Siesca01.smcworld.com/catalog/VacuumPad/mpv/VPad-p026-120-ZP/...単体 P.62 ZPT アダプタ付 P.62 P.63 ZPR アダプタ付 P.64 ZPT バッファ付 P.65 ZPR バッファ付 P.66

バリエーション��P.27仕様��P.29

平形・型式表示方法��P.31・外形寸法図／型式表示��P.32平形リブ付・型式表示方法��P.50・外形寸法図／型式表示��P.51平形首振りタイプ・型式表示方法��P.61・外形寸法図／型式表示��P.62ベロウ形・型式表示方法��P.67・外形寸法図／型式表示��P.68薄形・型式表示方法��P.86・外形寸法図／型式表示��P.87

基本形パッド ZP Series

12サイズ、6種のパッド形状、豊富なアダプタバリエーションパッド形状用途

平形表面が平面で、変形等のないワーク。

平形リブ付変形しやすいワーク。リブによりワークの離脱性が向上。

ベロウ形パッド

バッファを取付けるスペースがない場合や、吸着面が斜めのワーク。

薄形薄いシートやビニールなどのやわらかいワーク。吸着時のしわや変形を低減。

薄形リブ付薄いシートやビニールなどのやわらかいワーク。リブによりワークの離脱性が向上。

深形曲面および球状のワーク。

取付用金具用途

首振り傾斜、湾曲面のあるワーク。

アダプタ付設置条件に応じたアダプタの選択が可能。

バッファ付ワーク高さが均一でないワーク。吸着時ワークへの衝撃を緩和。

薄形リブ付・型式表示方法��P.95・外形寸法図／型式表示��P.96深形・型式表示方法�� P.104・外形寸法図／型式表示�� P.105

構造図�� P.115（平形／平形リブ付／ベロウ形／薄形／薄形リブ付／深形）構造図�� P.119（平形�首振りタイプ）取付金具Ass'y�� P.121（平形／平形リブ付／ベロウ形／薄形／薄形リブ付／深形）取付金具Ass'y�� P.127（平形�首振りタイプ）

製品個別注意事項�� P.165

C O N T E N T S

26

ø2, ø4, ø6, ø8, ø10, ø13, ø16, ø20, ø25, ø32, ø40, ø50

平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

真空取出方向平形平形リブ付ベロウ形薄形薄形リブ付深形

真空取出方向

単体 P.32 P.51 P.68 P.87 P.96 P.105

ZPTアダプタ付

P.33P.34

P.51P.52

P.69P.70 P.87 P.96 P.105

P.106

ZPRアダプタ付

P.35P.37

P.53P.54

P.71P.73

P.88P.89

P.97P.98

P.107P.108

ZPYアダプタ付

P.39P.41

P.55P.56

P.75P.77

P.90P.91

P.99P.100

P.109P.110

ZPTバッファ付

P.43 P.57 P.79 P.92 P.101 P.111

ZPRバッファ付

P.46 P.59 P.82 P.93 P.102 P.113

ZPYバッファ付

P.48 P.60 P.84 P.94 P.103 P.114

縦

横

縦

横

VAC

VAC

VAC

VAC

VAC

VAC VAC

VAC

VAC VAC

VAC

27

バリエーション基本形パッド ZP Series

A

真空取出方向平形

真空取出方向

単体 P.62

ZPTアダプタ付

P.62P.63

ZPRアダプタ付

P.64

ZPTバッファ付

P.65

ZPRバッファ付

P.66

縦

横

縦

横

首振りタイプ

VAC

VAC

VAC

VAC

VAC

VAC

28

基本形パッドバリエーション ZP Series

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

パッド材質

材質名 NBR（ニトリルゴム）シリコーンゴム※1※2 ウレタンゴム FKM

（フッ素ゴム）導電性NBR

（ニトリルゴム）導電性

シリコーンゴム

ゴム色黒乳白茶黒ゴム硬度（ショアA：±5°） 50 40 50～60 60 50～65 50～60

※1 FDA（米国食品医薬品局）規格番号：21CFR§177.2600「繰り返し使用を目的としたゴム製品」に適合※2 �食品衛生法第18条　食品、添加物等の規格基準（昭和34年厚生省告示第370号）第3器具及び容器包装のD3「ゴム製の器具（ほ乳器具を除く）又は容器包装（平成24年厚生労働省告示第595号による一部改正）」規格に適合

アダプタ仕様

真空取出方向縦 Tタイプ／ZPT接続方法おねじめねじパッド径 ø2～ø8 ø10～ø16 ø20～ø50 ø2～ø8※ ø10～ø16 ø20～ø32 ø40, ø50

接続ねじ M5×0.8M6×1

M6×1M8×1

M4×0.7M5×0.8

M5×0.8M6×11/8（Rc,�NPT,NPTF）

M5×0.8M6×1M8×1.251/8（Rc,�NPT,NPTF）

M6×1M8×1.251/8（Rc,�NPT,NPTF）

真空取出口めねじ接続ねじ

と兼用 M3×0.5 M3×0.5M5×0.8 接続ねじと兼用

※薄形、薄形リブ付はø2～ø8をご参照ください。

真空取出方向横 Yタイプ／ZPY接続方法おねじめねじパッド径 ø2～ø16 ø20～ø32 ø40, ø50 ø2～ø8※1 ø10～ø16 ø20～ø32 ø40, ø50


M6×1M8×1

M4×0.7M5×0.8

M5×0.8M6×1

M5×0.8M6×1M8×1.25

M6×1M8×1.25

真空取出口バーブ継手※2 ø4,�ø6 ø6 ø4,�ø6 ø6

※1�薄形、薄形リブ付はø2～ø8をご参照ください。※2�適用チューブ：ナイロンチューブ、軟質チューブ

真空取出方向横 Rタイプ／ZPR接続方法おねじめねじパッド径 ø2～ø16 ø20～ø32 ø40, ø50 ø2～ø8※ ø10～ø16 ø20～ø32 ø40, ø50


M6×1M8×1

M4×0.7M5×0.8

M5×0.8M6×1

M5×0.8M6×1M8×1.25

M6×1M8×1.25

真空取出口ワンタッチ管継手 ø4,�ø6 ø4,�ø6,�ø8 ø6,�ø8 ø4,�ø6 ø4,�ø6,�ø8 ø6,�ø8


パッド径 ø2～ø8※ ø10～ø32 ø40, ø50回り止め仕様 J：回り止めなし、K：回り止め付ストローク（mm） 6・10・15・25 10・20・30・40・50 10・20・30・50接続ねじ M8×1 M10×1 M14×1

スプリング�反力（N）

0ストローク時 0.8� 1.0� 2.0�フルストローク時 1.2� 3.0� 5.0�


バッファ仕様


仕様

縦

横

縦

横

29B

パッド径 ø10～ø16 ø20～ø50回り止め仕様 J：回り止めなし、K：回り止め付ストローク（mm） 10・20・30・40・50 10・20・30・50接続ねじ M10×1 M14×1

スプリング反力（N）

0ストローク時 1.0 2.0フルストローク時 3.0 5.0

首振り揺動角度 30°

アダプタ仕様（首振りタイプ）

真空取出方向縦 Tタイプ／ZPT□F接続方法おねじめねじパッド径 ø10～ø16 ø20～ø32 ø40, ø50 ø10～ø16 ø20～ø32 ø40, ø50

接続ねじ M8×1 M10×1 M14×1 M5×0.8

M5×0.8M8×1.251/8（Rc,NPT,NPTF）

M8×1.251/8（Rc,NPT,NPTF）

真空取出口 M5×0.8 接続ねじと兼用

真空取出方向横 Rタイプ／ZPR□F接続方法めねじパッド径 ø10～ø16 ø20～ø32 ø40, ø50

接続ねじ M5×0.8 M5×0.8M8×1.25

M5×0.8M8×1.25

真空取出口ワンタッチ管継手 ø4, ø6 ø6, ø8 ø6, ø8

バッファ仕様（首振りタイプ）


仕様

首振りタイプ

縦

横

縦

横

30

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

パッド単体

アダプタ付

バッファ付

型式表示方法

q w e r t y u i

i ロックリング

記号パッド径（mm）

ø2〜ø8 ø10〜ø50無記号

なし※リング付

X19 リングなし※パッド径ø2〜ø8は、ロックリング未使用です。

ロックリング単体品番パッド径（mm）

ZPL1 ø10〜ø16ZPL2 ø20〜ø32ZPL3 ø40,�ø50

q 真空取出方向無記号パッド単体

T 縦R 横（ワンタッチ管継手付）Y 横（バーブ継手付）

w パッド径02 ø2 16 ø1604 ø4 20 ø2006 ø6 25 ø2508 ø8 32 ø3210 ø10 40 ø4013 ø13 50 ø50e 材質

N NBRS シリコーンゴム※

U ウレタンゴムF FKM

GN 導電性NBRGS 導電性シリコーンゴム※FDA（米国食品医薬品局）規格番号：21CFR§177.2600「繰り返し使用を目的としたゴム製品」に適合

r バッファ仕様J 回り止めなしK 回り止め付

t バッファストロークストローク（mm）

パッド径（mm）ø2 ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50

6 ● ● ● ● ― ― ― ― ― ― ― ―10 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●15 ● ● ● ● ― ― ― ― ― ― ― ―20 ― ― ― ― ● ● ● ● ● ● ● ●25 ● ● ● ● ― ― ― ― ― ― ― ―30 ― ― ― ― ● ● ● ● ● ● ● ●40 ― ― ― ― ● ● ● ● ● ● ― ―50 ― ― ― ― ● ● ● ● ● ● ● ●

アダプタ付

y 真空取出口 � ○：ZPT／縦方向　●：ZPR／横方向（ワンタッチ管継手付）　△：ZPY／横方向（バーブ継手付）

形状記号サイズパッド径（mm）

ø2〜ø8 ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

おねじ A5 M5×0.8 ○※1 ― ― ―A6 M6×1 ○※1 ― ― ―

めねじ

無記号M3×0.5 ― ○（u接続ね

じ：A5/A6）○（u接続ねじ：A6）

○（u接続ねじ：A6）

M5×0.8 ― ― ○（u接続ねじ：A8）


B4 M4×0.7 ○ ― ― ―B5 M5×0.8 ○ ○ ○ ―B6 M6×1 ― ○ ○ ○B8 M8×1.25 ― ― ○ ○B01 Rc1/8 ― ○ ○ ○N01 NPT1/8 ― ○ ○ ○T01 NPTF1/8 ― ○ ○ ○

ワンタッチ管継手

04 ø4 ● ● ● ―06 ø6 ● ● ● ●08 ø8 ― ― ● ●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用※2 △ △ △ ―N6 ø6ナイロンチューブ用※2 △ △ △ △U4 ø4軟質チューブ用※3 △ △ △ ―U6 ø6軟質チューブ用※3 △ △ △ △

※1�接続ねじと兼用になります。　※2�ナイロンチューブを配管　※3�ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管

u 接続ねじ� ○：ZPT／縦方向　●：ZPR／横方向（ワンタッチ管継手付）　△：ZPY／横方向（バーブ継手付）


ø2〜ø8 ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

おねじA5 M5×0.8 ●△ ○※●△ ― ―A6 M6×1 ●△ ○※●△○※●△○※●△A8 M8×1 ― ― ○※●△○※●△

めねじ

B4 M4×0.7 ●△ ― ― ―B5 M5×0.8 ●△ ●△ ●△ ―B6 M6×1 ― ●△ ●△ ●△B8 M8×1.25 ― ― ●△ ●△

※�○：ZPT／縦方向は真空取出口（めねじ）付です。

バッファ付

y 真空取出口� ○：ZPT／縦方向　●：ZPR／横方向（ワンタッチ管継手付）　△：ZPY／横方向（バーブ継手付）


ø2〜ø8 ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

めねじ

B3 M3×0.5 ○ ― ― ―B5 M5×0.8 ○ ○ ○ ○B01 Rc1/8 ― ― ― ○N01 NPT1/8 ― ― ― ○T01 NPTF1/8 ― ― ― ○


04 ø4 ○● ○● ○● ―06 ø6 ○● ○● ○● ○●08 ø8 ― ― ● ○●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用※1 ○△ △ △ ―N6 ø6ナイロンチューブ用※1 △ ○△ ○△ ○△U4 ø4軟質チューブ用※2 ○△ △ △ ―U6 ø6軟質チューブ用※2 △ ○△ ○△ ○△

