13
Study of composition and bonding character of CN x ®lms G. Soto * , E.C. Samano, R. Machorro, M.H. Farõ Âas, L. Cota-Araiza Centro de Ciencias de la Materia Condensada, UNAM, Apdo. Postal 2681, 22800 Ensenada, BC, Mexico Received 9 March 2001; accepted 23 August 2001 Abstract A series of samples were prepared by reactive laser ablation of a graphite target in nitrogen environment. The CN x ®lms were annealed from room temperature to 900 8C, and in situ analyzed by electron energy loss spectroscopy EELS), Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and temperature desorption spectroscopy TDS). A [N]/[C] ratio of 0.43 was determined and decreases notoriously as the annealing temperature increases. The peak shapes and intensities in the N 1s and C 1s regions are similar to those reported by other research groups. Small satellite peaks were observed in the N 1s and C 1s regions, corresponding to ®rst- and second-order inelastic energy losses of the main peaks. These losses were detected also by EELS with an energy of 4 eV and assigned to the p±p plasmon. This resonance is distinctive of non-localized electrons in an sp 2 -hybridized carbon orbital. Thereafter, the main N 1s and C 1s peaks could be assigned to atoms in a six- and ®ve-member rings. Moreover, the ®lms were easily degraded by the thermal treatment and the main desorption product determined by TDS was found to be C 2 N 2 . We concluded that the most probable structure is one where N atoms dope graphite-like carbon layers by substitution, causing three-dimensional polymerization reactions, with chemical states similar to Upilex, Kapton and other polyimides. # 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PACS: 61.43.Er; 68.60.Dv; 61.82.Pv; 68.55.-a Keywords: Carbon nitride; Polyimides; Polymerization; Chemical state; Thermal treatment 1. Introduction Over the last years, a large number of reports have dealt with the preparation and characterization of carbon nitride ®lms. The impelling force of this experimental effort is the conjecture attributed to Cohen [1] that a solid formed by carbon and nitrogen, b-C 3 N 4 , would have a very high elastic bulk modulus. This prediction is based on the fact that the C±N bond is highly covalent with a short interatomic distance. This supposition was tested a posteriori by several ab initio calculations using the well-known b-Si 3 N 4 com- pound as a prototype structure [2±4]. So far, several CN x structures have been theoretically proposed [5,6] resulting in two kinds of materials. One of them is characterized by tetrahedrally coordinated sp 3 -hybri- dized carbon, presenting properties such as high-den- sity, hardness and thermal conductivity, while the other one has a graphite-like sp 2 -hybridized carbon. This latter type of compound has been considered undesirable due to the lack of virtues assigned to the hypothetical b-C 3 N 4 phase. It is commonly accepted that the mechanical properties of CN x ®lms are com- pletely different if the carbon is bonded by means of sp 2 hybridization instead of sp 3 hybridization. Applied Surface Science 183 2001) 246±258 * Corresponding author. Postal address: Centro de Ciencias de la Materia Condensada, UNAM, PO Box 439036, San Ysidro, CA 92143-9036, USA. Tel.: 52-617-44604; fax: 52-617-44603. E-mail address: [email protected] G. Soto). 0169-4332/01/$ ± see front matter # 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PII:S0169-433201)00567-0

Study of composition and bonding character of CN x films

Embed Size (px)

Citation preview

����� �� �������� � � �� �� � ��������� �� ��� ���

�� ������ ���� ��� �� �� ��������� ���� ��!"��� #� ����$%���&������� �� ����� �� � ������ ����������� ����� ����� ����� ����� ����� ��������� ��� ����

�����'�� ( ����� )**+, ������� )- %����� )**+

��������

% ������ �� ����� .��� ������ �� ������'� ����� ������� �� � ������� ������ � ������ � '��� � �� /�� ��� ���

.��� � ����� ��� ��� ��������� �� (** ��� � � � ���� � ���&�� �� ������� � ���� ���� ���������� 0��#�1� %����

������� ����������� 2$��� ����������� ���������� � � ��������� �������� ���������� 0/3�1� % 4�564�5 ����� ��

*�7- .�� ������ �� � � ��������� ���������� �� ��� � ���� � ��������� � �������� /�� ��8 ����� � � � �� ������ � ���

�+� � � �+� ����� � ��� ������ �� ����� ������� �� ����� �������� ������ ���� ��������� ��8� .��� �����'�� � ��� �+� � �

�+� ����� �� ������� �� � �� ����$ � � ���� �$����� � ������� � ���� ������ �� ��� �� ��8�� /���� ������ .��� �������� ����

�� ��#� .��� � � ���� �� 7 �9 � � ����� �� �� ��� �:�� ���� � /��� ���� � �� �� ����� ���'� �� � $������&�� ������� � � � �)$�������&�� ����� �������� /���������� ��� �� �+� � � �+� ��8� ����� �� ����� �� �� ���� � � ��;$ � � �'�$����

�� ��� �����'��� ��� ��� .��� ������ �������� �� ��� ������ ������ � � � ��� �� �������� ������ ������ �� �� /3�

.�� ��� � �� �� �)�)� <� �� ������ ���� ��� ��� ������� ��������� �� � � .���� � ���� ��� �������$��8� ����� ������

�� ����������� � ����� � �����$��� ��� �� ������&���� ������� �� .��� ������� ������ ������ �� =���;� >��� � � �����

