油回転真空ポンプ VD／VS／PVD／PKSシリーズ...低真空 ポンプ...

低真空ポンプ

油回転真空ポンプ　VD ／ VS ／ PVD ／ PKS シリーズ

低真

空ポ

ンプ

18/05/30 09:11:13

ULVAC の油回転真空ポンプは、大気圧から 10Pa 以下まで有効に作動でき、排気効率がよく安定した排気性能が得られる代表的な真空ポンプです。

PKS-070B

シリーズ名 VD Ver.C VD（小型） PVD VS650A VS PKS

構造 2段回転翼型 2段回転翼型 2段回転翼型 1段回転翼型 1段回転翼型 揺動ピストン型駆動タイプ ダイレクト ダイレクト ベルト ベルト ダイレクト ベルト冷却方式 空冷 空冷 空冷 空冷/水冷 水冷 空冷/水冷油循環方式 強制 強制 差圧 差圧 強制 差圧油逆流防止機構 油系統遮断 油系統遮断 オプション 油逆流防止弁付 油系統遮断 油系統遮断ガスバラストバルブ オプション あり あり あり オプション ありモータ オリジナルIE3 オリジナル 汎用 オリジナル オリジナルIE3 オリジナルIE3

セレクションガイド

VD40C

VS650A

用 語 説 明

シリンダーの内側に組み込まれたロータにベーンが組み付けられています。このベーンがシリンダ内空間の気体を圧縮し排気します。 オイルはベアリング部の潤滑、冷却、ベーンとシリンダーの気密性を高めるシールの役割をしています。圧縮効率に優れ低振動。工業用に最も多用されている真空ポンプです。

回 転 翼 型 構 造 説 明 図

ベーンガイド部を摺動するスライドベーンが偏心ロータの回転によりピストン運動を行うことで、スライドベーン及びシリンダで囲まれた空間の容積を変化させて排気します。堅牢で比較的異物に強く、適切なメンテナンスにより長期使用が可能なポンプです。

水蒸気等の凝縮性ガスを吸引する場合の対策として、ガスバラストがあります。凝縮性ガスを吸引するとポンプ内の圧縮工程で圧縮され、凝縮して液体になりオイルに混入します。これを防ぐため、ガスバラストバルブを開け、圧縮室に適量の空気や窒素を導入すると、凝縮性ガスは液化せずに気体のまま排気できます。これをガスバラスト効果といいます。

揺 動 ピ ス ト ン 型 構 造 説 明 図

ガ ス バ ラ ス ト と は

油回転真空ポンプの仕様の一つで、He リークテストを行い 1 × 10-6（Pa・m3/s）以下の漏れ量であることを基準としたポンプです。

H e タ イ ト と は（ H 仕 様 ）

注意　 IE3 モータは従来のモータよりも高効率化を実現したため、始動電流が高くなる傾向になります。大型（5.5KW 以上）のポンプに関しては、電源容量が低い場合 電圧低下によりポンプを起動できない場合があります。大型のポンプに関しては電源容量を確認してください。

オイルミストトラップ　TM ／ TMX シリーズ

オイルミストトラップ　油回収機構

■東日本営業統括部■西日本営業統括部

■規格品事業部

国内販売：　アルバック販売株式会社

海外販売：　株式会社アルバック

TEL 03-5769-5511（代）TEL 06-6397-2281（代）

TEL +81-467-89-2261

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

18/0

5/30

09:

11:1

3

1054J/2018054000SP

仕 　 　 様

型式 取付フランジ（ポンプ取付側/吐出側） 質量[kg] 材質 寸法[mm] 適用ポンプ 備考*2

TMX-1 特殊（アダプタ付）/G1・1/2（傘付） 1.1

本体： 軟鋼(SPCC)／フィルタ：グラスウール

Φ106×193 VD151、VD201、PVD-180、PVD-360 　 TM201 VF40/G1・1/2（傘付） 8.5 Φ165.2×280 VD30C、VD40C 低負荷用