※1�ナイロンチューブを配管　※2�ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管



ø2〜ø8 ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

おねじA8 M8×1 ○●△ ― ― ―A10 M10×1 ― ○●△ ○●△ ―A14 M14×1 ― ― ― ○●△

ZP 02 U N

ZP T 02 U N A5

ZP T 02 U N J 6 B3 A8

平形

外形図／型式構造図取付金具Ass'y

••••••••••••••• P.32 P.115P.117 P.121〜

••••••••••••••• P.33〜 P.115P.117 P.121〜

••••••••••••••• P.43〜 P.116P.118 P.124〜

基本形パッド平形

ZP Series

※�パッド、ロックリング、取付ナット、継手、バッファプレートは同梱出荷（未組立）となります。

※パッド単体販売単位：10個

31A

ø7

12

øBøAøC Y

øD

EY

øBøA

øC

外形寸法図／型式表示

型式

A B C Yqパッド径形状

w材質※

ZP

02

U

NSUF

GNGS

2 2.6 1.2 0.5

04 4 4.8 1.60.8

06 6 72.5

08 8 9 1

※�N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導電性シリコーンゴム

wq

ZP 02 U N

型式

A B C D E Yqパッド径形状

w材質※

ZP

10

U

NSUF

GNGS

10 12

4

1312 3

13 13 1516 16 18 12.5 3.520 20 23

1514 4

25 25 2832 32 35 14.5 4.540 40 43

7 1818.5 6.5

50 50 53 19.5 7.5※�N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導電性シリコーンゴム

wq

ZP 10 U N

構造図 P.115取付金具Ass'y P.121〜


単体 ø2〜ø8

単体 ø10〜ø50

32

基本形パッド平形 ZP Series

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

15.5A

D

øB※2

六角対辺E C

六角対辺K

六角対辺H

F

øC※2

D E

AG

BJ

J


e 真空取出口（おねじ）A5 M5×0.8A6 M6×1

wq

ZPT 02 U N A5

型式

A B※2 C D E真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

ZP T

02

U

NSUF

GNGS

A5 19

1.2

M5×0.8 3.5 704 1.60608 2.5

02

A6 20

1.2

M6×1 4.5 804 1.60608 2.5

※1 N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導電性シリコーンゴム

※2 アダプタもしくは真空パッドの最小穴径を示します。

型式

A B C※2 D E F G H J K真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e接続ねじ

ZP T

1013

U

NSUF

GNGS

A538 17

2.5 M5×0.8 M3×0.5 3.5 21 8 4 816 38.5 17.51013

A6

43 17

2.5 M6×1 M3×0.5 3.5 26 8 48

16 43.5 17.52025 45 19

32 45.5 19.540 50.5 24.5

1250 51.5 25.52025

A8

40 244

M8×1 M5×0.8 5 16 12 4 123240.5 24.5

404.2

50 41.5 25.5※1 N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導

電性シリコーンゴム※2 アダプタもしくは真空パッドの最小穴径を示します。

wq

ZPT 10 U N A5

構造図 P.115アダプタAss'y P.121


アダプタ付 ø2〜ø8


推奨ガスケット品番品番 D真空取出口（おねじ）

WCS5X0.8 M5×0.8WCS6X1 M6×1WCS8X1 M8×1

e 接続ねじ（おねじ）A5 M5×0.8（M3×0.5めねじ付）A6 M6×1（M3×0.5めねじ付）A8 M8×1（M5×0.8めねじ付）

33


B

六角対辺7

19.5

C

B

øA※2

D

A

六角対辺E C

øB※2

e 真空取出口（めねじ）B4 M4×0.7B5 M5×0.8

型式

A※2 B C真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T

02

U

NSUF

GNGS

B4

1.2

M4×0.7 404 1.60608 2.5

02

B5

1.2

M5×0.8 504 1.60608 2.5

※1��N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導電性シリコーンゴム

※2�アダプタもしくは真空パッドの最小穴径を示します。

wq

ZPT 02 U N B4

e 真空取出口（めねじ）B5 M5×0.8B6 M6×1B8 M8×1.25

B01 Rc1/8N01 NPT1/8T01 NPTF1/8

型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T

1013

U

NSUF

GNGS

B5

212.5

M5×0.8 5 816 21.52025 23

432 23.51013

B6

212.5

M6×1 68

16 21.52025 23

432 23.540 32

4.9 1250 332025

B8

293.5

M8×1.25 8 1232 29.540 32

6.650 331013

B01N01T01

272.5

Rc1/8NPT1/8NPTF1/8

― 12

16 27.52025 29

3.532 29.540 32

750 33



wq

ZPT 10 U N B5






34


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

øH

19.528.4

44.5

AD

C

適用チューブ外径øF

øB※2

G

EE

六角対辺8

六角対辺10

六角対辺7

M5×0.8


真空取出口 e（ワンタッチ管継手）

04 ø406 ø6

r 接続ねじ（おねじ）A5 M5×0.8A6 M6×1

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R

02

U

NSUF

GNGS

0406

A5 65.5

1.2

M5×0.8 21 404 1.60608 2.5

02

A6 70.5

1.2

M6×1 26 404 1.60608 2.5

真空取出口別寸法表型式

F G H 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R

02040608

U

NSUF

GNGS

04A5A6

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4



wq

ZPR 02 U N 04 A5


アダプタ／ワンタッチ管継手付 ø2〜ø8

35


A

M

øE※2

DC

BA

G

六角対辺H FP

øQ

六角対辺L

六角対辺K

JJ

適用チューブ外径øN



04 ø406 ø608 ø8

r 接続ねじ（おねじ）A5 M5×0.8A6 M6×1A8 M8×1


N P Q 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R

101316

U

NSUF

GNGS

04 A5A6

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

202532

04

A6A8

4 23.3 10.4 ø306 6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6

4050

06 6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6



型式

A B C D※2E F G H J K L M真空

取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R

1013

U

NSUF

GNGS

040608

A567 46 29.9 21

2.5 M5×0.8 21 8 4 10 8 M5×0.816 67.5 46.5 30.4 21.51013

A6

72 46 29.9 212.5

M6×1

26

8 4

10 8 M5×0.816 72.5 46.5 30.4 21.52025 83.5 57.6 39.8 29

3.525.9 12 12 M8×1.2532 84 58.1 40.3 29.5

40 86.5 60.6 42.8 324

50 87.5 61.6 43.8 332025

A8

73.5 57.6 39.8 293.5

M8×1 15.9 12 4 12 12 M8×1.2532 74 58.1 40.3 29.540 76.5 60.6 42.8 32

450 77.5 61.6 43.8 33

wq

ZPR 10 U N 04 A5



36


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

E六角対辺10

C

øF

M5×0.8

適用チューブ外径øD

øA※2

19.5

28.4

44.5 六角対辺7

B



04 ø406 ø6

r 接続ねじ（めねじ）B4 M4×0.7B5 M5×0.8

型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

02

U

NSUF

GNGS

0406

B4

1.2

M4×0.7 404 1.60608 2.5

02

B5

1.2

M5×0.8 504 1.60608 2.5


D E F 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

02040608

U

NSUF

GNGS

04B4B5

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4



wq

ZPR 02 U N 04 B4



37


L

øM

F

CB

A

øD※2

J

六角対辺H

E六角対辺G

適用チューブ外径øK



04 ø406 ø608 ø8

r 接続ねじ（めねじ）B5 M5×0.8B6 M6×1B8 M8×1.25

型式

A B C D※2 E F G H J真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

1013

U

NSUF

GNGS

040608

B5

46 29.9 212.5

M5×0.8 5

10 8 M5×0.816 46.5 30.4 21.52025 57.6 39.8 29

3.5 12 12 M8×1.2532 58.1 40.3 29.51013

B6

46 29.9 212.5

M6×1 6

10 8 M5×0.816 46.5 30.4 21.52025 57.6 39.8 29

3.512 12 M8×1.2532 58.1 40.3 29.5

40 60.6 42.8 324

50 61.6 43.8 332025

B8

57.6 39.8 293.5

M8×1.25 8 12 12 M8×1.2532 58.1 40.3 29.540 60.6 42.8 32

450 61.6 43.8 33


K L M 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

101316

U

NSUF

GNGS

04 B5B6

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

202532

04 B5B6B8

4 23.3 10.4 ø306 6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6

4050

06 B6B8

6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6



wq

ZPR 10 U N 04 B5



38


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

FG5

17.522.5

AD

øB※2

六角対辺7

M5×0.8

C

六角対辺8

六角対辺10

EE


真空取出口 e（バーブ継手）

N4 ø4ナイロンチューブ用 M-5AN-4N6 ø6ナイロンチューブ用 M-5AN-6U4 ø4軟質チューブ用 M-5AU-4U6 ø6軟質チューブ用 M-5AU-6


