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形状測定機 Catalog No.15004(2) ද໘ଌఆ ػクラス最高の位置決め速度と精度により トータルスループットの向上と高精度表面粗さ測定を実現

表面粗さ測定機¡¨面... · 2014-04-16 · 1 表面粗さ測定の効率化を強力に推進!! 送り装置(X軸):80 m/s、コラム(Z2軸):20 m/s 駆動速度の高速化によりトータル測定時間を短縮します。

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形状測定機

Catalog No.15004(2)

表面粗さ測定機

クラス最高の位置決め速度と精度によりトータルスループットの向上と高精度表面粗さ測定を実現

Page 2: 表面粗さ測定機¡¨面... · 2014-04-16 · 1 表面粗さ測定の効率化を強力に推進!! 送り装置(X軸):80 m/s、コラム(Z2軸):20 m/s 駆動速度の高速化によりトータル測定時間を短縮します。

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表面粗さ測定の効率化を強力に推進!!

送り装置(X軸):80mm/s、コラム(Z2軸):20mm/s駆動速度の高速化によりトータル測定時間を短縮します。

オートレベリングテーブル(オプション)わずらわしい測定面の水平出し調整も自動で行い、セッティング時間は激減できます。

コラム(Z2軸)に ABS(絶対原点)スケールを搭載上下方向の小穴の連続自動測定や位置決めが困難なパーツの繰り返し測定の再現性が向上します。

Y軸テーブル、回転テーブル(オプション)により更なる自動化Y軸テーブルや、回転テーブルを装着することにより、多数個パーツの自動測定や、複数箇所の自動測定が行え、作業面の疲労を大幅に軽減されます。

セラミックガイド採用送り装置(X軸)の真直度を長期間維持するために耐摩耗性に優れ、経年変化の少ないセラミック製ガイドを採用しています。セラミック製ですので、防錆油の注油作業なども不要のメンテナンスフリー設計となっております。

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送り装置(X軸)には高精度リニヤスケール、コラム(Z2軸)にABS(絶対原点)スケールを搭載していますので、上下、左右の動作を

組み合わせた全自動測定が可能です。上下方向の小穴の連続自動測定や位置決めが困難なパーツの繰り返し測定の再現性が向上します。

高速移動時の安全性を向上させるため、移動中にスタイラスが被測定物に接触した場合、動作停止を行うアクシデンタルタッチ機能や検出器カバーに一定以上の圧力が加わると非常停止を行う機能など安全面を十分配慮した設計になっています。検出器、駆動部等のケーブルを全て本体内配線にすることにより測定誤差要因となる配線の擦れを無くし高速駆動に対応しています。

オペレータ、測定パーツ、測定機を保護する安全機能

送り装置(X軸)傾斜装置付きタイプは、傾斜した測定面や、姿勢変更が困難な重量級測定物の測定時に威力を発揮します。

送り装置(X軸)傾斜装置付をラインアップ

送り装置(X軸)、コラム(Z2軸)にスケール内蔵

送り装置(X軸):80mm/s、コラム(Z2軸):20mm/sの高速駆動による移動時間の短縮のみならず、極小穴測定時の位置決めに不可欠な微動つまみを標準装備

高速駆動から手動つまみによる微動まで広くカバー

コラム(Z2軸)上下動微動及び十字動載物台(オプション)等による Y、Z 軸の位置合わせ

送り装置(X軸)微動送りによる測定スタートの位置決め

コラム上下動微動つまみ

ケーブルレス設計

微動つまみを使った小穴測定の位置決めイメージ

連続測定のイメージ図(外周1→外周2→内径)

X軸傾斜ハンドル

送り装置微動つまみ

測定移動

外周1

外周2

内径

リモートボックス

ジョイスティック駆動

駆動スピード調整つまみ

符 号 送り装置(X 軸) コラム上下移動量 ベースサイズSV-3100S4

100mm300mm

600 × 450mmSV-3100H4

500mmSV-3100W4 1000 × 450mmSV-3100S8

200mm300mm

600 × 450mmSV-3100H8

500mmSV-3100W8 1000 × 450mm

※その他:送り装置(X 軸)傾斜装置 あり / なし

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データ処理部:FORMTRACEPAK

● 粗さ解析機能FORMTRACEPAKは、ISO、JIS、ANSI、VDAなどの規格に準拠した表面粗さの解析が行なえます。測定値と許容限界値との比較ルールとして16%ルール、最大値ルールをご利用いただけます。また、パラメータ計算だけではなく、豊富なグラフ解析機能を備えていますので、日常の品質管理から、R&D部門でも幅広く活用できます。傾斜や R 面などの形状除去