��������� � )**+ ����'��� ���� �� ?�9� %�� ������ �����'���

����� @+�7-���, @A�@*�3', @+�A)�B', @A�CC�$�

�� !����� ����� ������, B��������, B������&���� , ������� �����, /����� ������ �

� ���� ������

D'�� ��� ���� ������ � ����� ���� �� ������ ��'�

����� .��� ��� �������� � � ����������&���� ��

����� ������ ���� /�� ����� � ����� �� ����

�;���� ��� ������ �� ��� �� E������ ���������� ��

���� 4+5 ���� � ����� ����� �� ����� � � ������ �

�$�-�7� .���� ��'� � '��� ���� ������� ���8 �������

/��� �������� �� ����� � ��� ���� ���� ��� �:� �� �

�� ������ ��'��� � .��� � ����� � �������� ����� ���

/��� �������� .�� ������ � ��������� �� ��'���� ��

� ���� ���������� � ��� � ��� .���$8 �. �$��-�7 ��$

�� � �� � ������� ��������� 4):75� �� ���� ��'����

��� ���������� ��'� ��� ������������� ������ 4C�@5

������� � � �.� 8� �� �� ��������� D � �� ��� ��

����������&�� �� ������������� ������ ���� �-$�����$

��&�� ����� � ���� �� � �������� ���� �� ����$�� $

����� ���� ��� � � ������ �� �����'���� .���� ���

����� � � ��� � �������$��8� �)$�������&�� ����� �

/��� ������ ��� �� ���� � ��� ��� �� �������

� ��������� ��� �� ��� ���8 �� '������ ����� �� �� ���

����������� �$�-�7 ����� F� �� ��� �� �������

���� ��� ���� ���� �������� �� ��� ��� ��� ��$

������ ������� � �� ��� ����� �� �� ��� �� �� �

�� �) �������&���� � ����� �� �- �������&���� �

%���� ������� ���� �� +A- 0)**+1 )7@:)CA

� ������� �� � ������� B����� �������G �� ��� �� ��� ���� �� ��

������� �� �� ����� =�%�� BD ?�; 7-(*-@� �� H������ �%

()+7-$(*-@� =�%� /���G �C)$@+I$77@*7, ��;G �C)$@+I$77@*-��"#� �������G �������J����� ��; 0�� ����1�

*+@($7--)6*+6K : ��� ��� � ����� � )**+ ����'��� ���� �� ?�9� %�� ������ �����'���

BFFG � * + @ ( $ 7 - - ) 0 * + 1 * * C @ I $ *

/�� � ��� ����� ���� ���.�� �)$ � � �-$�������&��

����� � �� �� ������� ����� �� � ��� ����������&�$

��� �� ��� ����

2$��� ����������� ���������� 02B�1 �� � .�����

���� ���� �L�� �� � ���&� ��� ���� �� ������� �

��� �������� ���������� 4I:+@5� %������� � ��������

������������ ��8 ����� � � �� 2B� �� ����� ���� �

��� ��� �+� � � �+� ����� �� ������� � �� ��� ���� �

����������� ����� �� � ���� � �� �� �� �� � ������

��� ����� �� ��8� �� ������ MM�)$�������&�� �����

��� ��� �� ������ NN �� MM�-$�������&�� �����

��� ��� �� ������ NN� <� �����'� ���� ��������� �

����� ��� ��8 � ���������� �� ��� �+� � '���� ��

����� � ��� ���� ���� ��� �������&���� ����� ���

������� ����� ��� �� ������ �� ��� ��� � '��$

�� ����, ����� ��� �+� � ���������� �� O��8�� � �

��&&� 4+I5� D ��� �� ������ ?���� � � ������ 4+A5

�� ������ ���� ��� ����� ���� �� ���. ��� ���

�+� �� �� � � ���� � � ���� � 2B� ������� ������$

���� �� ����� �������&���� ������ ��8������ �� ��� 4+(5

������� �� �� � � ������ ��� �+� � ������ $�� ��� $

� � ����� ���� �� � ���� �� ��� ����� �� �����

����� �� �� � ��� ��� �� � .��� � �- �������&���� �

��.�'��� ���� ������� ���� ������ ���� ����������

����� ���� � ��;��� �� ����� ������� �������

�� ��� 4)*5 ��� � � �������$��8� ��������� � ��� ���

����� � ���� �� /��� ������ �� ���� ����� ����

.��� ����������� �� ������ ����� .���� �������

����� �$��8� � � ��� �� ��� ����������� ?��� �;���$

� ��� ������� ���. ��� �;���� �� �� ������ $������$

����� ������� ��������� .��� ��� ���� �� �� �-

�������&���� � ��� ����� ����� /��������� �� ��

����� ���� �� ����� ���� ��� ������ ���� �� ���

�������&���� ����� �� ����� �� 2B� �� �� �� �����'��

�� ?���� � � ������ 4+A5 ������

/�� �� �� ���� .��8 �� �� ��������� ���� �� E�������

�� ���� ������ � ������ �� ������� ��� ���. ��

����� ����� �������� 0B#31 ��'� ��� ������ � �

� ���&�� �� 2B�� %���� ������� ���������� 0%��1�

������� � ���� ���� ���������� 0��#�1 � � ��$

������� �������� ���������� 0/3�1� F ����������

����� � � � ?���� � 4)+5 ��'� ��������� ���� ��#� ��

� �������� � �������� ���� �� ����� ����� ��� �������&�$

��� ����� � ����� ������ ���� B#3 �� � .���$

����������� ���� �L�� ��� ���.� � ����$�� ���� ����

���� �� ���� �$��8� ����� 03#�1 � � �������

�������� 4))5� F ����� �� � �������� ������ � ��

��� ���� �) ��� .�� � �������� � �� ��� �������

������ � � �� �&�� �� ���$��� �������� � .����

��� ������ .�� �������� /��� ����� ��� ��'� �� ��

������ � ����� � ����� ������ ��� .��� �� ���������

������������ � � �������� 4)):)I5� %� ��� � � ��

�������� � ��� ��� .��� � ����� � ��� ���������

�� �� ��� ��� ��������� �� (** �� � C* �� ����,

���� ������ ������ � � ����� �������� �� � �

������� ��� ���� %� ���� ��������� ���� ��� ��

�'������ .�� � ���� � ������ �� 2B� � � /3�� /��

�� �� � � ������ �� ����� � � ������ � � ���

����� �� ��� �������� ������ .��� ��������� ��$

����� � � ������� /�� �� �� � ������ �� ��� �����

������ ��� .��� ������ �� �� ��#��

� ������������ ������

���� �����#���� ���$�

/�� �;���� �� .��� ������� ��� � � ������

����� ������� ������ ����� #3�$-)� /��� ����� ���

��� ��������� � ��� ������ � � ��'���� .��8 4)75�

?��������� ��� �L��� � �� ����� �� ����� '����

�������G ���� ����� �� �� ���.�� � � � �������

���� ������ �� � ��� �� ��� �'������� �� � ��

� � � �������� �� ����� ���� '���� ���� '��'���

/�� ��.��� ����� ���� ������� �� � ��� +*:+* /���

�� �� ��� ��� ���.�� � � � ������ ������� � � �

��� +*�( /��� �� �� ��� ��� ����$����� � �������

% ���� ��� ���� ����� ����.� ��� ���� ��� ����

���.�� ��� ���.�� � � � ������ �������� %������

�� ���������� �� �� � �� � >� �;���� ����� ��

� � )7A � .��� � ���� �� ��� �� � � -* � ����

.���� ���� �;�� 0 <��1� ������� � ��� ������

�� C*� ��� ��� ������� �����/�� � ������ ������ �� �L���� .��� � �������

� ���&�� ����� �%�$-� � �$�� � � � 2$���

������ �� ����� 2B�� %�� � � ��#� ������$

� ��� 2B� ���� .��� ��������� ����� �;���� � ���

���� �� �� � �� ��� %� >� �� � 0+7A@�@ �91 ��

��� 2$��� ������� /�� � ���� ����� .�� ��'������

���������� ��� � ��� ������ �� �� �� � � ������ �� ��

)-6) �� (-)�@I �9 � � %� -�C6) �� -@A�)@ �9� /��

�;�� ��������� ����� �� .��� ���� ���� �� +�+ �9

������� ��� ��� �+� ��� ����� �� � �������� ���$

���� ������� �� %�� ������� �� ��� �����

� ���� .�� ��� �� -*** �9 � � ���� ��L������� ��$

����� �� �� �� ��������� �� - �9� ��#� ���� .���

%� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-� )7I

��������� ��� � � � ���� � �$��� �� +*** �9 � � �

��������� �� ) �9 ������� ��� ��� <�� ��

���8��������� ������� ������� ��

����� .��� �������'��� ������ �� �� � �� �

������ ��� ��������� �� ������� �� ����� /3��

/�� �������� ������ ��� ��� �� .��� � ������

.��� � L�������� ��� ���������� 0P��1 ?���&��

P��$++)� ������� - � �.�� ��� ��� ���� �������

���� ��#� � ���������� ��� .������/����

/�� �$��� ��� .��� ���. � 0+ + +1 $����

������ .����� �� ��� ��������� �� ������ � � ����

����� �������� ������� ������ � ���� '���� � � �

��� � '��� � � �� �������� ������ � ��� ������� �

��������� /�����:��������� ����� ��� ����� � �����

���� �� ������ � � ���� �������� ���� .��� 8��

�;�� �� +* �� A** O� +*�*** � � +* �&� �����$

��'���� /�� ����� � ���� �� ���� �� ������ ������� .���

��� ���'� ������� �� �������� �� C O ��)� %

������������� � ������ �� ��� ������ �������

���� � �� ������� �� 8��� � �������� ��� �����$

�� �� � �� � �� � ���� '��'�� %���� �������

�� ��� �������� ������� ��� ���.�� ������ .��

�'������� �� � ������� �� +*�A /��� � ���� ��� - � �%� ���� �� �� ��� ���� .�� ��� ������ �� ���

��E��� � � ������ ������� �� ��� � � �� ��� �����$

��� ������ �� ��� ���� � � �� ��� �� � ������� ����

��� C � ��� ������� � �� ��� ���� ��� �����

���.�� ����� �.� �������� /�� � ��������� ��

��'� ������� ������� � �� ��� ��� .�� � ��&��

�� ���� ���������

/�� �������� � � ������� ����� �� ��� ��� .��

