Download pdf - DRY VACUUM PUMPS - 真空ポンプ・排気装置・ … VACUUM PUMPS 小型ドライ真空ポンプカタログ CATALOG メカニカルブースターポンプスクロール型ドライ真空ポンプ

DRYVACUUMPUMPS

小型ドライ真空ポンプカタログ小型ドライ真空ポンプカタログ

CATALOGCATALOG

メカニカルブースターポンプ

スクロール型ドライ真空ポンプ

回転翼型ドライ真空ポンプ

揺動ピストン型ドライ真空ポンプ

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプ付属部品

真空配管部品

No. VP-0701

Creating Small Vacuum Pumps

www.ulvac-kiko.com

アルバック機工株式会社

を目指すのの

とと

高精度を誇るNC旋盤も、多数導入している。

徹底した品質保持を追求する－－ドライ真空ポンプ専門工場

ゴム脚4-M4

186

236

11

178

165

6

9

70

108

6454

118OUT

実効排気速度表示Actual pumping speed

サーマルプロテクター内蔵／アンローダーバルブ（オプション）With built-in thermal protector/Unloader valve (option)

Unit DA-20D

Actual Pumping SpeedL/min. 20/24 (50/60Hz)

実効排気速度

Ultimate pressurePa 5.3×103

アンローダーバルブ付

到達圧力 with unloader valve 9.3×103

Motor1φ,100V, 60W, 4P,Condenser run

使用電動機

Full load currentA 1.6

全負荷電流

Weightkg 7.2

質量

Inlet, Outlet pipe diametermm O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)

吸・排気口径

Ambient operation temp.range℃ 7～40

使用雰囲気温度範囲

Overall dimensionsmm 118(W)×236(L)×184(H)

最大寸法

寸法図 Dimensions

仕様 Specifications

ダイアフラム型ドライ真空ポンプDiaphragm Type Dry Vacuum Pump

DA-20DRoHS対応

2

ポンプはこの使用雰囲気温度範囲内でご使用ください。

標準の吸気管の外径を示します。これと異なるサイズをご希望の場合はお問い合わせください。

電源コードを含むポンプの単体の質量です。

使用しているモータの定格を示します。カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧でご希望の場合はご照会ください。別途お見積いたします。

到達圧力とはポンプの真空をつくる最大の能力で、この圧力に達するとポンプの排気速度は0となります。

大気圧の気体を吸入した場合の実効排気速度を示します。他のメーカによっては設計排気速度標示の場合があり、その場合は1.2倍程度にすることによって換算できます。

RoSH指令対応機種※在庫状況により未対応の場合があります。詳しくはお問い合わせください。

DA-20D実効排気速度 Actual pumping speed

型式Type of Pump

1段型、2段型の区分

表記の値は50Hzにおける実効排気速度を示します。60Hzの場合は約1.2倍の能力が得られます。

（他社の場合、排気速度を設計排気速度で示している例がありますが、当社では一部の機種を除き

実効排気速度を採用しています）

Ｓは1段型、Ｄは2段型を示します。Kがついた場合は組込型を示します。

・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。

・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。

ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。

・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。

コード付きプラグ

スイッチ付き端子のみコードなし

コード付き先ばら

コード付き圧着端子

カタログの見方

宮崎事業所全景

ISO9001、ISO14001 認証取得

品質方針

私たちは一人一人が仕事の

品質を高め、お客様に満足

していただける安全で高品

質の商品およびサービスの

提供に努めます

アルバック機工のドライ真空ポンプはドライ真空ポンプ専門工場で製造を行っています。加工部

門は、NC旋盤やマシニングセンターなど最新の工作機械を設備しています。徹底したコスト削減と

独自の製造ノウハウから生まれたドライ真空ポンプは、厳しい検査工程とランニングテストを経て出

荷されます。また、アルバック機工のドライ真空ポンプは、より性能を高めるためのモデルチェンジ

も積極的に行っています。ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプとそれぞれ専用の工場を有してい