型式


qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y

02

U

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

A5 44

1.2

M5×0.8 21.5 404 1.60608 2.5

02

A6 49.5

1.2

M6×1 27 404 1.60608 2.5


F G 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y

02040608

U

NSUF

GNGS

N4U4

A5A6

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5



wq

ZPY 02 U N N4 A5


アダプタ／バーブ継手付 ø2〜ø8

39


A

AB

CF

六角対辺G E

六角対辺12

六角対辺7

M5×0.8

øD※2

HH

6 KJ





型式

A B C D※2 E F G H真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y

1013

U

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

A559 38 22

2.5 M5×0.8 21 8 416 59.5 38.5 22.51013

A6

64 38 222.5

M6×1 26 8 4

16 64.5 38.5 22.52025 68 42 24

3.532 68.5 42.5 24.540 72.5 46.5 28.5

650 73.5 47.5 29.52025

A8

58 42 243.5

M8×1 16 12 432 58.5 42.5 24.540 62.5 46.5 28.5

650 63.5 47.5 29.5


J K 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y

101316202532

U

NSUF

GNGS

N4U4

A5A6

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

4050

N6U6

A6A8 16.5 7 ø2.5



wq

ZPY 10 U N N4 A5



40


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

D5 E

C

17.5

29

øA※2

六角対辺7

M5×0.8

B

六角対辺10





型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

02

U

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

B4

1.2

M4×0.7 404 1.60608 2.5

02

B5

1.2

M5×0.8 504 1.60608 2.5


D E 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

02040608

U

NSUF

GNGS

N4U4

B4B5

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5



wq

ZPY 02 U N N4 B4



41


øC※2

F6 G

D

E

AB

六角対辺12

M5×0.8

六角対辺7




r 接続ねじ（めねじ）B5 M5×0.8B6 M6×1B8 M8×1.25



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

101316

U

NSUF

GNGS

N4U4 B4

B5

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

202532

N4U4 B5

B6B8

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

4050

N6U6

B6B8 16.5 7 ø2.5



型式

A B C※2 D E真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

1013

U

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

B5

38 222.5

M5×0.8 516 38.5 22.52025 42 24

3.532 42.5 24.51013

B6

38 222.5

M6×1 6

16 38.5 22.52025 42 24

3.532 42.5 24.540 46.5 28.5

650 47.5 29.52025

B8

42 243.5

M8×1.25 832 42.5 24.540 46.5 28.5

650 47.5 29.5

wq

ZPY 10 U N N4 B5



42


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

適用チューブ外径øJ

六角対辺H

G

5

G

六角対辺H

14

1520

40.57

2×ø5.5

E六角対辺H

F

六角対辺12

øC※2

M8×1（バッファボディ）

GD

BA

1.6 4

4

バッファ仕様 eJ 回り止めなしK 回り止め付 t 真空取出口

B3 M3×0.5めねじB5 M5×0.8

04 ø4 ワンタッチ管継手

KQ2H04-M5N06 ø6 KQ2H06-M5NN4 ø4ナイロンチューブ用

バーブ継手U4 ø4軟質チューブ用

y 接続ねじ（おねじ）A8 M8×1

w rq

ZPT 02 U N J 6 B3 A8

型式

A B C※2 D真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T

02

U

NSUF

GNGS

JK

6

B3B50406N4U4

A8

33 18

1.2

1510 66 23

4315 71 2825 81 38

04

6 33 18

1.6

1510 66 23

4315 71 2825 81 38

0608

6 33 18J：2.5K：2

1510 66 23

4315 71 2825 81 38

真空取出口別寸法表／めねじ型式

E F G H真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T

02040608

U

NSUF

GNGS

JK

6101525

B3

A8

M3×0.5 3 11 6

B5 M5×0.8 5 13 8


真空取出口別寸法表／ワンタッチ管継手型式

G H J 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T

02040608

U

NSUF

GNGS

JK

6101525

04

A8 27.7

8 4

ø2.5

06 10 6

真空取出口別寸法表／バーブ継手型式

G H 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T

02040608

U

NSUF

GNGS

JK

6101525

N4

A8 14 6 ø1.8

U4



構造図 P.116バッファAss'y P.124

真空取出口：ワンタッチ管継手

真空取出口：バーブ継手

バッファ付 ø2〜ø8

43


A

E M

CB

AF

N

øD※2

六角対辺J K

六角対辺P L

（バッファボディ）

HH

六角対辺G


バッファ仕様 eJ 回り止めなしK 回り止め付

w rq

t 真空取出口（めねじ）B5 M5×0.8


y 接続ねじ（おねじ）A10 M10×1A14 M14×1

ZPT 10 U N J 10 B5 A10

型式

A B C D※2 E F G H J K真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T

1013

U

NSUF

GNGS

JK

10

B50406N6U6

A10

55.5 32.5

21

J：2.5K：2 M10×1

23

14 3 8 M5×0.8

20 93.5 42.551

30 103.5 52.540 139.5 62.5

7750 149.5 72.5

16

10 56 33

21.5

2320 94 43

5130 104 5340 140 63

7750 150 73

2025

10 57.5 34.5

23

2320 95.5 44.5

5130 105.5 54.540 141.5 64.5

7750 151.5 74.5

32

10 58 35

23.5

2320 96 45

5130 106 5540 142 65

7750 152 75

40

10 B5B01N01T010608N6U6

A14

94.5 44.5

32

4 M14×1

50

19 4 12 M8×1.25

20 104.5 54.530 114.5 64.550 159.5 84.5 75

50

10 95.5 45.5

335020 105.5 55.5

30 115.5 65.550 160.5 85.5 75


L M N P真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T

101316202532

U

NSUF

GNGS

JK

1020304050

B5 A10 M5×0.8 5 13 8

4050

10

B5

A14

M5×0.8

4.5 15

10203050

5 9

10B01N01T01

Rc1/8NPT1/8NPTF1/8

―

16.5

13203050

12





44


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

六角対辺P

適用チューブ外径øQ

N

7

六角対辺PNN

六角対辺P





真空取出方向

qパッド径形状

w材質※

eバッファ�仕様

rバッファ�ストローク

t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101316202532 U

NSUF

GNGS

JK

1020304050

04

A10 27.7

8 4

ø2.5

06 10 6

4050

1006

A14

31.8 10 6 ø4.508 35.9 14 8 ø6

203050

06 19.9 12 6ø3

08 24.9 14 8




N P 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w材質※



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101316202532 U

NSUF

GNGS

JK

1020304050

N6

A10 15 6

ø2.5U6

4050

10N6

A14

19

10U6

203050

N612

U6




真空取出口：ワンタッチ管継手内蔵パッド径： ø40,ø50（バッファスト

ローク20〜50st）

w rq

ZPT 10 10U N J 04 A10



t 真空取出口パッド径

ø10〜ø32 ø40,ø50（10stのみ）04 ø4


KQ2H04-M5N06 ø6 KQ2H06-M5N KQ2H06-01NS08 ø8 KQ2H08-01NSN6 ø6ナイロンチューブ用


45


20 15

40.57

14

2×ø5.5六角対辺6

六角対辺12


六角対辺10 F適用チューブ外径øE

øG

M5×0.8

øC※2六角対辺7

19.528.4

44.5

BA

D1.6

44


t 真空取出口（ワンタッチ管継手）

04 ø406 ø6


型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R

02

U

NSUF

GNGS

JK

6

0406 A8

78.5 52.5

1.2

1510 109.5 55.5

4315 114.5 60.525 124.5 70.5

04

6 78.5 52.5

1.6

1510 109.5 55.5

4315 114.5 60.525 124.5 70.5

0608

6 78.5 52.5

2.5

1510 109.5 55.5

4315 114.5 60.525 124.5 70.5


E F G 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R

02040608

U

NSUF

GNGS

JK

6101525

04

A8

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4




w rq

ZPR 02 U N J 6 04


バッファ／ワンタッチ管継手付 ø2〜ø8A8

46


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

H

LL

R

J

ED

CB

A

六角対辺G

六角対辺M

P

øS

øF※2


六角対辺K

六角対辺N




04 ø406 ø608 ø8


型式

A B C D E※2F G H J K L M N P真空

取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R

1013

U

NSUF

GNGS

JK

10

0406

A10

91 57

46 29.9 21

2.5

6 M10×1

23

14 3

10 8 M5×0.8

20 129 6751

30 139 7740 175 87

7750 185 97

16

10 91.5 57.5

46.5 30.4 21.5

2320 129.5 67.5

5130 139.5 77.540 175.5 87.5

7750 185.5 97.5

2025

10

040608

102.6 68.6

57.6 39.8 29

3.5

23

12 12 M8×1.25

20 140.6 78.651

30 150.6 88.640 186.6 98.6

7750 196.6 108.6

32

10 103.1 69.1

58.1 40.3 29.5

2320 141.1 79.1

5130 151.1 89.140 187.1 99.1

7750 197.1 109.6

40

10

0608

A14

140.6 72.6

60.6 42.8 32

4 10 M14×1

50

19 4 12 12 M8×1.25

20 137.6 82.630 147.6 92.650 192.6 112.6 75

50

10 141.6 73.6

61.6 43.8 335020 138.6 83.6

30 148.6 93.650 193.6 113.6 75


Q R S 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R

101316

U

NSUF

GNGS

JK

1020304050

04

A10

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

202532

1020304050

04 4 23.3 10.4 ø3

06 6 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6

4050

10203050

06A14

6 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6




w rq

ZPR 10 U N J 10 04 A10


バッファ／ワンタッチ管継手付 ø10〜ø50

47


A

14

1520

40.57

2×ø5.5E六角対辺6

六角対辺12

六角対辺7

F

øC※2

六角対辺10


17.5

29

BD

A

1.6 4

4

t 真空取出口（バーブ継手）


型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y

02

U

NSUF

GNGS

JK

6

N4N6U4U6

A8

63 37

1.2

1510 94 40

4315 99 4525 109 55

04

6 63 37

1.6

1510 94 40

4315 99 4525 109 55

0608

6 63 37

2.5

1510 94 40

4315 99 4525 109 55


E F 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y

02040608

U

NSUF

GNGS

JK

6101525

N4U4

A8

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5





w rq

ZPY 02 U N J 6 N4



バッファ／バーブ継手付 ø2〜ø8A8

48


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

G

KK


LM

AB

CD

H

六角対辺F

六角対辺J

六角対辺12

六角対辺7

øE※2





L M 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y

101316202532

U

NSUF

GNGS

JK

1020304050

N4U4

A10

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

4050

N6U6 A14 16.5 7 ø2.5



型式

A B C D※2E F G H J K真空

取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y

1013

U

NSUF

GNGS

JK

10

N4N6U4U6

A10

83 49

38 22

2.5 6 M10×1

23

14 3

20 121 5951

30 131 6940 167 79

7750 177 89

16

10 83.5 49.5

38.5 22.5

2320 121.5 59.5

5130 131.5 69.540 167.5 79.5

7750 177.5 89.5

2025

10 87 53

42 24

3.5 6 M10×1

23

14 3

20 125 6351

30 135 7340 171 83

7750 181 93

32

10 87.5 53.5

42.5 24.5

2320 125.5 63.5

5130 135.5 73.540 171.5 83.5

7750 181.5 93.5

40

10

N6U6 A14

126.5 58.5

46.5 28.5

6 10 M14×1

50

19 4

20 123.5 68.530 133.5 78.550 178.5 98.5 75

50

10 127.5 59.5

47.5 29.55020 124.5 69.5

30 134.5 79.550 179.5 99.5 75


w rqy 接続ねじ（おねじ）A10 M10×1A14 M14×1

ZPY 10 U N J 10 N4 A10


バッファ／バーブ継手付 ø10〜ø50

49


A

パッド単体

アダプタ付

バッファ付

型式表示方法

q w e r t y u i


記号パッド径全サイズ

無記号リング付X19 リングなし





w パッド径10 ø1013 ø1316 ø1620 ø2025 ø2532 ø3240 ø4050 ø50

e 材質N NBRS シリコーンゴム※U ウレタンゴムF FKM




パッド径（mm）ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50

10 ● ● ● ● ● ● ● ●20 ● ● ● ● ● ● ● ●30 ● ● ● ● ● ● ● ●40 ● ● ● ● ● ● ― ―50 ● ● ● ● ● ● ● ●

アダプタ付



ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

めねじ

無記号M3×0.5 ○（u接続ねじ：

A5/A6）○（u接続ねじ：A6）


M5×0.8 ― ○（u接続ねじ：A8）


B5 M5×0.8 ○ ○ ―B6 M6×1 ○ ○ ○B8 M8×1.25 ― ○ ○B01 Rc1/8 ○ ○ ○N01 NPT1/8 ○ ○ ○T01 NPTF1/8 ○ ○ ○


04 ø4 ● ● ―06 ø6 ● ● ●08 ø8 ― ● ●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用※1 △ △ ―N6 ø6ナイロンチューブ用※1 △ △ △U4 ø4軟質チューブ用※2 △ △ ―U6 ø6軟質チューブ用※2 △ △ △

※1�ナイロンチューブを配管※2�ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管



ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

おねじA5 M5×0.8 ○※●△ ― ―A6 M6×1 ○※●△ ○※●△ ○※●△A8 M8×1 ― ○※●△ ○※●△

めねじB5 M5×0.8 ●△ ●△ ―B6 M6×1 ●△ ●△ ●△B8 M8×1.25 ― ●△ ●△


バッファ付



ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

めねじ

B5 M5×0.8 ○ ○ ○B01 Rc1/8 ― ― ○N01 NPT1/8 ― ― ○T01 NPTF1/8 ― ― ○


04 ø4 ○● ○● ―06 ø6 ○● ○● ○●08 ø8 ― ● ○●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用※1 △ △ ―N6 ø6ナイロンチューブ用※1 ○△ ○△ ○△U4 ø4軟質チューブ用※2 △ △ ―U6 ø6軟質チューブ用※2 ○△ ○△ ○△




ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

おねじ A10 M10×1 ○●△ ○●△ ―A14 M14×1 ― ― ○●△

ZP 10 C N

ZP T 10 C N A5

ZP T 10 C N J 10 B5 A10

平形リブ付


•••••• P.51 P.117 P.121〜

•••••• P.51〜 P.117 P.121〜

•••••• P.57〜 P.118 P.124〜

基本形パッド平形リブ付

ZP Series

※パッド、取付ナット、継手、バッファプレートは同梱出荷（未組立）となります。


50

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

øBøA

øC

øD

EY

六角対辺K

六角対辺H

F

øC

D E

AG

BJ

J


型式


w材質※

ZP

10

C

NSUF

GNGS

10 12

4

1312

1.713 13 15 1.816 16 18 12.5 1.220 20 23

1514

1.725 25 28 1.832 32 35 14.5 2.340 40 43

7 1818.5 3.3

50 50 53 19.5 3.8※�N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導電性シリコーンゴム

