High Resolution X-Ray Diffractometer

X-선 회절분석기

서울대학교 기초과학공동기기원

캠퍼스 안내도

National Center forInter-University Research Facilities

▶ 찾아오시는 길

서울대학교 기초과학공동기기원

151-742 서울특별시 관악구 관악로 1TEL _ 02-880-5431 Homepage _ irf.snu.ac.kr

기기이용 안내

HR-XRD

문의 및 예약

▶ 담당자 : 이미송· e-mail : misong@snu.ac.kr ·TEL : 02) 880-6498

·예약 : 기기사용예약은 홈페이지를 이용하시기 바랍니다. (http://irf.snu.ac.kr)

기기이용절차

시료 의뢰

사용신청 사용여부통보(http://irf.snu.ac.kr)

시료 분석

분석결과 통보

의뢰자의 결과검토사용결과 제출

이용자 직접 사용 기기 기기 담당자 지원 기기

기기사용

NCIRF

사용료 납부

사용자

기기사용료 청구서 발송

사용료 납부

지하철 이용

■ 지하철 2호선 서울대입구 하차시 (3번출구)·버스 (5513 이용시) → 서울대 정문 → 행정관 → 신공학관 → 유전공학연구소 → 교수회관에서 하차(정류장번호:13번) → 길 건너편 신공학관 방면으로 60m지점이 기초과학 공동기기원 ·버스 (5511 이용시) → 서울대 정문 → 경영대 → 기숙사 삼거리 → 기초과학 공동 기기원 하차 (정류장 번호: 12번)

*소요시간 20분

■ 지하철 2호선 낙성대입구 하차시 (추천사양)낙성대 하차 → 4번 출구로 나와 마을버스 02번승차 (GS칼텍스 옆길에 위치) → 서울대 후문 → 노천강당 → 기초과학 공동기기원 하차 (정류장 번호: 12번)

*소요시간 15분

승용차 이용

남부순환도로의 신림사거리(신림역), 봉천사거리(서울대입구역), 낙성대입구에서 좌·우회전합니다.

한강대교를 넘어오는 경우 상도터널을 지나 지하철 7호선 상도역에서 좌회전하여 직진합니다.

이후 서울대학교 정문이나 후문(추천사양)으로 진입합니다.

① 후문 진입 후 기숙사삼거리에서 좌회전 한 후 직진합니다. 직진하시다가 12번 버스정류장 앞 건물(건물번호 139-1동)로 들어오시면 됩니다.

② 정문으로 진입 시 게이트웨이에서 좌회전(경영대방향) 도로로 진입하셔서 기숙사삼거리를 지나 계속 직진 하신 후 139-1동(정류장번호 12번) 건물로 오시면 됩니다.

분석료

▶ 기본료 : 10,000원/건▶ 대학(기준수가) : 25,000원/시간▶ 산업체 및 연구소 : 대학의 200% 적용▶ 정성분석 : 5,000원/시료

X선 회절현상은 X-선이 원자의 전자들에 의해 산란되는 과정으

로 설명되는데 즉 “Bragg법칙”이나 “Laue방정식”을 만족

하는 어떤 특정한 기하학적 조건에서 산란이 될 때만 회절빔이

생기게 되며 이러한 회절현상의 분석을 통하여 물질의 단위구조

크기, 구조, 방향 등의 정보를 알아낼 수 있다.

본 장비는 단결정, 파우더, 유체 등 모든 형태의 시료에 대해 비

파괴 분석을 할 수 있는 우수한 시스템으로서 본 원의 HR-XRD

는 박막의 개발과정, 생산, 품질관리에 연관된 최첨단 연구 및 박

막시료의 격자불일치, 거칠기, 결정 층의 두께 등 많은 정보를 측

정 분석할 수 있는 뛰어난 장비이다.

▶ 에피층의 구조특성 분석 - Rocking curve

: 결정성, 격자 변형, 조성 , 결합, 두께 등

▶ 격자 상수 변화에 대한 분포

▶ 결정의 배향성/ 결정석 : omega scan

▶ 강도 분포도 (RSM)

▶ 산만 산란 (diffuse scattering) 측정

▶ 비 파괴 분석 (Non-destructive analysis)

▶ 높은 strain sensitivity

▶ Model : BRUKER D8 DISCOVER (Germany)

▶ Main unit

·X-ray generator (3kw, Max : 60KV/80mA)

·X-ray tube (Cu source)

·Goniometer : radius 380mm

·Detector (Scintillation counter)

·DIFFRACplus,EVA.

Introduction Data Examples

Application

XRD 장비의 특성

Specification