Upload
ward
View
40
Download
0
Embed Size (px)
DESCRIPTION
STM nanolitográfia. Készítette: VARGA Márton , [email protected] Vasszécseny, Pannonhalmi Bencés Gimnázium Tanára:BARCZA István, Pannonhalmi Bencés Gimnázium Témavezető:DOBRIK Gergely, [email protected] MTA MFA, H-1525 Budapest, Pf. 49. Mi az, a NANO?. - PowerPoint PPT Presentation
Citation preview
STM nanolitográfiaSTM nanolitográfia
Készítette: VARGA Márton, [email protected]écseny, Pannonhalmi Bencés
Gimnázium Tanára: BARCZA István, Pannonhalmi Bencés Gimnázium
Témavezető: DOBRIK Gergely, [email protected] MFA, H-1525 Budapest, Pf. 49.
Mi az, a NANO?Mi az, a NANO?
Szükségünk van egy olyan berendezésre, amivel képesek vagyunk vizsgálni és megmunkálni ezt a mérettartományt!
Nanométer = 10-9 méterA méter milliárdod része.
Manapság egyre nagyobb az érdeklődés a nanovilág és a
nanotechnológia iránt. Ahogy fejlődik műszaki
technológiákkal átszőtt világunk, úgy egyre újabb és újabb területeket hódítunk
meg. Az egyik ilyen új terület a nanométeres világ.
STM – STM – (pásztázó alagútmikroszkóp)(pásztázó alagútmikroszkóp)
A pásztázószondás módszerek lényege, hogy a vizsgált mikroszkopikus mintához egy szondával (atomi léptékkel mérve) közel kerülünk, majd a
szonda segítségével lokális méréseket, illetve módosításokat végezhetünk a mintán.
STM – pásztázó alagútmikroszkóp
STM megmunkálás STM megmunkálás (litográfia)(litográfia)
A vágás a tűre kapcsolt „nagy” feszültséggel lehetséges!
Az oxigén és víz jelenlétének köszönhető, hogy el tudjuk oxidálni a tű alatt levő anyagot.
A litográfiai eljárást egy makroprogram segítségével vezérelhető, ahol több különböző paraméter is kontrolálható pl.: áram, feszültség, tű sebesség,…
Optimális paraméterek:Tű sebesség: 1 – 4 nm/sFeszültség: 2.2 – 2.5 V
Páratartalom: 60%
Vágási folyamat
A módszer bemutatásához grafit mintát használtam.
EredményekEredményekEzzel a módszerrel különböző nanostruktúrák hozhatók létre.
Például szén nanoszalagok. Ezeknek a szélessége nanométeres tartományba esik. Jelenleg a világon ez a
legpontosabb megmunkálási módszer.
STM kép, 12,5 nm széles szén nanoszalag.
EredményekEredményekNem csak egyszerű formák vághatók ki, hanem tetszőleges struktúrák
is
V M = (Varga Márton) ( 150 X 150 nm )
EredményekEredmények
Megmunkálás másképpen. Vágás helyett „pöttyözés”,
azaz rövid feszültség-impulzusokkal
strukturálhatjuk a felületet.
STM kép, 4 x 4 –es pontrendszer. A pontok egymástól való távolsága 25 nm.
ÖsszefoglalásÖsszefoglalás- Megismerkedtem egy olyan módszerrel, aminek segítségével képesek vagyunk nanométeres skálán megmunkálni az anyagot.
- A módszert sikeresen alkalmaztam különböző nanostruktúrák kialakítására (szén nanoszalag, monogram).
- Egy másik megmunkálási módszert is megvalósítottunk, melynek segítségével struktúrálható az anyag felülete, különböző pontrendszerek hozhatók létre.
- Megismerkedtem a kutatómunka főbb fázisaival, szépségeivel és nehézségeivel.
Szeretnék köszönetet mondani, szüleimnek, hogy felhívták figyelmemet erre a lehetőségre.Az első fizika tanáromnak, Vida Máriának, a sok segítséget és támogatást.Kísérőnknek, „Csaba bácsinak” a sok színes programért. Továbba az MTA-MFA-nak, hogy lehetőséget adott arra, hogy betekintést nyerjek a kutatómunka rejtelmeibe és, hogy biztosította a tárgyi és pénzügyi hátteret.
KöszönetnyilvánításKöszönetnyilvánítás
Köszönöm a figyelmet!