TM401 VF40/G1・1/2（傘付） 10 Φ165.2×350 VD30C、VD40C 高負荷用 VD60C、VD90C 低負荷用

TM-2VF40（アダプタ付）/G2（傘付）

9.3Φ285×520 VD60C、VD90C 高負荷用

VG50/G2（傘付） Φ285×450 PKS-016 　

TM-2FVF40（アダプタ付）/VG50

9.8Φ285×525 VD60C、VD90C 高負荷用

VG50/VG50 Φ285×455 PKS-016 　

TM-3VF50/G3（傘付）

17Φ362×635 VS1501 　

VG80/G3（傘付） Φ362×735 PKS-030 　

TM-3F*1VF50/VG80

18Φ362×600 VS1501 　

VG80/VG80 Φ362×700 PKS-030 　

TM-4VF50/G4（傘付）

35Φ442×945 VS2401 　

VG100/G4（傘付） Φ442×1160 PKS-070 　

TM-4F*1VF50/VG100

36Φ442×900 VS2401 　

VG100/VG100 Φ442×1120 PKS-070 　

TM-4SVF50/VG100

64Φ450×1487 VS2401 高負荷用

VG100/VG100 Φ450×1387 PKS-070 高負荷用

*1　F: フランジタイプ　 　*2　短期間で大気⇔真空の繰り返し排気を行う場合や、10,000Pa 以上の圧力で長時間運転する場合は高負荷用を選定してください。

特 長

油回転真空ポンプの排気側に取り付けることにより、油回転真空ポンプから排出される油煙を内蔵フィルタにより効率よく除去するトラップです。

トラップした油（油煙）はオプションの油回収機構にて油回転真空ポンプへ戻します。 優れた消音効果で繰り返し排気時の排気音を減少させます。 カートリッジ式内部フィルタ（TMXを除く）によりフィルタ交換が容易です。 フィルタが目詰まりを起こした場合は安全弁が作動します。フィルタを通さずに油煙を排出し破裂を回避します。

特 長

オイルミストトラップに溜まった油を油回転真空ポンプへ回収させます。 使用圧力や運転状況に合わせて4種類の回収機構を用意しました。

内容 自動油回収 到達圧力への影響 推奨使用圧力帯

油回収 A 逆止弁を設け、ポンプケース内へ油回収 △ ○

油回収 B ニードルバルブを設け、ガスバラストポートから油回収 △ △

油回収 C ニードルバルブを設け、吸気側から油回収 △ ×

油回収 D フロート式油回収装置に溜まった油を吸気側から回収 ○ ○

吸入圧力[Pa] 1～ 10～ 102～ 103～ 104～

連続吸入可能圧力

繰り返し排気可能圧力

油回収 A 油回収 B

油回収 D油回収 C

2

2 段回転翼型　VD シリーズ　Ver.C

18/0

5/30

09:

13:1

3

仕 　 　 様

型式 VD30C VD40C VD60C VD90C

設計排気速度　m3/h（L/min）50Hz 30（500） 40（670） 60（1000） 90（1500）60Hz 36（600） 48（800） 72（1200） 108（1800）

到達圧力　Pa*1GP閉 ≦ 0.67GP開 ≦ 2.0

最大水蒸気　許容圧力　Pa GP開50Hz 1300 1360 1320 97060Hz 1400 1760 2800 2820*2

最大水蒸気　処理量　g/h GP開50Hz 190 270 430 48060Hz 250 410 1100 1650*2

モータ*3

型式 全閉外扇形　三相誘導電動機高効率クラス IE3出力　kw（Poles） 1.5(4) 1.5(4) 2.2(4) 3.7(4)

電圧　V50Hz 200～240/380～41560Hz 200～240/380～460

使用油 ULVOIL　R-7所要油量　L 1.0～2.5 2.5～4.0冷却方式 空冷吸気口 VG40相当／KF40相当（オプション） VG50相当／KF50相当（オプション）排気口 VG40相当／KF40相当（オプション）質量　kg 58 60 90 113外形寸法　W×D×H　mm 210×660×324 210×680×324 280×761×371 280×831×371適合規格 CE/cTUVus標準付属品 油1台分、取扱説明書1部

推奨オイルミストトラップ（オプション）*4 TM201：低負荷運転用TM401：高負荷運転用

TM401：低負荷運転用TM-2（VD用）：高負荷運転用

オプション オイルミストトラップ、各種オイル、ガスバラストバルブ、ISOフランジ、安全増防爆型モータ、耐圧防爆型モータ特殊用途向け（A仕様、B仕様、H仕様）

注意　本カタログは、SI 単位系を採用しています。非 SI 単位系との換算は次のようになります。6.7Pa ＝ 5 × 10-3Torr*1　ピラニ真空計にて測定（マクラウド真空計では約 6.7 × 10-2Pa になります。）*2　VD90C は 1000Pa 以上の圧力で連続運転は出来ません。連続運転での最大処理量は 1000(Pa)/600( ｇ /h）となります。*3　出荷時は 200V クラスのΔ結線となっております。ご使用の電圧が 400V クラスの場合は Y 結線に変更してからお使い下さい。*4　高負荷運転とは短時間での大気⇔真空の繰り返し排気や、 10000Pa 以上の圧力で長時間運転することです。