(補正)機能、データ削除機能なども充実しています。

● 微細輪郭解析機能表面粗さのデータから段差や面積だけでなく輪郭解析と同様に点、線、円と多種にわたり、要素を組み合わせた角度、ピッチ、距離など豊富な計算コマンドを標準装備しています。

● 基準長さダイアログボックス測定条件の基準長さ設定において、規格準拠を選択することにより、ISO/JIS規格で定義されている標準値を表示させることが可能です。

● 複数箇所測定機能移動量を入力するだけで簡単に複数箇所測定用のパートプログラムを作成することができます。

● 複数箇所測定による解析機能規格で定められている評価長さを測定できないワークに対して、複数箇所を測ったデータから、粗さパラメータの演算や16%ルールなどの許容限界値との比較ルールを行うことができます。

● プレビュー付き解析条件変更規格や曲線種、フィルタなど各種解析条件を簡単に変更することが可能です。また、傾斜やR面、放物線などの形状除去(補正)においてはプレビュー機能搭載なのでその場での確認ができます。

● R面自動測定機能予備測定の結果から自動で R 面のピーク又はボトムを基準に測定長さを割り振って測定することができます。

ピーク ピーク

補正前

補正後

● 図面指示記号による簡単入力図示の例

  研削

  Ra 1.5⊥ 0.0025−0.8/Rz8max 3.3

入力指示の例

U”X”0.0025—0.8/Rz8max 3.3

ISO/J IS粗さ規格の図面指示記号に合わせて入力するだけで、煩わしい測定条件設定が簡単入力できます。

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● 統合レイアウト表面粗さ、輪郭形状、真円度の測定結果や測定図形などを一枚の紙面にレイアウトすることが簡単操作で行えます。また、保存されたファイルを指定しての貼り付けが可能となりましたので、複数ファイルからの結果の貼り付けが容易です。※別途、真円度・円筒形状解析プログラムROUNDPAK(対応バージョンは別途お問合せください)が必要になります。

● 要素情報バー貼り付けた項目の属性値を表示します。貼り付けた測定データの内容確認が簡単に行えます。

● 要素挿入バー要素挿入バーに表示されている解析内容をマウスでドラック&ドロップすることで、レイアウト上に貼り付けできます。また、ファイル指定することで、解析中の結果だけでなく、過去に保存した結果を同一用紙にレイアウトすることも可能です。

● PDF・htmlファイル保存測定結果報告書をPDFファイルやhtmlファイルとして出力が可能ですので、レイアウト編集プログラムがインストールされていないPCでも結果確認ができます。

● 報告書作成機能測定結果/条件/図形、そしてコメント/円/線/矢印なども自由にレイアウトでき「測定結果報告書」として印刷することが可能です。 また、ビットマップファイルの貼り付けも可能ですので、ワーク外観画像や社名ロゴなどもレイアウトできます。また、一度作成したレイアウトを保存し同様の測定時に再利用することが可能です。

● システムレイアウト印刷演算結果、測定条件、測定図形など印刷したい項目を選択するだけの簡単操作で検査成績書を自動レイアウトし、印刷します。測定図形サイズ、測定結果、フォントなどの詳細設定も可能です。簡単に印刷したいという用途にご利用ください。

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自動化を推進するオプション

測定パーツを複数個並べ自動測定をしたり、ひとつの測定面を何箇所も測定したりすることができます。

円周状に表面粗さを測定や、Y 軸テーブルと組み合わせて、円筒形状測定パーツの自動平行出し調整、測定パーツの奥行き方向や回転方向を移動させて自動測定が可能です。(SV-3100 本体テーブルに直接設置して使用する場合は、別途、θ1 軸設置プレート

(オプション:No.12AAE630)が必要となります。)