wq

ZP 10 C N

型式

A B C D E F G H J K真空取出方向

qパッド径形状

w材質※

e接続ねじ

ZP T

1013

C

NSUF

GNGS

A538 17

2.5 M5×0.8 M3×0.5 3.5 21 8 4 816 38.5 17.51013

A6

43 17

2.5 M6×1 M3×0.5 3.5 26 8 48

16 43.5 17.52025 45 19

32 45.5 19.540 50.5 24.5

1250 51.5 25.52025

A8

40 244

M8×1 M5×0.8 5 16 12 4 123240.5 24.5

404.2

50 41.5 25.5※�N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導電性シリコーンゴム

wq

ZPT 10 C N A5




単体 ø10〜ø50




51

基本形パッド平形リブ付 ZP Series

B

D

A

øB※2

C六角対辺E




型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T

1013

C

NSUF

GNGS

B5

212.5

M5×0.8 5 816 21.52025 23

432 23.51013

B6

212.5

M6×1 68

16 21.52025 23

432 23.540 32

4.9 1250 332025

B8

293.5

M8×1.25 8 1232 29.540 32

6.650 331013

B01N01T01

272.5

Rc1/8NPT1/8NPTF1/8

― 12

16 27.52025 29

3.532 29.540 32

750 33



wq

ZPT 10 C N B5



52


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

JJ

P

A

DC

BG

F六角対辺H

六角対辺K

六角対辺L øE※2


M

øQ



04 ø406 ø608 ø8




真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

101316

C

NSUF

GNGS

04 A5A6

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

202532

04A6A8

4 23.3 10.4 ø306 6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6

4050

06 A6A8

6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6



型式


取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

1013

C

NSUF

GNGS

040608

A567 46 29.9 21

2.5 M5×0.8 21 8 4 10 8 M5×0.816 67.5 46.5 30.4 21.51013

A6

72 46 29.9 212.5

M6×1

26

8 4

10 8 M5×0.816 72.5 46.5 30.4 21.52025 83.5 57.6 39.8 29

3.525.9 12 12 M8×1.2532 84 58.1 40.3 29.5

40 86.5 60.6 42.8 324

50 87.5 61.6 43.8 332025

A8

73.5 57.6 39.8 293.5

M8×1 15.9 12 4 12 12 M8×1.2532 74 58.1 40.3 29.540 76.5 60.6 42.8 32

450 77.5 61.6 43.8 33

wq

ZPR 10 C N 04 A5



53


A

L

CB

A

øM

F

六角対辺G


J

øD※2六角対辺H

E



04 ø406 ø608 ø8

r 接続ねじ（めねじ）B5 M5×0.8B6 M6×1B8 M8×1.25

型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

1013

C

NSUF

GNGS

040608

B5

46 29.9 212.5

M5×0.8 5

10 8 M5×0.816 46.5 30.4 21.52025 57.6 39.8 29

3.5 12 12 M8×1.2532 58.1 40.3 29.51013

B6

46 29.9 212.5

M6×1 6

10 8 M5×0.816 46.5 30.4 21.52025 57.6 39.8 29

3.512 12 M8×1.2532 58.1 40.3 29.5

40 60.6 42.8 324

50 61.6 43.8 332025

B8

57.6 39.8 293.5

M8×1.25 8 12 12 M8×1.2532 58.1 40.3 29.540 60.6 42.8 32

450 61.6 43.8 33



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

101316

C

NSUF

GNGS

04 B5B6

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

202532

04 B5B6B8

4 23.3 10.4 ø306 6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6

4050

06 B6B8

6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6



wq

ZPR 10 C N 04 B5



54


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

HH

JK6

FA

BC

øD※2

六角対辺7

M5×0.8

六角対辺G E

六角対辺12





型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

1013

C

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

A559 38 22

2.5 M5×0.8 21 8 416 59.5 38.5 22.51013

A6

64 38 222.5

M6×1 26 8 4

16 64.5 38.5 22.52025 68 42 24

3.532 68.5 42.5 24.540 72.5 46.5 28.5

650 73.5 47.5 29.52025

A8

58 42 243.5

M8×1 16 12 432 58.5 42.5 24.540 62.5 46.5 28.5

650 63.5 47.5 29.5



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

101316202532

C

NSUF

GNGS

N4U4

A5A6

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

4050

N6U6

A6A8 16.5 7 ø2.5



wq

ZPY 10 C N N4 A5



55


A

6 GF

E

øC※2

BA

六角対辺12

M5×0.8

六角対辺7

D




r 接続ねじ（めねじ）B5 M5×0.8B6 M6×1B8 M8×1.25



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

101316

C

NSUF

GNGS

N4U4 B4

B5

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

202532

N4U4 B5

B6B8

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

4050

N6U6

B6B8 16.5 7 ø2.5



型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

1013

C

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

B5

38 222.5

M5×0.8 516 38.5 22.52025 42 24

3.532 42.5 24.51013

B6

38 222.5

M6×1 6

16 38.5 22.52025 42 24

3.532 42.5 24.540 46.5 28.5

650 47.5 29.52025

B8

42 243.5

M8×1.25 832 42.5 24.540 46.5 28.5

650 47.5 29.5

wq

ZPY 10 C N N4 B5



56


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

HH

CB

AF

N

六角対辺J

六角対辺G

六角対辺P LM

K

øD※2

（バッファボディ）E



w rq

t 真空取出口（めねじ）B5 M5×0.8



ZPT 10 C N J 10 B5 A10

型式


qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

1013

C

NSUF

GNGS

JK

10

B50406N6U6

A10

55.5 32.5

21

J:2.5K:2 M10×1

23

14 3 8 M5×0.8

20 93.5 42.551

30 103.5 52.540 139.5 62.5

7750 149.5 72.5

16

10 56 33

21.5

2320 94 43

5130 104 5340 140 63

7750 150 73

2025

10 57.5 34.5

23

2320 95.5 44.5

5130 105.5 54.540 141.5 64.5

7750 151.5 74.5

32

10 58 35

23.5

2320 96 45

5130 106 5540 142 65

7750 152 75

40

10 B5B01N01T010608N6U6

A14

94.5 44.5

32

4 M14×1

50

19 4 12 M8×1.25

20 104.5 54.530 114.5 64.550 159.5 84.5 75

50

10 95.5 45.5

335020 105.5 55.5

30 115.5 65.550 160.5 85.5 75



qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101316202532

C

NSUF

GNGS

JK

1020304050

B5 A10 M5×0.8 5 13 8

4050

10

B5

A14

M5×0.8

4.5 15

10203050

5 9

10B01N01T01

Rc1/8NPT1/8NPTF1/8

―

16.5

13203050

12





57


A

六角対辺P


N

7

N

六角対辺P

N

六角対辺P





真空取出方向

qパッド径形状

w材質※



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101316202532 C

NSUF

GNGS

JK

1020304050

04

A10 27.7

8 4

ø2.5

06 10 6

4050

1006

A14

31.8 10 6 ø4.508 35.9 14 8 ø6

203050

06 19.9 12 6ø3

08 24.9 14 8





真空取出方向

qパッド径形状

w材質※



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101316202532 C

NSUF

GNGS

JK

1020304050

N6

A10 15 6

ø2.5U6

4050

10N6

A14

19

10U6

203050

N612

U6




w rq

ZPT 10 10C N J 04 A10






ø10〜ø32 ø40,ø50（10stのみ）04 ø4




58


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

LL

øS

R

ED

CB

JA

六角対辺G

六角対辺K

H（バッファボディ）

六角対辺M

六角対辺N

P

øF※2




04 ø406 ø608 ø8


型式


取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP R

1013

C

NSUF

GNGS

JK

10

0406

A10

91 57

46 29.9 21

2.5

6 M10×1

23

14 3

10 8 M5×0.8

20 129 6751

30 139 7740 175 87

7750 185 97

16

10 91.5 57.5

46.5 30.4 21.5

2320 129.5 67.5

5130 139.5 77.540 175.5 87.5

7750 185.5 97.5

2025

10

040608

102.6 68.6

57.6 39.8 29

3.5

23

12 12 M8×1.25

20 140.6 78.651

30 150.6 88.640 186.6 98.6

7750 196.6 108.6

32

10 103.1 69.1

58.1 40.3 29.5

2320 141.1 79.1

5130 151.1 89.140 187.1 99.1

7750 197.1 109.6

40

10

0608 A14

140.6 72.6

60.6 42.8 32

4 10 M14×1

50

19 4 12 12 M8×1.25

20 137.6 82.630 147.6 92.650 192.6 112.6 75

50

10 141.6 73.6

61.6 43.8 335020 138.6 83.6

30 148.6 93.650 193.6 113.6 75



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP R

101316

C

NSUF

GNGS

JK

1020304050

04

A10

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

202532

1020304050

04 4 23.3 10.4 ø3

06 6 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6

4050

10203050

06A14

6 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6




w rq

ZPR 10 C N J 10 04 A10



59


A


KK

LM

DC

BA

H

六角対辺F

六角対辺J

六角対辺12

六角対辺7

øE※2

G






真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP Y

101316202532

C

NSUF

GNGS

JK

1020304050

N4U4

A10

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

4050

N6U6 A14 16.5 7 ø2.5



型式


取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP Y

1013

C

NSUF

GNGS

JK

10

N4N6U4U6

A10

83 49

38 22

2.5 6 M10×1

23

14 3

20 121 5951

30 131 6940 167 79

7750 177 89

16

10 83.5 49.5

38.5 22.5

2320 121.5 59.5

5130 131.5 69.540 167.5 79.5

7750 177.5 89.5

2025

10 87 53

42 24

3.5 6 M10×1

23

14 3

20 125 6351

30 135 7340 171 83

7750 181 93

32

10 87.5 53.5

42.5 24.5

2320 125.5 63.5

5130 135.5 73.540 171.5 83.5

7750 181.5 93.5

40

10

N6U6 A14

126.5 58.5

46.5 28.5

6 10 M14×1

50

19 4

20 123.5 68.530 133.5 78.550 178.5 98.5 75

50

10 127.5 59.5

47.5 29.55020 124.5 69.5

30 134.5 79.550 179.5 99.5 75



ZPY 10 C N J 10 N4 A10



60


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

パッド単体

アダプタ付

バッファ付

型式表示方法

q w e r t y u

q 真空取出方向T 縦R 横（ワンタッチ管継手付）

w パッド径10 ø1013 ø1316 ø1620 ø2025 ø2532 ø3240 ø4050 ø50

e 材質N NBRS シリコーンゴム※


GN 導電性NBRGS 導電性シリコーンゴム

※�FDA（米国食品医薬品局）規格番号：21CFR§177.2600「繰り返し使用を目的としたゴム製品」に適合



パッド径（mm）ø10〜ø16 ø20〜ø50

10 ● ●20 ● ●30 ● ●40 ● ―50 ● ●

バッファ付

y 真空取出口○：ZPT／縦方向　●：ZPR／横方向（ワンタッチ管継手付）


ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

めねじ

B5 M5×0.8 ○ ― ―B01 Rc1/8 ― ○ ○N01 NPT1/8 ― ○ ○T01 NPTF1/8 ― ○ ○


04 ø4 ○● ― ―06 ø6 ○● ○● ○●08 ø8 ― ○● ○●

u 接続ねじ ○：ZPT／縦方向　●：ZPR／横方向


ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

おねじ A10 M10×1 ○● ― ―A14 M14×1 ― ○● ○●

ZP 10 F N

ZP T 10 F N B5 A8

ZP T 10 F N J 10 B5 A10

首振りタイプ

外形図／型式構造図取付金具

Ass'y

••••••••••••••••••••••• P.62 P.119 P.127〜

••••••••••••••••••••••• P.62〜 P.119 P.127〜

••••••••••••••••••••••• P.65〜 P.120 P.129〜

アダプタ付

y 真空取出口／u 接続ねじ ○：ZPT／縦方向　●：ZPR／横方向（ワンタッチ管継手付）

y�真空取出口 u�接続ねじパッド径（mm）形状記号サイズ形状記号サイズ ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

めねじ B5 M5×0.8 おねじA8 M8×1 ○ ― ―

A10 M10×1 ― ○ ―A14 M14×1 ― ― ○

― 無記号 ―※

めねじ

B5 M5×0.8 ○ ○ ―B8 M8×1.25 ― ○ ○

B01 Rc1/8 ― ○ ○N01 NPT1/8 ― ○ ○T01 NPTF1/8 ― ○ ○


04 ø4B5 M5×0.8

● ― ―

06 ø6● ● ●

B8 M8×1.25 ― ● ●

08 ø8B5 M5×0.8 ― ● ●B8 M8×1.25 ― ● ●

� ※接続ねじと兼用になります。

基本形パッド平形首振りタイプ

ZP Series


ZPLF ø40,�ø50

※取付ナット、継手は同梱出荷（未組立）となります。


61

øDE

Y

øAøC

øB

（揺動角）

30°

HH

CBF

A

六角対辺K

六角対辺L

M5×0.8

5

六角対辺G

六角対辺J

øD※2

E

30°（揺動角）

M5×0.8六角対辺E六角対辺G

HHF

BC

A

六角対辺L

øD※2

六角対辺J

六角対辺K

5


型式


w材質※

ZP

10

F

NSUF

GNGS

10 123 8.2

6.5 1.513 13 15

7 216 16 1820 20 22

4 10.28.5

325 25 2832 32 35 940 40 43 10

2613 5

50 50 53 8 14 6※�N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導電性シリコーンゴム

wq

ZP 10 F

F

N

r 接続ねじ（おねじ）A8 M8×1A10 M10×1A14 M14×1

wq

ZPT 10 N A8B5



真空取出口（めねじ） eB5 M5×0.8

型式

A B C※2D E F G H J K L真空

取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP T

10

F

NSUF

GNGS

B5

A837.5 12.5 10

2 M8×1 15 12 4 12 10 21316 38 13 10.5

2025 A10

48.5 15.5 12.52 M10×1 20 14 3 16 12 3

32 49 16 1340

A1451.5 18.5 12.5

2.5 M14×1 20 19 4 21 19 550 52.5 19.5 13.5




単体 ø10〜ø50

ø10～ø32

ø40, ø50

62

首振りタイプ基本形パッド平形 ZP Series

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

30°（揺動角）

E

F

六角対辺J

CBA

øD※2

六角対辺G

六角対辺H

30°（揺動角）

六角対辺G

六角対辺H 六角対辺J

øD※2

CB

A

F

E




型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T

10

F

NSUF

GNGS

B5

27 12.5 10

2 M5×0.8 5

8 10 21316 27.5 13 10.5

2025 32 15.5 12.5

9 12 332 32.5 16 132025

B8

36 15.5 12.52

M8×1.25 8 1212 3

32 36.5 16 1340 39 18.5 12.5

2.5 19 550 40 19.5 13.52025 B01

N01T01

36 15.5 12.52 Rc1/8

NPT1/8NPTF1/8

1412 3

32 36.5 16 1340 39 18.5 12.5

2.5 19 550 40 19.5 13.5



wq

ZPT 10 F N B5



ø10～ø32

ø40, ø50

63


30°

（揺動角）

øE※2

六角対辺J

六角対辺H

C

øN

適用チューブ径øL

M

G

F

六角対辺K

D

AB

30°

（揺動角）

DC

BA

六角対辺H FM

適用チューブ径øL

øN

G

六角対辺K六角対辺J

øE※2


04 ø406 ø608 ø8


wq

ZPR 10 F N 04 B5


型式


取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

10

F

NSUF

GNGS

040608

B5

39.5 23.4 12.5 10

2M5×0.8

5 10 10 21316 40 23.9 13 10.5

2025 46.5 29.3 15.5 12.5

8 1212 3

32 47 29.8 16 1340 49.5 32.3 18.5 12.5

2.5 19 550 50.5 33.3 19.5 13.52025

B8

46.5 29.3 15.5 12.52

M8×1.25 8 1212 3

32 47 29.8 16 1340 49.5 32.3 18.5 12.5

2.5 19 550 50.5 33.3 19.5 13.5


L M N 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

101316

F

NSUF

GNGS

04B5

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

2025324050

06B5B8

6 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6




ø10～ø32

ø40, ø50


64


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

30°

（揺動角）

P

RA

H

EDC

B

øF※2

六角対辺N

六角対辺L

Q六角対辺S

KK

六角対辺M

六角対辺J

G（バッファボディ）

T

適用チューブ外径øV

六角対辺U

KK

30°（揺動角）

Q

P

G(バッファボディ）

六角対辺SRA

BH

六角対辺L

六角対辺M

DC

E

六角対辺NøF※2

六角対辺J

T

六角対辺U

適用チューブ外径øV




ZPT 10 F N J 10 B5 A10


T U V 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101316

F

NSUF

GNGS

JK

1020304050

04

A10 27.7

8 4

ø2.506 10 6

2025324050

1006

A14

31.8 10 6 ø4.508 35.9 14 8 ø6

203050

06 19.9 12 6ø3

08 24.9 14 8





型式

A B C D E※2F G H J K L M N P Q R S真空

取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

10

F

NSUF

GNGS

JK

10

B5 A10

61.5 38.5

27 12.5 10

2 M10×1

23

14 3 8 10 2 M5×0.8 5 13 8

20 99.5 48.551

30 109.5 58.540 145.5 68.5

7750 155.5 78.5

1316

10 62 39

27.5 13 10.5

2320 100 49

5130 110 5940 146 69

7750 156 79

2025

10

B01N01T01

A14

98.5 48.5

36 15.5 12.5

2

M14×1

50

19 4 12

12 3

Rc1/8NPT1/8NPTF1/8

16.5

13

20 108.5 58.51230 118.5 68.5

50 163.5 88.5 75

32

10 99 49

36.5 16 1350

16.520 109 59

1230 119 6950 164 89 75

40

10 101.5 51.5

39 18.5 12.5

2.5

50

19 5

16.520 111.5 61.5

1230 121.5 71.550 166.5 91.5 75

50

10 102.5 52.5

40 19.5 13.550

16.520 112.5 62.5

1230 122.5 72.550 167.5 92.5 75


ø10～ø32

ø40, ø50


ø10〜ø16 ø20〜ø50（10stのみ）B5 M5×0.8

めねじB01 Rc1/8N01 NPT1/8T01 NPTF1/804 ø4


KQ2H04-M5N06 ø6 KQ2H06-M5N KQ2H06-01NS08 ø8 KQ2H08-01NS

真空取出口：ワンタッチ管継手内蔵パッド径： ø20〜ø50（バッファ

ストローク20〜50st）

65


A

30°

適用チューブ径øR

（揺動角）

（バッファボディ）H

六角対辺Q

六角対辺K

六角対辺M

六角対辺N

六角対辺P

øT

AB

CD

E F

JL

L

øG※2

S

S

30°(揺動角）

øT

適用チューブ径øR

六角対辺P

øG※2

FE

DC

BA

JL

L


六角対辺K

六角対辺Q

六角対辺N

六角対辺M



04 ø406 ø608 ø8



w rq

ZPR 10 F N J 10 04 A10


型式

A B C D E F※2G H J K L M N P Q真空

取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP R

10

F

NSUF

GNGS

JK

10

0406 A10

84.5 50.5

39.5 23.4 12.5 10

2 M10×1

23

14 3 10 10 2 6

20 122.5 60.551

30 132.5 70.540 168.5 80.5

7750 178.5 90.5

1316

10 85 51

40 23.9 13 10.5

2320 123 61

5130 133 7140 169 81

7750 179 91

2025

10

0608 A14

126.5 58.5

46.5 29.3 15.5 12.5

2

M14×1

50

19 4 12

12 3

10

20 123.5 68.530 133.5 78.550 178.5 98.5 75

32

10 127 59

47 29.8 16 135020 124 69

30 134 7950 179 99 75

40

10 129.5 61.5

49.5 32.3 18.5 12.5

2.5

50

19 5

20 126.5 71.530 136.5 81.550 181.5 101.5 75

50

10 130.5 62.5

50.5 33.3 19.5 13.55020 127.5 72.5

30 137.5 82.550 182.5 102.5 75


R S T 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP R

101316

F

NSUF

GNGS

JK

1020304050

04

A10

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

2025324050

1006

A14

6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6

203050

06 6 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6




ø10～ø32

ø40, ø50

66


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

パッド単体

アダプタ付

バッファ付

型式表示方法

q w e r t y u i


記号パッド径（mm）

ø6,�ø8 ø10〜ø50無記号

なし※リング付

X19 リングなし※パッド径ø6,ø8は、ロックリング未使用です。





w パッド径06 ø6 20 ø2008 ø8 25 ø2510 ø10 32 ø3213 ø13 40 ø4016 ø16 50 ø50





パッド径（mm）ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50

6 ● ● ― ― ― ― ― ― ― ―10 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●15 ● ● ― ― ― ― ― ― ― ―20 ― ― ● ● ● ● ● ● ● ●25 ● ● ― ― ― ― ― ― ― ―30 ― ― ● ● ● ● ● ● ● ●40 ― ― ● ● ● ● ● ● ― ―50 ― ― ● ● ● ● ● ● ● ●

