11
表面・微小部分析手法の比較 走査透過型電子顕微鏡/ 電子エネルギー損失分光法 STEM/EELS走査透過型 電子顕微鏡 STEM/EDSオージェ電子 分光分析(AES走査型 電子顕微鏡 SEM/EDSラマン 分光分析 RamanX線回折(XRDX線反射 率測定 XRR低エネルギー X線分析(LEXES蛍光X分析 XRFラザフォード 後方散乱分光 RBS二次イオン質量分析 Dynamic SIMS飛行時間型 二次イオン質量分析 TOF-SIMSレーザー照射型 誘導結合プラズマ 質量分析 LA-ICPMS全反射 蛍光X分析 TXRF透過型電子顕微鏡/ 走査型電子顕微鏡 TEM/ STEM走査型プローブ顕微鏡SPM走査型電子顕微鏡 SEM走査型イオン顕微鏡 FIB光学検査(OPX線透過検査(XRTグロー放電質量分析(GDMS誘導結合プラズマ技術 ICP techniquesガスクロマトグラフ/質量分析 GC/MSガス成分分析 IGA熱分析(TGA/DTA/DSC100 at% 10 at% 1 at% 0.1 at% 100 ppm 10 ppm 1 ppm 100 ppb 10 ppb 1 ppb 100 ppt 10 ppt 0.1 nm 1 nm 10 nm 100 nm 1 μm 10 μm 100 μm 1 mm 1cm 5E22 1E22 1E21 1E20 1E19 1E18 1E17 1E16 1E15 1E14 1E13 1E12 分析面積(ビーム径) 原子密度 Atoms/cm 3 原子濃度 イメージング技術 バルク技術 化学結合/分子情報 元素情報 画像情報 厚さ・密度情報のみ(組成情報なし) 物性 Copyright©2013 Evans Analytical Group LLC X線光電子 分光分析 XPS/ESCAフーリエ変換 赤外分光分析 FTIR出典:EAG社(Evans Analytical Group)を元に文科省にて作成 検出範囲 光学顕微鏡 (超解像蛍光顕微鏡) 28 表面・微小部分析手法の比較 100μm 0.1nm 1nm 10nm 100nm 1μm 10μm 1E18 1E12 1E13 1E14 1E15 1E16 1E17 1E19 1E20 1E21 1E22 5E22 分析面積(ビーム径) 原子密度 Atoms/cm 3 走査透過型電子顕微鏡/ 電子エネルギー損失分光法 STEM/EELS走査透過型 電子顕微鏡 STEM/EDS無機材料 形態情報 元素情報 電子状態 有機材料 化学状態 形態情報 元素情報 電子状態 化学状態 固体試料 生体試料 形態情報 元素情報 電子状態 化学状態 TEM/STEM EELS/EDS EDS TEM/STEM EELS/EDS SEM クライオSTEM クライオEELS/EDS クライオSEM/EDS ASEM WDS オージェ電子 分光分析(AES二次イオン質量分析 Dynamic SIMS飛行時間型 二次イオン質量分析 TOF-SIMS光学顕微鏡 (超解像蛍光顕微鏡) 固体試料のみ 光学顕微鏡 (超解像蛍光顕微鏡) 光学顕微鏡 (超解像蛍光顕微鏡) 二次イオン質量分析 Dynamic SIMS飛行時間型 二次イオン質量分析 TOF-SIMS二次イオン質量分析 Dynamic SIMS飛行時間型 二次イオン質量分析 TOF-SIMS固体試料のみ EDS SEM WDS オージェ電子 分光分析(AES飛行時間型 二次イオン質量分析 TOF-SIMS光学顕微鏡(超解像顕微鏡) 29

表面・微小部分析手法の比較 - mext.go.jp · 無機固体材料の空間分布 有機高分子の空間分布とその時間変化 産業 学術 機能・性能 実用

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表面・微小部分析手法の比較

走査透過型電子顕微鏡/電子エネルギー損失分光法(STEM/EELS)

走査透過型電子顕微鏡(STEM/EDS)

オージェ電子分光分析(AES)

走査型電子顕微鏡(SEM/EDS)

ラマン分光分析(Raman)

X線回折(XRD)X線反射率測定(XRR)

低エネルギーX線分析(LEXES)

蛍光X線分析(XRF)

ラザフォード後方散乱分光(RBS)

二次イオン質量分析(Dynamic SIMS)

飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)

レーザー照射型誘導結合プラズマ質量分析(LA-ICPMS) 全反射

蛍光X線分析(TXRF)

透過型電子顕微鏡/走査型電子顕微鏡(TEM/ STEM)

走査型プローブ顕微鏡(SPM)

走査型電子顕微鏡(SEM)

走査型イオン顕微鏡(FIB)

光学検査(OP)

X線透過検査(XRT)

グロ

ー放

電質

量分

析(

GDM

S)誘

導結

合プ

ラズ

マ技

術(

ICP

tech

niqu

es)