特 長

ULVACオリジナルの高効率（IE3）マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。2段式で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現。幅広い用途でご使用頂いています。

高効率（IE3）マルチ電圧モータを採用： 200 ～ 240V/380 ～ 460Vまでの幅広い電圧を1台のモータで対応します。

強制給油方式を採用： 大気圧付近でも排気速度が安定。大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適です。

特殊用途向けオプション仕様： 標準仕様の他、A仕様、B仕様、H仕様をご用意しています。

排 気 速 度 曲 線主 な 用 途

蒸着装置、スパッタリング装置 真空充填 真空吸着、搬送、成形 真空含浸、鋳造 真空乾燥、凍結乾燥 リークテスト装置

3

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オ プ シ ョ ン

種類 適用機種 主シール材 独立給油（オイラー） Heリークテスト 標準仕様 VD30C, VD40C, VD60C, VD90C フッ素ゴム × × A仕様 VD30C-A, VD40C-A ニトリルゴム × × B仕様 VD30C-B, VD40C-B シリコンゴム ○ × H仕様 VD30C-H, VD40C-H, VD60C-H, VD90C-H フッ素ゴム ○ ○

型 式 説 明

- - -⑥① ② ③ ④ ⑤ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫ ⑬

記載例） VD30C-02211-19040011

＊１　標準仕様の呼称はありません。オプションでA/B/H仕様が選定できます。タイプにより選定できない本体オプション、外部オプションがあります。＊２　安増防爆／耐圧防爆はマルチ電圧を選定できません。電圧を指定して下さい。

30m3/h (50Hz) ／標準仕様／フッ素ゴム／R-7／全閉外扇モータ／マルチ電圧／JISフランジ／ガスバラストバルブなし／Heリークテストなし／和文取扱説明書／和文警告銘板

型式VD30 C 0 2 2 1 1 1 9 0 4 0 0 1 1

改訂 呼称 本体オプション 外部オプション

型式VD30：30m3/h（50Hz）VD40：40m3/h（50Hz）VD60：60m3/h（50Hz）VD90：90m3/h（50Hz）

改訂C : 最新改訂記号

⑥モータ*2

　1 ： 全閉外扇 【標準】　2 ： 安増防爆（屋内）　4 ： 耐圧防爆（屋内）⑦電圧　9 ： マルチ電圧 【標準】　A ： その他（電圧指定）⑧電源周波数　0 ： 指定なし【標準】　1 ： 50Hz　2 ： 60Hz⑨吸排気口フランジ　3 ： 吸排気　ISO-KF　4 ： 吸排気 JIS【標準】　7 ： 吸気 ISO-KF

⑩ガスバラストバルブ　0 ： なし 【標準】　1 ： 手動ガスバラストバルブ⑪Heリークテスト　0 : なし 【標準】　1 : あり（H仕様）⑫取扱説明書　1 : 和文　2 : 英文⑬警告銘板　1 ： 和文　2 ： 英文　3 ： 中文（簡体）　4 ： 中文（繁体）　5 ： 韓文

①構造　0 : 標準仕様　1 : 独立給油（オイラー）②シール部材質　1 : ニトリルゴム　2 : フッ素ゴム 【標準】　5 : シリコン＋ニトリルゴム③使用油　1 : 鉱物油（R-4）　2 : 鉱物油（R-7）【標準】　6 : フッ素油（J60F）④ベーン材質　1 : 樹脂 【標準】⑤排気弁板材質　1 : ステンレス鋼 【標準】

呼称*1

なし ： 標準 A ： A仕様 B ： B仕様 H ： H仕様

外 形 寸 法 図

VD-C

ガスバラストポート　G3/8

全閉外扇型フランジモータ

吸気口（Q）タップ深さ14

A C

L1

RN

P

M

OW2

ドレンバルブ Rc1/2

タップ深さ14給油口　G1

オイルレベルゲージ

排気口　VG40 オイルミストトラップ（オプション）

W1

W1

H1

H3

H4

H5

（TM

201）

(TM

401）

(TM

-2）

H

H2

W

ＴＹＰＥ Ａ Ｃ Ｈ Ｈ１ Ｈ２ Ｈ３ Ｈ４ Ｈ５ Ｌ Ｌ１ Ｍ Ｎ Ｏ Ｐ Ｑ Ｒ Ｗ Ｗ１ Ｗ２ＶＤ３０Ｃ 73 210 324 281 287 561 631 － 660 363 395 365 150 ４－φ１１ ＶＧ４０ 128 214 107 210ＶＤ４０Ｃ 73 230 324 281 287 561 631 － 680 383 395 365 150 ４－φ１１ 128 214 107 210ＶＤ６０Ｃ 88 255 371 328 324 － 678 848 761 435 390 365 230 ４－φ１１ ＶＧ５０ 92 264 132 280ＶＤ９０Ｃ 88 306 371 328 348 － 678 848 831 486 570 540 ２００／２３０ ８－φ１１ 182 264 132 280