アダプタ付



ø6,�ø8 ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

おねじ A5 M5×0.8 ○※1 ― ― ―A6 M6×1 ○※1 ― ― ―

めねじ

無記号M3×0.5 ― ○（u接続ね

じ：A5/A6）○（u接続ねじ：A6）


M5×0.8 ― ― ○（u接続ねじ：A8）


B4 M4×0.7 ○ ― ― ―B5 M5×0.8 ○ ○ ○ ―B6 M6×1 ― ○ ○ ○B8 M8×1.25 ― ― ○ ○B01 Rc1/8 ― ○ ○ ○N01 NPT1/8 ― ○ ○ ○T01 NPTF1/8 ― ○ ○ ○


04 ø4 ● ● ● ―06 ø6 ● ● ● ●08 ø8 ― ― ● ●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用※2 △ △ △ ―N6 ø6ナイロンチューブ用※2 △ △ △ △U4 ø4軟質チューブ用※3 △ △ △ ―U6 ø6軟質チューブ用※3 △ △ △ △

※1�接続ねじと兼用になります。　※2�ナイロンチューブを配管　※3�ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管



ø6,�ø8 ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

おねじA5 M5×0.8 ●△ ○※●△ ― ―A6 M6×1 ●△ ○※●△○※●△○※●△A8 M8×1 ― ― ○※●△○※●△

めねじ

B4 M4×0.7 ●△ ― ― ―B5 M5×0.8 ●△ ●△ ●△ ―B6 M6×1 ― ●△ ●△ ●△B8 M8×1.25 ― ― ●△ ●△

※�○：ZPT／縦方向の接続ねじの選択はありません。

バッファ付



ø6,�ø8 ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

めねじ

B3 M3×0.5 ○ ― ― ―B5 M5×0.8 ○ ○ ○ ○B01 Rc1/8 ― ― ― ○N01 NPT1/8 ― ― ― ○T01 NPTF1/8 ― ― ― ○


04 ø4 ○● ○● ○● ―06 ø6 ○● ○● ○● ○●08 ø8 ― ― ● ○●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用※1 ○△ △ △ ―N6 ø6ナイロンチューブ用※1 △ ○△ ○△ ○△U4 ø4軟質チューブ用※2 ○△ △ △ ―U6 ø6軟質チューブ用※2 △ ○△ ○△ ○△

※1�ナイロンチューブを配管　※2�ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管



ø6,�ø8 ø10〜ø16 ø20〜ø32 ø40,�ø50

おねじA8 M8×1 ○●△ ― ― ―A10 M10×1 ― ○●△ ○●△ ―A14 M14×1 ― ― ― ○●△

ZP 06 B N

ZP T 06 B N A5

ZP T 06 B N J 6 B3 A8

ベロウ形


••••••••••••••• P.68 P.115P.117 P.121〜

••••••••••••••• P.69〜 P.115P.117 P.121〜

••••••••••••••• P.79〜 P.116P.118 P.124〜

基本形パッドベロウ形

ZP Series

※�パッド、ロックリング、取付ナット、継手、バッファプレートは同梱出荷（未組立）となります。


67A

13

4

ø7

øDøBøAøC

ø2.5

øD

GY

øFøBøAøE

øC




単体 ø6〜ø8

単体 ø10〜ø50

wq

ZP 06 B N

wq

ZP 10 B N

型式

A B C Dqパッド径形状

w材質※

ZP

06

B

NSUF

GNGS

6 7 3.4 9

08 8 9 4.8 10


型式

A B C D E F G Yqパッド径形状

w材質※

ZP

10

B

NSUF

GNGS

10 12

4

135.5 13.5 16 5.5

13 13 15 8.7 19 18.5 7.516 16 18 10 21 20 8.520 20 22

1512.6 25 23.5

10.525 25 27 16 28 2432 32 34 18.9 37 29 1440 40 43

7 1824.4 47 34 16

50 50 53 33.4 57 38 19※�N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導電性シリコーンゴム