るのも、品質保証に根ざした小型真空ポンプのリーディングメーカーとしての製造ポリシーです。

組立はクリーンな環境の中で行われ、独自の製造ノウハウにより信頼性を高めている。

厳しいランニングテストを終えた製品は最終検査工程を経て出荷される。

3

CONTENTSType 型　式排気速度到達圧力頁特　　　長

L/min(50/60Hz) PaDAP-6D 6/7 6.65×103 8DAP-12S 12/14 24.0×103 9DA-15S 12/15 26.6×103 9DA-15D 12/15 6.65×103 10DA-30S 24/30 26.6×103 10DA-20D 20/24 5.3×103 11DA-40S 40/46 19.9×103 11DA-30D 30/36 6.7×103 12DA-60S 60/72 21.3×103 12DA-41D/41DK 40/46 3.3×103 13DA-81S/81SK 75/85 13.3×103 13DA-60D 60/72 3.32×103 14DA-120S 120/144 13.3×103 14DA-121D 120/145 3.3×103 15DA-241S 240/260 16.0×103 15DAT-50D 50/55 3.3×103 16DAT-100S 100/110 13.3×103 16DAL-181D 180/210 3.3×103 17DAL-361S 360/390 17.3×103 17DAP-15 15/18 39.9×103 18DAP-30 30/36 33.3×103 19DAU-20 20/23 200.0 20DAU-100 100/110 266.0 20DAU-100H 100/110 1.0×103 20MD4 50/60 260.0 21MD8 100/120 260.0 21DTU-20 20/23 200.0 22MD4C 40/50 260.0 22MD8C 80/96 260.0 23DTC-21/21K 20/24 1.0×103 24DTC-41/41K 40/46 1.0×103 24DTC-60 60/70 1.0×103 25DTC-120 120/140 1.0×103 25DOP-9D 9.0/9.8 6.7×103 26DOP-40D 40/44 1.2×103 27DOP-80S 80/88 5.4×103 27DOP-80SP 80/84 加圧専用 28DOP-200S 200/220 8.0×103 28DOP-50S4 50/55 8.0×103 29DOP-100T 100/110 0.4×103 29DOP-100ST 100/110 8.0×103 30DOP-50DT 50/55 1.2×103 30DOP-50F 50/55 0.27×103 31DOP-300S 300/330 8.0×103 31DOP-150T 140/160 0.4×103 32DTP-45D 45/49 2.7×103 32DTP-90S 90/99 9.3×103 33DTP-90D 90/99 2.7×103 33DTP-180S/180SQ 180/198 10.0×103 34DSB-151 180/200 15.0×103 35DSB-251 250/310 15.0×103 35DSB-451 430/530 12.0×103 35DSB-601 600/700 12.0×103 35DIS-090 90/108 5.0 36DIS-250 250/300 1.6 37DIS-500 500/600 1.0 37DVT-300 300 6.7 38DVS-321 265/320 1.5 38DVS-631 525/630 1.0 39DISL-100 100/120 50.0 39DISL-500 430/520 10.0 40

MBS-030 500/600 4.0×10-2 41

MBS-050 833/1000 4.0×10-2 41

ダイアフラム型

揺動ピストン型

回転翼型

スクロール型

ポンプ

ブースター

メカニカル

高真空タイプ

スタンダードタイプ／減圧・加圧両用タイプ

ケミカルタイプ

・油を使用していないためクリーンな排気が可能です。・メンテナンスが容易なため卓上用や大量生産される装置の組込用として多くの用途で使われております。

・小型から大型機種までそろえました。用途に応じてお選びいただけます。

・「DAP-15、DAP-30」は0.15MPaまでの加圧が可能な減圧・加圧両用タイプです。

・接ガス部材質PTFE。高真空・耐食タイプ。・耐食性に優れ、有機溶媒ガスを直接吸引できます。高価な冷却トラップは不要です。吸引ガスを回収するためには、排気側に水冷管を取付ける程度で十分です。

・高真空ですから、蒸気圧の低いガスにも十分対応いたします。

・オイルレスながら、高真空を実現したポンプです。高真空が必要でありながらオイルポンプを使用したくない場合、短時間で一定の真空度まで排気したい場合、狭小場所の吸着ガスを吸引したい場合などに適します。

・スタンダード、加圧専用、減圧・加圧両用の各タイプがあります。

・加圧専用タイプは小型のコンプレッサーとしてご利用いただけます。

・消耗部品が少なく長寿命です。・低真空領域で安定した圧力が得られます。

・オイルレスながらオイルポンプなみの高真空が得られます。・排気速度が大きくクリーンな高真空が可能です。・オイルの管理が不要のため、オイルポンプにくらべメンテ費用が低減。エネルギーコストも大幅低減されます。

注）スクロール型の排気速度は設計排気速度を表示しています。

・バックポンプとの組み合わせにより、油回転真空ポンプを超える高真空が得られます。排気速度が非常に早く、高速／高真空が必要な用途に適します。

・他の方式のドライポンプにくらべ大容量（高排気速度）型のポンプです。

・さらに他の方式にくらべ脈動が少なく、高速で吸着をくりかえす用途に適します。

目　次

4

ポンプ選定のしおり

80

60

40

20

0 1×104 2 3Pa

（L／min）

DA-121D

DA-60D

DA-30D

DA-20D

DAT-50D

example 1 50リットルの容器を大気圧から10000Paま

で５分で減圧したい。どのポンプを選べばい

いでしょうか？

example 2 80リットルのタンクを、大気圧から13kPaま

で減圧するのに要する時間は？

ポンプはDA-121Dを使用する。

図の通り、1 0 0 0 0 P aで23L/min以上の排気速度が必要ですから、DA-30D以上のポンプをお選びください。ただし、配管コンダクタンスや漏れ等を考慮して、実際には安全率を見込んでお選びください。