� '��������� �� � �� ���� �� � ���� � ����������

/�� �'������ �� ��� �������� ������ ��� ��� ���

.�� �������� �� � ������ � ��� ������� ���������

��� ��� ��������� �� (** �� � C* �� ���� ��

�� � �� 2B� � � /3��

F ����� �� ������� � � ���� � �� ��� � ������ �$

� � �� 2B� ����� ��� �+� � � �+� ����� � .���

��������� ����� .��� �;�� #��� �&�� :�������

������ ��� � ��� /�������N� ����� 4)A5 ��� ���8$

���� � ���������� � � � 8��� � ��� <�� �� ���

�� ��8� �;�� �� +�A �9� /� ���� ������� ���

�;���� ��� ���� .� ���� ��� � �� �����'����

��� �� ��8�� ��� ����� .� ��� ������� � ���

���� ������� �� �������� �� �� �� ��� 2B� � ������

��� �� � �� ����'��� ������� � � �������� '����� ���

�� ������ ��L����� ��� ������'� ����� �� �� ������

������ 4�564�5� �� � �� � ������� ������ ��� ����� ����

�� �� �� 4)(:-+5�

� �������

(��� ����0�� ����������

%�� 2B� � � %�� ������ ���. ���� ��� ������

��� �� ��� � �� ����� � ������ � � ���������

������ �� �;��� � F ��� +� ��� ������'� ����� �� $

�� ������ ��� 2B� ������� �� �� ������ � �

����� �� � �� ���� �� ������ ������� �� ���� ����

<� �����'� � ����� �� �� ��� � ���� � �� ������

�� �� � � ��� ��� � ��� � � )*/��� �������

�� ��� �� ���� �� � � C*/��� � ��� ������

� ��������� � �� ��� ��� �� �����'��� /�� ������'�

����� �� �� ������ � ���� ������� �� �� �� ���;�$

����� I* � � -*Q ��� ����� � � ������ � �����$

��'���� /��� ������� �� �� � ������������ �� ��*�7-�

.���� �� � ���� ������ � .��� ��� ������� '�����

�����&� � B93 �� ��� ���.�� ���� �L�� 4-)5� %�

�;������ ��� �������� ���� .�� �����'�� �� �� �

�� ���� �� ��� ���8���� � ��� �������� ��� ������ ���

������� ��� ��.�� ��� �������� ����� /�� �������

�������� ������� ��� �� �� �� C** /��� � �

���'� ���� ������� � '������ ���� �� �� �����$

��� .�� �����'���

��� +� ������'� ����� �� �� ������ ������ �� �� 2B� �� �

�� ���� �� ������ �������� ��������

)7A %� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-�

(��� � ����� ����0 ��� ��������� )��1�*

F ���� .��8� ��#� ������� �� .��� ������� ���

� ����� �� ����� ��� ���� � ���� ���� ���������

���� �� � � ����� � ��� �'��� ����� /��� ������$

���� �� ����� � ��� ������� �� ���� ���� ������� �

.�� ���'���� � ��� ���� �� � �������� �� �� ������

'������ �;������� � �� ��� ������ �� �� ���� �� � ���� ��

��� �������� D � �� �������� �� ��#� �� � ���

������� �� ������������ �� ���� �� ����� ��� �����

�;������� � � � ��� ���� ����� � ��������� ���� �;����$

��� �'� � � ��� �� ��� �� ��� ��$�;������� ���� $

��� ��#� �� �� ����'� �� '������� �� �;������� �

0�� � �1� ��������'� �;������� � 0���� �1� � ���$

�� � � � � ����� � ��� ����� �� � � � �� ����� �;����$

��� �� F ��� )� ��� ���. � '���� 0�1� ��

+** /��� �� ������ 0�1 � � ��� ������� �����

� ���� � �� (** �� 0�1 ��� ���� ���� /�� ��� ���.

� '����� ��� )0�1� ���. ��� �.� �� �������� ��

������� ������� .��� � ���� ������ �� )I � � @ �9�

������� �� � �� ��� �� � � � �:�� ������� �������� � ��� �������'��� 4+A5� �� ��� ���'� ���. �

��� )0�1� ��� �� � ��8 ����� ��� )I �� )- �9 � �

��� �:�� ��8 �� �� .��� ��� ��� � ��� -:C �9 ����� �

��� �� ��� .��� ���8���� � �� � ������� ���8���������

������� �� /�� ���'� � ��� )0�1 ������� ���.� ���

�� ���� ������� � ���� ���� �� )- �9� ������ �� ���

�� �� +** /��� ������ � ���� �� ��.�'��� ���

�:�� ���� � �� �� � �� ���� ���.� � � ���� ��������� � � ���� �� 7�I �9�

(�(� 2"�� �.���� ����� ��������� )2��*

(�(��� ���3 4���0

/�� ������� �� +� ���� ��'��� �� ������ � � ���$

�� .��� ������� � � ��������� ����� �� )*Q

#��� �&�� � A*Q ������� �� ���� � ��� � ��������

� ������ �� 2B� ������� %������� � <�� ��

+�+ �9 .�� ������� ��� � ��� ������� ������ � ���

������ �;���� ��� �� ����� �� � <�� '���� ��

+�A �9 .�� �������� � ��� ������� ���� �� ���$

���� ������� �� ������ � � ��� �� ������ � ������� �

��� ���� ���� � ����������&���� � �� ����� �� ���

������ �� ������� ��������� /���� ���� �� ��� ��$

�� ��� � ���� - � � 7 � � ����� ��8 '����� � /����� +

� � ) ��� �+� � � �+�� �������'���� /�� ���� � �� ���

�+� ����� ��������� �� ����� �� �.� .���$�����'��

����� � �� ����� �� -(A�+ �9� �+� � � 7**�+ �9� �)�

�� ���. � ��� -� ��������� ��� �+� ����� ����� ��

����� �� �.� �� ���� �� �������� � �� )A7�@ �9� 5+�

� � )A@�+ �9� 5)� �� ���� ��� � ��� 7� ���� ����

��8� �� �+ � � �) 0��8� �-� �7� ����1 � � 5+ � � 5)

0��8� 5-� 571 ��� ���� �����'�� � ���� - � � 7�

�������'���� ���� - � � 7 ���. ���� �+� � � �+� ��8�

��� )� ��#� ������ ���G 0�1 ������� ������� � ���� '����,

0�1 ������� ������� �� +** /��� �� �), 0�1 ��� ���� �� �

0�1 ����� � ���� � �� (** ���

��� -� ���� ��������� 2B� �� �+� ��� � ���� ������ ��

+** /��� �� �) �� ��� ���������� D� �������� ����� � � ����

�� �� ������� � �� ��� �;���� ��� ����� ������� �� � �

� ��'����� ��� � ��� �������'���� �������� ���� ��� ��'� �

/���� +�

%� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-� )7(

���� ��������� .��� � �;�� ��� ���� ��.���� ���

���� �� �� � � ���� ����� /��� ������� �� ��� ��

� � ������� �������� � ������ ���� ��� ��� ���� �� �

�:�� ���� � �� � � �������� �� ��#� .��� � ����$

���������� � ���� �� 7 �9 ��� ��� �;��� ��8�� /���

�;��� � .�� ��� �� �� � � ���� ������� �� ���.��

��� �� �� �������� � 0�+� �)1 � � 05+� 5)1 � ���

�+� � � �+� ����� � � � �� ������'� ���� ���� ��8�

0�-� �71 � � 05-� 571� �������'���� �� �� ��� � � �

�L��� �� 7 �9� ������ �- � �+ � �7 � �) � 5-�5+ � 57 � 5) � 7 �9� /�������� 0�+� �)1 � � 05+�

5)1 ������� � �� �� ��� ��� �� �� � � ������ � �

���� ��'� ���������� MM���8�$�NN �� ��� �� ��� �� �$

� � �� ����� � ��� 2B� ���������� 4)(:-+5� ���� �$

����� ������ 0�C��@1 ��� ��������� � ��� �+� ����� ��

7 �9 ��� 0�-� �71 � � �� A �9 ��� 0�+� �-1�

(�(��� �6� $��� �' 4 #� �� � '$���� �'

����� �0 ��#�����$��

��� C ���.� ��� ������'� ����� �� �� ������

����� �� ������ �� ����� � ��� ��� ��� �� �

�� ���� �� � ���� � ���������� /�� ������� 2B�

�� ����'��� ������� ��� ������ � � ����� .���

�� ������� ��� ��������� � ��� � �������� ����� ����

� ���� 2B� ������ 4-*5� % �������� �������� ��

��� 4�564�5 ������'� �� �� ������ �� �����'�� ��

��� ��� ��� � ����� �� ������ ����������� /���

'���� ��� ��� ��� *�7 �� ��� ��������� �� *�+

����� � ���� � �� (** ��� /��� �� � ����� � ������� ���� ��� ��� ��� ��� ��� � �������� �� ���

��������� ������

��� @ ���.� ��� �'������ �� ��� ��8 ���� � �)� �+�

� � 5)� 5+ � ��� �+� � � �+� ����� �� �������'���� ���

��� ��� ��� �� � �� ���� �� � ���� � ����������

�������� �� ���� - � � 7 ��� ��� ��� �� ��� ��$

�������� �� ��� ��8� �� �������� ����� ������� �� �

��� 7� ��� �� ��� - ��� �+� ����� �

/���� +

#��� �&�� :������� �� �� �+�

B��8 %���

0��� �� �91

�� ���

0�91

<����

0�91

������

0��� ��1

�+ -(*)* -(A�+ +�A +I-)*

�) -7)** 7**�+ +�A +C+)*

�- +*+7* 7*)�+ )�) 7C-*

�7 CA7* 7*7�) )�) )@)*

�C -)-* 7*@�- )�) +7-*

�@ ))I* 7*A�A )�) +*)*

/���� )

#��� �&�� :������� �� �� �+�

B��8 %���

0��� �� �91

�� ���

0�91

<����

0�91

������

0��� ��1

5+ @)C)* )A7�@ +�A )IC-*

5) 7-@-* )A@�+ +�A +()7*

5- +@C-* )AA�+ )�) I--*

57 I()* )(*�7 )�) -C)*

��� C� ������'� ����� �� �� ������ ����� �� ������ �� ����� ��

� �� ���� �� � ���� � ��������� � � ���� ������ ��

+** /��� �� �)�

)C* %� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-�

�� ��� �'������ �� ��� �.� �� �� �������� � �� �+�

0��8� �+ � � �)1 � � �+� 0��8� 5+ � � 5)1 �� �'�

������� � ���������� ��� �������� %� ��� �����$

���� �� � �������� ���� �+� ��8� 0�+ � � �)1 ��������

� � �� ����� ��.�'��� ��� �+ ��8 ��������� ������

��� ��� �) ��8� F ����� ��� �+ ��8 �� ������ ��� ���

�) ��8 �� ��� ���������� ��� ��� ������ ������ ��

(** ��� D ��� ����� �� �� ��� �+� �� �������� � ���.