ガス

クロ

マト

グラ

フ/質

量分

析(

GC/M

S)ガ

ス成

分分

析(

IGA)

熱分

析(

TGA/

DTA/

DSC)

100 at%

10 at%

1 at%

0.1 at%

100 ppm

10 ppm

1 ppm

100 ppb

10 ppb

1 ppb

100 ppt

10 ppt

0.1 nm 1 nm 10 nm 100 nm 1 μm 10 μm 100 μm 1 mm 1cm

5E22

1E22

1E21

1E20

1E19

1E18

1E17

1E16

1E15

1E14

1E13

1E12

分析面積(ビーム径)

原子

密度

Atom

s/cm

3

原子

濃度

イメージング技術

バルク技術

■化学結合/分子情報■ ■元素情報■画像情報■厚さ・密度情報のみ(組成情報なし)■物性

Copyright©2013 Evans Analytical Group LLC

X線光電子分光分析(XPS/ESCA)

フーリエ変換赤外分光分析

(FTIR)

出典:EAG社(Evans Analytical Group)を元に文科省にて作成

検出

範囲 光学顕微鏡

(超解像蛍光顕微鏡)

28

表面・微小部分析手法の比較

100μm0.1nm 1nm 10nm 100nm 1μm 10μm

1E181E12 1E13 1E14 1E15 1E16 1E17 1E19 1E20 1E21 1E22 5E22

分析面積(ビーム径)

原子密度 Atoms/cm3

走査透過型電子顕微鏡/電子エネルギー損失分光法(STEM/EELS)

走査透過型電子顕微鏡(STEM/EDS)

無機

材料

形態情報

元素情報

電子状態

有機

材料

化学状態

形態情報元素情報

電子状態

化学状態

固体

試料

生体

試料

形態情報元素情報

電子状態

化学状態

TEM/STEM

EELS/EDS EDS

TEM/STEM

EELS/EDS

SEM

クライオSTEMクライオEELS/EDS

クライオSEM/EDSASEM

WDS

オージェ電子分光分析(AES)

二次イオン質量分析(Dynamic SIMS)

飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)

光学顕微鏡(超解像蛍光顕微鏡)

固体試料のみ

光学顕微鏡(超解像蛍光顕微鏡)

光学顕微鏡(超解像蛍光顕微鏡)

二次イオン質量分析(Dynamic SIMS)

飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)

二次イオン質量分析(Dynamic SIMS)

飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)

固体試料のみ

EDS

SEM

WDS

オージェ電子分光分析(AES)

飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)

光学顕微鏡(超解像顕微鏡)

29

Page 2: 表面・微小部分析手法の比較 - mext.go.jp · 無機固体材料の空間分布 有機高分子の空間分布とその時間変化 産業 学術 機能・性能 実用

光学顕微鏡の種類と機能

30

1mm100μm10μm1μm

観察深さ

形態観察 + 材料検出 + 分析

形態観察 + 材料検出フォトアコースティック(光吸収/分子振動)

蛍光顕微鏡(標識検出/自家蛍光)

高調波顕微鏡(分子/結晶構造)

赤外顕微鏡/近赤外顕微鏡(分子振動)

ラマン顕微鏡(分子振動)

形態観察のみ

位相差/微分干渉顕微鏡(屈折率)

明視野顕微鏡(光吸収)

透明化技術の適用

空間分解能1μm100nm10nm

形態観察 + 材料検出 + 分析

形態観察 + 材料検出

蛍光顕微鏡(標識検出/自家蛍光)

形態観察のみ

回折限界

超解像蛍光顕微鏡高調波顕微鏡(分子/結晶構造)

赤外顕微鏡/近赤外顕微鏡(分子振動)

ラマン顕微鏡(分子振動)

位相差/微分干渉顕微鏡(屈折率)

明視野顕微鏡(光吸収)

フォトアコースティック(光吸収/分子振動)