68

基本形パッドベロウ形 ZP Series

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

16.5

CA

ø2.5※2

B六角対辺D

六角対辺K

六角対辺H

øC※2

F

D E

AG

BJ

J







wq

ZPT 06 B N A5

wq

ZPT 10 B N A5

型式

A B C D真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

ZP T 0608 B

NSUF

GNGS

A5 20 M5×0.8 3.5 7

A6 21 M6×1 4.5 8



型式


qパッド

径形状

w※1

材質

e接続ねじ

ZP T

10

B

NSUF

GNGS

A542 21

2.5 M5×0.8 M3×0.5 3.5 21 8 4 813 44.5 23.516 46 2510

A6

47 21

2.5 M6×1 M3×0.5 3.5 26 8 48

13 49.5 23.516 51 2520 54.5 28.525 55 2932 60 3440 66 40

1250 70 4420

A8

49.5 33.54

M8×1 M5×0.8 5 16 12 4 1225 50 3432 55 3940 56 40

4.250 60 44






69


C

ø2.5※2

B

A六角対辺7

20.5

A

D

六角対辺E C

øB※2





wq

ZPT 06 B N B4



wq

ZPT 10 B N B5



型式

A B真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T 0608 B

NSUF

GNGS

B4 M4×0.7 4

B5 M5×0.8 5



型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T

10

B

NSUF

GNGS

B5

252.5

M5×0.8 5 8

13 27.516 2920 32.5

425 3332 3810

B6

252.5

M6×1 68

13 27.516 2920 32.5

425 3332 3840 47.5

4.9 1250 51.520

B8

38.53.5

M8×1.25 8 1225 3932 4440 47.5

6.650 51.510

B01N01T01

312.5

Rc1/8NPT1/8NPTF1/8

― 12

13 33.516 3520 38.5

3.525 3932 4440 47.5

750 51.5



70


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

六角対辺10

六角対辺7

M5×0.8

適用チューブ外径øE

ø2.5※2

øG

FB

六角対辺8

20.5

29.4

45.5

CA

DD




04 ø406 ø6


wq

ZPR 06 B N 04 A5


型式

A B C D 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R 0608 B

NSUF

GNGS

0406

A5 66.5 M5×0.8 21 4 ø3

A6 71.5 M6×1 26 4 ø4


E F G真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R 0608 B

NSUF

GNGS

04A5A6

4 20.6 10.4

06 6 21.6 12.8



71


A


øE※2

M

øQ

PF六角対辺H

六角対辺L

GA

BC

DJ

J

六角対辺K





04 ø406 ø608 ø8


wq

ZPR 10 B N 04 A5



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R

101316

B

NSUF

GNGS

04 A5A6

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

202532

04A6A8

4 23.3 10.4 ø306 6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6

4050

06 A6A8

6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6



型式


取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R

10

B

NSUF

GNGS

040608

A571 50 33.9 25

2.5 M5×0.8 21 8 4 10 8 M5×0.813 73.5 52.5 36.4 27.516 75 54 37.9 2910

A6

76 50 33.9 252.5

M6×1

26

8 4

10 8 M5×0.813 78.5 52.5 36.4 27.516 80 54 37.9 2920 93 67.1 49.3 38.5

3.525.9 12 12 M8×1.25

25 93.5 67.6 49.8 3932 98.5 72.6 54.8 4440 102 76.1 58.3 47.5

450 106 80.1 62.3 51.520

A8

83 67.1 49.3 38.53.5

M8×1 15.9 12 4 12 12 M8×1.2525 83.5 67.6 49.8 3932 88.5 72.6 54.8 4440 92 76.1 58.3 47.5

450 96 80.1 62.3 51.5

72


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

D

øE

B

A

適用チューブ外径øC

ø2.5※2

六角対辺10

六角対辺7

20.5

29.4

45.5

M5×0.8





04 ø406 ø6


wq

ZPR 06 B N 04 B4

型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R 0608 B

NSUF

GNGS

0406

B4 M4×0.7 4

B5 M5×0.8 5


C D E 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R 0608 B

NSUF

GNGS

04B4B5

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4



73


øM

L

F

CB

A

øD※2

J

E

六角対辺G


六角対辺H





04 ø406 ø608 ø8

r 接続ねじ（めねじ）B5 M5×0.8B6 M6×1B8 M8×1.25

wq

ZPR 10 B N 04 B5

型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

10

B

NSUF

GNGS

040608

B5

50 33.9 252.5

M5×0.8 5

10 8 M5×0.813 52.5 36.4 27.516 54 37.9 2920 67.1 49.3 38.5

3.5 12 12 M8×1.2525 67.6 49.8 3932 72.6 54.8 4410

B6

50 33.9 252.5

M6×1 6

10 8 M5×0.813 52.5 36.4 27.516 54 37.9 2920 67.1 49.3 38.5

3.512 12 M8×1.25

25 67.6 49.8 3932 72.6 54.8 4440 76.1 58.3 47.5

450 80.1 62.3 51.520

B8

67.1 49.3 38.53.5

M8×1.25 8 12 12 M8×1.2525 67.6 49.8 3932 72.6 54.8 4440 76.1 58.3 47.5

450 80.1 62.3 51.5



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

101316

B

NSUF

GNGS

04 B5B6

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

202532

04 B5B6B8

4 23.3 10.4 ø306 6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6

4050

06 B6B8

6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6



74


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

六角対辺10

EF5

18.523.5

AC

DD

ø2.5※2

六角対辺7

M5×0.8

B

六角対辺8







wq

ZPY 06 B N N4 A5

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y 0608 B

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

A5 45 M5×0.8 21.5 4

A6 50.5 M6×1 27 4



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y 0608 B

NSUF

GNGS

N4U4

A5A6

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5



75


A

HH

JK

FA

BC

øD※2

M5×0.8

六角対辺7

六角対辺12

六角対辺G E 6







wq

ZPY 10 B N N4 A5

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y

10

B

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

A563 42 26

2.5 M5×0.8 21 8 413 65.5 44.5 28.516 67 46 3010

A6

68 42 262.5

M6×1 26 8 4

13 70.5 44.5 28.516 72 46 3020 77.5 51.5 33.5

3.525 78 52 3432 83 57 3940 88 62 44

650 92 66 4820

A8

67.5 51.5 33.53.5

M8×1 16 12 425 68 52 3432 73 57 3940 78 62 44

650 82 66 48



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y

101316202532

B

NSUF

GNGS

N4U4

A5A6

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

4050

N6U6

A6A8 16.5 7 ø2.5



76


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

ø2.5※2

18.5

30

CD5

B

六角対辺7

M5×0.8

六角対辺10 A







wq

ZPY 06 B N N4 B4

型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y 0608 B

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

B4 M4×0.7 4

B5 M5×0.8 5


C D 継手部最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y 0608 B

NSUF

GNGS

N4U4

B4B5

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5



77


E

BA

F6 G

D六角対辺12

六角対辺7

M5×0.8

øC※2






r 接続ねじ（めねじ）B5 M5×0.8B6 M6×1B8 M8×1.25

wq

ZPY 10 B N N4 B5



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

101316

B

NSUF

GNGS

N4U4 B4

B5

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

202532

N4U4 B5

B6B8

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

4050

N6U6

B6B8 16.5 7 ø2.5



型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

10

B

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

B5

42 262.5

M5×0.8 5

13 44.5 28.516 46 3020 51.5 33.5

3.525 52 3432 57 3910

B6

42 262.5

M6×1 6

13 44.5 28.516 46 3020 51.5 33.5

3.525 52 3432 57 3940 62 44

650 66 4820

B8

51.5 33.53.5

M8×1.25 825 52 3432 57 3940 62 44

650 66 48

78


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

E六角対辺H

DB

AG

六角対辺12

1.6

F

44


øC

14

1520

40.57

2×ø5.5

六角対辺H


G

5

G

六角対辺H







B3 M3×0.5めねじB5 M5×0.8





w rq

ZPT 06 B N J 6 B3 A8

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T 0608 B

NSUF

GNGS

JK

6 B3B50406N4U4

A8

34 19

J:2.5K:2

15

10 67 24

4315 72 29

25 82 39



qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T 0608 B

NSUF

GNGS

JK

6101525

B3

A8

M3×0.5 3 11 6

B5 M5×0.8 5 13 8



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T 0608 B

NSUF

GNGS

JK

6101525

04

A8 27.7

8 4

ø2.5

06 10 6



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T 0608 B

NSUF

GNGS

JK

6101525

N4

A8 14 6 ø1.8

U4



79


A

HH

ML六角対辺P

E（バッファボディ）

六角対辺J

六角対辺G

K

CB

AF

N

øD※2





w rq

t 真空取出口（めねじ）

B5 M5×0.8B01 Rc1/8N01 NPT1/8T01 NPTF1/8

y 接続ねじ（おねじ）

A10 M10×1A14 M14×1

ZPT 10 B N J 10 B5 A10

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T

10

B

NSUF

GNGS

JK

10

B50406N6U6

A10

59.5 36.5

25

J：2.5K：2 M10×1

23

14 3 8 M5×0.8

20 97.5 46.5 5130 107.5 56.540 143.5 66.5 7750 153.5 76.5

13

10 62 39

27.5

2320 100 49 5130 110 5940 146 69 7750 156 79

16

10 63.5 40.5

29

2320 101.5 50.5 5130 111.5 60.540 147.5 70.5 7750 157.5 80.5

20

10 67 44

32.5

2320 105 54 5130 115 6440 151 74 7750 161 84

25

10 67.5 44.5

33

2320 105.5 54.5 5130 115.5 64.540 151.5 74.5 7750 161.5 84.5

32

10 72.5 49.5

38

2320 110.5 59.5 5130 120.5 69.540 156.5 79.5 7750 166.5 89.5

40

10

B50608N6U6

A14

110 60

47.5

4 M14×1

50

19 4 12 M8×1.25

20 120 7030 130 8050 175 100 75

50

10 114 64

51.5 5020 124 7430 134 8450 179 104 75



qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T

101316202532

B

NSUF

GNGS

JK

1020304050

B5 A10 M5×0.8 5 13 8

4050

10

B5

A14

M5×0.8

4.5 15

10203050

5 9

10B01N01T01

Rc1/8NPT1/8NPTF1/8

―

16.5

13203050

12



80


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

六角対辺P


N

六角対辺P

7

NN

六角対辺P


外形寸法図／型式表示外形寸法図／型式表示







w rq

ZPT 10 10B N J 04 A10



真空取出方向

qパッド径形状

w材質※



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101316202532 B

NSUF

GNGS

JK

1020304050

04

A10 27.7

8 4

ø2.5

06 10 6

4050

1006

A14

31.8 10 6 ø4.508 35.9 14 8 ø6

203050

06 19.9 12 6ø3

08 24.9 14 8



真空取出方向

qパッド径形状

w材質※



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101316202532 B

NSUF

GNGS

JK

1020304050

N6

A10 15 6

ø2.5U6

4050

10N6

A14

19

10U6

203050

N612

U6





ø10〜ø32 ø40,ø50（10stのみ）04 ø4




81


1.6 4

4

六角対辺7

六角対辺10


六角対辺6

六角対辺12

E

øF

M5×0.8

ø2.5※2


AC

B

20.529.4

45.5

20 15

40.57

14

2×ø5.5





04 ø406 ø6

y 接続ねじ（おねじ）A8 M8×1バッファ仕様 e

J 回り止めなしK 回り止め付

w rq

ZPR 06 B N J 6 04

型式

A B C真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R 0608 B

NSUF

GNGS

JK

6

0406 A8

79.5 53.5 15

10 110.5 56.5

4315 115.5 61.5

25 125.5 71.5



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R 0608 B

NSUF

GNGS

JK

6101525

04

A8

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4



A8

82


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A


LL

六角対辺M

六角対辺N

六角対辺K

六角対辺G R

øS

øF※2

P

E


DC

BA

J





04 ø406 ø608 ø8

y 接続ねじ（おねじ）

A10 M10×1A14 M14×1


w rq

ZPR 10 B N J 10 04 A10

型式


取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R

10

B

NSUF

GNGS

JK

10

0406

A10

95 61

50 33.9 25

2.5

6 M10×1

23

14 3

10 8 M5×0.8

20 133 71 5130 143 8140 179 91 7750 189 101

13

10 97.5 63.5

52.5 36.4 27.5

2320 135.5 73.5 5130 145.5 83.540 181.5 93.5 7750 191.5 103.5

16

10 99 65

54 37.9 29

2320 137 75 5130 147 8540 183 95 7750 193 105

20

10

040608

112.1 78.1

67.1 49.3 38.5

3.5

23

12 12 M8×1.25

20 150.1 88.1 5130 160.1 98.140 196.1 108.1 7750 206.1 118.1

25

10 112.6 78.6

67.6 49.8 39

2320 150.6 88.6 5130 160.6 98.640 196.6 108.6 7750 206.6 118.6

32

10 117.6 83.6

72.6 54.8 44

2320 155.6 93.6 5130 165.6 103.640 201.6 113.6 7750 211.6 123.6

40

10

0608 A14

156.1 88.1

76.1 58.3 47.5

4 10 M14×1

50

19 4 12 12 M8×1.25

20 153.1 98.130 163.1 108.150 208.1 128.1 75

50

10 160.1 92.1

80.1 62.3 51.5 5020 157.1 102.130 167.1 112.150 212.1 132.1 75



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R

101316

B

NSUF

GNGS

JK

1020304050

04

A10

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

202532

1020304050

04 4 23.3 10.4 ø3

06 6 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6

4050

10203050

06A14

6 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6



83


A

1.6 4

4


E

18.5

30

BA

C

六角対辺6

六角対辺12

六角対辺7

ø2.5※2六角対辺10

20 15

40.57

14

2×ø5.5D








w rq

ZPY 06 B N J 6 N4 A8

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y 0608 B

NSUF

GNGS

JK

6N4N6U4U6

A8

64 38 15

10 95 41

4315 100 46

25 110 56



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y 0608 B

NSUF

GNGS

JK

6101525

N4U4

A8

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5



84


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

KK

六角対辺7

øE※2

DC

BA

H

六角対辺12

六角対辺F

六角対辺J

LM









ZPY 10 B N J 10 N4 A10



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y

101316202532

B

NSUF

GNGS

JK

1020304050

N4U4

A10

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

4050

N6U6 A14 16.5 7 ø2.5



型式


取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y

10

B

NSUF

GNGS

JK

10

N4N6U4U6

A10

87 53

42 26

2.5 6 M10×1

23

14 3

20 125 63 5130 135 7340 171 83 7750 181 93

13

10 89.5 55.5

44.5 28.5

2320 127.5 65.5 5130 137.5 75.540 173.5 85.5 7750 183.5 95.5

16

10 91 57

46 30

2320 129 67 5130 139 7740 175 87 7750 185 97

20

10 96.5 62.5

51.5 33.5

3.5 6 M10×1

23

14 3

20 134.5 72.5 5130 144.5 82.540 180.5 92.5 7750 190.5 102.5

25

10 97 63

52 34

2320 135 73 5130 145 8340 181 93 7750 191 103

32

10 102 68

57 39

2320 140 78 5130 150 8840 186 98 7750 196 108

40

10

N6U6 A14

142 74

62 44

6 10 M14×1

50

19 4

20 139 8430 149 9450 194 114 75

50

10 146 78

66 48 5020 143 8830 153 9850 198 118 75

85


A

型式表示方法



w パッド径10 ø1013 ø1316 ø16




※�FDA（米国食品医薬品局）規格番号：21CFR§177.2600「繰り返し使用を目的としたゴム製品」に適合r バッファ仕様



パッド径全サイズ

6 ●10 ●15 ●25 ●

パッド単体

アダプタ付

バッファ付

q w e r t y u薄形

ZP 10 UT N

ZP T 10 UT

UT

N A5

ZP T 10 N J 6 A8B3


Ass'y

•••••••••••••••••••••••• P.87 P.115 P.121〜

•••••••••••••••••••••••• P.87〜 P.115 P.121〜

•••••••••••••••••••••••• P.92〜 P.116 P.124〜

アダプタ付


形状記号サイズパッド径全サイズ

おねじA5 M5×0.8 ○A6 M6×1 ○

めねじB4 M4×0.7 ○B5 M5×0.8 ○


04 ø4 ●06 ø6 ●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用 △N6 ø6ナイロンチューブ用 △U4 ø4軟質チューブ用 △U6 ø6軟質チューブ用 △

u 接続ねじ� ●：ZPR／横方向（ワンタッチ管継手付）　△：ZPY／横方向（バーブ継手付）


おねじA5 M5×0.8 ●△A6 M6×1 ●△

めねじB4 M4×0.7 ●△B5 M5×0.8 ●△

� ○：ZPT／縦方向の接続ねじ選択はありません。真空取出口と兼用になります。

バッファ付



めねじB3 M3×0.5 ○B5 M5×0.8 ○


04 ø4 ○●06 ø6 ○●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用※1 ○△N6 ø6ナイロンチューブ用※1 △U4 ø4軟質チューブ用※2 ○△U6 ø6軟質チューブ用※2 △




おねじ A8 M8×1 ○●△

基本形パッド薄形

ZP Series

※パッド、取付ナット、継手、バッファプレートは同梱出荷（未組立）となります。


86

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

ø7

12

øB

Y

øAø2.5

B六角対辺D

ø2.5※2

A15.5

C

B

A六角対辺7

19.5

ø2.5※2


単体 ø10〜ø1610

wq

ZP UT N

型式

A B Yqパッド径形状

w材質※

ZP

10

UT

NSUF

GNGS

10 11 1

13 13 141.5

16 16 17


10wq

ZPT UT N A5



型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T101316

UT

NSUF

GNGS

A5 19 M5×0.8 3.5 7

A6 20 M6×1 4.5 8



10wq

ZPT UT N B4


型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T101316

UT

NSUF

GNGS

B4 M4×0.7 4

B5 M5×0.8 5






87

基本形パッド薄形 ZP Series

F

øG


M5×0.8


B六角対辺8

六角対辺10

DD

CA

44.5

28.4

19.5


10


04 ø406 ø6


wq

ZPR UT N A504

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R101316

UT

NSUF

GNGS

0406

A5 65.5 M5×0.8 21 4

A6 70.5 M6×1 26 4



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R101316

UT

NSUF

GNGS

04A5A6

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4





88


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

B

AD

六角対辺10øE


M5×0.8


19.5

28.4

44.5

10


04 ø406 ø6


wq

ZPR UT N B404


型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R101316

UT

NSUF

GNGS

0406

B4 M4×0.7 4

B5 M5×0.8 5



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R101316

UT

NSUF

GNGS

04B4B5

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4





89


5 FE

B六角対辺8

六角対辺10

M5×0.8

六角対辺7

ø2.5※2

17.522.5

A

DD

C


10




wq

ZPY UT N A5N4


型式


qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y101316

UT

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

A5 44 M5×0.8 21.5 4

A6 49.5 M6×1 27 4



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y101316

UT

NSUF

GNGS

N4U4

A5A6

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5




90


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

B

A D5

C六角対辺10

M5×0.8

六角対辺7

ø2.5※2

17.5

29


10




wq

ZPY UT N B4N4


型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y101316

UT

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

B4 M4×0.7 4

B5 M5×0.8 5



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y101316

UT

NSUF

GNGS

N4U4

B4B5

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5




91


F

E六角対辺H

六角対辺12

øC※2

BD

AG

44

1.6


14

1520

40.57

2×ø5.5


六角対辺H

G

六角対辺H

G5




B3 M3×0.5めねじB5 M5×0.8





w rq

ZPT 10 UT N J 6 B3 A8

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T101316

UT

NSUF

GNGS

JK

6 B3B50406N4U4

A8

33 18

J：2.5K：2

15

10 66 23

4315 71 28

25 81 38



qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T101316

UT

NSUF

GNGS

JK

6101525

B3

A8

M3×0.5 3 11 6

B5 M5×0.8 5 13 8



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T101316

UT

NSUF

GNGS

JK

6101525

04

A8 27.7

8 4

ø2.5

06 10 6



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T101316

UT

NSUF

GNGS

JK

6101525

N4

A8 14 6 ø1.8

U4






92


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

六角対辺6

六角対辺12

E

M5×0.8


øF


六角対辺10

19.528.4

44.5

BA

C

44

1.6


20 15

40.57

14

2×ø5.5



（ワンタッチ管継手）04 ø406 ø6


w rq

ZPR 10 UT N J 6 04


型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R101316

UT

NSUF

GNGS

JK

6

0406 A8

78.5 52.5 15

10 109.5 55.5

4315 114.5 60.5

25 124.5 70.5



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R101316

UT

NSUF

GNGS

JK

6101525

04

A8

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4




A8

93


A

六角対辺6

六角対辺12

六角対辺7

E

ø2.5※2

六角対辺10

17.5

29

BA

C

44

1.6


20 15

40.57

14

2×ø5.5D



（バーブ継手）N4 ø4ナイロンチューブ用 M-5AN-4N6 ø6ナイロンチューブ用 M-5AN-6U4 ø4軟質チューブ用 M-5AU-4U6 ø6軟質チューブ用 M-5AU-6


w rq

ZPY 10 UT N J 6 N4 A8


型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y101316

UT

NSUF

GNGS

JK

6N4N6U4U6

A8

63 37 15

10 94 40

4315 99 45

25 109 55



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y101316

UT

NSUF

GNGS

JK

6101525

N4U4

A8

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5




94


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

型式表示方法



w パッド径10 ø1013 ø1316 ø16




※�FDA（米国食品医薬品局）規格番号：21CFR§177.2600「繰り返し使用を目的としたゴム製品」に適合r バッファ仕様



パッド径全サイズ

6 ●10 ●15 ●25 ●

パッド単体

アダプタ付

バッファ付

q w e r t y u薄形リブ付

ZP 10 CT N

ZP T 10 CT

CT

N A5

ZP T 10 N J 6 A8B3


Ass'y

•••••••••••••••••••••••• P.96 P.115 P.121〜

•••••••••••••••••••••••• P.96〜 P.115 P.121〜

•••••••••••••••••••••••• P.101〜 P.116 P.124〜

アダプタ付



おねじA5 M5×0.8 ○A6 M6×1 ○

めねじB4 M4×0.7 ○B5 M5×0.8 ○


04 ø4 ●06 ø6 ●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用 △N6 ø6ナイロンチューブ用 △U4 ø4軟質チューブ用 △U6 ø6軟質チューブ用 △

u 接続ねじ� ●：ZPR／横方向（ワンタッチ管継手付）　△：ZPY／横方向（バーブ継手付）


おねじA5 M5×0.8 ●△A6 M6×1 ●△

めねじB4 M4×0.7 ●△B5 M5×0.8 ●△

� ○：ZPT／縦方向の接続ねじ選択はありません。真空取出口と兼用になります。

バッファ付



めねじB3 M3×0.5 ○B5 M5×0.8 ○


04 ø4 ○●06 ø6 ○●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用※1 ○△N6 ø6ナイロンチューブ用※1 △U4 ø4軟質チューブ用※2 ○△U6 ø6軟質チューブ用※2 △