S＝

S ≒ 23 L /min (at 10000Pa)

t 5V 50

P2 10000P1 100000

× 2.303 log

t ＝

t0＝ t1 ＋ t2 ＋ t3　＋ ……

SV

P2P1

× 2.303 logタンク容積（L）

初期圧力（Pa）

最終圧力（Pa）排気時間

（min）

ポンプ排気速度（L/min）

1．排気時間、排気速度の計算式

2．真空により、吸着吸引する場合の計算式

下記の計算式と機種別排気速度曲線により、使用目的によるポンプが選定できます。（排気速度表は44ページ）

100

80

60

40

20

120

140

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10×10kPa

50Hz

圧力Pressure L／min

（L／min）

排気速度

Pumping Speed

DA-121D

真空吸着とは、真空と大気圧との差圧を利用して物体を真空側に吸い付けることです。大気圧は１kg/cm2です。したがって差圧による力は、絶対真空（真空圧力０）の場合は１kg/cm2、真空圧力50662Pa（1/2気圧）の場合は0.5kg/cm2となります。

●真空吸着

●実際の吸着

真空ポンプへ

吸着パッド

真空ポンプへ

吸着用ブロック真空ポンプへ

吸着用ブロック

工作機械テーブル

加工物

刃物

実際に吸着する際は、一般的に吸着パット、吸着ブロックが利用されます。

パイプ

漏れが無い真空状態

大気の圧力

大気圧→90kPa S1=124L/min

S=

t1= 80124

2.303 log

×2.303Log

10132490000

=0.08

90kPa→80kPa S2=123L/min t2= 80123

2.303 log9000080000

=0.10

80kPa→70kPa S3=122L/min t3= 80122

2.303 log8000070000

=0.10

70kPa→60kPa S4=120L/min t4= 80120

2.303 log7000060000

=0.10

60kPa→50kPa S5=116L/min t5= 80116

2.303 log6000050000

=0.15

50kPa→40kPa S6=111L/min t6= 80111

2.303 log5000040000

=0.16

40kPa→30kPa S7=108L/min t7= 80108

2.303 log4000030000

=0.21

30kPa→20kPa S8=96L/min t8= 8096

2.303 log3000020000

=0.50

20kPa→13kPa

t0=t1～＋t2～＋t9＝1.80min

S9=86L/min t9= 8086

2.303 log2000013000

=0.40

vt

P1　初期圧力P2　最終圧力

5

真空吸着の力は、真空ポンプの性能と吸着パットや吸着ブロックの吸着面積により決まります。

●実際の計算式

垂直吊りの場合理論計算値×３

横吊りの場合理論計算値×６

A＝＝＝101,324×Ｗ

（101,324－P）×Ｔ

101,324×0.5

101,324－40,000

0.5kgのワークを垂直吊りする場合、吸着パットの面積は？吸着パットの圧力を40,000Paとする。

垂直吊りなので、0.83×3＝2.69cm2 となります。

0.83（cm2）

Ｗ＝（101,324－P）

101,324×A×Ｔ

Ｗ＝理論の吸着力（kg）Ｐ＝吸着パットの圧力（Pa）Ａ＝吸着パットの面積（cm2）Ｔ＝大気圧による力（1kg/cm2）

吸着パッドの場合の吸着面積Ａの考え方

吸着前はＡ＝πd2/4 実際に吸着するとＡ＝πD2/4

φd φdφD

多孔ブロックの場合の吸着面積Aの考え方

Ａ＝πd2/4×n（n：穴の数）となる

φd

真空ポンプへ

●実際の計算例

●安全率

計算式では次の通りです。

大気圧大気圧大気圧

真空

真空真空

atomospheric pressure

vacuum

vacuum vacuum

atomospheric pressure

真空

大気圧－大気圧＝０＜起動トルク

アンローダーバルブ作動図

大気圧大気圧大気圧

大気圧大気圧

vacuum

atomospheric pressure atomospheric pressure

atomospheric pressure atomospheric pressure

Tips

アンローダーバルブUNLOADER VALVE

アンローダーバルブは、ダイアフラム型ドライ真空ポ

ンプを止めた際、ポンプヘッド内部に大気をすばやく

導入し、ポンプヘッドと外側の差圧をなくす機構です。

6

ローターベーン

シリンダー

吸気口排気口

回転軸中心

ピストン

吸気口排気口

■回転翼型ドライ真空ポンプ

■メカニカルブースターポンプ

■スクロール型ドライ真空ポンプ

① ⑦

⑦は引き込まれて開く。 ⑥が引きつけられて閉じる。

⑦は押されて閉じる。 ⑥が押されて開く。

⑦は完全に開く。 ⑥が閉じたまま。

⑥ ⑤

③ ④ ②

⑦は押されて閉じたまま。 ⑥は押されて完全に開く。

①ポンプヘッド ②ケーシング ③コネクティングロッド ④ダイアフラム ⑤ダイアフラム押え板 ⑥排気弁 ⑦吸気弁

は空気の流れを示す。はコネクティングロッドの次の工程への動きを示す。

工程順序は　　→ 　→　 → 　→

吸気工程中間時吸気工程最終時（下死点）

排気工程最終時（上死点）排気工程中間時

1

1

2

2

3

3

4

4

1

■ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

■揺動ピストン型ドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプ各タイプの動作原理

回転軸中心

ダイアフラム

排気口吸気口

反対方向に回転

するまゆ形ロータ

ーを90°位相を

ずらせて取り付け

ます。ローターは

シリンダーと接触

することなく気体

輸送します。

この形式のポンプは、大気に放出する他の形式のポンプ（例

えば油回転真空ポンプなど）を補助ポンプとして使用し、高真

空側に用います。

構造的に摺動部がなく、高速回転が可能で高排気速度のもの

ができます。

A

C

B

D

ローターシリンダー

7

真空の圧力単位について新計量法による圧力の単位には、ＳＩに係

る計量単位としてPa（パスカル）、N/m2（ニュートン毎方平メートル）およびbar（バール）が用いられるほか、非ＳＩ単位として、生体内の圧力にTorr（トール）が、そして血圧にmmHg（水銀柱ミリメートル）が認められています。