光学顕微鏡分野技術俯瞰図

分野

技術

無機固体材料

燃料電池

界面物理化学

有機高分子の空間分布とその時間変化無機固体材料の空間分布

産業

学術

機能・性能

実用

理論

無機固体

電磁気学

光学材料

制御工学

光学顕微鏡

固体物理 材料工学

結晶学

二次電池太陽電池 記録媒体

高分子材料

液晶

化粧品

有機化学ナノカーボン

物理化学

有機固体

無機固体材料の結合情報

無機固体材料の相変化

有機分子の空間分布

有機分子の結合状態

有機合成高分子の化学構造

組織の形態とその時間変化

細胞の形態とその時間変化

光学設計 計測工学 信号処理

画像処理

有機化学分光学 光源 光検出器

熱力学半導体工学物理化学

電磁場シミュレーション

統計

幾何/波動光学

プラズモニクス

食品 創薬 診断 再生医療 畜産

iPS/ES細胞病理学

薬学

発生生物学

細胞生物学

医学

生体分子

バイオセンサー半導体食品工学

音響工学

31

標識技術

オプトフルイディクス

解剖技術

培養技術 透明化技術

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超解像蛍光顕微鏡、分析顕微鏡、顕微診断装置

分野

技術

無機固体材料

燃料電池

界面物理化学

有機高分子の空間分布とその時間変化無機固体材料の空間分布

産業

学術

機能・性能

実用

理論

無機固体

電磁気学

光学材料

制御工学

光学顕微鏡

固体物理 材料工学

結晶学

二次電池太陽電池 記録媒体

高分子材料

液晶

化粧品

有機化学ナノカーボン

物理化学

有機固体

無機固体材料の結合情報

無機固体材料の相変化

有機分子の空間分布

有機分子の結合状態

有機合成高分子の化学構造

組織の形態とその時間変化

細胞の形態とその時間変化

光学設計 計測工学 信号処理

画像処理

分光学 光源 光検出器

熱力学半導体工学物理化学

電磁場シミュレーション

統計

幾何/波動光学

プラズモニクス

食品 創薬 診断 再生医療 畜産

iPS/ES細胞病理学

薬学

発生生物学

細胞生物学

医学

生体分子

バイオセンサー半導体食品工学

音響工学

32

標識技術

オプトフルイディクス

有機化学

解剖技術

培養技術 透明化技術

モダリティ(光学効果/結像方法)と技術変遷

33

主な対象は組織

主な対象は細胞

形態観察、低侵襲観察、分析観察、

超解像観察、組織観察を同時に実

現できる技術が望ましい

形態観察、低侵襲観察、分析観察、

超解像観察、組織観察を同時に実

現できる技術が望ましい低侵襲観察

超解像観察

組織観察

分析観察

形態観察

光学効果

/ 結像方法

1900 1980 2005 2010 2015200019901970195018701700

ラマン 高感度化・高速化

高感度化・高速化CARS

SHG

THG

SRS

振動分光高速化光音響

高分解能化

高速化

非線形

高速化

高速化

高速化

RESOLFT

2photon

Confocal

STED

4p-STED4p

ISM(Theory) ISMLocalization STORM/PALM/GSDIM

SOFISIM

SPIMBessel/Lattice

蛍光

Confocal

格子超解像

吸収(明視野)Abbe

散乱(暗視野)

位相差(屈折率)

ホログラフィック

微分干渉

直行面照明

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光学顕微鏡

基本原理・試料に光を照射した際に生じる光吸収、光散乱、発光、音波発生といった光学効果を利用して試料の形態情報を得る。

(空間分解能や観察深さなどの特徴、物質分析能力などの機能は使用する光学効果により大きく異なる。)

・観察対象の生体分子を蛍光プローブなどのプローブ分子で標識し、そのプローブ分子の発光を捉えることで生体観察する。

(生体観察を繰り返すことで、タンパク質等の3次元的な空間分布の経時変化を捉える。

・照射する光や検出する光学効果に変調を加える、あるいは、分子のエネルギー遷移状態をコントロールすることで空間分解能を超解像化する。

・ラマン散乱や高調波発生などの光散乱効果から、材料中の分子の振動分光解析および界面構造/状態の情報を取得する。

・医療、創薬、各種材料、デバイスの分析(太陽電池、二次電池、カーボン材料等)産業応用が期待される分野

・高ダイナミックレンジ、より高速、低雑音な光検出器 ・高出力光源や多波長(短波長、長波長、可変波長など)光源

・マルチスケール観察技術、マルチモーダル観察に適した光学素子(レンズ、フィルター、高スループット分光素子等)

・生体試料の自動調整、撮像/画像処理技術 ・他の観察技術との協調/連携制御技術

・標識技術:強度の高い信号光を生じるプローブ分子開発。超解像や長波長発光、環境センシング、機能発現、生体刺激などの機能性をもつプローブ分子開発。

必要となる要素技術

・開発に伴い得られる微細な空間での光と物質の相互作用に関する知見は、微細加工や記録、材料の特性制御の技術開発へも波及効果があり、新しい機能や特性

を持つ新規デバイスの開発に繫がる。

・顕微技術がマイクロフルイディクス等の化学デバイスの研究開発へ利用されることで、バイオセンサー、環境センサー、診断を行う微小なデバイスの開発、高

度化が促進される。

その他の波及効果

効果が期待できる研究分野・生物学、基礎医学 ・医学(診断、治療、再生医療) ・薬学 ・半導体工学 ・材料工学 ・畜産 ・植物学

今後開発が期待される技術・システム・超解像蛍光顕微鏡の発展:さらなる空間分解能の向上、蛍光プローブなどのプローブ分子を必要としない超解像技術、および、非侵襲性が向上した超解像技術。

・外部環境変化や薬剤等の各種刺激に対する細胞応答のスクリーニング等に適用可能な高スループット観察技術

・分析顕微鏡:生体分子や材料、デバイス等を対象とした形態情報取得と分析を同時に行う計測システム、

より観察深さを深くした内部観察技術(可変波長光源や透明化技術など)

