東日本エリア 〒 神奈川県川崎市麻生区栗木・半導体デバイス製造装置・ストレージデバイス製造装置・電子部品製造装置 研究開発・小規模生産装置・パネルデバイス製造装置・真空コンポーネント

西日本エリア 〒 大阪府吹田市南金田・各種装置関係・真空コンポーネント

九州エリア 〒 熊本県熊本市中央区帯山 キヤノン 熊本ビル※ 輸出・移転・処分に関する注意事項 本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に 基づく判定が必要となりますので弊社営業部門に必ず

お問合せください。また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。

※ 本カタログに記載されている内容は性能向上等のため予告なく変更することがあります。

年 月作成 無断転用禁止

商品名・型名

コールドカソードゲージ

コールドカソードピラニゲージ

キャパシタンスゲージ

ピラニゲージ耐蝕型

イオンゲージ

クリスタルイオンゲージ

表示器 表示器

・ゲージ自動認識・大型 表示・ 標準装備・ 表示モードデジタルトレンドグラフアナログメータ

■トランスデューサ型真空計 シリーズラインナップ・ 、 共にシリーズ共通表示器に対応。 は旧機種 と完全互換。

■コールドカソードゲージとピラニゲージについて

コールドカソードゲージ 測定範囲は超高真空～高真空。気体中の電離現象を利用。マグネトロン放電により気体分子をイオン化し、そのイオン電流を測定

ピラニゲージ 測定範囲は中真空～大気圧。気体の輸送現象を利用。気体分子による熱伝導を測定

複合型真空計 「コールドカソードピラニゲージ」ピラニゲージとコールドカソードゲージの つの原理の組み合わせにより、台で大気圧～超高真空まで、広い圧力領域の計測が可能

圧力帯により自動で切替ピラニコールドカソード

大気圧超高真空

Cold Cathode Gauge Seriesコールドカソードゲージ シリーズ

Vacuum Components

M-370CG コールドカソードゲージM-361CP コールドカソードピラニゲージ

コールドカソードピラニゲージ

■概 要大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。 台で広い圧力領域を測定可能です。■特 長・ 優れた測定安定性

ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減

・ 大気圧センサ、ピラニゲージ、コールドカソードゲージの 台 役システムのコストダウンや管理負荷低減に貢献■用 途大気圧～超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応・ 蒸着、スパッタリング、イオン注入、・ 、 、 、 、表面 ガス 質量分析・ アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接・ 加速器、サイクロトロン

型 名コールドカソードピラニゲージ

セットポイント付タイプ タイプ圧力測定範囲 × ～ ×

精度 ± ％ × ～ ×± ％ × ～ ×

再現性 ± ％ × ～ ×入力電圧 ～消費電力アナログ出力 ～ －セットポイント 接点出力インターフェース －入出力コネクタ D‐sub9 ピン最大ケーブル長 対応可能＊

使用温度範囲 ～ 55℃ 保存温度範 － ～ 70℃ (非動作時センサー型名

センサ材質 主要部フィラメント電極絶縁石ケース

外形寸法 継ぎ⼿ 仕様フランジ形状 、 、Φ70ICF適合法令等 、 、

■オーダリングインフォメーション

■外形寸法図

Φ70ICF

表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は となります。

製品コード商 品 名

備考型 名 品 名

コールドカソードピラニゲージ 継⼿：コールドカソードピラニゲージ 継⼿：コールドカソードピラニゲージ 継⼿：Φコールドカソードピラニゲージ 仕様 継⼿：コールドカソードピラニゲージ 仕様 継⼿：コールドカソードピラニゲージ 仕様 継⼿：Φ

メンテナンスキット ポールピース、メッシュ

製品コード商 品 名

備考型 名 品 名

コールドカソードゲージ 継⼿：コールドカソードゲージ 継⼿：コールドカソードゲージ 継⼿：Φコールドカソードゲージ 仕様 継⼿：コールドカソードゲージ 仕様 継⼿：コールドカソードゲージ 仕様 継⼿：Φ

メンテナンスキット ポールピース、メッシュ

コールドカソードゲージ

■概 要熱フィラメントを使用しない堅牢なコールドカソードゲージ 冷陰極電離真空計 です。高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現します。■特 長・ 優れた測定安定性

未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減・ 高真空下での良好な起動性

未放電、放電遅れを解消■用 途

～超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応・ 蒸着、スパッタリング、イオン注入、・ 、 、 、 、表面 ガス 質量分析・ アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接・ 加速器、サイクロトロン

型 名コールドカソードゲージ

セットポイント付タイプ タイプ圧力測定範囲 × ～ ×精度 ± ％ × ～ ×再現性 ± ％ × ～ ×入力電圧 ～消費電力アナログ出力 ～ －セットポイント 接点出力インターフェース －入出力コネクタ D‐sub9 ピン最大ケーブル長 対応可能＊