わずらわしい測定面の水平出し調整を測定スタートに連動して、全自動で水平出し調整を行なう載物台です。全自動なので誰がやっても短時間。しかも簡単、確実です。

円筒形状測定パーツの複数箇所測定や、表裏面測定の自動化が可能です。(SV-3100 本体テーブルに直接設置して使用する場合は、別途、θ2 軸設置プレート(オプション:No.12AAE718)が必要となります。)

小物部品の測定で、操作性が良くローレットリングで容易に固定できます。

心出しチャックでは保持できないφ1mm以下の極小径の部品を固定できます。

心出しチャック(ローレットリング固定) No.211-032 マイクロチャック No.211-031

Y軸テーブル No.178-097

回転テーブル θ1軸テーブル No.12AAD975

回転テーブル θ2軸ユニット No.178-078

オートレベリングテーブル No.178-087

移動範囲 200mm分解能 0.05μm位置決め精度 ±3μm駆動速度 Max 80mm/s 及び 手動最大積載質量 50kg質量 28kg

移動範囲 360°分解能 0.004°最大積載質量 12kg回転速度 Max 10°/ s質量 7kg

傾斜調整角度 ± 2°最大積載質量 7kgテーブル寸法 130×100mm質量 3.5kg

移動範囲 360°分解能 0.0072°最大積載質量

(積載物モーメント)4kg

(モーメント 343N・cm 以下)回転速度 Max 18°/ s質量 5kg

保持範囲内爪での外径φ1~φ36mm内爪での内径φ16 ~φ69mm外爪での外径φ25~φ79mm

外観寸法(D×H) φ118×41mm質量 1.2kg

保持範囲 外径φ0.1 ~φ1.5mm外観寸法(D×H) φ107 ×48.5mm質量 0.6kg

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オプション

通り出しが十分 通り出しが不十分

母線軸

測定軸

測定終了点

母線軸

測定軸

測定終了点

測定開始点測定開始点

測定曲線

円筒形状ワークの表面粗さ測定において、ワークの母線軸と測定軸とを平行にセットし、同時に水平出し調整も行うことが精度よく測定するために必要となります。3軸調整テーブルを使用すると、ガイダンスに従って操作するだけで通り出しと水平出し調整が簡単に行えるようになります。経験と勘は不要です。

両締式回転万力台218-003

Vブロック台998291

精密バイス178-019

十字動テーブル218-001

十字動テーブル218-041

Vブロック台172-234

Vブロック台172-378

クランプ装置176-107

傾斜センタ台172-197

両センタライザ172-143

両センタ台172-142

十字動付載物台(バーニヤタイプ)

178-043-1

十字動付載物台(デジマチックタイプ)

178-042-1

傾斜載物台178-016

傾斜載物台(DAT用)178-048

校正用台12AAG175

三軸調整テーブル No.178-047 特許登録済:日本、特許出願中:ドイツ

その他

防振台用架台●防振台(No.178-023, No.178-025)を設置 する専用の架台です。

外観寸法(W×D×H):  640×470×660mm質量:25kgNo.178-024

●防振台防振台※1(ポンプ供給式)No.178-023

防振台※1(エア供給式)No.178-025

●除振台除振台※1

(架台一体形、エア供給式)No.12AAK110

モニターアーム※2

No.12AAK120

サイドテーブル※2

No.12AAL019

※1:商品符号の末尾S4,S8,H4,H8用です。末尾W4,W8(大形ベース仕様)用は、別途お問い合わせください。※2:除振台(No.12AAK110)との併用※3:プリンタ用ラックは別途ご手配ください。

組み合わせ例:モニタアーム無し、       サイドテーブル有り(本体及びPC一式は含みません)

組み合わせ例:モニタアーム有り、       サイドテーブル無し※3

(本体及びPC一式は含みません)

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標準スタイラス 12AAE882(1μm)※1

12AAE924(1μm)12AAC731(2μm)※1

12AAB403(5μm)12AAB415(10μm)12AAE883(250μm)※4

( ):先端半径

深穴2倍用※212AAE898(2μm)※1

12AAE914(5μm)( ):先端半径

小穴用 12AAC732(2μm)※1

12AAB404(5μm)12AAB416(10μm)