・マクロ(生体機能やデバイス特性等)の情報とミクロ(生体分子/細胞や材料品質/特性等)の情報をシームレスに観察/取得可能なマルチスケール技術

・材料の経年劣化、病変等の長いタイムスパンで発生する現象を追跡しつつ発生頻度の少ない重要な現象を捉えるマルチタイムスケール観察技術

34

必要となる要素技術(結像特性の向上、分析力の向上)

○ 空間/時間分解能の向上

1. 検出器、レンズの開発

超解像蛍光顕微鏡の空間分解能は光検出の信号対雑音比、ダイ

ナミックレンジにより決定される。光検出器の量子効率の向上、

読み出し/増幅ノイズの低下、ウェルサイズの向上、読み出し速

度の向上は、どれもが空間分解能の向上に寄与する。

各種収差がよく補正され、かつ高スループットの対物レンズを

歩留まり良く製造する技術や”Adaptive Optics”のようなレンズの

機能を補正・補完する装置も顕微鏡全体の質の向上に大きく資す

る。

2. 蛍光プローブの開発

超解像蛍光顕微鏡の空間分解能は試料を標識する蛍光プローブ

の明るさ、耐褪色性、光スイッチングのon/offコントラストおよ

び 応答速度に依存する。これらを改善した蛍光プローブが開発

されれば空間分解能、および時間分解能をさらに向上できる。

光音響用のプローブについては、音響波を効率的に発するため

の、近赤外波長でのモル吸光係数が大きく、かつ蛍光量子収率が

小さい(光音響量子効率が大きい)プローブの開発が望まれる。

CMOSイメージセンサー1) 超解像用プローブ(スイッチング プローブ)2)

35

3. 無標識超解像原理の開発

光散乱、反射、および吸収を用いる顕微鏡も各種材料やデバ

イス観察に活用されており、これらの超解像化も望まれる。蛍

光顕微鏡と同様、試料における光学効果を詳細に理解し活用す

ることで超解像顕微鏡化は可能となる。そのためには上記の光

検出器の性能向上、また後に示す分析能力の向上に資する光学

デバイス、機器の開発が必要となる。

生体機能を超解像観察するためには、超解像観察に適し、か

つ各種イオン濃度や電位・温度感受性のプローブ、定量性の高

いプローブ、生体に非侵襲なプローブが必要となる。

○ 機能化(生体機能の観察)

神経活性の可視化プローブ3)

(紫:活性部位)

1) Wikipedia, https://commons.wikimedia.org/wiki/File:Matrixw.jpg2) 東京大学 浦野泰照、神谷真子3) Looger Lab, HHMI/Janelia

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必要となる要素技術(分析力の向上、マルチモーダル化)

○ マルチモーダル化

赤外およびラマン分光をはじめとした分析要素を取り入れ

たイメージングの開発により、形態情報に加え、物質情報を

同時に取得できるようになる。これにより生体や材料の機能

とイメージ情報とを関連でき、目的に応じた詳細な試料分析

が可能となる。そのためには、蛍光、光音響、ラマン散乱等

の複数の効果を用いて試料の同一箇所を、可能な限り同時に

観察するシステム構築が必要となる。

Correlative Microscope (蛍光顕微鏡+電子顕微鏡)の試料設置部3)

36

○ 分析能力の追加・向上

分光分析が可能であることも光学効果を使う利点であるため、

これをイメージングと組み合わせることにより、試料の形態情報

と物質情報を同時に取得でき、豊富な情報を目的に応じて提供で

きる。たとえば、分子種や結晶の同定や、その特性の変化といっ

たミクロな情報から、材料の力学特性、デバイスの特性、細胞や

生体組織の識別や診断といったマクロな情報の取得まで、幅広い

活用範囲が見込まれる。

そのためには、分光分析に適した、高スループット・高解像度

の光回折素子およびデバイス、狭線幅レーザー、波長可変光源

(可視から赤外)、広帯域光検出器(特に近赤外から赤外)とそ

れらの低ノイズ、高解像度化が望まれる。

また、非線形光学効果の活用は分光分析の幅をさらに広げる可

能性があるが非線形光学効果の誘起に適した超短パルスレーザー

は高価で扱いが難しく、このため、超短パルスレーザーの小型化、

低コスト化は、技術開発と普及の両方を促進すると期待される。

小型超短パルスレーザー 1)

(ファイバーレーザー)

イメージング分光器 2)1) IMRA America, Inc.2) 分光計器株式会社

3) Liv et al., PLoS ONE 8(2): e55707 (2003).

