジを外し,エジェクタアッセンブリをバルブユニットから外す。
3.バルブユニットにプラグを取付る。4.バルブユニットをプラマイナベ小ネジ(P3200152-12)3本にてマニホ-ルドに取付る。
5.エジェクタアッセンブリをプラマイナベ小ネジ(M2.5×14)1本にてマニホ-ルドに取付ける。
6.真空スイッチをプラマイナベ小ネジ2本にてマニホ-ルドに取付る。
単体からマニホ-ルドの組換
表.2
M2.5×63
M2.5×51
P3270148-39♯1
(M2.5×39)
真空スイッチZSE3,ZSP1場合真空スイッチZSE2の場合
フィルタユニットZX1-Fの場合
組合わせ 品番
表.1
使用する使用しない使用する使用する使用する
使用する
使用する使用する使用する使用しない使用しない
使用しない
単体の場合マニホ-ルドの場合個数2
1
1
1
1
3
品番 名称
P3200150
M2.5×14
M-3P
ZX1-MP1
※P3200152-12
(M2.5×28)
プラマイナベ小ネジプレートA
プラマイナベ小ネジプラグプラグ
プラマイナベ小ネジ
注).1 0.28±0.1(N・m)
0.28±0.1(N・m)
0.46±0.05(N・m)
1.6±0.15(N・m)
0.28±0.1(N・m)
適正締付トルク値
真空スイッチ
バルブユニット
P3200152-12(M2.5×28)
プレートA
P3200150
M2.5×14
プラマイナベ小ネジ
エジェクタアッセンブリ
1(PVPS
PD)
PS
PE
PD
PV
プラマイナベ小ネジ注).1
1(PVPS
PD)
PS
PE
PD
PV
マニホールドベース
プラグZX1-MP1
プラグ
M-3P
プラマイナベ小ネジ
1(PV)(PSPD)
PS
PE
PD
PV
PS
PD
EXH
PV
1(PVPS
PD)
PS
PE
PD
PV
エジェクタシステム/単体からマニホールドの組換
※直管個別スペーサを用いる場合はM2.5×32を使用してください。
q
w
e
r
t
y
929
ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
A
バルブユニット/供給弁・破壊弁の標準外組み合わせ(エジェクタユニットの場合)1
組み合わせ記号K2用途:供給の制御は電気信号で行い、破壊は外部からのエアにて行います。
組み合わせ記号K7用途:供給の制御は、外部からのエア信号にて行い、破壊は電磁弁で行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。
組み合わせ記号K4用途:供給の制限は電気信号で行い、破壊はエア信号にて行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。
組み合わせ記号 J1用途:電気信号により、制御する場合に使用します。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。
組み合わせ記号K5用途:供給の制御は、外部からのエア信号にて行い、破壊は電磁弁で行います。
組み合わせ記号 J2用途:電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。
操作 供給用弁 破壊用弁電磁弁 外部2ポート弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁エアオペレート弁 電磁弁OFF OFFON ONON OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁電磁弁 エアオペレート弁OFF OFFON ONON OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁電磁弁ONOFFOFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁外部3ポート弁 電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁電磁弁OFFONON
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作方法 操作方法
操作方法 操作方法
操作方法 操作方法
エジェクタユニットバルブユニットの供給弁・破壊弁の標準組み合わせ(P.867をご参照ください。)以外の組み合わせについては、用途に合わせて下記の組み合わせの中より選定ください。(型式表示方法はP.866をご参照ください。)
930
ZX Series
オーダーメイド仕様詳しい寸法・仕様および納期については、当社にご確認ください。
OrderMade
組み合わせ記号 J3用途:供給の制御は、外部からのエア信号により行います。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。
組み合わせ記号D2用途:供給の制御は、外部の弁にて行い、破壊は電磁弁で行います。
組み合わせ記号 J4用途:供給の制御は、外部のエア信号により行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。
組み合わせ記号D3用途:供給の制御は、外部にて行い、破壊は外部2ポート弁(真空用弁)にて行います。
組み合わせ記号D1用途:供給の制御は、外部の弁にて行い、破壊は電磁弁で行います。
組み合わせ記号D4用途:供給の制御は、外部の弁にて行い、破壊は外部からのエア信号にて行います。
操作方法 操作方法
操作方法 操作方法
操作方法 操作方法
操作 供給用弁 破壊用弁外部3ポート弁ONOFFOFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁外部弁 電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁エアオペレート弁OFFONOFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁外部弁 電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁外部弁 電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁外部弁 エアオペレート弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