( ):先端半径

小穴用・深穴2倍※2

12AAE892(2μm)※1

12AAE908(5μm)( ):先端半径

極小穴用 12AAC733(2μm)※1

12AAB405(5μm)12AAB417(10μm)

( ):先端半径

細穴形状用※2 ※4

12AAE884(φ1.6mm)

超小穴用 12AAC734(2μm)※1

12AAB406(5μm)12AAB418(10μm)

( ):先端半径

極細穴形状用※4

12AAJ662(φ0.5mm)

深穴用※2 細長穴用※2

12AAE938(2μm)※1

12AAE940(5μm)

2倍12AAC740(2μm)※1

12AAB413(5μm)12AAB425(10μm)

( ):先端半径

3倍12AAC741(2μm)※1

12AAB414(5μm)12AAB426(10μm)

( ):先端半径

※1: 先端角度60°※2: 下向き測定のみ可

7

検出器・スタイラス

1460

φ8

φ14

検出器

φ14

φ7

1011.53.1

3.6

1.3

スキッドレス ノーズピーズ(12AAB355)

4

● 12AAG202 継足ロッド 50 継足し量 50mm

● 12AAG203 継足ロッド100 継足し量 100mm

※継足ロッドは 2 本以上接続できません。

検出器 継足ロッド

スタイラス

コードNo. 測定力178-396-2 0.75mN ʼ97 ISO、 ʼ01JIS 準拠の検出器178-397-2 4mN 従来規格や一般的に使用されていた検出器

標準スタイラス

90°

0.9 37.7

7.6

44.7

φ2.

4

φ1.2

5.2

A

識別色※3

A部詳細

小穴用

識別色※3A部詳細

0.6

0.4

1.6 φ0.6

90°

(S=5/1)

φ2.

415

φ1.

2

3.4

2.4

1.6

0.6 37.744.4

A

極細穴用

識別色※3A部詳細

0.4

1.2

φ0.3

90°

(S=5/1)

φ2.

48.9

φ0.

6

2.5

37.7

1.2

44.2

A

超小穴用

識別色※3A部詳細

φ0.3

90°

0.8

0.4

(S=5/1)

φ2.

4

37.7

2.5

φ0.

6

8.9

44.2

0.8

A

深穴用

識別色※3 識別色※3

A部詳細 A部詳細

φ2.

4

87.70.9

φ1.2

90°

94.7

7.6

5.2

A

φ2.

4

137.70.9

7.6

144.7

φ1.2

90°

5.2

A

深穴2倍用

31.

80.

6

φ2.

4

94.787.70.9

小穴用・深穴2倍

φ1.

2

1.6

3.4

2.4

φ2.

4

94.487.70.6

30

A

0.6

φ0.6

A部詳細

細穴形状用

φ1.

2

φ2.

4φ1.6超硬球

4187.7

93.8

極細穴形状用

φ2.

4φ0.

3

A

7

37.743.8

7

φ0.5超硬球

A部詳細

φ2.

4

43.837.7

8.5

3.1

A

φ0.

3φ0.5超硬球

A部詳細

細長穴用

φ0.

3

0.4

1.6

φ1.

2

φ2.

4

94.487.70.6

45

A

φ0.6

0.6

A部詳細

※3: 先端半径 1μm 2μm 5μm 10μm 250μm識別色 白 黒 色無し 黄 切欠き、色 共に無し

※4:校正用として、段差標準片(No.178-611、オプション)が別途必要

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深溝用(10mm) 12AAC735(2μm)※1

12AAB409(5μm)12AAB421(10μm)

( ):先端半径

深溝用※2(20mm) 12AAE893(2μm)※1

12AAE909(5μm)( ):先端半径

深溝用※2(20mm) 12AAC736(2μm)※1

12AAB408(5μm)12AAB420(10μm)

( ):先端半径

深溝用※2(40mm) 12AAE895(2μm)※1

12AAE911(5μm)( ):先端半径

深溝用※2(30mm) 12AAC737(2μm)※1

12AAB407(5μm)12AAB419(10μm)