また、MRI装置や電

子顕微鏡と光学顕微鏡

観察を組み合わせた装

置、およびそれを可能

とするための標識技術

(たとえば、蛍光およ

びMRI観察が可能なプ

ローブ)の開発も期待

される。

必要となる要素技術( ビッグデータ解析、ユーザビリティの向上)

○ ビッグデータ解析

光学顕微鏡の非侵襲性および分光分析能力により膨大な

データ(3次元形態、試料/物質特性、およびそれらの経時

変化)の取得が可能となると予想される。取得されたデー

タの中から有意な情報を抽出し可視化する技術が必須とな

る。

材料の分光分析情報につい

ては、計測手法や記録方法を

標準化し、データベースの構

築、活用を容易にする必要が

ある。

また、得られた解析結果を評

価するための基準も定める必

要がある。

○ ユーザビリティの向上

超解像、分光分析等、多くの機能を光学顕微鏡に組み込むこ

とが可能であるが、観察可能な試料形態が制限されたり、操作

は複雑であったりすると活用されることはほぼ不可能である。

また、生体試料の観察に関しては、試料の生理活性を保ったま

ま試料を設置可能であり、かつ様々な処置(投薬、電気/機械刺

激等)が可能な装置が求められる。ハードウェア、ソフトウェ

アの両方について、応用を踏まえた上で設計を進めることが必

要である。

マルチモーダル観察が

可能な装置については、

試料の移動やモード切替

を速やかに自動でおこな

うハードウェア開発が必

須となる。

顕微鏡用インキュベーター2)

脳神経網のマッピング1)

37

○ 画像処理技術の開発

光学顕微鏡の応用が広がるに伴い、低コントラストでの

観察、特定条件での観察、リアルタイム観察などが重要に

なる。このような応用に適用するためには、ノイズ低減や

デコンボリューション・高速解析などのあらたな解析技術

の開発が必要である。

1) Gigandet et. al. PLoS ONE 3(12): e4006.(2008).

2) 株式会社 東海ヒット

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核磁気共鳴

38

機器分析手法の比較

無機

⇔有

定性 ⇔ 定量

質量分析(MS)核磁気共鳴(NMR)

UV-vis/IR/Raman

燃焼分析

誘導結合プラズマ(ICP)蛍光X線

原子吸光

X線

表面状態 ミクロ電子状態 マクロ電子状態 ミクロ化学状態 マクロ化学状態

39

Page 7: 表面・微小部分析手法の比較 - mext.go.jp · 無機固体材料の空間分布 有機高分子の空間分布とその時間変化 産業 学術 機能・性能 実用

機器分析手法の比較無

機⇔

有機

定性 ⇔ 定量

核磁気共鳴(NMR)

表面状態 ミクロ電子状態 マクロ電子状態 ミクロ化学状態 マクロ化学状態

有機ラジカル

との相互作用

常磁性効果の解析

電子雲の遮蔽効果

有機金属錯体の構造

解析

化学シフトによ

る遮蔽効果解析

信号線形による

化学構造解析

信号積分値によ

るプロトン定量

二重共鳴によ

る結合解析

多重共鳴による生

物試料の構造解析

磁場勾配計測によ

る拡散現象解析

磁場勾配計測による磁

気共鳴イメージング

四極子計測によ

る量子状態解析

40

核磁気共鳴分野技術俯瞰図

分野

技術

真空技術

振動制御

トライボロジー

第一原理計算

有限要素法

流体力学 電磁気学

制御工学

真空工学

高電圧回路電磁弁制御

無機固体材料

高分子材料

有機物形態評価太陽電池パワーデバイス

燃料電池熱電変換

二次電池

キャパシタ

再生医療超伝導線材

超軽量・高強度材料

断熱材料・耐熱材料

モーターセンサー

水処理

記録媒体固体照明

酸化皮膜

無機固体材料の結合情報

有機合成高分子の化学構造

有機分子の拡散状態 特定化合物の3次元分布情報

金属錯体の結合状態

有機生体高分子の形態情報

無機固体材料の電子状態

無機固体材料の相変化

有機分子の結合状態 有機生体高分子の局所化学状態

有機分子の電子状態

バイオ創薬低分子創薬

構造生物学固体物理 材料工学 物理有機化学

産業

学術

機能・性能

実用

理論

化成品

香料

化粧品

洗剤 塗料

ファインケミカル

量子コンピューター

建材

植物科学

代謝科学

界面物理化学

均一系触媒

錯体化学拡散現象粉体工学

固体触媒

接着剤

品質管理

量子化学

液晶

核酸

結晶学レオロジー

電気化学

超分子化学

材料工学 熱力学

線形計画法

高周波出力技術

磁場シミュレーション

電場シミュレーション

超伝導技術

断熱技術 MEMSプロセス

超伝導接合

環境化学

農芸化学

海洋生物学

離散数学統計力学

複素解析

多変量解析

金属錯体の立体構造情報

無機固体材料の立体構造情報

高周波検波技術超伝導磁石

低温工学

低温技術

無機固体 有機液体/固体 生体分子液体/固体

高分子化学 有機合成

マイクロ

イメージング

巻線技術応力シミュレーション

調和解析 標識技術

41

Page 8: 表面・微小部分析手法の比較 - mext.go.jp · 無機固体材料の空間分布 有機高分子の空間分布とその時間変化 産業 学術 機能・性能 実用