おねじ A8 M8×1 ○●△

基本形パッド薄形リブ付

ZP Series

※パッド、取付ナット、バッファプレートは同梱出荷（未組立）となります。


95

ø712

Y

øBøA

ø2.5

ø2.5※2

B六角対辺D

15.5

CA

六角対辺7 A

B

19.5

ø2.5※2


単体 ø10〜ø1610

wq

ZP CT N

型式

A B Yqパッド径形状

w材質※

ZP

10

CT

NSUF

GNGS

10 11 0.8

13 13 141

16 16 17


アダプタ付 ø10〜ø1610 A5


wq

ZPT CT N

型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T101316

CT

NSUF

GNGS

A5 19 M5×0.8 3.5 7

A6 20 M6×1 4.5 8



10 B4


wq

ZPT CT N

型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T101316

CT

NSUF

GNGS

B4 M4×0.7 4

B5 M5×0.8 5






96

基本形パッド薄形リブ付 ZP Series

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

F

øG

M5×0.8

ø2.5※2


B六角対辺8

六角対辺7

19.5

28.4

44.5

AC

DD

六角対辺10


CT10


04 ø406 ø6


wq

ZPR N A504


型式


qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R101316

CT

NSUF

GNGS

0406

A5 65.5 M5×0.8 21 4

A6 70.5 M6×1 26 4



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP R101316

CT

NSUF

GNGS

04A5A6

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4




97


A

六角対辺10 AD

B

øE

M5×0.8


ø2.5※2

19.5

28.4

44.5

六角対辺7


アダプタ／ワンタッチ管継手付 ø10〜ø16CT10


04 ø406 ø6


wq

ZPR N B404

型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R101316

CT

NSUF

GNGS

0406

B4 M4×0.7 4

B5 M5×0.8 5



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R101316

CT

NSUF

GNGS

04B4B5

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4




98


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

ø2.5※2

M5×0.8

六角対辺7

5 FE

B六角対辺8

六角対辺10

17.522.5

CA

DD


CT10




wq

ZPY N A5N4


型式


qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y101316

CT

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

A5 44 M5×0.8 21.5 4

A6 49.5 M6×1 27 4



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

e真空

取出口

r接続ねじ

ZP Y101316

CT

NSUF

GNGS

N4U4

A5A6

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5




99


A

B

AD5

C

ø2.5※2

六角対辺10

M5×0.8

六角対辺7

17.5

29


CT10




wq

ZPY N B4N4


型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y101316

CT

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

B4 M4×0.7 4

B5 M5×0.8 5



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y101316

CT

NSUF

GNGS

N4U4

B4B5

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5




100


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

F

E六角対辺H

六角対辺12

øC※2

BD

AG

1.6

44


14

1520

40.57

2×ø5.5


六角対辺H

G

5

G

六角対辺H




B3 M3×0.5めねじB5 M5×0.8





w rq

ZPT 10 CT N J 6 B3 A8

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T101316

CT

NSUF

GNGS

JK

6 B3B50406N4U4

A8

33 18

J：2.5K：2

15

10 66 23

4315 71 28

25 81 38



qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T101316

CT

NSUF

GNGS

JK

6101525

B3

A8

M3×0.5 3 11 6

B5 M5×0.8 5 13 8



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T101316

CT

NSUF

GNGS

JK

6101525

04

A8 27.7

8 4

ø2.5

06 10 6



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP T101316

CT

NSUF

GNGS

JK

6101525

N4

A8 14 6 ø1.8

U4






101


A

六角対辺6

六角対辺12

E

øF

M5×0.8

適用チューブ外径øDø2.5※2

六角対辺10

六角対辺7

19.528.4

44.5

BA

C1.6

44


20 15

40.57

14

2×ø5.5




（ワンタッチ管継手）04 ø406 ø6


w rq

ZPR 10 CT N J 6 04

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R101316

CT

NSUF

GNGS

JK

6

0406 A8

78.5 52.5 15

10 109.5 55.5

4315 114.5 60.5

25 124.5 70.5



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP R101316

CT

NSUF

GNGS

JK

6101525

04

A8

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4




A8

102


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

六角対辺12

六角対辺7

E

ø2.5※2

六角対辺6


44

1.6

六角対辺10

C

17.5

29

BA

20 15

40.57

14

2×ø5.5D



（バーブ継手）N4 ø4ナイロンチューブ用 M-5AN-4N6 ø6ナイロンチューブ用 M-5AN-6U4 ø4軟質チューブ用 M-5AU-4U6 ø6軟質チューブ用 M-5AU-6


w rq

ZPY 10 CT N J 6 N4 A8

型式


qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y101316

CT

NSUF

GNGS

JK

6N4N6U4U6

A8

63 37 15

10 94 40

4315 99 45

25 109 55



真空取出方向

qパッド

径形状

w※1

材質

eバッファ

仕様

rバッファ

ストローク

t真空

取出口

y接続ねじ

ZP Y101316

CT

NSUF

GNGS

JK

6101525

N4U4

A8

13.5 5 ø1.8

N6U6 15.5 7 ø2.5





103


A

パッド単体

アダプタ付

バッファ付

型式表示方法

q w e r t y u i


記号パッド径全サイズ

無記号リング付X19 リングなし


ZPL1 ø10,�ø16ZPL2 ø25ZPL3 ø40



w パッド径10 ø1016 ø1625 ø2540 ø40





パッド径（mm）ø10 ø16 ø25 ø40

10 ● ● ● ●20 ● ● ● ●30 ● ● ● ●40 ● ● ● ―50 ● ● ● ●

アダプタ付



ø10,�ø16 ø25 ø40

めねじ

無記号M3×0.5 ○（u接続ねじ：

A5/A6）○（u接続ねじ：A6）


M5×0.8 ― ○（u接続ねじ：A8）


B5 M5×0.8 ○ ○ ―B6 M6×1 ○ ○ ○B8 M8×1.25 ― ○ ○B01 Rc1/8 ○ ○ ○N01 NPT1/8 ○ ○ ○T01 NPTF1/8 ○ ○ ○


04 ø4 ● ● ―06 ø6 ● ● ●08 ø8 ― ● ●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用※1 △ △ ―N6 ø6ナイロンチューブ用※1 △ △ △U4 ø4軟質チューブ用※2 △ △ ―U6 ø6軟質チューブ用※2 △ △ △




ø10,�ø16 ø25 ø40

おねじA5 M5×0.8 ○※●△ ― ―A6 M6×1 ○※●△ ○※●△ ○※●△A8 M8×1 ― ○※●△ ○※●△

めねじB5 M5×0.8 ●△ ●△ ―B6 M6×1 ●△ ●△ ●△B8 M8×1.25 ― ●△ ●△


バッファ付



ø10,�ø16 ø25 ø40

めねじ

B5 M5×0.8 ○ ○ ○B01 Rc1/8 ― ― ○N01 NPT1/8 ― ― ○T01 NPTF1/8 ― ― ○


04 ø4 ○● ○● ―06 ø6 ○● ○● ○●08 ø8 ― ● ○●

バーブ継手

N4 ø4ナイロンチューブ用※1 △ △ ―N6 ø6ナイロンチューブ用※1 ○△ ○△ ○△U4 ø4軟質チューブ用※2 △ △ ―U6 ø6軟質チューブ用※2 ○△ ○△ ○△




ø10,�ø16 ø25 ø40

おねじ A10 M10×1 ○●△ ○●△ ―A14 M14×1 ― ― ○●△

ZP 10 D N

ZP T 10 D N A5

ZP T 10 D N J 10 B5 A10

深形


••••••• P.105 P.117 P.121〜

••••••• P.105〜 P.117 P.121〜

••••••• P.111〜 P.118 P.124〜

基本形パッド深形

ZP Series

※パッド、ロックリング、取付ナット、継手、バッファプレートは同梱出荷（未組立）となります。


104

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

øD

YE

øBøA

øC

六角対辺K

六角対辺H

øC※2

F

D E

JJ

AG

B


単体 ø10〜ø4010

wq

ZP D N

型式


w材質※

ZP

10

D

NSUF

GNGS

10 12

413

15 6

16 16 18 16 7

25 25 28 15 20 10

40 40 43 7 18 29 17

※�N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導電性シリコーンゴム構造図 P.117

取付金具Ass'y P.121〜


ZPT

アダプタ付 ø10〜ø4010 A5

wq

D N

型式


qパッド径形状

w※1材質

e接続ねじ

ZP T

10

D

NSUF

GNGS

A541 20

2.5 M5×0.8 M3×0.5 3.5 21 8 4 816 42 2110

A6

46 20

2.5 M6×1 M3×0.5 3.5 26 8 4816 47 21

25 51 2540 61 35.5 1225

A846 30 4

M8×1 M5×0.8 5 16 12 4 1240 51 35.5 4.2






105

基本形パッド深形 ZP Series

C

øB※2

D

C六角対辺E

A


10 B5



wq

ZPT D N


型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

ZP T

10

D

NSUF

GNGS

B524

2.5M5×0.8 5 816 25

25 29 410

B6

242.5

M6×1 6816 25

25 29 440 42.5 4.9 1225

B835 3.5

M8×1.25 8 1240 42.5 6.610

B01N01T01

302.5 Rc1/8

NPT1/8NPTF1/8

― 1216 3125 35 3.540 42.5 7




106


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

øE※2

PF六角対辺H

六角対辺K

六角対辺L

øQ

M


DC

BA

GJ

J


アダプタ／ワンタッチ管継手付 ø10〜ø4010 D


04 ø406 ø608 ø8


wq

ZPR N A504

型式


取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

10

D

NSUF

GNGS

040608

A570 49 32.9 24

2.5 M5×0.8 21 8 4 10 8 M5×0.816 71 50 33.9 2510

A6

75 49 32.9 242.5M6×1 26 8 4

10 8 M5×0.816 76 50 33.9 2525 89.5 63.6 45.8 35 3.5

12 12 M8×1.2540 97 71.1 53.3 42.5 425

A879.5 63.6 45.8 35 3.5

M8×1 16 12 4 12 12 M8×1.2540 87 71.1 53.3 42.5 4



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

1016

D

NSUF

GNGS

04 A5A6

4 20.6 10.4 ø306 6 21.6 12.8 ø4

2504

A6A8

4 23.3 10.4 ø306 6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6

4006 6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6




107


A

øD※2

EL

F

J


øM

六角対辺G

六角対辺H

CB

A



アダプタ／ワンタッチ管継手付 ø10〜ø4010 D


04 ø406 ø608 ø8

r 接続ねじ（めねじ）B5 M5×0.8B6 M6×1B8 M8×1.25

wq

ZPR N B504

型式

A B C※2D E F G H J真空

取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

10

D

NSUF

GNGS

040608

B549 32.9 24

2.5M5×0.8 5

10 8 M5×0.816 50 33.9 2525 63.6 45.8 35 3.5 12 12 M8×1.2510

B6

49 32.9 242.5

M6×1 610 8 M5×0.8

16 50 33.9 2525 63.6 45.8 35 3.5

12 12 M8×1.2540 71.1 53.3 42.5 425

B863.6 45.8 35 3.5

M8×1.25 8 12 12 M8×1.2540 71.1 53.3 42.5 4



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP R

1016

D

NSUF

GNGS

04 B5B6

4 20.6 10.4 ø306 6 21.6 12.8 ø4

2504 B5

B6B8

4 23.3 10.4 ø306 6 24.3 12.8 ø4.508 8 26.2 15.2 ø6

4006 B6

B86 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6※1��N：NBR、S：シリコーンゴム、U：ウレタンゴム、F：FKM、GN：導電性NBR、GS：導