� ������� � ����'���, 5+ ���������� � ������� �� �

�� ���� �� ��������� � � 5) ���������� /����

��� ��� �� �� ������� �����'�� � ��� I� .���� �

��� �� ��� ������'� ����� �� �� ������ ��� ���� ��

��� � � �� ���� ��� �� � �� ���� �� � ���� �

���������� /�� ��$���. ���� ������ ������ �����$

� �� ��� ���;������ ������ �� 7- ���Q �����

� 5+ ����� � � )( ���Q � 5) ������ +@ ���Q ������ �

�+ ����� � � +) ���Q � �) ������ % ����� '������� ��

��� �� �������� �� �����'�� �� � �� ���� �� ���

� ���� � ��������� � � ��� � �� �������� ��

(** �� ��G I) ���Q ����� � 5+ ������ +A ���Q � 5)�

7 ���Q ������ � �+ � � @ ���Q � �) ������

(�(�(� �$0�� � ����� ��������� )���* ��$���

/�� ������'� ����� �� �� ������ �� ��� ��� ��$

��� .�� ���� � ���&�� �� %��� ��� A ���.� ��� %��

������ ������ � � ����� ��� � ���� � ������ �� �

������ �� ���. �� +** /��� �� �)� /.� ��

��8� ��� �����'�� � ���� ������� ������� �� � ��

��� >## %���� ��� ����� � �� ����� � � ������ �

������� �� )I) � � -I( �9� �������'���� ��.�'��� �� ��

����� � �� �� � ��� ��� ������� � ���� �� ��� � >##

��8 ��� ��� ��� �� ������ � � ����� � ���� �� /���

�� � � ������� ���� ��� ������� �� ��������� �� ���

��� @� 2B� ������ �� ��� �+� � � �+� ?� ����� �� �$��� ��

������ �� +** /��� �� �) �� � �� ���� �� ���������� D�

������� ������� � �� �;���� ��� ���� � � ����� �� �� ������� �

�� ��8 ��� � � ����� � '�����

��� I� ������'� ����� �� �� ������ ������ �� ��� ��� 2B�

������ ��� � ��� ���� � ��� ��� ������� �� ��� ��� ��

�� �������� � �� �+ � � �) �� ������ � � � 5+ � � 5) �� ����� �

��� A� %�� ������ 0�1 ������ � � ����� 0�1 ��� � ���� � ������

�� � ������ �� ���. �� +** /��� �� �)�

%� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-� )C+

�������� ������� ��� ��� ��� ����� ��� � ���� �

������� %� ������� �����'�� �� 2B� ������� ���

����� �� � ������� ��� �� � �� �������� ��� �� ���

������ ������ �� /�� ������'� �� �� ������ �����$

� �� ��� %�� ������� �� ��� ��� ��� *�-C ��

��� ��������� �� *�*A ����� ��� � ���� � ����$

����� � ����� ���� ���� ������ � .��� ��� ����������

������ ��� 2B� ������� 0*�7 � � *�+� �������'���1�

(�(�+� 7.��#� ��������� #��� ���������

/3� .�� ������� � ��� ��� ��������� ��

(** �� �� �� �� ����� ��� ������� ������ � ��� ���

���� /�� �������� ������ ����� ������'� ��8 � �� $

���� � � ��� ����� �� ������� ������ ��� ��'� �

/���� - ��� ��� ���� ���. � ��� +** /��� �� �)

���� �� ��� ��������� ��� ��� ����� �� �� �������

/���� �������� ��� ������ ����'� ��� �'��� ����

������� � ���� .��8� � � � �� ���� ������� ��� � �����

������'� � �� ������ �� �� ���������� �� ���� ������$

������ � ������� ������� � .��� ��� �������� ������ ��

��� � ������ ������ ��'� ��� �� �������� �� ��

������� � � �;��� � %������� �� �������������

������� � ��������� ���� � ��� ���.�� ������

�� �� �� ����� ���� ?��������� ����� ������� � ����

�� �'��'�� ������ ��'� ��� �����'��G � ���� � �

����� �� ��� ����� �� ������ �� 0�� �� �) � � �)1, �

� � � ���� �� 0��� �)�� ��) � � �)�)1, � �

���� �� �� � �� � � � ������� 0���� ����

����� ���)�� ����)� ��)�)1� �� ��� ���� ���

������ .� �����'� ���� � � �� ��� ��� ��� �� �

������ ����� �� C) �� � � �� �� ����� �� ��

��� ��� � �� ������ � ��� �������� � �� ����'��� ��

��� P�� .��� ��� ����� ��� �;����� ������ ���$

���� ������� � ��� ���� �� ������ �.���� �� ������ ���

����� ����� ���� ��� ��.�� ��� ����� � � ������

� �� ����� /���������� .� �� ����� ����� ��� ��� � ��

� � �� ��� �� �� ������ �� �'��'� � ��� ��� ��

�� ������ ����8��� �� ������ �������� � ��� ������

� ����������

+��� 5$������6� ��� ��

/�� ������'� ����� �� �� ������ ������ �� ��

2B� � � %�� �� � �� ���� �� ������ ��������

������� 0��� ��� +1 � ������� ����� �� � ���� ���

������ � ��������� � ��� ���� %������� ��'����

4�564�5 ������ ��'� ��� ������� � ��� ���������� ���

��� ������ �� ������� � B93 ������� ��� ���

��� '����� ���� � ��� *�-:*�7 � ���'�� 4-)5� /���

� ���'�� �� � ���� ������ � .��� ��� 4�564�5

����� �� � ���� .��8� *�7) �� 2B� � � *�-C ��

%��� �� ������ � ��� ����� �;���� ��� � ������ ��

� '��'��� '������ ������� �������������� 0���� �I�-�

�C�) �� �@�)1 ����� ����� .��� ��� ���������� �����

�������� �� ��� ����� �� ��������

+��� ��1� ��� ��

��#� �� � � �� ��� ��� ����������� � �������� �����

�� ����� ����� ������� � ���� �� ����� � ��� ���

4+A�--5� D ����� ������ �.� 8�� �������� ��'� ���

�����'�� � ��� ��R����� ��#�� D � � �� �� .�

��'� ����� � ��8 4--5� ��8� � � ����.� �� ��� ���

���� ������� ���;����� � ��� ��� �;�� � ���

� ���� ���� �� ���� ������� �� �� ��� ��������� ���$

� � ���� � 4-75G

� ��������������������7��.)�� �)

#�

�0+1

/���� -

������������ � ������ �� ������� ����� �� ��� ������

���������� �� ��� ��� ���.�� �� +** /��� �� �) 0� ��

������ .��� � �� ���� S)Q �� �;�� ��� ���������1

���� F �� ���� 0���� � ���1 ������� ������

+) +** �

+- )C ��

+7 (* �� ��)

+C +* ��� ��-

+@ )* ��)� ��7� D

+I +* ��-�D�

+A )* ��7� �)D

)7 C* �)

)@ +** ��� �)�)

)I +** ���

)A +** �)� �)��� �D

)( A �)�T��

-A +A �)�

-( - ��)�

7* A ��)� �)�)�

7+ ) ���)� �-�)�

7) - �)��)� �7�)�

7- 7 �-�):��)

77 +) �D)

C) +** �)�)

C- I ��)�)