1930 1950 1970 1990 2010 2030

核磁気共鳴と技術変遷NMR磁

石の

世界

最高

磁場

LTS(Nb3Sn)による磁場

ブロッホとパーセルがNMR法の実証研究でノーベル賞受賞(1952)

常伝導磁石の限界

ラービが世界初のNMR信号観測でノーベル賞受賞(1944)

フーリエ変換NMR技術提唱(~1957)→技術確立(1966)

ジェナーが2次元NMR法提唱(1971)→エルンストが実証(1976)

エルンストがノーベル賞受賞(1991)

ビュートリッヒがノーベル賞受賞(2002)

ビュートリッヒが多次元NMR法による

タンパク質構造決定法を確立(~1997)

ラウターバーとマンスフィールドがMRI法提唱(~1971)→MRI法原理実証(1073)→全身用MRI実用化(1980)

ラウターバーとマンスフィールドが

ノーベル賞受賞(2002)物質・材料研究機構で達成

HTSによる磁場

42

200

400

600

800

1000

5

10

15

20

25

核磁気共鳴基本原理

・静磁場中に対象試料を置くことでゼーマン分裂現象を起こし、その分裂に相当する高周波エネルギーを照射する。

・ゼーマン分裂に相当するエネルギーが吸収され、そのエネルギーが高周波として放出される。

・放出された高周波を検出し、周波数変換することで対象の信号周波数を解析する。

・高周波吸収から検出までの過程で高周波や磁場へ変調を付与することで、化学状態や形態情報などを付加情報として取得する。

効果が期待できる研究分野

・化学工業(ファインケミカル、化粧品、香料、洗剤、高分子、接着剤)

・各種機械(無機材料開発、高分子材料開発、電池開発、電子デバイス開発)

・バイオ/低分子医薬品開発(医薬品生理活性発現の機構解析、バイオ医薬品副作用の活性部位解析、バイオ/低分子医薬品の修飾部位検討)

・医科学(代謝、組織形態研究)

産業応用が期待される分野

・高速化に関連する要素技術(高温超伝導材料開発、高温超伝導材料生産技術、超伝導接合、高電圧制御、磁場補正技術、テラヘルツ照射/制御技術、

自動試料搬送、微小試料高速回転技術、極低温検出技術、高周波高速制御技術、離散データ解析技術、自動調整/最適化)

・ユーザビリティーに関連する要素技術(定量、自動試料搬送、自動調整/最適化、高安定性、ワイドボア超電導磁石、小型化、可搬性)

・高分解能化に関する要素技術(高温超伝導材料開発、高温超伝導材料生産技術、超伝導接合、高電圧制御、磁場補正技術、微小試料高速回転技術、

高周波高速制御技術、離散データ解析技術)

必要となる要素技術

今後開発が期待される技術・システム

・質量分析計等の他の分子スペクトル計測機器との連携システム

その他の波及効果

・有機化学(合成化学、天然物化学、錯体化学)、生化学(構造生物学、分子生物学、植物科学、食品化学、脂質工学、糖鎖工学)

・無機化学(材料化学、結晶学)、形態解析(建築、材料)、量子コンピューター

・医科学(抗体医薬、代謝、組織形態研究)

・超高磁場による高感度化 ・高均一磁場補正技術による高感度化 ・動的核偏極(DNP)技術による高感度化 ・高速回転技術による高感度化

・極低温検出による高感度化 ・高周波高速制御による磁化遷移高効率化 ・圧縮センシングおよび非線形解析による高効率サンプリング技術

・自動計測/自動解析システム ・広範囲試料を対象としたワイドボアシステム ・可搬型システム

43

Page 9: 表面・微小部分析手法の比較 - mext.go.jp · 無機固体材料の空間分布 有機高分子の空間分布とその時間変化 産業 学術 機能・性能 実用

高感度化による高速化

分野

技術

真空技術

振動制御

トライボロジー

第一原理計算

有限要素法

流体力学 電磁気学

制御工学

真空工学

高電圧回路電磁弁制御

無機固体材料

高分子材料

有機物形態評価太陽電池パワーデバイス

燃料電池熱電変換

二次電池

キャパシタ

再生医療超伝導線材

超軽量・高強度材料

断熱材料・耐熱材料

モーターセンサー

水処理

記録媒体固体照明

酸化皮膜

無機固体材料の結合情報

有機合成高分子の化学構造

有機分子の拡散状態 特定化合物の3次元分布情報

金属錯体の結合状態

有機生体高分子の形態情報

無機固体材料の電子状態

無機固体材料の相変化

有機分子の結合状態 有機生体高分子の局所化学状態

有機分子の電子状態

バイオ創薬低分子創薬

構造生物学固体物理 材料工学 物理有機化学

産業

学術

機能・性能

実用

理論

化成品

香料

化粧品

洗剤 塗料

ファインケミカル

量子コンピューター

建材

植物科学

代謝科学

界面物理化学

均一系触媒

錯体化学拡散現象粉体工学

固体触媒

接着剤

品質管理

量子化学

液晶

核酸

結晶学レオロジー

電気化学

超分子化学

材料工学 熱力学

線形計画法

高周波出力技術

磁場シミュレーション

電場シミュレーション

超伝導技術

断熱技術 MEMSプロセス

超伝導接合

環境化学

農芸化学

海洋生物学

調和解析

離散数学統計力学

複素解析

多変量解析

金属錯体の立体構造情報

無機固体材料の立体構造情報

高周波検波技術超伝導磁石

低温工学

低温技術

無機固体 有機液体/固体 生体分子液体/固体

高分子化学 有機合成

マイクロ

イメージング

アプリケーション全体へ効果

高感度化による高速化

(超高磁場、DNP、極低温検出)