電性シリコーンゴム※2�アダプタもしくは真空パッドの最小穴径を示します。

108


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

øD※2

六角対辺7

M5×0.8

6 KJ

E六角対辺G

六角対辺12

CB

AF

HH


10 D




wq

ZPY N A5N4


型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

10

D

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

A562 41 25

2.5 M5×0.8 21 8 416 63 42 2610

A6

67 41 252.5

M6×1 26 8 416 68 42 2625 74 48 30 3.540 83 57 39 625

A864 48 30 3.5

M8×1 16 12 440 73 57 39 6



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

101625

D

NSUF

GNGS

N4U4

A5A6

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

40 N6U6

A6A8 16.5 7 ø2.5




109


A

øC※2

E

DG6

F

六角対辺7

M5×0.8

六角対辺12

BA



10 D



r 接続ねじ（めねじ）B5 M5×0.8B6 M6×1B8 M8×1.25

wq

ZPY N B5N4


型式


qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

10

D

NSUF

GNGS

N4N6U4U6

B541 25

2.5M5×0.8 516 42 26

25 48 30 3.510

B6

41 252.5

M6×1 616 42 2625 48 30 3.540 57 39 625

B848 30 3.5 M8×1.25 8

40 57 39 6



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質

e真空�取出口

r接続�ねじ

ZP Y

1016

D

NSUF

GNGS

N4U4 B4

B5

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

25

N4U4 B5

B6B8

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

40 N6U6

B6B8 16.5 7 ø2.5



110


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

øD※2

K

ML六角対辺P

六角対辺J

六角対辺G

E（バッファボディ）

CB

AF

N

HH




t 真空取出口（めねじ）B5 M5×0.8B01 Rc1/8N01 NPT1/8T01 NPTF1/8


w rq

ZPT 10 D N J 10 B5 A10


型式


qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

10

D

NSUF

GNGS

JK

10

B50406N6U6

A10

58.5 35.5

24

J：2.5K：2 M10×1

23

14 3 8 M5×0.8

20 96.5 45.551

30 106.5 55.540 142.5 65.5

7750 152.5 75.5

16

10 59.5 36.5

25

2320 97.5 46.5

5130 107.5 56.540 143.5 66.5

7750 153.5 76.5

25

10 63.5 40.5

29

2320 101.5 50.5

5130 111.5 60.540 147.5 70.5

7750 157.5 80.5

40

10 B5B01N01T010608N6U6

A14

105 55

42.5 4 M14×150

19 4 12 M8×1.2520 115 65

30 125 75

50 170 95 75



qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101625

D

NSUF

GNGS

JK

1020304050

B5 A10 M5×0.8 5 13 8

40

10

B5

A14

M5×0.8

4.5 15

10203050

5 9

10B01N01T01

Rc1/8NPT1/8NPTF1/8

16.5

13203050

12



111


A


六角対辺P

N

六角対辺P

7

N





w rq

ZPT 10 D N J 10 04 A10





N P Q 継手最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w材質※



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101625

D

NSUF

GNGS

JK

1020304050

04

A10 27.7

8 4

ø2.5

06 10 6

40

1006

A14

31.8 10 6 ø4.508 35.9 14 8 ø6

203050

06 19.9 12 6ø3

08 24.9 14 8


N P 継手最小穴径

真空取出方向

qパッド径形状

w材質※



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP T

101625

D

NSUF

GNGS

JK

1020304050

N6

A10 15 6

ø2.5U6

40

10N6

A14

19

10U6

203050

N612

U6



ø10〜ø25 ø4004 ø4




112


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

øF※2

P適用チューブ外径øQ

øS

R六角対辺G

六角対辺K


六角対辺M

六角対辺N

ED

CB

AJ

LL






04 ø406 ø608 ø8


w rq

ZPR 10 D N J 10 04 A10

型式


取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP R

10

D

NSUF

GNGS

JK

10

0406

A10

94 60

49 32.9 24

2.5

6 M10×1

23

14 3

10 8 M5×0.8

20 132 7051

30 142 8040 178 90

7750 188 100

16

10 95 61

50 33.9 25

2320 133 71

5130 143 8140 179 91

7750 189 101

25

10040608

108.6 74.6

63.6 45.8 35 3.5

23

12 12 M8×1.25

20 146.6 84.651

30 156.6 94.640 192.6 104.6

7750 202.6 114.6

40

100608 A14

151.1 83.1

71.1 53.3 42.5 4 10 M14×1

5019 4 12 12 M8×1.25

20 148.1 93.130 158.1 103.150 203.1 123.1 75



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP R

1016

D

NSUF

GNGS

JK

1020304050

04

A10

4 20.6 10.4 ø3

06 6 21.6 12.8 ø4

25

1020304050

04 4 23.3 10.4 ø3

06 6 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6

40

10203050

06A14

6 24.3 12.8 ø4.5

08 8 26.2 15.2 ø6



113


A

øE※2

六角対辺7

六角対辺F ML

六角対辺12

六角対辺J


DC

BA

HK

K







w rq

ZPY 10 D N J 10 N4 A10

型式


取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP Y

10

D

NSUF

GNGS

JK

10

N4N6U4U6

A10

86 52

41 25

2.5 6 M10×1

23

14 3

20 124 6251

30 134 7240 170 82

7750 180 92

16

10 87 53

42 26

2320 125 63

5130 135 7340 171 83

7750 181 93

25

10 93 59

48 30 3.5 6 M10×1

23

14 320 131 69

5130 141 7940 177 89

7750 187 99

40

10N6U6 A14

137 69

57 39 6 10 M14×15019 4

20 134 7930 144 8950 189 109 75



真空取出方向

qパッド径形状

w※1材質



t真空�取出口

y接続�ねじ

ZP Y

101625

D

NSUF

GNGS

JK

1020304050

N4U4

A10

14.5 5 ø1.8

N6U6 16.5 7 ø2.5

40

10203050

N6U6 A14 16.5 7 ø2.5




114


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

e

w

q

w

q

t

r

ew

q

r

ew

q

r

e

w

q

e

w

q

ZPT□-（A5/A6）

ZPR□-（04/06）-（A5/A6）

ZPY□-（N4/N6/U4/U6）-（A5/A6）

ZPT□-（B4/B5）

ZPR□-（04/06）-（B4/B5）

ZPY□-（N4/N6/U4/U6）-（B4/B5）

構成部品番号部品名材質備考

1 パッド

NBR・シリコーンゴムウレタンゴム・FKM

導電性NBR導電性シリコーンゴム

平形ベロウ形薄形

薄形リブ付2 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）3 ガスケットステンレス鋼/NBR


1 パッド




薄形リブ付2 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）3 ガスケットステンレス鋼/NBR

4 アダプタ（ワンタッチ管継手付）

黄銅（無電解ニッケルめっき）PBT・NBR

ステンレス鋼・POM

5 ナット圧延鋼材（亜鉛クロメート） M5×0.8M6×1


1 パッド




薄形リブ付2 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）3 バーブ継手 ―

4 ナット圧延鋼材（亜鉛クロメート） M5×0.8M6×1

アダプタ付平形：ø2～ø8 ベロウ形：ø6～ø8 薄形／薄形リブ付：ø10～ø16


構造図

真空取出方向縦 Tタイプ／ZPT

真空取出方向横 Rタイプ／ZPR

真空取出方向横 Yタイプ／ZPY

115A

t

y

u

re

w

q

i t

i

o

!0

uy

t

r

ew

q

u

i

o

y

t

r

e

wq

ZPT□-（B3/B5）-A8

ZPR□-（04/06）-A8

ZPY□-（N4/N6/U4/U6）-A8

ZPT□-（04/06）-A8 ZPT□-（N4/U4）-A8


1 パッド




薄形リブ付2 ピストンロッドステンレス鋼3 バッファボディ黄銅（無電解ニッケルめっき）4 リターンスプリングステンレス鋼5 バッファアダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）6 ナット炭素鋼（亜鉛クロメート） M8×17 バッファプレート鋼（三価クロメート）8 継手 ―


1 パッド




薄形リブ付2 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）3 ガスケット SUS304/NBR



ステンレス鋼・POM5 ピストンロッドステンレス鋼6 バッファボディ黄銅（無電解ニッケルめっき）7 リターンスプリングステンレス鋼8 バッファアダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）9 ナット炭素鋼（亜鉛クロメート） M8×110 バッファプレート鋼（三価クロメート）


1 パッド




薄形リブ付2 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）3 バーブ継手 ―4 ピストンロッドステンレス鋼5 バッファボディ黄銅（無電解ニッケルめっき）6 リターンスプリングステンレス鋼7 バッファアダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）8 ナット炭素鋼（亜鉛クロメート） M8×19 バッファプレート鋼（三価クロメート）

バッファ付平形：ø2～ø8 ベロウ形：ø6～ø8 薄形／薄形リブ付：ø10～ø16




116

基本形パッド構造図 ZP Series

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

r

e

w

q

e

w

q

y

t

r

e

w

q

t

r

e

w

q

t

r

e

w

q

r

e

w

q

ZPT□-（A5/A6/A8）

ZPR□-（04/06/08）-（A5/A6/A8）

ZPY□-（N4/N6/U4/U6）-（A5/A6/A8）

ZPT□-（B5/B6/B8/B01/N01/T01）

ZPR□-（04/06/08）-（B5/B6/B8）

ZPY□-（N4/N6/U4/U6）-（B5/B6/B8）


1 パッド



平形平形リブ付ベロウ形深形

2 ロックリング黄銅（無電解ニッケルめっき）3 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）

4 ナット圧延鋼材（亜鉛クロメート） M5×0.8

M6×1炭素鋼（亜鉛クロメート） M8×1


1 パッド




2 ロックリング黄銅（無電解ニッケルめっき）3 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）4 ガスケット SUS304/NBR







1 パッド




2 ロックリング黄銅（無電解ニッケルめっき）3 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）4 バーブ継手 ―



アダプタ付平形：ø10～ø50 平形リブ付：ø10～ø50 ベロウ形：ø10～ø50 深形：ø10～ø40




117


B

i

ouytrewq

!0

i

o

!0

i

u

y

t

r

e

w

q

i

o

u

y

t

r

e

w

q

ZPT□-（B5/B01/N01/T01）-（A10/A14）

ZPR□-（04/06/08）-（A10/A14）

ZPY□-（N4/N6/U4/U6）-（A10/A14）

ZPT□-（04/06/08）-（A10/A14）

ZPT□-（N6/U6）-（A10/A14）


1 パッド




2 ロックリング黄銅（無電解ニッケルめっき）3 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）4 ガスケットステンレス鋼/NBR5 ピストンロッドステンレス鋼6 バッファボディ黄銅（無電解ニッケルめっき）7 リターンスプリングステンレス鋼8 バッファアダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）

9 ナット鋼一般（亜鉛クロメート） M10×1M14×1

10 継手 ―


1 パッド




2 ロックリング黄銅（無電解ニッケルめっき）3 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）4 ガスケットステンレス鋼/NBR



ステンレス鋼・POM6 ピストンロッドステンレス鋼7 バッファボディ黄銅（無電解ニッケルめっき）8 リターンスプリングステンレス鋼9 バッファアダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）



1 パッド




2 ロックリング黄銅（無電解ニッケルめっき）3 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）4 バーブ継手 ―5 ピストンロッドステンレス鋼6 バッファボディ黄銅（無電解ニッケルめっき）7 リターンスプリングステンレス鋼8 バッファアダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）


バッファ付平形：ø10～ø50 平形リブ付：ø10～ø50 ベロウ形：ø10～ø50 深形：ø10～ø40




118


構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

u

y

t

e

r

w

q

y

t

e

r

w

q

y

t

e

r

w

q

i

u

ZPT□F□-B5-（A8/A10/A14） ZPT□F□-（B5/B8/B01/N01/T01）

ZPR□F□-（04/06/08）-（B5/B8）


1 パッド



平形

2 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）3 シャフトカバーステンレス鋼4 Oリング FKM5 シャフトステンレス鋼6 シャフトアダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）

7 ナット炭素鋼（亜鉛クロメート） M8×1

鋼一般（亜鉛クロメート） M10×1M14×1

8 ロックリングアルミニウム（黒色アルマイト）パッド径：ø40, ø50


1 パッド



平形

2 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）3 シャフトカバーステンレス鋼4 Oリング FKM5 シャフトステンレス鋼

6 シャフトアダプタ（ワンタッチ管継手付）




アダプタ付平形：ø10～ø50


構造図

首振りタイプ

真空取出方向縦 Tタイプ／ZPT□F

真空取出方向横 Rタイプ／ZPR□F

ø10～ø32

ø10～ø32

ø40, ø50

ø40, ø50

119A

!0

q

w

r

e

t

u

y

i

o

!1

!2!0

q

w

r

e

t

y

u

i

o

!1

!3

!2

ZPT□F□-（B5/B01/N01/T01）-（A10/A14） ZPT□F□-（04/06/08）-（A10/A14）

ZPR□F□-（04/06/08）-（A10/A14）


1 パッド



平形

2 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）3 シャフトカバーステンレス鋼4 Oリング FKM5 シャフトステンレス鋼6 シャフトアダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）7 ピストンロッドステンレス鋼8 バッファボディ黄銅（無電解ニッケルめっき）9 リターンスプリングステンレス鋼10 バッファアダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）


12 継手 ―



1 パッド



平形

2 アダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）3 シャフトカバーステンレス鋼4 Oリング FKM5 シャフトステンレス鋼

6 シャフトアダプタ（ワンタッチ管継手付）


ステンレス鋼・POM7 ピストンロッドステンレス鋼8 バッファボディ黄銅（無電解ニッケルめっき）9 リターンスプリングステンレス鋼10 バッファアダプタ黄銅（無電解ニッケルめっき）



バッファ付平形：ø10～ø50

真空取出方向縦 Tタイプ／ZPT□F

真空取出方向横 Rタイプ／ZPR□F

ø10～ø32

ø10～ø32

ø40, ø50

ø40, ø50120


首振りタイプ

構造図

取付金具

Ass'y

平形

平形リブ付

ベロウ形

薄形

薄形リブ付

平形首振り

共通

注意事項

基本形

ZP

深形

機種選定

方法

A

ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意につきましてはP.375、真空用機器／共通注意事項ならびに真空パッド／共通注意事項につきましてはP.376〜379をご確認ください。

基本形・コンパクトタイプ／製品個別注意事項

取付

q�バッファ取付時のねじ締付は、制限範囲内のトルク値で適正に締付てください。制限値範囲以外の値による締付は作動不良の原因となります。

基本形ZPシリーズ型式接続ねじ締付トルク［N・m］

ZP□（2～8）□（J/K）□-□-A8 M8×1 1.5〜2.0

ZP□（10～32）□（J/K）□-□-A10 M10×1 2.5〜3.5

ZP□（40/50）□（J/K）□-□-A12 M14×1 6.5〜7.5

コンパクトタイプZP3シリーズ型式接続ねじ締付トルク［N・m］

ZP3-□（015～035）□J□-□ M6×0.75 1.5〜1.8

ZP3-□（015～035）□K□-□M8×0.75 2.0〜2.5

ZP3-□（04～16）□（J/JB/K）□-□

パッド交換方法

q�基本形ZPシリーズのパッド交換方法z�ロックリングを上方に引き上げ、アダプタまで持ち上げた後、パッドを下方に引き下げ古いパッドをはずします。

x�ロックリングを上方に持ったまま、新しいパッドをアダプタに差しこみます。

c�パッドが確実に入っているか確認して、ロックリングをパッドの3個所の凸部までしっかり装着してください。

w�基本形ZP首振りシリーズのパッド交換方法

パッド径：ø10〜ø32

z�六角レンチをパッド側から差込み、ねじを緩めてアダプタから古いパッドをはずします。

x�アダプタに新しいパッドを差し込み、Oリングがあることを確認してから、六角レンチでねじを締め固定します。

パッド径：ø40・ø50

z�ロックリングを上方に引き上げ、アダプタまで持ち上げた後、パッドを下方に引き下げ古いパッドをはずします。

x�ロックリングを上方に持ったまま、新しいパッドをアダプタに差込みます。

c�パッドが確実に入っているか確認して、ロックリングを装着してください。

z

x

パッド

六角レンチ

内側にOリング

アダプタ

x

z

cアダプタ

ロックリング

パッド

165

Documents

Siesca01.smcworld.com/catalog/VacuumPad/mpv/VPad-p026-120-ZP/...単体 P.62 ZPT アダプタ付 P.62 P.63 ZPR アダプタ付 P.64 ZPT バッファ付 P.65 ZPR バッファ付 P.66