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Cornell Spectrum Imager の使い方. 目次. 1. 概要~起動まで 1-1. CSI ・ Image J 1-2. ダウンロード・始め方 2. CSI 基本 操作 2-1. ファイルを開きスペクトル表示 2-2. スペクトルズーム 2-3. エネルギー軸の較正 2-4. Background 除去 2-5. Background 除去済スペクトルのスケール 2-6. スペクトルの抜粋・保存 3. 2 次元 EELS マッピング 3-1. 画像とスペクトル 3-2. 元素マッピング 3-3. 複数元素のカラーマッピング - PowerPoint PPT Presentation
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Cornell Spectrum Imager の使い方
目次1. 概要~起動まで 1-1. CSI ・ Image J 1-2. ダウンロード・始め方
2. CSI 基本操作 2-1. ファイルを開きスペクトル表示 2-2. スペクトルズーム 2-3. エネルギー軸の較正 2-4. Background 除去 2-5. Background 除去済スペクトルのスケール 2-6. スペクトルの抜粋・保存
3. 2 次元 EELS マッピング 3-1. 画像とスペクトル 3-2. 元素マッピング 3-3. 複数元素のカラーマッピング 3-4. ラインプロファイル
1-1. CSI ・ Image J
CSI ( Cornell Spectrum Imager )とは 画像処理ソフトウェアである Image J を用いて、 EELS / EDX / CL などのスペクトル解析を行えるソフト
ウェア (ここでは主に EELS スペクトル解析について紹介する) 開発者の研究室のホームページ↓ http://research.engineering.cornell.edu/muller/csi.cfm
Image J・起動するには Java が必要( OS に合わせて 32 or 64 bit を
install )・ CSI の他にも用途に合わせて、プラグインやマクロを 導入することで機能拡張が可能・ Image J 本体については http://rsb.info.nih.gov/ij/(英語)
1-2. ダウンロード・始め方
『 CSI 』にチェックするとCSI のツールセットが表示
CSI を↓ URL から DOWNLOADhttp://code.google.com/p/cornell-spectrum-imager/
(HP更新などにより繋がらない場合はCornell Spectrum Imager で検索して下さい)
Image J で開始
一番右のツールから『 CSI 』にチェックするとCSI のツールセットが表示
2-1. ファイルを開きスペクトル表示
①EELS 画像ファイル( dm など)を開く ②CSI 起動
補足:範囲指定せずに②を起動した際、 1 次元ファイルでは①の全範囲が、 2 次元では画像左上部分のみが 自動的に選択される
2-2. スペクトルズーム
Zoom & Offset Sliders Energy Window Zoom で一部をズーム、 Energy Window offset で領域指定(マウスでスライドさせると大きく、キーボード矢印で小さく動かせる)
2-3. エネルギー軸の較正
CSI の画面上で右クリックOption→Calibrate Energy-axis→Recalibrate with two sample pointsこれで図の赤枠部分が出る
Calibration のスライダーで 2 本の黒線を既知のエネルギー領域に動かし、値を入力→Do Calibration で較正実行
2-4. Background 除去
赤枠部分 Power 選択
Start (開始位置)と Width (幅)で、緑のラインがグラフに沿うよう Background 指定(白線が Background を除去したスペクトル)
2-5. Background 除去済スペクトルのスケール(必須操作ではない)
右クリック→ Options→Auto-scale ~をクリックすると、バックグラウンドを抜いたカウント数が大きく表示される(赤色のラインがゼロ線、数字がその軸)
2-6. スペクトルの抜粋・保存Background 範囲を指定 (c.f. 2-4) して Background Subtract Dataset を押す Background を除去したスペクトル(画像)が出るので、 そこから再度 CSI アイコンで スペクトルを出す( c.f. 2-1 )
Copy を押し、 Excel に貼り付ければ、Background を除去した情報が得られる。
(補足)List では全てのラインの X 軸・ Y 軸のデータが出るが、 Copy では大元の黒線のデータしかコピーされないので注意。Save は数字のデータしか保存されないので、グラフが欲しい場合は Excel を使うか、またはImage J の File→Save As で画像として保存。
3-1. 画像とスペクトル
画像引用 http://www.hvem.kyushu-u.ac.jp/text/2010FEF_kiso.pdf
E 軸
画像:試料位置( x,y )及び損失エネルギー( E )からなる 3 次元データ
3-2
3-2. 元素マッピング
① 画像・スペクトルを出す( c.f. 2-1 )②Background 除去( c.f. 2-4 )③ 図の赤枠でピーク位置選択(白線)④integrate をクリック
3-3. 複数元素のカラーマッピング
+ =
① 各ピークで integrate を行う( c.f.3-1 )
O2 Ni
②RGB composite アイコンをクリックしファイルごとの色を指定
Gray は None にする
チェックはずすチェックする
② 詳細→
3-4. ラインプロファイル
① プロファイルしたい範囲選択 ② ラインプロファイル作成
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