)C) %� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-�

.���� �� �� ��� ���� �� ������� � ��8� � ��� �

���� ���������� � �� '���� � ��� #� ��� �������

��� � � � ��� ������� ������� /��� ����� ���;$

����� �� �� ���� �� ������� � �� �'������ ���

���� � ���� ��� � � 8 �. ������� ������ �

��� ��� ���� � ���� �� � ������� ���������� ��

� � �������� �������� �� � ��� �� ��������� � ����$

�� � � ���� �� ��'� ���� ���� ���� ��� ���

��������� � � ��'� �L��� ���� �� '��� �� �� �

������� �� � � 7� .� ��'�

�)��

�)3��� �

� 83��� �

8��

0)1

.���� 83��� � � � 8�� ��� '����� ���� � ����� ���

��� ���� �� ����� ?� �� � �� ��� ���� '������

+@*�+C � � 7C�-AC %U - ��� ������ � � ���� �� �����$

��'��� .� �� �8� ��� �����.� � ������� G

�3��� � � +�AA��� 0-1

/�� ���� � ���� �� ��������� � ������ �� +I �9� � �

��� � �������� '���� .��� ��� ���'� �;������ ��'��

-)�( �9 ��� ���� �� ���� � �� � �;���� ���

'���� �� -- �9 4--5� F � �L��'��� � ������� 8 �.$

� � ��� ���� � ���� � � ���� ��� ��� � ��� ���

�$��-�7� ��� ���� � ���� ��� � �$�-�7$��8� ��$

�� � �� �� ��������� /�� ���� '���� �� +77�@) %U -

��� �$��-�7 4)5� � � ��� �������'� ���� � ���� �� �

��� �� �� )+�7:)-�C �9 4-C5� ?� �� � ���� ������� ���

���������� �L�������� '���� ��� �$�-�7 �� AA�-C %U-

4)5� /�� � ��� �;����� ���� � ���� ��� ��� �$�-�7

��G ���$�-�7 � ���$��-�7 +�)A� /���������� ���������� ���� � ���� ��� ����$�� ���� �����

������ ������� ������ �� � ��� �� �� )I�C:-*�* �9�

%������ ���� ��� ������ �� � � ������� �'�� )I �9 ��

��#� �� � ���� .�� �� ���8 ��� ����$�� ���� �����

������ ���� ��� /�� ���'� � ������ ��� ���� ���

��� ���. � ��� � ������ ���8���� � �������

������ � � ����� � ���� �� .���� �� � ���� ��8����� ������� ��. �� )- �9� ��'� � ����� ��8

�� ���� ���� �� �������� �� ������� �)$�����

��� 4--5� ���������� ��� ���� ���� ��� ����� ���� �

-- �9����� ����������� 0��� ��� )1 �� � ������'� ����

.� �� �� ��'� �;�� ��� ���� � �� ���� � � ������

��8 �� �������� � ����� ���� �� �;��� � ���� ����

����� �� ���������� .��� � ����$�� ���� �$�-�7$��8�

���� ��� ?� ��� �������� � ��� ���� � �����

.� �������� ���� ��� ���� � ��� �� ���� ��� ������ $

���� ��� ��� �� ���;������ )I ���Q .��� ������

�� ��� '����$�������� �������$��8� ��� /��� �� �

������ � .��� ��� �� ������ �� ����� �� ��� 4-@5�

/�� ����� ������� ���� �� ����� � �� �� ����� �� ���

� ���� 4-I5� F�� ������� ����� �� ��� ��������'�

���� � �� �� ��� ������ � � �� ��� ����� ���.��

��� � � ���� �� �� �� ����� � /��� ���� ��� ���

�����'�� �� ���� ��� ��� ���� �� ��� ���8���������

� � ��� ������ ������� � .���� � .��� �� �� ��

� ������� � � �� �� �� ����� �� @ �9 ��� ������ �������

�������� �������� ��.�'��� ��� �������������� � ����

�� �� ��� ��.�� ��� ����� �) ������ ��8� ����$

��� �� � � ������� ���� ��� �� ������� �� �@*

� � �A7� ��� ������� �� � ���� ��� ����� ��� ���

�����'�� �� ����� ��. �� '����� �� ��. �� +�( � �

+�7 �9� �������'��� 4-A5� <���� ��� �:�� ��� ����� ��'���� � ��� �$ �� �)$�������&�� ����� � �� ���������

� ��� �-� ��������� �� �� ������ ����'� �� �)$ � �

�$�������&�� �� ��� F� �� ������� �� � ���� ���� ���

���8 �� ���� � ���� � �� .���� � ������ ��� �;���� ��

�� � ����� �-$�������&�� ����� �� � 4(5� ?�� �� ��

�� ������� � �� ����� ��� �;���� �� �� ��� � �� �� ��� ����� ��� � ���� � /�� ����� ���� ���� �����$

��� �� �� ���� ���� �� �� � ��L����� � �;�� ��� ����$

������ ����� � � � � ���� ��� ��� ������� ��

�� �������� ������ ����� ������� ���� � ��� ����

� � ���� � �������� �� ���� ��� ��������� �� �

��������'� �;������� � F ���� .��� � ���� �� �� ������

�� �-$����� ������ � ��� ������ .��� ��� �� ���

������� �� �� ���� �� � �� �� ��� ���� ���� ���.��

����� ��'� ��� �� ��L�� ���� ������ �� ����8� � ���

�;�� ��� ��������� �� ��� � ������ �8� � � ����������� � ��������� �� ��� ��������'� �;������� � ��� )

���.� ���� ���� ���� �� �'��� � �� � '���� ��$

���� ��� �� � ��� ������ $�� ��� � � ���� �����

� � ������ � ���� �� F ���� ����� ��� '����$����$

���� �� ��� � �������� ���������� � .����� ������

���; � � �� �������� ���� �� �� ������� ��� �;�� ���

��������� �� � ������ �� �� ������� ��� ������ ��� � ����������� �� ����� � ��� ����� � ������� %� �

������� ��� ��� �;���� �� �� ��� � ���� �� ��������� ������ ���� ��� ����� � � ���� ��� � �� .����

����� ���� ���� � �$ �� �)$�������&���� � F� ��

����� � �� ��� ���� ��� � ������� ��� ��� �����'���� ����� ������� 4(5� ��.�'�� .��� ��� ���� � '����$

��� � � ���� � � � �� ����� /�� ��� ��'���� � ���$

������� �� ���� �� �� � �� ���� �;��� ��'���� �����

�)6�- ������ ���� ����� ���� ��'���� ��� ��.�'���

�� �� .� ��� ����� � ���� ��� � ��������� �� �

%� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-� )C-

���� �� �� ������ �� �-$����� ������'�� ��� � ���$� � .� ����� � ����� ���'� E���������� ��� ��� F �

���� � .��8� B���������� �� ��� 4-I5 ��� ������ ����

��� �� � ���� � � � �� ���� �� ��� � ���� ��� �

���� ��� � ��� ���� ����� �� ��� ����� � M�����N

�� �� .��� ������ �� ��� �����'���� �� �� �� ��$

L�� ���� �� �� ������� ���� ��� ���� �� ���� �� � ��R����

��� �;���� �� �� � ��'���� ���� ����� � ��� ����

�������� ���� ���� ������ �� ������� � ������� /�� � ��

�� ������� ���� ��� ��������� � ������ �� ��� � �� � � ��� )0�1 .��� ������ �� ��� )0�1 �� ��� �� � ���� �$

������� �� ��� ����� � ����� ������ �� ��� ������

�������� �� �)�)� ��� � ����� � ������ �� ���

������ ������ � �� ���� �� � ����� ������ ����� � �� ��

.� ������� � ��� � �� � ������� � �����$��� ��� ��

������&���� �� ��� ����� � � ����

/�� ����� ���� �� �� ����� ��� �:�� ������� �� ������ � ��������� � ������� �� � $������&�� ������� ��

� � ��� �� � ��� �� �� )- �9� ����.� �� �� �� �����

���� � ������� �)$ �� �$�������&�� ����� �����$

���� �� �� ���� � � ��� ���� F ���� ����� �� ��

����� ���� �� ����� ���� .� �� �� ��'� ��� ���� �

������� �� ����� ���� � � �-$�������&�� �� ��$

������ � /�� ��� �� ������ .�� ���� ��� ����� ��

�� �� � �� 2$���$�������� ���$���� ����������

02%���1 4-(5�

/�� ������� ��������� .�� '������ �� �����

������� ��� ����� �� � ��'���� ���� ��� � ���$

������� ���� �L���� ��� ������ ������� ��������

0/��1� 2$��� ���������� 02�31 � � � ���� ��R�����

���� � ���� ������� ���������� 0����31� �� ��$

�� ��� ����� �� � �� ��� ���� ��� � ����� �� ����� �

�� ����� �� ��� �����'���� � �� ������ .��8��

.���� � ������ ������������ .��� ���������

+����� 2�� ��� ��

/�� �+� � � �+� 2B� �� �� � � ������ ������� �

���� .��8 0��� ���� - � � 7 � � /����� + � � )1 �� ��

�� ������� �� ������ ��� � � ������� ��������

����� �� �� ���� ��� � ���� ������ � .��� �������

'����� �� ����� ������� 4I:+@5� /���� �� �� ����� ���� ��

�;��� �� ��������������� �� ���� .��8 �� �� ������

.��� ����� ������ �� ����� �������� ������ ��.$

�'��� ��� � ���������� �� ��8 ��� � �� �� ���$

��. ��'���� ������������� D � �� ��� ��� �������

� ���������� � �� �� �� ����� ��8 �+ �� ��� �+�

��� ����� � �� -(A�+ �9� �� ��� �� ������ ��� ���

�� �-$�������&�� ����� � � ��8 �)� �� 7**�+ �9� ��

������� �� � �� ������ ��� ��� �� �)$�������&��

����� 4(�+*�+-5� /��� ����� � � �� ��8� �� �

������� �� .��� ��� ����������� ������ �� �����

�� ��� 4I5� D ��� ����� �� �� ����� �� ��� 4+)5 �����

� � ������� .��� 2B� ����� �� � ��� �������

� � ��������� ������ ������ ��'� � �������� �����

��8� � � '��� ������� � � ��� F ���� �������

��8 �+ �� ����� �� �� � �� � 0 ������1 � � ��8 �) ��

����� �� �� ���� 0�� �1� %���� <���� �� ��� 47*5

.��� ��� ��� �� ������� �������� ������ ��

��������$�� ����� ����� ��� ������ � ���������� �

��.�'��� ��� �+� ?� ��� � � � ��� ���� �� ����8

4-+5 ��� � � �� � �� ���� �� ���� � ��������� �$

����� �� -((�CI �9� � '���� +�-I �9 ������ �� ������

�� -(A�) �9 ������ �� �� ����� �� ��� /��� � �������

���� �+ �� -(A�) �9 �� �� �� ����� �� �� ��� ������

�����

D � �� ��� ������ �+� �� �������� � �� ������ ?��

��8 �- �� 7*)�+ �9� ��� ��� �� ������ ����� �� �� �

��� ��� �� D 4++5� ��.�'��� ���� ��8 ��� ���

�����'�� � ��� �� ��� � � � �;��� 4(5� �� ��

��� ���� ����� � ������ � ���� �- �� ������� �� � ������� �

����� � F ������ .� ��� ����� � � ��8 �- �� � � ����$

��� � ���� ����� .��� � �������������� � ���� �� �����

7 �9� ����� ���� ��� � �:�� ������� �� ����� �

������ �� ��� ��8 �+ ������ ����������� �� ���$

������ ��8 �7 �� �� ���������� �� ��� ������� �� �

� ���� ���� �� ��� ��8 �) ����������� �� /�� '�������

�� ���� ����� � � ����� �� ��� ������ �� �� ���

������ �C � � �@ ��8�� ����� � �� ?� �� �����

A �9���'� ��� �� ��8�� ����� �� ������� �� ���� �$

����� ������� /���� ��8� �� ����� ��� ������ ���$

���� � ��� �+� ��� ����� � %������ �� �'��� �� �

��'�� �� ��� �;�� ���� �� ��� �;���� �� �� � ����$

���������� ���� ���� �� �� ��� �������� �����'��

���;������ �� 7 �9 ��� ��� �;�� �� ���

������� ��8 � ��� ��#� ������� �� ����� �� ���

��� ��� ���� 0��� ��� )0�11�

F ��� 2B� �+� � ���� ����� � ��'���� ������� ��'�

������� � ��8 ���.� � � ����� � � ����������� �����

�������� ��.���� ��� ���� ?� ���� 4(5� ����� �� ���

4++5� � ����� ������ ��� �������� �� ����� ���$

���� � ������� ����� ��� �+� ��� ����� �� ��'� ����

����� ��������� �������� ���� .��� ����� �� �������

���'��� /���� ���'�� ���� ������� �� �� �� � � ��$

���� �� )A7�@� )AC�(� )AI�I � � )A(�C �9� � ����

������ � .��� ��8� 5+� 5)� 5- � � 57 ���� ���

����� /��� ������� 5+ �� �� ��� ����� �� ����� ��� �

)C7 %� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-�

��� ��'� ������� � � ������� ����� ���� �� ��'�

���� ��� ������ �������� � � 57� ��� � �� D ���

�� ��� /���� �.� ��8� .��� �� ������� �� �� � ��$

�� ��� � � �;������ ��� ������� �� ��������� � %����

���� ��� �����5) �� ����� ��� ��� �� ������ � �)

������ ���� 0���������� .��� �+� ��8 �� 7**�* �91

� � 5- �� ����� ��� ��� �� ������ � �- �� ��$

������ 0���������� .��� �+� ��8 �� -(A�- �91 ���$

� � � �$�-�7$��8� ����� �� ����� �� ��� �� �� ��

����� �� ���� .� �� ����� ���� ��8 57 ����� �� ��

����� �� �� ����� ��� ��� �� �;��� �� ��� ��

� ��� �� ���'�� ��� ��� .��� ������ .��� � ���$

���� � ��� �� �� �;��� ���� � � ��� ������

� �� �'���������� ���� ��8 ������ ��������� ��8

5+ ����� �� �� ����� �� �� ��'� ������� �������

����� �� ��� � ���� ����������� �� �� �� �;�����

���� 8� � �� ����� �� �� � ��������� � ��� ���� ��

���. � � ��'���� .��8 4)75� F ������ � �� ����� ��

.��� ��� � ������ ���� ��� ������ ��� ��� �+� � ����

����� .� ����� ��8�5- � �57 �� ������� � ��� ���

� ���� ���� ��� �� �:�� ����� � ��� ��� �.� ��

��8� 5+ � � 5)� �������'���� F ���� ����� ����� ��8

5- �� ������� �� ���;������ 7 �9 ��� ��8 5+�

� � ��8 57 �� ���;������ 7 �9 ��� ��8 5)

0��� /���� )1�

�� ������ � ��� ���'� ��������� � �� ����� �.� ������

�� ������ � � ����� ������ �� ��8� � �� ����� ��

<� ������� � ����� ������� �� ��� � � ��'� ��

�� � � �� ��� 4+75 �� �����.�� %� ������� �� ��� �����

�� 5+� .� ����� �� ���� ���� ���� ��8 ������ ��

����� �� �� ����� ���� ������ ��� � �� �� �����

����� ���� �� �� ��� �+� ?� �� )A7�@ �9 �����

'��� ����� �� ��� � � ���� ��� � ��� ������� �� �

���� � ��� 0)A7�IC� *�*C �9 4+A51� F ����� �� ��

�� ����� � .��� ��� ������� ��#� � ������� ����� �����

�������� ������ �� � �)$�� �������� � /�� �����

����� ������ ������� �� ��8 5)� ��� �� ����������

.��� ����� ���� ���� ��� ��'� ����� '��� �� ����$

��� � �� ������ 4++5� �� ��8� 5) � � 5+ ����� ��

����� �� �� �)$����� .��� � � .������ ������

��������� �������'����

�� ������ � � � �� ��� ������� ���������� �� ��8

�+� ����� �� ������� �� ������ � � ���� � ������� $

������� ���� �� �� �� ���� �� � ?� '���� �� -(A�+ �9�

) �9 ��.�� ��� ��� �) ��8� � ������'� �� � �������

.���� ��� ������� � ��� �'������� .��� ������ �� ���

�) ������ ����.� � ���� ����� ��� ����� ������ ������

���������� �� ��8 �)� ����� �� ������� �� ������ � �

���� ������� $������� ���� ��'� ��� ������ '���� � ?�

�� 7**�+ �9� %������ ����� <���� �� ��� 47*5 ����������

� �� �� ������ �� � �� + ���Q �:� �� �� �� ���$

�����$�� ���� �� � ���� ������� ?������� ��� ����$

��'� ��. '����� �� ��� 4�564�5 ����� �8� ��������

��� ����� �� �� ������ ��������� �� � �� � �

����� ��� 4+75� ��� .� ����� ���� ��8� �+ � � �)����� ��� ��� ������ .��� ����� � � �.� �����

��������� �������'����

+����� 7.��#� �6� $��� ��� ��

/�� �.�$���� ���� 4++5 �� ������ � � �� �����

����� �� �� ���������� .��� ����$�� ���� �$�-�7$��8�

���� ��� /�� ����������� �������� ������ � ����

��������� �� ���� 8� � �� ���� �� 4):75� F ���� �����

� � ��� �;��� ���� �� � ���� �� ��� ������ �����

������ ���� � ��� ����� �'� �� ���� �����������

�� ������ �� ������ � � ������ � .��� ��� � ������

������ � �� �� ���� �� � ���� �� ���� �� ����� ������

����� ��� ���� � � ��� ���� /���� ��� ��'���� �����

�� �� ������ �� � �� ���� �� ���������� 0�1 /��

������'� ����� �� �� ������ �� ������ � ��� ���

�������� ���������� �� � �� ���� �� ���������

0��� ��� C1� 0�1 %�� ��� ������ �� ���'� � ��� �����

� � ������� �)�) ���� � � � ���$�������

0��� /���� -1� 0�1 ������� ��� � ��� �+ � � �)�

� � ����� ��� � � 5) ��������� .���� �����

��� � � 5+ � ������� �� ��������� 0��� ���� @

� � I1� /���� ����� �������� �� �� ���� �� � ��� ����

� �������� ������ ���� � ��� ��� ������ �� ����$

������ .��� ����� � � 5+ ������ %���� ��� � ������

���� 0�� �����1 ������ �� ���������� �� ����� � �

����� ������� �� ��8 5) � � �� ������ ������ ����$

������ �� �+ � � �)� �� � �� ��� ������ ������ �����

�� ����� �� �� ��� ������ ����� /�� �'������� �)�)