( ):先端半径

深溝用(30mm)・深穴2倍※2 12AAE894(2μm)※1

12AAE910(5μm)( ):先端半径

歯面用 12AAB339(2μm)※1

12AAB410(5μm)※1

12AAB422(10μm)※1

( ):先端半径

歯面用・深穴2倍※2 12AAE896(2μm)※1

12AAE912(5μm)※1

( ):先端半径

転がり円うねり用※4 12AAB338(φ1.588) 転がり円うねり・深穴2倍※2 ※4

12AAE886(250μm)

ナイフエッジ用 12AAC738(2μm)※1

12AAB411(5μm)12AAB423(10μm)

( ):先端半径

穴測定コーナー用・深穴2倍※2

12AAM601(2μm)※1

12AAM603(5μm)※1

( ):先端半径

心違い用※2

12AAC739(2μm)※1

12AAB412(5μm)12AAB424(10μm)

( ):先端半径

穴底面用 12AAE899(2μm)※1

12AAE915(5μm)( ):先端半径

※1: 先端角度60° ※2: 下向き測定のみ可※ご注文により特殊測定子を製作いたします。対応可能な仕様等に つきましては、弊社最寄りの営業課へお問い合わせください。

13

φ2.

4

0.9

φ1.2

90°

14.2

37.744.7

A

識別色※3

A部詳細

深溝用(10mm)

23

0.9

φ2.

4

24.2

φ1.2

90°

37.744.7

A識別色

A部詳細

識別色※3

A部詳細90°

23 φ2.

4

φ1.2

24.2

37.744.7

A

深溝用(20mm)

33 31.8

5.2

φ1.2

A

φ2.4

φ2.

4

90°

37.745.2

識別色※3

A部詳細

深溝用(30mm)

60°

60°

7.6

6.4

37.743.8

φ1.2

φ2.

4A

識別色※3

A部詳細

歯面用

7.6

φ2.

4

φ1.2

0.9 37.744.7

Ball φ1.588

5.2

転がり円うねり用

7.6

φ2.

4

φ1.290°

37.70.944.7

A識別色※3

A部詳細

ナイフエッジ用

A37.70.9

90°φ1.2

45.2

7.6

10

φ2.

4

φ2.

4

識別色

A部詳細

識別色※3

A部詳細

心違い用

90° φ2.

4φ1.2

45.21.4 37.7

7.6φ

2.4

10

A

23 21.8 5.2

95.2

87.7

φ2.4

φ1.2

深溝用2倍(20mm)

43.8

42.6

5.2

φ2.

4

45.237.7

φ2.4

φ1.2

深溝用(40mm)

36.5

35

5.2

φ3

93.887.7

φ1.2

深溝用(30mm)深穴2倍

36.5

35

φ3

93.8

6.77

87.7

φ1.2

60°

歯面用深穴2倍

94.70.9 87.7

φ1.2 φ2.

4

5.2

6.4

7.6

転がり円うねり・深穴2倍93.8

87.7

φ1.2

60°

60°

7.6 6.4 φ2.

4

穴測定コーナー用・深穴2倍

穴底用

7.4 φ

1

0.5

56.2

φ2.

4

44.337.7

※3: 先端半径 2μm 5μm 10μm識別色 黒 色無し 黄

※4:校正用として、段差標準片(No.178-611、オプション)が別途必要

スタイラス

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9

仕 様

符 号 SV-3100S4 SV-3100H4 SV-3100W4 SV-3100S8 SV-3100H8 SV-3100W8

コード No.傾斜装置なし 178-451-1/-2 178-452-1/-2 178-453-1/-2 178-456-1/-2 178-457-1/-2 178-458-1/-2傾斜装置あり ※1 178-471-1/-2 178-472-1/-2 178-473-1/-2 178-476-1/-2 178-477-1/-2 178-478-1/-2

測定範囲X 軸 100mm 200mm

Z1軸(検出部) 800μm、80μm、8μm

検出器

検出方式 差動インダクタンス

分解能0.01μm(800μmレンジ )0.001μm(80μmレンジ )0.0001μm(8μmレンジ )

スタイラス先端形状(角度 / 半径)