真空圧力の表記には、次の二通りの方法があります。真空業界では、絶対圧力を使用しますが、他の業界ではゲージ圧が多く使われるので、資料やカタログをご覧になるときは、どちらの方法で圧力が表記されているか確認する必要があります。

１. 絶対真空を０（ゼロ）とした絶対圧単位の後にaまたはabsと記す（省略されることが多い）

２. 大気圧を０（ゼロ）としたゲージ圧単位の後にGまたはGaugeと記す（省略されることが多い）

■各圧力単位における大気圧の値

絶対圧表記ゲージ圧表記

単位読み方大気圧真空圧力絶対真空大気圧真空圧力絶対真空範囲範囲

Pa（N/m2）パスカル 101325 ←→ 0 0 ←→ -101325

kPa キロパスカル 101.3 ←→ 0 0 ←→ -101.3

M Pa メガパスカル 0.101 ←→ 0 0 ←→ -0.101

bar バール 1.013 ←→ 0 0 ←→ -1.013

mbar ミリバール 1013 ←→ 0 0 ←→ -1013

Torr トール 760 ←→ 0 0 ←→ -760

mmHg ミリメータ水銀柱 760 ←→ 0 0 ←→ -760

mmH2O ミリメータ水柱

（Aq）（アクア）10342 ←→ 0 0 ←→ -10342

atm 気圧 1 ←→ 0 0 ←→ -1

psi（bf/in2）ポンド平方インチ 14.696 ←→ 0 0 ←→ -14.696

kgf/cm2キログラム

平方センチメートル1.0332 ←→ 0 0 ←→ -1.0332

Pa（N/m2） Torr（mmHg） atm mbar psi（bf/in2） kgf/cm2 mH2O（15°）

1 Pa（N/m2） 1 7.50×10-3 9.87×10-6 10-2 1.45×10-4 1.02×10-5 1.02×10-4

1 Torr（mmHg） 133.32 1 1.316×10-3 1.33 1.93×10-2 1.359×10-3 1.36×10-2

1 atm 1.013×105 760 1 1.013×103 14.696 1.033 10.34

1 mbar 100 0.750 9.87×10-4 1 1.45×10-2 1.02×10-3 10.206×10-3

1 psi（bf/in2） 6.89×103 51.71 6.8×10-2 68.9 1 7.031×10-2 0.703

1 kgf/cm2 9.8×104 735.56 0.968 9.81×102 14.223 1 10

1 mH2O 9.8×103 73.49 9.68×10-2 98.0 1.421 0.1 1

（絶対真空）減圧（真空圧）（大気圧）加圧100 200 300 400 500 600 700

-10×103-20×103-30×103-40×103-50×103-60×103-70×103-80×103-90×103-101325 0

-1.01 -0.9 -0.8 -0.7 -0.6 -0.5 -0.4 -0.3 -0.2 -0.1 0

9.8 19.6-101 -90 -80 -70 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0

0-10×10-3-20×10-3-30×10-3-40×10-3-50×10-3-60×10-3-70×10-3-80×10-3-90×10-3-101×10-3 9.8×10-3 19.6×10-3

1 1.0130.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.90

0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1 1.1 1.20

0.1 0.2-0.9 -0.8 -0.7 -0.6 -0.5 -0.4 -0.3 -0.2 -0.1 0-1

760

kPa G

MPa G

Torr abs

bar abs

Pa abs

kPa abs

bar G

（mmHg abs）

バール

パスカル

キロパスカル

キログラム毎平方センチメートル

キログラム毎平方センチメートル

バール

Pa Gパスカル

キロパスカル

メガパスカル

トール（ミリメータHg）

トール（ミリメータHg）

kg/cm2 abs

kg/cm2 G

10 20 30 40 50 60 70 80 90 1000 101.32

MPa abs メガパスカル0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09 0.10 0.101

0 10×103 20×103 30×103 40×103 50×103 60×103 70×103 80×103 90×103 100×103 101325

-760 -700 -600 -500 -400 -300 -200 -100 0 Torr G（mmHg）

From To

■単位の比較

■単位換算表

8


ダイア

ラム型

ライ真空ポンプ



4-M4タップ4-M3タップ 67

80

4-ゴム脚

樹脂ファンカバー

（94）

中間スイッチ付電源コード（約2m）

コンデンサケース（163）15591

（22）（4）674524 M4ネジ

（EARTH取付）

89.6

55.5

95.6

（100.6）

4

4957CCW

M3タップM4タップ

Unit DAP-6D


実効排気速度

Ultimate pressure Pa 6.65×103

到達圧力

Motor1φ, 100V, 10W, 4P, Condenser run

使用電動機

Full load currentA 0.39/0.43 (50/60Hz)

