S-4800 简 易 操 作 规 程

Techcomp Lab

电 镜 维 修 部

开 机 步 骤1. 开墙上主机电源电源的开关；

2. 将仪器后面板处的主电源开关（ Main Power ）打开，之后按下 Reset 键；

3. 启动 Evac Power ，等待 TMP 指示正常后顺序打开 IP1 、 IP2 和 IP3 的电源开关，真空启动程序开机结束；

4. 开启左侧面板 Stage Power ，启动右侧Display 开关；

5. PC 机自动启动进入 Windows 操作系统，并自动运行 S-4800 操作程序，此时点击OK （没有密码）后自动进入 S-4800 操作软件。

更 换 样 品 步 骤

一：安装样品步骤：1. 在实验台上事先粘好样品，并用高度规检

测其高度；

2. 点击样品交换室的 Air 键，当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室；

3. 将样品杆手柄处于 Unlock 位置，把样品机座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock 位置；

4. 轻轻推注样品交换室，点击 Evac 键，抽好真空后点击 Open 键，样品交换室与样品室间的闸门自动打开；

5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品至于样品台上，旋转手柄至 Unlock ，拉出样品杆，最后点击 Close 关闭阀门，安装样品结束；

二：取样品步骤：1. 样品检测结束后，关闭高压，点击 Stage

菜单的 Home 图标使样品归位；

2. 点击样品交换室处的 Open 键，推进样品杆将香蕉头插入至样品基座，旋转手柄至Lock 位置；

3. 轻轻的拉出样品杆，点击 Close 键，闸门关闭后点击 Air 键，待样品室放气后轻轻拉开样品交换室，旋转手柄至 Unlock 位置，取下样品基座，结束取样品工作。

操 作 步 骤1. 打开 Flashing 菜单并执行强度 2 ，直到

Ie=30 ～ 40uA ；

2. 选择合适的加速电压，并点击 HV ON ，当操作过程中 Ie≤60% 设定值时，点击 Set使其恢复至设定值；

3. 电气合轴调整： 1 ）打开 Alignment 菜单，点击 Beam Align

通过操作面板上的 X 、 Y 旋钮调整光斑到中心；

2 ）暂时选 Off 关闭 Beam Align 对话框，通过 Focus 大致调整图像，再选择 Aperture Align 通过操作面板上的 X 、 Y 旋钮调整图像至心脏式跳动而不是摇摆晃动；

3 ）再选择 Stigma Align Ｘ通过操作面板上的 X 、 Y 旋钮调整图像至心脏式跳动而不是摇摆晃动，同样方法调整 Stigma Align Ｙ；

4. 选择Ｌ－ Mag 模式，配合轨迹球大致找到要观察的样品；

5. 　转换到 H-Mag 模式 , 通过调整 Mag 增大倍数，并同时通过 Focus 调整图像达清晰；

6. 进一步增大 Mag 至超过自己想要的放大倍数，细聚焦调整并通过 Stiga 消除像散，使图像达至最清晰；

7. 将 Mag 调到实际放大倍数，点击 M 图标暂存图像，之后关闭高压结束此样品检测。

关 机 步 骤1. 点击 Stage Home 样品归位后，取出样品；

点软件右上角 X ，退出软件，正常关机显示器出现黑屏后关闭 Display 开关。

烘 烤 步 骤1. 关掉高压，取下电子枪上的两个固定螺丝；

2. 轻轻的取下高压电缆，将取下的枪头放于侧面的支架上；

3. 检查镜筒是否干净，安装内外烘烤的电源线；

4. 盖好相应的传感器的罩子；

5. 通过面板处选择 Bake 设定内外烘烤的时间，根据自己的时间情况设定如Ou12 ， In8 ； Ou 24 ， In12 ；等等（注意 Ou≥In ）之后点击 Start 开始烘烤；

6. 烘烤的冷却时间是结束后需要自然冷却 6小时；

7. 冷却后清洗电子枪和镜筒后再将电子枪装入镜筒；

8. 开机执行 Flashing ，先 F1 0 ～10uA 、 F2 30 ～ 40uA、 F3 50 ～60uA 最后再调回到 F2 。

取 样 品 步 骤1. 关掉高压，并样品台归位；

2. 关闭 Aperture 从 Heat 到 Off ，等待 30分钟；

3. 关闭 Display 和 Stage 的开关，按住面板处 Air 键 2 ～ 5秒钟；

4. 等待破真空后，取下固定样品室的 4 个内六角螺丝；

I型：拆下相连接的信号线，小心的取下样品台；

II型：接上轨道延长杆将样品台缓缓滑出；

5. 戴上手套进入样品室取出样品；

6. 将样品台和线等复原，点击 Evac 抽真空，待真空抽好后将 Aperture 再开始加热；

日 常 维 护 保 养1. 清洗冷却循环水过滤网；

2. 空压机放水；

3. 检测 RP泵油液面；