L

4

2 段回転翼型　VD シリーズ

18/0

5/30

09:

13:1

3

仕 　 　 様

型式 VD151 VD201

設計排気速度　m3/h（L/min）50Hz 14.4（240） 20.2（336）60Hz 17.3（288） 24.2（403）

到達圧力　Pa*1GP閉 ≦ 0.67GP開 ≦ 6.7

最大水蒸気許容圧力　PaGP開

500 1300最大水蒸気処理量　g/h 40 138

モータ*3

型式 全閉外扇形　三相誘導電動機高効率クラス IE1*2

出力　kw（Poles） 0.55(4) 0.7(4)

電圧　V50Hz 200～240/380～41560Hz 200～240/380～460

使用油 ULVOIL　R-7所要油量　L 0.7～1.1冷却方式 空冷吸気口 KF25相当排気口 G1質量　kg 29 34.5外形寸法　W×D×H　mm 170×513×240 170×536×265適合規格 CE/cTUVus標準付属品 油1台分、取扱説明書1部推奨オイルミストトラップ（オプション） TMX-1＋アダプタフランジオプション オイルミストトラップ

注意　本カタログは、SI 単位系を採用しています。非 SI 単位系との換算は次のようになります。6.7Pa ＝ 5 × 10-3Torr*1　ピラニ真空計にて測定（マクラウド真空計では約 6.7 × 10-2Pa になります。）*2　高効率規制の対象外です。*3　出荷時は 200V クラスのΔ結線となっております。ご使用の電圧が 400V クラスの場合は Y 結線に変更してからお使い下さい。

特 長

小型のダイレクト駆動式油回転真空ポンプです。2段式で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現。幅広い用途でご使用頂いています。

マルチ電圧モータを採用： 200 ～ 240V/380 ～ 460Vまでの幅広い電圧を1台のモータで対応します。

強制給油方式を採用： 大気圧付近でも排気速度が安定。大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適です。

排 気 速 度 曲 線

VD201 50Hz

主 な 用 途

真空充填 真空吸着、搬送、成形 真空含浸、鋳造 真空乾燥、凍結乾燥

5

2 段回転翼型　PVD シリーズ

18/05/30 09:13:13

仕 　 　 様

型式 PVD180 PVD-360

設計排気速度　m3/h（L/min）50Hz 9（155） 19（310）60Hz 11（186） 22（372）

到達圧力　Pa*1GP閉 ≦ 0.67GP開 ≦ 6.7

モータ

型式 全閉外扇形　三相誘導電動機高効率クラス IE1*2 IE3出力　kw（Poles） 0.4(4) 0.75(4)

電圧　V50Hz 20060Hz 200/220 200/220/230

使用油 ULVOIL　R-7所要油量　L 0.3 0.5冷却方式 空冷吸気口 Φ28×Φ19 Φ34×Φ27排気口 G3/4 G1質量　kg（モータ無し） 33.5 43外形寸法　W×D×H　mm 265×470×321 303×488×321適合規格 －

標準付属品 油（1台分）、取扱説明書（1部）モータプーリ（1個）、Vベルト（1台分）

推奨オイルミストトラップ（オプション） TMX-1＋アダプタフランジ

オプションオイルミストトラップ、各種オイル

安全増防爆型モータ、耐圧防爆型モータ、電圧指定モータB仕様（油逆流防止電磁弁付）*3、H仕様（Heタイト）

注意　本カタログは、SI 単位系を採用しています。非 SI 単位系との換算は次のようになります。6.7Pa ＝ 5 × 10-3Torr*1　ピラニ真空計にて測定（マクラウド真空計では約 6.7 × 10-2Pa になります。）*2　高効率規制の対象外です。*3　B 仕様の電磁弁を防爆仕様にすることは出来ません。