全負荷電流

Weightkg 1.9

質量

Inlet, outlet pipe diametermm Rc 1/8

吸・排気口径



Overall dimensionsmm 93(W)×163(L)×100.6(H)

最大寸法


サーマルプロテクター内蔵With built-in thermal protector



メンテナンスが容易なため、大量生産される装置の組込用として多くの用途で使われております。１．吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット２．分析機器、理化学機器３．半導体検査装置４．デバイス組立５．自動機、包装機

主な利用分野

１．ポンプを停止した後に再起動する場合ポンプ内を真空のままにしていると再起動が難しくなることがありますが、この場合はポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。（なおアンローダー機構内蔵のタイプはこの必要はありません）

２．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガス等が混入する場合は、それらを取り除く必要があります。詳細は弊社にお問い合わせください。

３．「DA-15S、DA-15D、DA-30S」の長時間の連続運転はポンプ寿命を縮めます。スイッチの切り忘れにご注意ください。

使用上の注意

ダイアフラム型真空ポンプはゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して真空排気を行う真空ポンプです。真空ポンプの基本性能である排気速度、到達圧力では比類のない能力を有しています。・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性・小型、軽量、低価格・すべての機種にサーマルプロテクターを内蔵し、安全面も考慮

・シンプルな構造でメンテナンスも容易

特　　　長


・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。

DAP-6DDAP-12SDA-15SDA-15DDA-30SDA-20DDA-40SDA-30DDA-60S

DA-41D/41DKDA-81S/81SKDA-60DDA-120SDA-121DDA-241SDAT-50DDAT-100SDAL-181DDAL-361S

■スタンダードタイプ Standard type


DAP Series

DAP-6D

スタンダードタイプ

RoHS対応

9


イ

型

イ真空



M4タップ

M4ネジ（ERTH取付）

80

91155（163）

（22）（4）67

4524

4957

（94）

55.5

89.6

4

95.6

（100.6）

67 CCW

4-ゴム脚

中間スイッチ付電源コード（約2m）

4-M3タップ

4-M4タップ

コンデンサケース

樹脂ファンカバー

M3タップ

Unit DAP-12S


実効排気速度


到達圧力

Motor1φ, 100V, 10W, 4P, condenser run

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 1.9

質量

Inlet, outlet pipe diametermm Rc 1/8

吸・排気口径




最大寸法






DAP Series

DAP-12S




IN OUT

ゴム脚

45

115

22

125

182

60 10

56.5902×2－φ4

81

176.5

中間スイッチ付電源コード（約1.8m）

Unit DA-15S


実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 3.1

質量

Inlet, outlet pipe diametermm O.D.φ9×I.D.φ5

吸・排気口径



Overall dimensionsmm 125(W)×176.5(L)×182(H)

最大寸法




DA Series

DA-15S


RoHS対応 RoHS対応

10

寸法図 Dimensions 寸法図 Dimensions

仕様 Specifications 仕様 Specifications

203162

90 56.5

22

ゴム脚 125115

182

60 10

141

76

20.5（65）22.540

（135）


Unit DA-15D


実効排気速度


到達圧力

Motor1φ, 100V, 39/43W, 4P, Condenser run

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 3.9

質量


吸・排気口径




最大寸法



203162

2

90 56.5ゴム脚 125

115

182

141

60 10

762

20.5

（135）

（65） 62.5

45


Unit DA-30S


実効排気速度


到達圧力

Motor1φ, 100V, 39/43W, 4P, Condenser run

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 3.9

質量


吸・排気口径




最大寸法




ダイア

ラム型





DA Series

DA-15D



DA Series

DA-30S


RoHS対応RoHS対応

11

ゴム脚

（178）

（11）

4-M4

186

236

（240）

74118

70

108

（112）

（70）

66.5

（165）

プラグ付電源コ－ド（約1.8ｍ）

２芯変換アダプタ－



Unit DA-20D


実効排気速度




Motor1φ,100V, 60W, 4P,Condenser run

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 7.2

質量

Inlet, Outlet pipe diametermm O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)

吸・排気口径




最大寸法




イ

型

イ真空




DA Series

DA-20D


ゴム脚

（178）

（11）

4-M4

186

236

（240）

74

128

（70）

66.5

（165）

70

108

（112）





Unit DA-40S


実効排気速度





使用電動機


全負荷電流

Weightkg 7.2

質量

Inlet, outlet pipe diametermm O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)

吸・排気口径




最大寸法




DA Series

DA-40S



12

278

95

160 60

ゴム脚4-M4

200136

212

22.5167

160

プラグ付2芯電源コード（約1.8m）

27.5

（25.5）

（194）

（160.5）

224.5

1291

Unit DA-30D


実効排気速度


到達圧力

Motor 1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting使用電動機


全負荷電流

Weightkg 11.0

質量


吸・排気口径




最大寸法





278

95

160 60

(25.5)