標識技術

巻線技術応力シミュレーション

44

圧縮センシングによる高速化

分野

技術

真空技術

振動制御

トライボロジー

第一原理計算

有限要素法

流体力学 電磁気学

制御工学

真空工学

高電圧回路電磁弁制御

無機固体材料

高分子材料

有機物形態評価太陽電池パワーデバイス

燃料電池熱電変換

二次電池

キャパシタ

再生医療超伝導線材

超軽量・高強度材料

断熱材料・耐熱材料

モーターセンサー

水処理

記録媒体固体照明

酸化皮膜

無機固体材料の結合情報

有機合成高分子の化学構造

有機分子の拡散状態 特定化合物の3次元分布情報

金属錯体の結合状態

有機生体高分子の形態情報

無機固体材料の電子状態

無機固体材料の相変化

有機分子の結合状態 有機生体高分子の局所化学状態

有機分子の電子状態

バイオ創薬低分子創薬

構造生物学固体物理 材料工学 物理有機化学

産業

学術

機能・性能

実用

理論

化成品

香料

化粧品

洗剤 塗料

ファインケミカル

量子コンピューター

建材

植物科学

代謝科学

界面物理化学

均一系触媒

錯体化学拡散現象粉体工学

固体触媒

接着剤

品質管理

量子化学

液晶

核酸

結晶学レオロジー

電気化学

超分子化学

材料工学 熱力学

線形計画法

高周波出力技術

磁場シミュレーション

電場シミュレーション

超伝導技術

断熱技術 MEMSプロセス

超伝導接合

環境化学

農芸化学

海洋生物学

離散数学統計力学

複素解析

多変量解析

金属錯体の立体構造情報

無機固体材料の立体構造情報

高周波検波技術超伝導磁石

低温工学

低温技術

巻線技術

無機固体 有機液体/固体 生体分子液体/固体

高分子化学 有機合成

マイクロ

イメージング

有機分野へ効果

圧縮センシングによる高速化

調和解析 標識技術

応力シミュレーション

45

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必要となる要素技術(高速化1)

高感度化による高速化

NMRの基本感度はゼーマン分裂のエネルギー差に依存するが、極低温

における電子スピンのゼーマン分裂のエネルギー差が原子の核スピンの

NMR信号強度は静磁場の7/4乗に比例し

て向上し、他の向上技術とあわせた効果

を期待することができる。(四極子につ

いては7/4乗以上の効果が期待でき

る。)

また、高温超伝導材料による高均一度超

電導磁石の製造技術は日本のチームが世

界を先導している。

数万倍であることを利用し

てNMRの感度を向上させ

ることが原理的に可能であ

る。

この手法を実現するには電

子スピンを励起するための

テラヘルツ照射・制御技術

や試料の温度制御技術など

が必要になる。

※(株)JEOL RESONANCEアプリケーションノートより抜粋

※文科省「先端研究施設共用促進事業」全国先端研究施設共用促進事業

連携シンポジウム(2012年)より抜粋

NMR信号は高周波コイルで検出されるが、高周波

コイルを極低温下におくことで熱雑音を低減する

ことができ、相対的にNMR信号の検出感度を向上

させることができる。

ただし、対象試料近傍は室温におくことが望まれ、

検出コイルから対象試料の間で200度以上の断熱

をする必要がある。※JST戦略的イノベーション創出推進プログラム成果より

試料の高速回転により固体試料由来の異方性を消去

することが可能で、信号を先鋭にすることで感度の

高い信号として観測することができる。

※(株)JEOL RESONANCEアプリケーションノートより抜粋

46

NMR信号の高周波数化に伴い、高周波の観測・照射帯域の広帯域化

を実現するパルス系列やハードウェアの高速制御が必要になる。

※J. Magn. Reson., 176,170-186(2005)

先端的なパルス系列の実行に

は高速変調、多重ループや再

帰呼び出しなどの命令実行が

必要で、さらにナノ秒程度の

時間分解能で高周波パルス及

び勾配磁場パルスを連続出力

することが求められる。

DNPによる高感度化

超高磁場化による高感度化

熱雑音低減による高感度化

試料高速回転による高感度化

広帯域対応に対応した高速制御による高効率磁化励起

必要となる要素技術(高速化2、高分解能化、ユーザビリティ)