 本体コード No. 末尾が 「-1」 の機種:60°/ 2μm 本体コード No. 末尾が 「-2」 の機種:90°/ 5μm

測定力 本体コード No. 末尾が 「-1」 の機種:0.75mN本体コード No. 末尾が 「-2」 の機種:4mN  

駆動部: X 軸

測定速度 0.02 ~ 5mm/s

駆動速度 0 ~ 80mm/s 及び手動

真直精度 (0.05 + 0.001L)μm L:駆動長さ 0.5μm/200mm

分解能 0.05μm

駆動部: Z2 軸

移動量 300mm 500mm 300mm 500mm

駆動速度 0 ~ 20mm/s 及び手動

分解能 1μm

対応規格 JIS1982 / JIS1994 / JIS2001 / ISO1997/ANSI / VDA

パラメータRa, Rq, Sk, Ku, Rp, Rv, Ry, RyDIN, RzDIN, Rt, Rc, Rz, R3z, R3t, S, Δa, Δq, λa, λq, Lo, Ir, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2,

A1, A2, Sm, Pc, HSC, mr, mrd, δc, Vo, Rx, AR, R, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, Wx, AW, W, Wte, NW, SW, SAW (面積、高さ関係のパラメータは、輪郭解析コマンドにて解析可能)

評価曲線 断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、うねり曲線、転がり円うねり断面曲線、転がり円うねり曲線、エンベロープ残差曲線、DF曲線(DIN4776 / ISO13565-1)、粗さモチーフ(包絡うねり曲線は、モチーフ評価時に表示)

解析グラフ 負荷曲線、振幅分布曲線、パワースペクトル、自己相関、Walshパワースペクトル、Walsh自己相関、山高さ分布、傾斜角分布、 パラメータ分布 (摩耗量、重ね合わせは、輪郭解析で、面積等の解析可能)

曲線補正 最小二乗直線、R面補正、楕円補正、放物線補正、双曲線補正、コーニック補正、多項式補正 (自動または任意2次~7次)、補正なし

フィルタ ガウシアンフィルタ, 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50, ロバストスプラインフィルタ

カットオフ値   カットオフ波長(λc):0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm任意 カットオフ波長(λs):0.8, 2.5, 8, 25, 80, 250, 800μm任意  

表示言語 日本語、英語、ドイツ語、フランス語、イタリア語、スペイン語、ポーランド語、ハンガリー語、スウェーデン語、チェコ語、中国語(簡体字)、中国語(繁体字)、韓国語、トルコ語、ポルトガル語

外観寸法(W×D×H)

本体※ 2 756 × 482× 966mm

756 × 482× 1166mm

1156 × 482× 1176mm

766 × 482× 966mm

766 × 482× 1166mm

1166 × 482× 1176mm

コントローラ 221 × 344 × 490mm

リモートボックス 248 × 102 × 62.2mm

質量

本体 140Kg 150Kg 220Kg 140Kg 150Kg 220Kg

コントローラ 14 Kg

リモートボックス 0.9kg

※1:傾斜装置は X 軸のみ、傾斜角度±45°※2:本体ベース材質は斑れい岩

Page 11: 表面粗さ測定機¡¨面... · 2014-04-16 · 1 表面粗さ測定の効率化を強力に推進!! 送り装置(X軸):80 m/s、コラム(Z2軸):20 m/s 駆動速度の高速化によりトータル測定時間を短縮します。

10

外観図

85

175 130450600(600)【1000】 156

測定エリア

T溝寸法(SV-3100シリーズ共通)

( )内寸法は、SV-3100H4【 】内寸法は、SV-3100W4

32

8

15

147

966(

1166)【

1176】

300(

500)【

500】

70

240(240)【640】 100 98

85

175 130450166600(600)【1000】

測定エリア

T溝寸法(SV-3100シリーズ共通)

( )内寸法は、SV-3100H8【 】内寸法は、SV-3100W8

966(

1166)【

1176】

300(

500)【

500】

70

190(190)【590】 200 48

32

8

15

147

■ SV-3100S4/H4/W4 外観寸法図

■ SV-3100S8/H8/W8 外観寸法図

単位(mm)

単位(mm)

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035 1312(2)C-(PA)HS 122

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●外観・仕様などは商品改良のために、一部変更することがありますのでご了承ください。●本カタログに掲載されている仕様は2013年12月現在のものです。

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