200 4-M4ゴム脚

1291

(194)

27.5

212

22.5

136160

224.5

(160.5)

プラグ付2芯電源コード（約1.8m）

Unit DA-60S


実効排気速度


到達圧力

Motor 1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting使用電動機


全負荷電流

Weightkg 11.0

質量

Inlet, outlet pipe diametermm O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc1/4)

吸・排気口径




最大寸法




ダイア

ラム型





DA Series

DA-30D



DA Series

DA-60S



13

217

10.5

192

（16.5）

OUT IN

161157

90133

230ゴム脚 4-M4

320





Unit DA-41D DA-41DK

Actual Pumping Speed L/min. 40/46 (50/60Hz)

実効排気速度


到達圧力


使用電動機

Full load current A 2.5/2.7 (50/60Hz)

全負荷電流

Weightkg 10.3 10.2

質量

Inlet, outlet pipe diametermm O.D.φ9×I.D.φ6 (G1/4)

吸・排気口径



Overall dimensionsmm 157(W)×336.5(L)×217(H) 140(W)×288(L)×202(H)

最大寸法




イ

型

イ真空



DA-41DKはDA-41Dの装置組込型です。

図面はDA-41D

組込型DA-41DK


DA Series

DA-41D/41DK



90

133

181320IN

（16.5）

230

192217

10.5

ゴム脚 4-M4






Unit DA-81S DA-81SK


実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 10.3 10.2

質量


吸・排気口径



Overall dimensionsmm 181(W)×336.5(L)×217(H) 153(W)×288(L)×202(H)

最大寸法DA-81SKはDA-81Sの装置組込型です。

図面はDA-81S

組込型DA-81SK


DA Series

DA-81S/81SK



14

（238）

229

201.5

（9）

（5）（6）347340300

132 108

（81）

90

225

（92）

（96）

110140




サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）／アンローダーバルブ内蔵With built-in thermal protector/Unloader valve

Unit DA-60D


実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 19.0

質量


吸・排気口径




最大寸法



238

229

201.5

（9）

（5）

132 108

300340347 （6）

110140

225

（92）

（96）

（81）（81）90




サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）／アンローダーバルブ内蔵With built-in thermal protector/Unloader valve

Unit DA-120S


実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 19.0

質量


吸・排気口径




最大寸法


ダイア

ラム型





DA Series

DA-60D



DA Series

DA-120S



15



OUT IN

354363

402

411

120

144

180

193.5

13272

285

270

ゴム脚4-M4

4-M5タップ



Unit DA-121D


実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 26.0

質量


吸・排気口径



Overall dimensionsmm 193.5(W)×411(L)×285(H)

最大寸法




イ

型

イ真空




DA Series

DA-121D


Unit DA-241S


実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 26.0

質量


吸・排気口径




最大寸法

354363402411

120

207

144180

13272

285

270

OUTIN

ゴム脚4-M4

4-M5タップ








DA Series

DA-241S



16


ダイア

ラム型




φ132

50130232

75

54

120150

144

4-M5深さ8

4-M5深さ10ゴム脚

305

10

モーターリード線　機外長70mm丸型端子　R1 . 25-5





Unit DAT-50D


実効排気速度


到達圧力

Motor1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 11.0

質量


吸・排気口径




最大寸法

φ132

50130

232

75

54

120150

144

4-M5深さ8

4-M5深さ10ゴム脚

305

10

モーターリード線　機外長70mm丸型端子　R1 . 25-5





Unit DAT-100S


実効排気速度


到達圧力

Motor1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 11.0

質量


吸・排気口径




最大寸法


DAT Series

DAT-50D



DAT Series

DAT-100S


17

Unit DAL-361S

Actual Pumping SpeedL/min.

360/390

実効排気速度 (50/60Hz)


到達圧力

Motor3φ, 200V, 0.5kW, 4P

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 37.0

質量


吸・排気口径




最大寸法

153.5

136

264

26.4

523.6

312.8109

142.4

205.4

388(274)

15

238.5

346364.4

INOUT

ゴム脚4-M5






イ

型

イ真空




DAL Series

DAL-361S


Unit DAL-181D


180/210

実効排気速度 (50/60Hz)


到達圧力

Motor3φ, 200V, 0.5kW, 4P

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 37.0

質量


吸・排気口径




最大寸法

153.5

136

264

26.4

523.6

312.8

109

142.4

205.4

388

(274)

15

238.5

346364.4

INOUT

ゴム脚4-M5






DAL Series

DAL-181D


18

OUT

196

133

4-φ5貫通9150.5

154

52

63.5

75

95

111


Unit DAP-15Actual Pumping Speed

L/min. 15/18 (50/60Hz)実効排気速度


到達圧力

Max. Pressure MPa 0.15

加圧圧力(ゲージ圧)


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 3.6

質量


吸・排気口径




最大寸法






ダイア

ラム型




メンテナンスが容易なため、大量生産される装置の組込用として多くの用途で使われております。１．吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット２．分析機器、理化学機器３．半導体検査装置４．デバイス組立５．自動機、包装機