特 長

長年に渡る信頼性と使いやすさから、多くのお客様にご利用頂いている小型のベルト駆動式油回転真空ポンプです。

ベルト駆動による低速回転で静かなポンプです。 ベルトカバーは安全を考慮し密閉式を標準採用しています。

排 気 速 度 曲 線主 な 用 途

真空充填 真空吸着、搬送、成形 真空含浸、鋳造 真空乾燥、凍結乾燥

6

2 段回転翼型　VD ／ PVD シリーズ

18/0

5/30

09:

13:1

3

外 形 寸 法 図

VD

PVD

全閉外扇フランジモータ

FG E D

AB

L

吸気口　KF25

給油口　G3／4

排気口（J）

オイルミストトラップTMX ー1（オプション）

H1

H3

H

H2

H4W C

L

L

B

C D

A

全閉外扇モータ

配管用ネジ（J）排気側ダクト

排気口

排油口　M12

吸気管外径（M）/内径（N）

取付ネジ（P）

（給油口）

油逆流防止弁（Bタイプ）

オイルミストトラップTMX ー1（オプション）

HH2

H4

H3

W2

WG

W1

H1

ＴＹＰＥ Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ Ｆ Ｇ Ｈ Ｈ１ Ｈ２ Ｈ３ Ｊ Ｌ Ｌ２ Ｍ Ｎ Ｐ Ｗ Ｗ１ Ｗ２ＰＶＤ－１８０ 65 90 420 15 150 15 27 321 315 － 177 Ｇ３／４ 470 450 φ２８ φ１９ Ｇ３／４ 265 65 180ＰＶＤ－１８０Ｂ 65 90 420 15 150 15 27 321 315 321 177 Ｇ３／４ 470 450 φ２８ φ１９ Ｇ３／４ 265 65 180ＰＶＤ－３６０ 85 90 440 15 190 15 30.5 321 315 － 195.5 Ｇ１ 488 470 φ３４ φ２７ Ｇ１ 303.5 80 220ＰＶＤ－３６０Ｂ 85 90 440 15 190 15 30.5 321 315 327 195.5 Ｇ１ 488 470 φ３４ φ２７ Ｇ１ 303.5 80 220

ドレンバルブ Rc3／8

ＴＹＰＥ Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ Ｆ Ｇ Ｈ Ｈ１ Ｈ２ Ｈ３ Ｈ４ Ｌ ＷＶＤ１５１ 238 154 33 260 120 130 65 － 240 213 228 396 513 170ＶＤ２０１ 258 143 31.5 260 136 130 65 271 265 254 233 439 535.5 181

EF４－φ12 L2

7

1 段回転翼型　VS シリーズ

18/05/30 09:13:13

仕 　 　 様

型式 VS1501 VS2401

設計排気速度　m3/h（L/min）50Hz 150（2500） 240（4000）60Hz 180（3000） 288（4800）

到達圧力　Pa*1GP閉 ≦ 5.3GP開 ≦ 80

モータ*2

型式 全閉外扇形　三相誘導電動機高効率クラス IE3出力　kw（Poles） 5.5(4) 7.5(4)

電圧　V50Hz 200～240/380～41560Hz 200～240/380～460

電源容量(kVA)

50Hz 40 5560Hz 35 50

使用油 ULVOIL　R-7所要油量　L 8.0～10.5冷却方式 水冷

冷却水

一次側圧力　MPa ≦ 0.5出入口差圧　MPa ≧ 0.1冷却水量　L/min 4 5冷却水温度　℃ 5～30

吸気口 VG80相当排気口 VG50相当質量　kg 232 271外形寸法　W×D×H　mm 330×941×460 333×1061×460適合規格 －標準付属品 油（1台分）、取扱説明書（1部）推奨オイルミストトラップ（オプション） TM-3（VS用） TM-4（VS用）

オプションオイルミストトラップ、各種オイル、ガスバラストバルブ

安全増防爆型モータ、耐圧防爆型モータ、電圧指定モータH仕様（Heタイト）、R仕様（冷却水系統防錆）

注意　本カタログは、SI 単位系を採用しています。非 SI 単位系との換算は次のようになります。5.3Pa ＝ 4 × 10-2Torr*1　ピラニ真空計にて測定（マクラウド真空計では約 5.3 × 10-1Pa になります。）*2　出荷時は 200V クラスのΔ結線となっております。ご使用の電圧が 400V クラスの場合は Y 結線に変更してからお使い下さい。

特 長

強制給油と冷却系統の強化により、高吸入圧力での排気特性が安定している油回転真空ポンプです。繰り返し排気の多いプロセスをはじめ幅広い用途でご使用頂いています。

低振動構造： 揺動ピストン型と比べ低振動構造。建屋上層階設置に最適です。

強制給油方式を採用： 大気圧付近でも排気速度が安定。大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適です。