NMR信号の分布範囲は静磁場強度に比例するが、各信号の線幅は大

きく変化しない。したがって、静磁場強度が大きくなると信号の分

離度が高くなり、より小さな周波数シフトの違いを観測することが

可能になる。

よって、より高磁場の装置で計測した方が高分解能の情報を得るこ

とが可能である。

※物質・材料研究機構プレスリリース資料より抜粋

超高磁場化による高分解能化

より多くの情報を収集可能な多次元測定法を実行するには、間接観

測軸のポイント数に応じた計測時間が必要であるが、近年では周波

数情報の抽出に適した圧縮センシングを行うことでより短時間での

※Nature, 458, 102-106 (2009)

DOI:10.1038/nature07814

情報収集が可能となってきた。こ

の圧縮センシングを実用化には、

効率的なサンプリングスケジュー

ルのシミュレーションや、非等間

隔の離散データに対する解析手法

などの技術確立が求められている。

NMRは高分子量のものへ計測対象が広

がっているが、特に分子量数十万の膜

タンパク質の計測技術の重要性が増し

ている。

このような高分子量生体試料の計測を

行う際は信号の重なりを減らす特殊な

同位体標識技術が有効である。タンパ

ク質の特殊な同位体標識には、有機合

成/生合成による特殊同位体標識リー

ド化合物の合成や無細胞合成のような

同位体標識リード化合物をタンパク質

へ導入する技術が必要になる。

※Nature 440(2),52-57(2006)

DOI:10.1038/nature04525

立体整列同位体標識(SAIL)法による観察信号の簡素化

符号化標識技術(SiCode)による信号帰属

※J. Biomol NMR 63,213-221(2015)

DOI:10.1007/s10858-015-9978-8

47

圧縮センシングによるサンプリング高速化同位体標識技術による高分解能化

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必要となる要素技術(高分解能化、ユーザビリティ、標準化)

※(株)エム・アール・テクノロ

ジー製品紹介より抜粋

ワイドボア磁石を構成したNMRシステムでは、

一般的なNMRシステムよりも大きな試料の計

測が可能である。また、検出器周辺の空間が

広いため、試料へ刺激をする機構などを組み

込むことも可能になる。

一方、永久磁石などのコンパクトな磁石を構

成したNMRシステムは計測対象がある場所へ

システムを移動することができ、オンサイト

での計測や短期間の計測などの使用形態にあ

わせた対応が可能になる。

近年、薬局方における公定法の一つとし

てNMRによる定量法が収載された。こ

のような日常的に必要な作業は自動化に

よる省力化が求められており、ソフト

ウェアに対する要求が非常に増えている。

※(株)JEOL RESONANCEアプリケーションノートより抜粋

シミュレーション技術が進歩したことにより、電圧と電流を適切に印加

することが設計的に可能になっている。この技術により誘電損失を抑え

た低発熱な高周波コイルを開発することができ、対象試料の範囲を広げ

ることができる。

近年、有機合成や生合成の手法が効率化され

たことでNMRでも大量の試料の計測が求めら

れる。大量の処理を効率的に行うには、試料

搬送の高速化や自動化、同調回路や磁場均一

度の自動調整、計測データの自動処理やデー

タベースとの連携動作などの技術開発が必要

であり、装置により得られる結果が常に安定

した質であることを保証・維持するための機

能が求められる。※(株)JEOL RESONANCEアプリケーションノートより抜粋

ユーザビリティ(試料自動搬送、自動調整、自動解析)

48

近年のNMRハイスループット化に伴い、出力データが大量に得られる

ようになった。このような状況では効率よくデータ解析を行うための

データベース連携や、解析プラットフォームの共通化などが求められる。

ユーザビリティー(ワイドボア磁石、可搬型磁石)

ユーザビリティ(低発熱)

ユーザビリティ(定量)、標準化

標準化

NMR/MRI事業者の変遷

1940 1950 2000 2010 20201960 1970 1980 1990

Varian

Agilent ×

日本電子

Bruker

日立

×

Nicolet

×

IBM

×

(GE, Philips)

Perkin-Elmer

Trueb, Taeuber, and Co.

→ Spectrospin

JEOL RESONANCE(2011-)

NMR事業者

MRI事業者

NM

R市

場規模

(百万ドル)

0

500

1000

1500

リーマンショック

SDi予測

(年)

GE Medical

東芝メディカル

日立メディコ

FONAR

SIEMENS Healthcare

島津製作所

×

Philips Healthcare

三洋電機

×

(Aurora Imaging Technology, Esaote S.P.A, Imris, Neusoft Medical)

旭化成 ?

三菱電機?

※SDi 社Market Report及び日本画像医療システム工業会等の情報を元に文部科学省にて作成49

0

200

400

600

800

1000

1200

2009 2011 2013

その他Varian/AgilentBruker日本電子

NMR市場シェア推移

(百万ドル)

14% 8% 7%

52% 56% 58%

19% 19% 18%