主な利用分野

１．ポンプを停止した後に再起動する場合ポンプ内を真空のままにしていると再起動が難しくなることがありますが、この場合はポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。

２．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガス等が混入する場合は、それらを取り除く必要があります。詳細は弊社にお問い合わせください。

３．加圧で使用する場合は、0.15MPa以下でご使用ください。

使用上の注意

減圧・加圧両用タイプのダイアフラム型真空ポンプは、吸気口に配管することにより、真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性・小型、軽量、低価格・すべての機種にサーマルプロテクターを内蔵し、安全面も考慮

・シンプルな構造でメンテナンスも容易

特　　　長



DAP-15DAP-30

■減圧・加圧両用タイプ Vacuum and Pressure type


DAP Series

DAP-15

減圧・加圧両用タイプ

RoHS対応

19

108


ゴム脚4-M4

IN

13523

1220

148180

215 110

100

13012

93

Unit DAP-30Actual Pumping Speed



到達圧力




使用電動機


全負荷電流

Weightkg 5.0

質量


吸・排気口径




最大寸法






イ

型

イ真空




DAP Series

DAP-30


１．広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ２．クライオポンプ排気系のバックポンプ３．メカニカルブースターポンプのバックポンプ４．ロードロック室排気５．吸着搬送、ハンドリング６．レーザガス循環・排気用７．真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置

主な利用分野

１．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガス等が混入する場合はそれらを取り除く必要があります。詳細は弊社にお問い合わせください。

使用上の注意

高真空タイプのダイアフラム型真空ポンプは、ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求した真空ポンプです。DAU・MDシリーズでは、複数のポンプヘッドを３段式に配管することにより、通常のダイアフラム式では得られない真空領域を実現しています。・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性・広域型ターボ分子ポンプのバックポンプとしても利用可能・「DAU-100H」は大気、真空を繰り返すハードな間欠運転に最適

・MDシリーズには耐食タイプもあります

特　　　長



DAU-20DAU-100DAU-100H

MD4MD8

DTU-20 MD4CMD8C

■高真空タイプ High Vacuum type

■高真空・耐食タイプHigh Vacuum and Anti-corrosive type

RoHS対応

20


ダイア

ラム型




4-5φ貫通

IN OUT

410437

229

310

291

123.5

127.5

20

170

48

190

プラグ付電源コ－ド（機外長2.2ｍ）２芯変換アダプタ－

Unit DAU-100 DAU-100H


実効排気速度

Ultimate pressurePa 266 1000

到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 24.0

質量

Inlet, outlet pipe diametermm KF-16 (NW-16)

吸・排気口径




最大寸法


アンローダバルブ付With unloader valve




IN

OUT

（84）

49.5 148

（97）

（72）

（72）（217）

7713

13

103

ガスバラストバルブ

10



Unit DAU-20


実効排気速度

Ultimate pressurePa 200

到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 7.5

質量


吸・排気口径




最大寸法






DAU Series

DAU-20

高真空タイプ


DAU Series

DAU-100/100H

高真空タイプ

21


イ

型

イ真空



134

235

188

281

315

63

131

106.5

サイレンサー


IN OUT

ゴム脚4-M6

プラグ付電源コ－ド（機外長2.2ｍ）




Unit MD4


実効排気速度

Ultimate pressure Pa 260到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Inlet pipe diameterKF-16 (NW-16)

吸気管径

Outlet pipeWith silencer

排気管

Weightkg 15.0

質量




最大寸法




MD Series

MD4

高真空タイプ

IN


端子ボックス

ハンドルスイッチ


ゴム脚4-M6

470

300

24150

324

110240

240 230

245



Unit MD8


実効排気速度



使用電動機


全負荷電流

Inlet pipe diameterKF-25 (NW-25)

吸気管径

Outlet pipeWith silencer

排気管

Weightkg 25.0

質量




最大寸法




MD Series

MD8

高真空タイプ

22


ダイア

ラム型




134

241

185

281

315

63

131

106.5

サイレンサー


IN OUT

ゴム脚4-M6





Unit MD4C


実効排気速度



使用電動機


全負荷電流

Inlet pipe diametermm O.D.φ11×I.D.φ6

吸気管径

Outlet pipemm O.D.φ11×I.D.φ6

排気管

Weightkg 16.0

質量




最大寸法




MD Series

MD4C

高真空・耐食タイプ

（84） 7713

IN

OUT49.5 148

（97）

（72）

（72）

（217）

13

103

10




Unit DTU-20


実効排気速度

Ultimate pressurePa 200

到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 7.5

質量


吸・排気口径




最大寸法






DAU Series

DTU-20


23


イ

型

イ真空



端子ボックスハンドルスイッチ

IN

ゴム脚 4-M6

OUT

110

240

150

24300

324

245

487

プラグ付電源コ－ド（機外長2.2ｍ）２芯変換アダプタ－



Unit MD8CActual Pumping Speed

L/min. 80/96 (50/60Hz)実効排気速度Ultimate pressure Pa 260到達圧力Motor

1φ, 100V, 390W, 4P, Condenser run使用電動機Full load current

A 6.8/5.9 (50/60Hz)全負荷電流Inlet pipe diameter

KF-25 (NW-25)吸気管径Outlet pipe

mm O.D.φ11×I.D.φ6排気管Weight

kg 25.0質量Ambient operation temp.range

℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions

mm 240(W)×487(L)×324(H)最大寸法



注）MD-8Cは外国為替及び外国貿易法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当します。日本国外に持ち出す際は日本国政府の輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。