0

50

100

150

200

250

300

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

ping

Spe

ed [m

3/ho

ur]

Pressure [Pa]

VS2401 60Hz

VS1501 50Hz

VS1501 60Hz

VS2401 50Hz

Gas Ballast ClosedGas Ballast Open

排 気 速 度 曲 線主 な 用 途

蒸着装置、スパッタリング装置 真空充填 真空吸着、搬送、成形 真空含浸、鋳造 真空乾燥、凍結乾燥 リークテスト装置

8

1 段回転翼型　VS650A ／ VS750A

18/0

5/30

09:

13:1

3

0

100

200

300

400

500

600

700

800

900

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

ping

Spe

ed ［

m3 /h

］

Pressure ［Pa］

VS650 50Hz

VS650 60Hz( VS750 50Hz )

Gas Ballast ClosedGas Ballast Valve 1 OpenedGas Ballast Valve 1+2 Opened

排 気 速 度 曲 線

仕 　 　 様

型式 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

最大排気速度　m3/h（L/min）50Hz 650（10833） 750（12500）60Hz 750（12500） 運転できません

到達圧力　Pa*1

GP閉 ≦ 8GP１箇所開 ≦ 70GP２箇所開 ≦ 200

水蒸気許容値　Pa*2

GP１箇所開50Hz 4500 2500 5500 250060Hz 5500 2500 運転できません

GP２箇所開50Hz 6000 3800 7500 400060Hz 7500 4000 運転できません

水蒸気処理量　kg/h*2

GP１箇所開50Hz 17 11 24 1360Hz 24 13 運転できません

GP２箇所開50Hz 26 15 34 1960Hz 34 19 運転できません

モータ*3

型式 全閉外扇形　三相誘導電動機高効率クラス IE2出力　kw（Poles） 22（4）

電圧　V50Hz 200～240/380～415 200～240/380～41560Hz 200～240/380～460 運転できません

電源容量（kVA）

50Hz 130 20060Hz 200 運転できません

使用油 ULVOIL　R-7所要油量　L 23～27 25～30 23～27 25～30冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

冷却水

一次側圧力　Mpa － ≦ 0.5 － ≦ 0.5出入口差圧　Mpa － ≧ 0.1 － ≧ 0.1冷却水量　L/min － ≧ 3.0 － ≧ 3.0冷却水温度　℃ － 5～30℃ － 5～30℃

吸気口 DN 100 ISO-K排気口 DN 100 ISO-K質量　kg 806 800 802 796外形寸法　W×D×H　mm 1490×905×705 1490×841×705 1490×905×705 1490×841×705適合規格 －標準付属品 油1台分、取扱説明書1部

オプション 耐圧防爆型モータ、電圧指定モータ吸排気口JISフランジ*4 、ガスバラストガス（GP2手動）

注意　本カタログは、SI 単位系を採用しています。 非 SI 単位系との換算は次のようになります。8.0Pa ＝ 6 × 10-2Torr*1　ピラニ真空計にて測定（マクラウド真空計では約 0.8Pa になります。）*2　水蒸気許容値および水蒸気処理量は以下の冷却水量で測定しています。 なお冷却水入口温度は 26℃です。

VS650A-W VS750A-W

GP１箇所開50Hz 3 L/min. 5 L/min.60Hz 5 L/min. -

GP２箇所開50Hz 3 L/min. 5 L/min.60Hz 5 L/min. -

*3　出荷時は 200V クラスのΔ結線となっております。 ご使用の電圧が 400V クラスの場合は Y 結線に変更してからお使い下さい。*4　吸排気口を JIS フランジとした場合、配管取合の寸法が変化します。

特 長

大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能な油回転真空ポンプです。冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びください。

低振動構造： 揺動ピストン型と比べ低振動構造。建屋上層階設置に最適です。

空冷と水冷の選択が可能： 環境に合わせて選択可能。油温を下げるためオイルクーラーを採用しています。

オイルミストフィルタ内蔵： カートリッジ式のオイルミストフィルタをオイルタンク内に内蔵しています。

メンテナンス性の考慮： オイルタンク内の清掃とオイルミストフィルタの交換が容易です。

9

18/05/30 09:13:13

- - -⑥① ② ③ ④ ⑤ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫ ⑬

記載例） VS650A-W-02222-192211131

＊１　VS750Aは50Hzのみです。 60Hzでは運転できません。＊２　防爆対応はモータのみとなります。　　　また、モータの防爆対応時、サーモスタットおよびDC24V電源結線部は付属しません。御注意下さい。＊3　 耐圧防爆はマルチ電圧を選定できません。電圧を指定して下さい。

