高真空蒸着装置 EB1900シリーズ

■概 要EB1900シリーズは、ターボ分子ポンプ排気系を標準装備した高真空排気システムに、 E 型電子銃や抵抗加熱蒸発源を搭載可能なR＆Dに最適な蒸着装置です。

Vacuum Evaporation System EB1900 Series

多彩な蒸着・実験用にカスタマイズ可能

■特 長

基板交換、蒸着試料交換が容易。

ターボ分子ポンプがクリーンな真空を提供。 　ドライポンプ（粗引き）との組み合わせで排気系のドライ化が可能。（オプション）

●ターボ分子ポンプ排気系

各種電子銃、抵抗加熱などの蒸発源、膜厚モニタや蒸着制御器の組み合わせで幅広い仕様に対応。　

●豊富なオプション

実績ある弊社標準品を使用。

●高信頼性

● 前面扉式を採用

排気系 TMP+RP 仕様

1095

1495 1340

500

700

620

500 1100 4 -φ161160

450

1100

165

922-9203 2kW電源

蒸着装置本体

■基本仕様

■オプション

■外形寸法図

蒸着源 ： 抵抗加熱 2式シャッタ ： 蒸発源シャッタ 　基板加熱 ： ハロゲンランプヒータ 　その他 ： 基板ホルダ 　 水晶式膜厚計センサ

●チャンバ内部 写真は蒸着装置の一例で、構成は以下の通りです。 　

項目

到達圧力

排気ポンプ

真空排気操作

蒸着源

チャンバサイズ（mm）

架台

用力 電気

水

ガス

排気ポート

内容

7×10-5 Pa 以下

350L ／ s ターボ分子ポンプ

200L ／ m ロータリーポンプ

手動 （自動はオプション）

2kW単発 ＋ 922-9203 2kW電子銃電源

400W × 400D ×780H （93L）

1100W × 700D ×1800H

φ3　200V　30A（M5圧着端子）、A種接地

2L ／ min （チャンバ冷却用） （Rc3 ／ 8継手）

N2：0.05MPa （ベント用）

Air：0.3MPa （水追い出し用） （Rc1 ／ 4継手）

NW25フランジ （RP排気口）

項目

排気系

蒸着源

蒸着制御

内部機構

内容

クライオポンプ、スクロールドライポンプ

3kW単発、2kW3連、抵抗加熱（Max3対）

電子銃スイープコントローラ、膜厚計

基板加熱機構（ランプ）、ソースシャッタ、基板シャッタ

正面図 上面図 （単位mm）

2014年7月作成 無断転載禁止

165-30.1407-2001OK

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