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ここまで出来る！卓上SEMの多彩なアプリケーション
ジャスコインタナショナル株式会社[email protected]
2014 JASIS 小セミナー
Phenom-World社卓上SEM を利用したアプリケーションのご紹介
内容
1. Phenom-World社のご紹介
2. 温調ホルダ
3. パーティクルメトリック
内容
1. Phenom-World社のご紹介
2. 温調ホルダ
3. パーティクルメトリック
現在
Phenom-World社の歴史
G2 Pure 光学顕微鏡 CeB6電子銃 最大17,000x
G2 Pro 光学顕微鏡 CeB6電子銃 最大 45,000x
proX 光学顕微鏡 CeB6電子銃 最大45,000x EDS元素分析 Pro Suite アプリケーションシステム
卓上SEMモデル
Phenom卓上SEM
proX PREMIUM 光学顕微鏡 CeB6電子銃 最大100,000x EDS元素分析 Pro Suite アプリケーションシステム
観察画面
六ホウ化セリウム（CeB6）電子銃 高輝度、高画質観察 長寿命（＞1500時間）
自動ステージ搭載
卓上SEMの特徴
光学顕微鏡を内蔵
簡単・スピーディな観察 SEM像が得られるまで30秒！
タッチパネル操作
ナビゲーション機能（光顕・SEM低倍率）�
様々な観察に対応する豊富な試料ホルダ試料ホルダ
光顕
SEM低倍率
多彩なアプリケーションソフト
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倍率75,000倍、視野幅3.58µm 倍率90,000倍、視野幅2.98µm
proX PREMIUM 観察例�
SEM観察例
蝶の羽 バクテリア
内容
1. Phenom-World社のご紹介
2. 温調ホルダ
3. パーティクルメトリック
温調ホルダの特長�
• 温度制御範囲 -25 ~ +50 ℃
• キーパッドによる操作
• 水分を含む試料ビームや熱に弱い試料(食品、生物試料など)
温調ホルダ
冷却システム
キーパッド
試料ホルダ
試料：市販のチョコレート
アプリケーション例：チョコレートの観察
国① 日本② 米国③ スイス
カカオ表示無し45 %99 %
試料の準備
装置：proX
切断面・割断面 ：ナイフで薄くカットし、切断面、割断面を作成溶かしたもの ：電子レンジで加熱して溶かし、試料台に塗布
温調ホルダ使用（-25℃冷却下で観察）
種類ミルクダークダーク
観察画面（日本 ミルク：割断面）
アプリケーション例：チョコレートの観察
倍率1000倍、視野幅268µm、10kV
観察位置
切断面（倍率1000倍）
アプリケーション例：チョコレートの観察
スイス（99%）・渋い・溶けにくい・溶けた後はなめらか
日本（ミルク）・甘い・口溶けがよい・なめらか
米国（ダーク）・とても甘い・口溶けがよい・若干ざらつく
割断面（倍率1000倍）
アプリケーション例：チョコレートの観察
スイス（99%）・渋い・溶けにくい・溶けた後はなめらか
日本（ミルク）・甘い・口溶けがよい・なめらか
米国（ダーク）・とても甘い・口溶けがよい・若干ざらつく
溶かしたもの（倍率1000倍）
アプリケーション例：チョコレートの観察
スイス（99%）・渋い・溶けにくい・溶けた後はなめらか
日本（ミルク）・甘い・口溶けがよい・なめらか
米国（ダーク）・とても甘い・口溶けがよい・若干ざらつく
スイス（カカオ 99%）: 割断面
アプリケーション例：チョコレートの観察
倍率4000倍、視野幅67.0µm
内容
1. Phenom-World社のご紹介
2. 温調ホルダ
3. パーティクルメトリック
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ProSuiteアプリケーションンシステム
リモートUI ネットワーク上のPCでリモート操作
自動画像マッピング SEM像を繋ぎ合わせて広い視野の像を取得
EDS分析 点・面分析、マッピング、ラインスキャン
ファイバーメトリック （OP） 繊維径と細孔面積を自動測定
3Dラフネス（OP） 3D画像の構築、表面粗さの測定
パーティクルメトリック （OP） 粒子の形状、サイズを解析
パーティクルメトリック
New!�
パーティクルメトリック
粒子のサイズ・形状解析
SEM観察~粒子の評価まで一連操作
様々なパラメータによる粒子の特性評価
異物、壊れた粒子、凝集した粒子の識別
粒子の検出
検出された粒子を色付け
複数の画像から粒子のサイズ・形状解析
自動画像マッピング機能を使用することで、数百枚の画像を短時間で取得可能！
検出画面
解析結果の表示
粒子一覧
ヒストグラム
各パラメータの数値結果
スキャッタプロット
解析画面
試料：アルミナ（Al2O3） ＋
チタン酸バリウム（BaTiO3)
アプリケーション例：Al2O3＋BaTiO3
試料の準備アルミナとチタン酸バリウムを混合したものを試料台の上に分散
装置：proX、ピンスタブホルダ使用
観察・測定 SEM観察 EDS分析：組成の確認 パーティクルメトリック：粒度分布の測定
結果：SEM観察
アプリケーション例：Al2O3＋BaTiO3
倍率10000倍、視野幅26.8µm、10kV 倍率20000倍、視野幅13.4µm、10kV
Al2O3？
BaTiO3？
反射電子像：組成を反映
原子番号小 大
結果：EDS分析
A +
B +
アプリケーション例：Al2O3＋BaTiO3
A
B
視野幅13.4µm 加速電圧15kV
Al2O3
BaTiO3
アプリケーション例：Al2O3＋BaTiO3
結果：パーティクルメトリック
解析結果
グレースケール
円面積相当径（µm）
D50(個数): 1.30µmD50(体積): 1.94µm
D50(個数): 1.06µmD50(体積): 2.51µm
個数基準体積基準 0.19 1.22
2.08 5.01
Min D50 Max円面積相当径（µm）
Al2O3
BaTiO3
N=1765
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温調ホルダ 温度制御 -25℃~50℃まで可能
シンプル装着・操作で熱やビームに弱い試料（食品・生物試料等）
の観察が可能
まとめ
パーティクルメトリック
粒子のサイズ・形状解析
SEM観察~粒子の評価まで一連操作
様々なサイズ・形状パラメータによる粒子の特性評価
異物、壊れた粒子、凝集した粒子の識別が可能