使用温度範囲 ～ 55℃ 保存温度範 － ～ 70℃ (非動作時センサー型名

センサ材質 主要部フィラメント電極絶縁石ケース

外形寸法 継ぎ⼿ 仕様フランジ形状 、 、Φ70ICF適合法令等 、 、

■オーダリングインフォメーション

■外形寸法図

Φ70ICF

表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は となります。

■仕様 ■仕様

コールドカソードピラニゲージ

■概 要大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。 台で広い圧力領域を測定可能です。■特 長・ 優れた測定安定性

ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減

・ 大気圧センサ、ピラニゲージ、コールドカソードゲージの 台 役システムのコストダウンや管理負荷低減に貢献■用 途大気圧～超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応・ 蒸着、スパッタリング、イオン注入、・ 、 、 、 、表面 ガス 質量分析・ アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接・ 加速器、サイクロトロン

型 名コールドカソードピラニゲージ

セットポイント付タイプ タイプ圧力測定範囲 × ～ ×

精度 ± ％ × ～ ×± ％ × ～ ×

再現性 ± ％ × ～ ×入力電圧 ～消費電力アナログ出力 ～ －セットポイント 接点出力インターフェース －入出力コネクタ D‐sub9 ピン最大ケーブル長 対応可能＊

使用温度範囲 ～ 55℃ 保存温度範 － ～ 70℃ (非動作時センサー型名

センサ材質 主要部フィラメント電極絶縁石ケース

外形寸法 継ぎ⼿ 仕様フランジ形状 、 、Φ70ICF適合法令等 、 、

■オーダリングインフォメーション

■外形寸法図

Φ70ICF

表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は となります。

製品コード商 品 名

備考型 名 品 名

コールドカソードピラニゲージ 継⼿：コールドカソードピラニゲージ 継⼿：コールドカソードピラニゲージ 継⼿：Φコールドカソードピラニゲージ 仕様 継⼿：コールドカソードピラニゲージ 仕様 継⼿：コールドカソードピラニゲージ 仕様 継⼿：Φ

メンテナンスキット ポールピース、メッシュ

製品コード商 品 名

備考型 名 品 名

コールドカソードゲージ 継⼿：コールドカソードゲージ 継⼿：コールドカソードゲージ 継⼿：Φコールドカソードゲージ 仕様 継⼿：コールドカソードゲージ 仕様 継⼿：コールドカソードゲージ 仕様 継⼿：Φ

メンテナンスキット ポールピース、メッシュ

コールドカソードゲージ

■概 要熱フィラメントを使用しない堅牢なコールドカソードゲージ 冷陰極電離真空計 です。高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現します。■特 長・ 優れた測定安定性

未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減・ 高真空下での良好な起動性

未放電、放電遅れを解消■用 途

～超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応・ 蒸着、スパッタリング、イオン注入、・ 、 、 、 、表面 ガス 質量分析・ アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接・ 加速器、サイクロトロン

型 名コールドカソードゲージ

セットポイント付タイプ タイプ圧力測定範囲 × ～ ×精度 ± ％ × ～ ×再現性 ± ％ × ～ ×入力電圧 ～消費電力アナログ出力 ～ －セットポイント 接点出力インターフェース －入出力コネクタ D‐sub9 ピン最大ケーブル長 対応可能＊

使用温度範囲 ～ 55℃ 保存温度範 － ～ 70℃ (非動作時センサー型名

センサ材質 主要部フィラメント電極絶縁石ケース

外形寸法 継ぎ⼿ 仕様フランジ形状 、 、Φ70ICF適合法令等 、 、

■オーダリングインフォメーション

■外形寸法図

Φ70ICF

表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は となります。

■仕様 ■仕様

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九州エリア 〒 熊本県熊本市中央区帯山 キヤノン 熊本ビル※ 輸出・移転・処分に関する注意事項 本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に 基づく判定が必要となりますので弊社営業部門に必ず

お問合せください。また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。

※ 本カタログに記載されている内容は性能向上等のため予告なく変更することがあります。

年 月作成 無断転用禁止

商品名・型名

コールドカソードゲージ

コールドカソードピラニゲージ

キャパシタンスゲージ

ピラニゲージ耐蝕型

イオンゲージ

クリスタルイオンゲージ

表示器 表示器

・ゲージ自動認識・大型 表示・ 標準装備・ 表示モードデジタルトレンドグラフアナログメータ

■トランスデューサ型真空計 シリーズラインナップ・ 、 共にシリーズ共通表示器に対応。 は旧機種 と完全互換。

■コールドカソードゲージとピラニゲージについて

コールドカソードゲージ 測定範囲は超高真空～高真空。気体中の電離現象を利用。マグネトロン放電により気体分子をイオン化し、そのイオン電流を測定

ピラニゲージ 測定範囲は中真空～大気圧。気体の輸送現象を利用。気体分子による熱伝導を測定

複合型真空計 「コールドカソードピラニゲージ」ピラニゲージとコールドカソードゲージの つの原理の組み合わせにより、台で大気圧～超高真空まで、広い圧力領域の計測が可能

圧力帯により自動で切替ピラニコールドカソード

大気圧超高真空

Cold Cathode Gauge Seriesコールドカソードゲージ シリーズ

Vacuum Components

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