931
オーダーメイド仕様
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
バルブユニット/供給弁・破壊弁の標準外組み合わせ(真空ポンプシステムの場合)2
組み合わせ記号K2用途:供給の制御は電気信号で行い、破壊は外部からのエアにて行います。
組み合わせ記号K7用途:供給の制御は、外部からのエア信号にて行い、破壊は電磁弁で行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、真空供給は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。
組み合わせ記号K4用途:供給の制御は電気信号で行い、破壊はエア信号にて行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、真空供給は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。
組み合わせ記号 J1用途:電気信号により、制御する場合に使用します。パッドとワーク間のエアの漏により、ワークは離脱しますが漏の無い場合は、供給用弁をOFFしても真空保持状態となりワークは離脱しません。破壊を行う場合は、外部に2ポート弁(真空用弁)を設けてください。
組み合わせ記号K5用途:供給の制御は、外部からのエア信号にて行い、破壊は電磁弁で行います。
組み合わせ記号 J2用途:電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、真空の供給は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。パッドとワーク間のエアの漏により、ワークは離脱しますが漏の無い場合は、供給用弁をONしても真空保持状態となりワークは離脱しません。破壊を行う場合は、外部に2ポート弁(真空用弁)を設けてください。
操作方法 操作方法
操作方法 操作方法
操作方法
操作方法
真空ポンプシステムバルブユニットの供給弁・破壊弁の標準組み合わせ(P.903をご参照ください。)以外の組み合わせについては、用途に合わせて下記の組み合わせの中よりご選定ください。(型式表示方法はP.902をご参照ください。)
操作 供給用弁 破壊用弁電磁弁 外部2ポート弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁電磁弁 電磁弁OFF OFFON ONON ON
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁外部3ポート弁 電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁エアオペレート弁 電磁弁OFF OFFON ONON OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁電磁弁ONOFFOFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁電磁弁OFFONON
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
932
ZX Series
オーダーメイド仕様詳しい寸法・仕様および納期については、当社にご確認ください。
OrderMade
組み合わせ記号 J3用途:供給の制御は、外部からのエア信号により行います。パッドとワーク間のエアの漏により、ワークは離脱しますが、漏の無い場合は、供給用弁をOFFしても真空保持状態となりワークは離脱しません。破壊を行う場合は、外部に2ポート弁を設けてください。
組み合わせ記号D2用途:供給の制御は、外部2ポート弁(真空用弁)にて行い、破壊は電磁弁で行います。
組み合わせ記号 J4用途:供給の制御は、外部のエア信号により行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。供給の制御は、外部からのエア信号により行います。パッドとワーク間のエアの漏により、ワークは離脱しますが、漏の無い場合は、供給用弁をONしても真空保持状態となりワークは離脱しません。破壊を行う場合は、外部に2ポート弁を設けてください。
組み合わせ記号D3用途:供給の制御は、外部2ポート弁(真空用弁)にて行い、破壊も外部2ポート弁にて行います。
組み合わせ記号D1用途:供給の制御は、外部2ポート弁(真空用弁)にて行い、破壊は電磁弁で行います。
組み合わせ記号D4用途:供給の制御は、外部2ポート弁(真空用弁)にて行い破壊は外部からのエア信号にて行います。
操作方法 操作方法
操作方法 操作方法
操作方法 操作方法
操作 供給用弁 破壊用弁外部3ポート弁ONOFFOFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁エアオペレート弁OFFONON
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁外部2ポート弁 電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁外部2ポート弁 電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁外部2ポート弁 電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
操作 供給用弁 破壊用弁外部2ポート弁 電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF
状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止
933
オーダーメイド仕様
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP関連機器
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