650m3/h (50Hz) [750m3/h (60Hz)]／全閉外扇モータ／マルチ電圧／ISO-Kフランジ水冷／手動ガスバラストバルブ1個／和英併記取扱説明書／和文警告銘板

型式VS650 A W 0 2 2 2 2 1 9 2 2 1 1 1

⑭

13改訂 呼称 本体オプション 外部オプション

型式650：650m3/h（50Hz） 　 750m3/h（60Hz）　750：750m3/h（50Hz）*1

改訂A : 最新改訂記号

⑥モータ　1 ： 全閉外扇 　4 ： 耐圧防爆（屋内）*2 *3

⑦電圧　9 ： マルチ電圧　A ： その他（電圧指定）⑧吸排気口　2 ： ISO-K フランジ　4 ： JIS フランジ⑨冷却方式　1 ： 空冷　2 ： 水冷⑩ガスバラストバルブ　1 ： 手動ガスバラストバルブ1個　3 ： 手動ガスバラストバルブ2個

⑪オイルフィルタ　1 : オイルフィルタあり⑫逆流防止弁　1 : スプリング式⑬取扱説明書　3 : 和英併記⑭警告銘板　1 ： 和文　2 ： 英文　3 ： 中文（簡体）　4 ： 中文（繁体）　5 ： 韓文

①構造　0 : 標準仕様②シール部材質　2 : フッ素ゴム（FKM）③使用油　2 : 鉱物油（R-7）④ベーン材質　2 : 樹脂⑤排気弁板材質　2 : ステンレス鋼

呼称⑨の仕様に一致　A : 空冷　W : 水冷

1. 吸気口2. 油逆流防止弁3. シリンダ4. ロータ5. ベーン6. オイル供給ライン7. ガスバラストバルブ8. 排気弁9. オイルタンク

10. オイルフィルタ11. オイルレベルゲージ12. オイルミストフィルタ13. オイルリターンバルブ14. オイルリターンライン15. 排気口

型 式 説 明

外 形 寸 法 図

VS650A/VS750A

構 造 説 明 図

●②

●③ ●⑪●④

●⑫●⑤

●⑬

●⑥●⑭

●⑦

●⑮

●⑧●⑨

●①

●⑩

排気口

吸気口

DN 100 ISO－K

DN 100 ISO－K 給油口 G1

オイルレベルゲージ

冷却水配管出口

冷却水配管入口G1/2（水冷のみ）

G1/2（水冷のみ）

HH1

G FED

B

C

A

L

H2

排油口 Rc1

WW

1

ＴＹＰＥ Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ Ｆ Ｇ Ｈ Ｈ１ Ｈ２ Ｌ Ｗ Ｗ１ＶＳ６５０/VS750 887 951 308 1170 127 386.5 257 774 705 505 1541 850 486.5

10

揺動ピストン型　PKS シリーズ　Ver.B

18/0

5/30

09:

13:1

3

仕 　 　 様

型式 PKS-016 PKS-030 PKS-070B*1

設計排気速度　m3/h（L/min） 96（1600） 180（3000） 420（7000）

到達圧力　Pa*2　GP閉 2.7GP開 400

最大水蒸気許容圧力　PaGP開

650 900 6000最大水蒸気処理量　g/h 5 7 12

モータ*3

型式 全閉外扇形　三相誘導電動機高効率クラス IE3出力　kw（Poles） 2.2(4) 3.7(4) 11(6)

電圧　V50Hz 200～240/380～41560Hz 200～240/380～460

電源容量(kVA)

50Hz10 15

6560Hz 75

使用油 ULVOIL　R-7所要油量　L 6.5 8 20冷却方式 空冷 水冷

冷却水

一次側圧力　MPa ー ≦0.3出入口差圧　MPa ー ≧0.1冷却水量　L/min ー 3 5冷却水温度　℃ ー 5～30

吸気口 VG50相当 VG80相当 VG100相当排気口 VF50相当 VF80相当 VF100相当質量　kg（モータ無し） 225 380 900外形寸法　W×D×H　mm 587×884×572 721×675×973 971×983×1190適合規格*4 CE、cTUVus標準付属品 油（1台分）、取扱説明書（1部）、モータプーリ（1個）、Vベルト（1台分）推奨オイルミストトラップ（オプション） TM-2 TM-3 TM-4、TM-4S