������� �� � ������ �� ��� ������ �� � ������ �������

�;���� � � ��� ������

/��� ������ �� �� �� ���� � .��� ��� �������

���� ������ �� ���� ��� ��� ��� �� ����� ���� �

� � ����� ����� ��8� ��� � � ��� � � �$�-�7 ��$

�� �� ��� .� �� ����� ��� �.�$���� ����� .����

� � ���� ������� �� �� MM ������ ��� ��� ��

�)$�������&�� ����� NN � � ��� ����� 0���������� ��

��� ����$�� ���� �$�-�7$��8� ���� �1 �� MM ������

��� ��� �� �-$�������&�� ����� NN� �� �� � ���L����

�� �;��� ��� ������ ����'��� �� ��� ����

F � ����� �� ��8������ �� ��� 4+(5 ����� ���

������� ����� �� ������ � � ����� � ��� ������

%� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-� )CC

��� ������ $�� ��� � � ����� ���� � ������

����'��� �� ��� � � .� ��� � � ��� ��� ��� ��

�������� /��� �����'� �.� �+� ��8� � =���;�

������ �� ��8� �+ � � �)� %������� ��� � �� ����

����� �� ���� ��8� �� �� ��� ��� ��� ���� �� ���

���������� ���� ����� ������ ����� �L��� �� ��$

�������� �� C** �� � � ���'�� %���� � ��� .��8 ��

��8������ �� ���� ��� �L��'��� � �� ��8 �) ���.� ��

��� �) ��8� � ����� ��.���� ������ ?� �� ����� + �9

�� � ������ � ���������� /��� ������� ��$

����� �� � ��'���� �������� � � �����'�� ����

��� ��� �� �+� � � �+� ������ ��� >��� � =���;

� � ����� �������� .��� '��� ������ �� ����

������ �� /��� � ������� � ��� �� �� �� ��� �����

���� �� ������ � ����� � ����� .��� � ������ �

��������� �� ����� � ������ �������� <� �����

.��� ��� � ���������� �� ��8������ �� ��� �� ��� � �

��� �� �� � � ���� �� �+� �� ���� ��������� �� �

� ������� �� ��� ������ ���� �� �� ���� � ��

��� ��� ������ � �� ��8� � ������� ����������� ����

��� � ����� ������� ��� ��� �������� � �����

�� ��� .��8 �� ��8������ �� ���� � � ��� ���� ����

����� ���� �� �������� �� �� ���8� ��. �

��� ��� � � ���� ��� ��� ������� ������� ��

���������� ������ �� >��� � =���; � � ����� ���$

����� � ��� ���� ���� �����$�� 8� � �� ��;$ � � �'�$

���� �� ��� ��'���� � � �.�$ �� �����$��� ��� ��

������� ����������

+���(� � ���0 ��� ��

������ �� �$��� ��� �� �� ��� '��� ���� ��

�������� �������� 4-)�7+5� �E�V����V �� ��� 47)5

�;��� ��� �������� �������� �� ����� ��� � ����

�� � ������� �$��8� ������������� ����� .���� ���

�����$�� 8� � ���.�� �.� �)$�������&�� ��� ������

��� ������ �� ���8�� � ���� � � ���� �� /� ��

� ������ � .��� ��� �;���� ����� ������ ��

�� �� � � ������� �E�V����V � �������� ���� ��� ���8$

�� � �� ������ �� ������ ���� ������ ��� ��

�-$������ ���� � ����� �� �� ��� � ���� ���

��� ������$�� �� ������ � ������ ���8�� � ������� .�

�����'� ����� �-$������ ���� ����� ���� ��� ��

���� ���� � ����� ����� � � �� �� ������� .���

�)$������ ���� � ����� /��� ���� ����� � �� ����

������� �� ��� ���� ���� � ����� ���� ��� �+� � �

�+� ������ 4+*5 ���� '��� ������ �� ����� � ������ �

���� ���� �� ��� �)$�������&�� � �� ��� �� .�

�;��� �� ���'��

= ��� ��� ������� � �� ���� .��8� ��� ������� $

���� � ��� ���� ���� �������� ������� �� ���$

��� ����� ��� ��� ��� 4-)5 �� �� �;��� ��

�� ������ � � ����� ���'� ������ F� .�� �����'�� �

�@* 47-5 � � �I* 4775 � � ����� ���������� 0�)$�����

��.��8�1 ���� ��� ��� �� ������&���� �� ��'� �

���� � � R�� ��� � ��� ���8 ������ � � � ���

������� ���� ���� <���� ��� ����� � � �����$

�&���� .�� � � � �� �.� ��� ��� � ������� �� ����

���� ���� �������� ��� ����� ��� ��.�'��� �

�;����� ���� ���� ���8 ������ �� �����'�� .��

����� ��� ��� ������&���� ������ 47C5� F �����

�������� ��� ������� �������� .��� ��������� � ����

�� ��� �����$�� 8� � �� ������� ����������� ������ �� ���

���� ������ �� �E�V����V �� ��� 47)5� /���������� .�

��� �� ��� �� �� ���� � ��� ��� � ������ �����$

�� 8� � ����'��� ��� �� /��������� ��� ��'���� �

���� ���� �������� �����'�� �� ������� � �����

��� � �� ��L�� �� �� �� ����� ���� �� ������&����

�� ������ ����� �� ����� � � ���� ������� � ���

��� ��'���� �������� ������ � � �;���� ���

�������� ������, � ������ � ������� �� ���

�� �������� �� ����� ������

� �����������

�� ��� ������ �� ��� ��� ������ �� B#3 � �

� ����� ���.�� ��� ��������� � � (** �� � �

� ���&�� �� ��#�� %��� 2B� � � /3� .� �� �����

��� �����.� � �� ������ ��

/�� �;�� ������'� ����� �� �� ������ ��

������ ������� � � 4�564�5 ����� '���� �� *�7) � �

� ������'� ����� �� �� ������ �� ������ �������� �

���������� �� � �� ���� �� ���������� ����� � �-

������ ���� �� ���� � � ��� ������ �� �� ����� �� �

�� � ���� �� -- �9 � ��R����� ��#� ������$

� ��� % �������$��8� ��������� 0���� ��8 �� )I �91

����� � ��� ���. � ��� ���� '���� � � .���$

��� ������ ������ �� .���� � ����'��� ������ ��

������� ����� ��� 0�� � ���� ��8 ��

)- �91 ������ ��� ��� ���. � ��� � ������

���8���� � �������� ������ � � ����� � ���� ��

/�� ���� �� �� ��� �:�� ���� � �� ��8 �����'��

�� � � ���� ���� �� ����� 7:C �9 � ��� ��� �� ���

���� � ���� ��� �� � � ����� �-$�������&�� �� ��

%�� ����� ��� �������� �� '������ �� �������$

���� ����� � ��� ��'���� ���������� ���� �L���

)C@ %� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-�

0/��� 2�3 � � � ���� ����31 � � �� ��� ���� ��

�� ��� �:�� ������� �� ����� � �'��� �� �� � $

������&�� ������� �� � � ��� �� � ��� �� �� )- �9

� ��� ������ $�� ��� � � ������ /�� �+� � � �+�

2B� �� �� � � ������� ��8 ����� � � ������'�

� �� ������ ��� ������ �� ����� ����� �� �� �����

�������� ������ /.� ������� ������ �� ������

� � ����� ��� ���� � � ����� ������ �+� ��8

�� -(A�+ �9 0�+1 ���� �� �� ������ � � ���� �

������� $������� ����� .��� ����� � �������� �

�)$�� �������� � � � �+� ��8 �� 7**�+ �9 0�)1�

�� ������ � � ���� ������� $������� ����� .���

�.� � �������� � �)$�� �������� � ���� �+�

�� �������� �� ��8� �� 7*)�+ �9 0�-1 � � 7*7�) �9

0�71 ������ ��� � � ������� � ���� ����� ��� �:��

������� �� ����� � ������ �� ��� �+ � � �) ������

����������� �� #�8�.���� ������ ��8� �� 7*@�- �9

0�C1 � � 7*A�A �9 0�@1 �� ��� ��� ���� �$�����

������� /�� ����� ��8 �� )A7�@ �9 05+1 �������

��� � ���� ������ ��� �� ����� � ���� � ��� ��8�

� ������� �� ���� �� .���� ��8 �� )A@�+ �9 05)1

���� ��� � ���� ��� ��� �� � � �� ��� ����$

�� �������� � �) ������ ���� � �������� �� ����$

�� � � ��8� �� )AA�+ �9 05-1 � � �� )(*�7 �9 0571

������ ��� ��� � ���� ���� ��� �� �:�� ����� � ������ �.� �� ��8� 5+ � � 5)� �������'���� 3��� �

������ ������ �� ������ ���'�� ��� �� � � ���$

���� �)�) ���� � � � ���$�������� �� �����'��

�� ������ �������� ��� ����������� /�� ���

�������� ������ ���� �� ��� ��� �� ���������� ��

����� � ����� 5+� .���� ��� ��� � ������ ���� ��

������� �� � � �����5) � � �� � � ������ �+ � � �)� ��

�����'�� ��� 2B� ������� �� ����� ������

������ �� /�� �� �� � � ���� �� �+� �� ���� ��$

������� � ������� � ���� �� �� ���� � �� ��� ���

������ � �� ��8� � ������� ����������� ���� ��� �

����� ������� /��� �� � ������ � .��� � ���� ��

�E�V����V �� ��� 47)5 �� � ������&�� ������� �$��8�

�������������� .���� ��� �����$�� 8� � ���.�� �.�

�)$�������&�� ��� ������ ��� ������ �� ���8�� �

���� � � ���� �� ������ �� ��� � ���� ���

�)$������ ����� F ���� ���� ��� �� ����� ���� ��

������&���� �� �;��� ��� ���� ���� ����$

����� F ���� .�� ��� ���� ������� �� � ���� ����

�������� �����'�� �� ������� � ����� �� � ������

�� ��L�� �� �� ������&���� ��� ��8� � ���� ��

� ������ ��� ��� ��'������ �� �������� ��������

� � ������ �������

�������� �������

/�� ���� ���� ������� �� �� F����� ��������� <� ���

�� �� ���&� �� ����� ���&� ������ %������� ������

�� &�"��& � � ������ ��� & �� ���������� ����������

� � ���� ����� ��'���� �� ��� �� ��E� ����� �� ��

��� ��� � /�� ����!"�� ��";��� �� ���� ��8 �.�������

�� �������

4+5 ��#� ���� � B���� ��'� ? -) 0+(AC1 I(AA�

4)5 %�H� #��� ��#� ���� � B���� ��'� ? 7+ 0+((*1 +*I)I�

4-5 %�H� #��� ��#� ���� � B���� ��'� ? 7C 0+(()1 7CI(�

475 %� �����$�������� 3��� ���'�" � F�#� ���&�" � B���� ��'� ? C)

0+((C1 @)(-�

4C5 B��� � �� O� ������ ���� #���� +7 0+((C1 C-@�

4@5 3��� /����� ��O� ������ ���� �� )I+ 0+((@1 C-�

4I5 �� ������ �� B��8���&� ���� ��� �� ���� � %�'���&� B����

��'� ? CI 0+((A1 )C-@�

4A5 F� ���&� � �� ?�� ��� %� ����� � /�� ����� ��� )C-

0+((71 (*�

4(5 �� ������� � ��B� O��� ��� � �� ?����� � #� ����� � O�$��

�� ���� � B���� ��'� ? C( 0+(((1 C+@)�

4+*5 �� �E�V����V� #� ����� � O�$�� �� ���� � ��9� ��� �.�����

/� � B���� ����%��� /��� ���� � O� 9��� ���� /��� ��� % +7

0+((@1 C@�

4++5 3� ����� � >�O� ?���� %��� %�$?������ ���� /�����'� O�<�

��������� B���� ��'� #���� I- 0+((71 ++A�

4+)5 � ������ ?� % ���� %� '� 9�� � B��� ��E ��� ��� �� ������ �

#����� ��B� 3���� �8�� �� 3� ��� �� % ���� /�� �����

��� )C- 0+((71 AC�

4+-5 O� ����� � B� �������� ?� ����������� ?� ������� �����

O� 9��� ���� /��� ��� % +C 0+((I1 )(A-�

4+75 �� �� � �� �� ������ � �� ���8� �� �������� B� ��� 8��

O�$=� /������ B���� ��'� ? CA 0+((A1 ))*I�

4+C5 ��#� ��� � H� #�� O� #� � ����%� ��� � H�B� ���� �����

F ������� % ��� )A 0+(((1 )7C�

4+@5 ��%� ?�8��� B� ����� ����� F ������� % ��� )C 0+((I1

@)(�

4+I5 ��/� O��8�� � ���� ��&&�� %�� ����� ���� (* 0+((C1 +(C�

4+A5 3��� ?���� � ��O� ������� O� 9��� ���� /��� ��� % A 0+((*1

)-C-�

4+(5 /� ��8������� �� >� �� �� F ���8�� ����� ����� F� ��� ++-:

++C 0+((A1 I-�

4)*5 F� �������� �� <�� /� ��8������� H� ?���� B���� ��'� ? @)

0)***1 �@*C-�

4)+5 3��� ����� �� O�9� ?���� �� ���� ������ A 0+((@1 +C-C�

4))5 ��?� ����� �� � 3�'� ���� � G 3�?� �������� ��>� ������

0����1� B����� #���� 3������� �� /�� ���� <����� ��.

H��8� +((7�

4)-5 O�%� ����!" $����� O� ��;����� �� ������ � ��� � ����� ����

#���� )@* 0+(()1 #+I�

4)75 ���� ��"� �� �� ��������� �� ����� #� ����$%���&�� O� %��

B���� A7 0+((A1 C)(@�

%� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-� )CI

4)C5 �� ��������� ���� ��"� �� �� ����� #� ����$%���&�� %��

����� ���� +)I:+)( 0+((A1 C@7�

4)@5 �� ����� ���� ��"� �� �� ��������� #� ����$%���&�� O� 9���

���� /��� ��� % +@ 0+((A1 +-++�

4)I5 ���� ��"� �� �� ��������� �� ����� #� ����$%���&�� %��

����� ��� +)I:+)( 0+((A1 +**C�

4)A5 �� /�������� ����� F ������� % ��� ++ 0+(AA1 7C-�

4)(5 3� ?������ O��� ��'����� B�������� ������� � ������� � G 3�

?������ ��B� ���� 0����1� %���� � � 2$��� B�����������

����������� 9��� +� <����� ��. H��8� +(A-�

4-*5 O� �������� <� ����8��� B� ������ >� ?��� � � G O� �������

0���1� �� ����8 �� 2$��� B����������� ����������� B��8�

����� ��� B������� +(()�

4-+5 �� ?���� � 3� ?������ ���� ��������� 2B� �� ���� ��

������� � G /�� ���� �� ���%-** 3�������� <����� ��.

H��8� +(()�

4-)5 �� ����� O��� �� ��&� 3��� � ������ ������ A 0+(((1

+A*(�

4--5 �� %'����$?��E�� ��%� ������� D� �� ������� 2��� �� �� %�

3�����$������� %� ?�� �� 3��� � ������ ������ C 0+((@1

+)7(�

4-75 �� ����� >� #� �� �� ������������ 3� #� �� �� ������ &���

B���� #���� % )-C 0+((I1 CC+�

4-C5 9�%� ������ 8�� H���� ����8�'� H���� ��'�8�'� %�� �����

���� ++-:++7 0+((I1 7+I�

4-@5 �� ������ �� >�� � � �������� =� ��8�� �� ����������� ��

>����� =� >�������� 3��� � ������ ������ I 0+((A1 +I)I�

4-I5 �� B����������� �� B������� O��� #����� ����� ���� 7C7:7C@

0)***1 7@)�

4-A5 3��� B������� O��� <��'��� >� >�8����� H� %������ W� B���� 3

)@ 0+((-1 I(�

4-(5 F� O��" �&� �� ����� O��� %������� 3� ��"������ F� 9�������

B���� ��'� ? @) 0)***1 7)@+�

47*5 � <����� O� <��� �� /�� ���� ���� B���� ��'� #���� IA

0+((I1 --)@�

47+5 3� /� �8�� H� D�8�.���� �� F���� �� D������ �� F��� �� �������

O � O� %�� B���� -( 0)***1 7+7A�

47)5 �� �E�V����V� �� ��������V� �� ?�� � O�$�� �� ���� � B����

��'� #���� IC 0+((@1 +--@�

47-5 9�3� ?�� 8� ���� �������� ���� ��%� 3�����8�� ���� ?����

9��� 3� ���'� ?��� ��'�� � %��� F'��'� ���� ����� �'� ��%�

#'�'�� B���� #���� % )7A 0+((A1 7+C�

4775 ��%� <���� ���� #�.��� �� <���� ���� ?� � ��� � ����

��� � � >������� O� B���� �� �� �� ������ +) 0)***1 +*7++�

47C5 9�3� ?�� 8� 9��� B��8����'� ���� ?���� ��%� 3�����8�� 9���

#�'� � B������ ? )C@ 0+(((1 )-*�

)CA %� ���� �� � � & ��� �� �$�'�� ���� ��( )����* �+�,�-