オプション オイルミストトラップ、各種オイル、安全増防爆型モータ、耐圧防爆型モータ、電圧指定モータH仕様（Heタイト）、L仕様（ラージクリアランス）

注意　本カタログは、SI 単位系を採用しています。非 SI 単位系との換算は次のようになります。2.7Pa ＝ 2 × 10-2Torr*1　 PKS-070B は鋳物形状を変更し、大型オイルレベルゲージ、大容量オイラー、点検孔付密閉ベルトカバーの採用など改良しました。取り合い寸法、性能については

従来機と変更ありません。*2　ピラニ真空計にて測定（マクラウド真空計では約 2.7 × 10-1Pa になります。）*3　出荷時は 200V クラスのΔ結線となっております。ご使用の電圧が 400V クラスの場合は Y 結線に変更してからお使い下さい。*4　2018 年 6 月取得予定

特 長

PKSシリーズは、非常に堅牢で排気特性の安定した揺動ピストン型の油回転真空ポンプです。金属・自動車産業をはじめ、化学・医薬・食品産業などの幅広い用途でご使用頂いています。

堅牢で長寿命、摺動部の少ない低速回転ポンプです。耐摩耗性に優れた材料を使用しています。 ULVACオリジナルの高効率（IE3）マルチ電圧モータを採用しています。 ベルトカバーは安全を考慮し密閉式を標準採用しています。また、簡単に回転方向、ベルトの張りを確認できる点検孔を採用しました。（PKS-070B）

排 気 速 度 曲 線主 な 用 途

真空熱処理炉、焼結炉、浸炭炉 真空含浸、鋳造 蒸着装置、スパッタリング装置 真空乾燥、凍結乾燥 溶剤排気 紛体排気

11

VS1501 ／ VS2401 ／ PKS シリーズ

18/05/30 09:13:13

ＴＹＰＥ Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ Ｆ Ｇ Ｈ Ｈ１ Ｈ２ Ｈ３ Ｈ４ Ｈ５ Ｈ６ Ｊ Ｋ Ｌ Ｍ Ｎ Ｗ Ｗ１ＰＫＳ－０１６ 70 260 190 440 60 700 ４－Φ１９ 572 550 350 1025 － － － ＶＧ５０ ＶＦ５０ 884 Ｒｃ３／８ Ｇ３／４ 587 247ＰＫＳ－０３０ 80 485 112.5 225 25 470 ４－Φ２２ 973 624 － － 1345 － 610 ＶＧ８０ ＶＦ８０ 675 Ｒｃ１／２ Ｇ３／４ 712 137ＰＫＳ－０７０ 93 655 173 346 25 537 ４－Φ２２ 1190 743 987 － － 1887 727 ＶＧ１００ ＶＦ１００ 983 Ｒｃ３／４ Ｇ１・１／４ 971 200

外 形 寸 法 図

VS

PKS

オイルドレンバルブ（M）

全閉外扇モータ

吸気口（J）

排気口（K）

オイルドレンバルブ

全閉外扇モータ

給油口（N）

冷却水出口

冷却水入り口

Rc3／8

Rc3／8

タップ深さ18

DL

F

B

GCE

（基礎ボルト穴）（基礎ボルト穴）

タップ深さ25/070

（M）G

タップ深さ18/030

給油口（N）

排気口（K）吸気口（J）

タップ深さ16タップ深さ20

オイルミストトラップ（オプション）

PKS-030/PKS-070BPKS-016H5

H4

H3

H2

H1 H

H2

H

W

W

DC W

1

W1

H1H6

（TM

－4）

（TM

－3）

（TM

－2）

L

93

F E（基礎ボルト穴）

（基

礎ボ

ルト

穴）

A

全閉外扇型フランジモータ

オイルミストトラップ（オプション）

外部フィルターポートIN

外部フィルターポートOUT

G3／8

G3 ／ 8

冷却水出口 G3／8

冷却水入口 G3／8

排気口　VG50ガスバラストポート G3／８吸気口　VG80タップ深さ17タップ深さ22

給油口　G1オイルミストトラップ油戻しポート G1／4

W

W1

MP

H4

H3

（TM

－4）

（TM

－3）

H2

L1

BA

H

H1ＴＹＰＥ Ａ Ｂ Ｈ Ｈ１ Ｈ２ Ｈ３ Ｈ４ Ｌ Ｌ１ Ｍ Ｎ Ｐ Ｗ Ｗ１ＶＳ１５０１ 116 340 460 420 391 1035 1365 941 571 394 286 77 333.5 163ＶＳ２４０１ 116 422 460 420 393 1035 1365 1061 653 476 286 77 333.5 163

４－φ15L

N

排油口 G3／4

B A