MD Series

MD8C


１．ロータリーエバポレーター２．真空濃縮、真空ろ過、遠心分離３．真空乾燥４．レーザーガス循環５．医療機器／製薬用機器６．特殊ガス充填７．分析機器、理化学機器

主な利用分野

１．吸引する気体に粉体、液体、特殊ガス溶液などが混入する場合、それらを取除く必要があります。ご使用の場合ご相談ください。

使用上の注意

ケミカルタイプのダイアフラム型真空ポンプは、接ガス部にPTFEを使用し、耐食性を高めた真空ポンプです。有機溶媒や腐食性ガスを吸引する用途に最適です。・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性・接ガス部にPTFEを使用。到達圧力は1kPaを実現・耐食性に優れ、有機溶媒や腐食性ガスを吸引する用途にも最適

・組み込み専用のKタイプもあります

特　　　長



DTC-21/21KDTC-41/41KDTC-60DTC-120

■ケミカルタイプ Chemical type

24


ダイア

ラム型




161320(16.5) 155

230

10.5

217

192

90

DIAPHRAGM TYPE DRY VACUUM PUMP

133

OFF ON

ゴム脚4-M4






図面はDTC-41

Unit DTC-41 DTC-41K

Actual Pumping Speed L/min 40/46 (50/60Hz)

実効排気速度

Ultimate pressure

到達圧力Pa 1.0×103

Motor

使用電動機1φ, 100V, 100W, 4P, Condenser run


全負荷電流

Weight

質量kg 10.3 10.2

Inlet, outlet pipe diameter

吸・排気口径mm O.Dφ9×I.Dφ6 (G1/4)

Ambient operation temp.range

使用雰囲気温度℃ 0～40

Overall dimensions

最大寸法mm 155（W）×336.5（L）×217（H） 136（W）×288（L）×202（H）

組込型DTC-41K


DTC Series

DTC-41/41K


DIAPHRAGM TYPE DRY VACUUM PUMP

142272133

186 70118

INOUT

（16.5）

202

10.6

175.1

ゴム脚4-M4



Unit DTC-21 DTC-21K

Actual Pumping Speed L/min 20/24 (50/60Hz)

実効排気速度

Ultimate pressure


Motor


Full load current

全負荷電流A 1.3

Weight

質量kg 7.3 7.2





Overall dimensions

最大寸法mm 142（W）×288.5（L）×202（H） 125（W）×242（L）×184（H）


DTC-21KはDTC-21の装置組込型です。



図面はDTC-21

組込型DTC-21K


DTC Series

DTC-21/21K



25

ダイアフラム／揺動ピストン型ドライポンプ

ダイア

ム／揺動

ス

型

イポ



注）DTC-120は外国為替及び外国貿易法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当します。日本国外に持ち出す際は日本国政府の輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。

203

23

411221 INOUT

122

144180

4-M5

354

360402

279300

287

13

ゴム脚4-M4



Unit DTC-120Actual Pumping Speed実効排気速度

L/min 120/140 (50/60Hz)

Ultimate pressure到達圧力

Pa 1.0×103

Motor使用電動機

1φ, 100V, 400W, 4P, Condenser run

Full load current全負荷電流

A 5.3/6.0 (50/60Hz)

Weight質量

kg 27.5

Inlet, outlet pipe diameter吸・排気口径

mm O.Dφ16×I.Dφ10 (G1/2)



Overall dimensions最大寸法

mm 203(W)×411(L)×300(H)




ゴム脚4-M4

242

185340

INOUT

280300330

14228

224

110150

158



Unit DTC-60

Actual Pumping Speed

実効排気速度L/min 60/70 (50/60Hz)

Ultimate pressure


Motor


Full load current

全負荷電流A 3.6/3.7 (50/60Hz)

Weight

質量kg 18.0





Overall dimensions

最大寸法mm 158（W）×340（L）×242（H）





DTC Series

DTC-60



DTC Series

DTC-120



26


揺動

ス

ン型




OUT IN

126

75

109(18) 8.5

110

41 91

170

4-φ5貫通　

Unit DOP-9D

Actual Pumping SpeedL/min. 9.0/9.8 (50/60Hz)

実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 3.0

質量


吸・排気口径




最大寸法





揺動ピストン型ドライ真空ポンプRocking Piston Type Dry Vacuum Pump

DOP Series

DOP-9D


（排気用）１．真空チャック、真空ピンセット２．自動機等の真空吸着搬送３．真空包装、印刷機械４．吸引器５．チップマウンター

（加圧用）１．自動機の加圧源２．空圧機器、印刷機械３．耳鼻科・歯科用機器４．空気圧計測器５．酸素濃縮装置

主な利用分野

１．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。また加圧で使用する場合は、最大加圧能力以上にならないよう注意してください。

２．「DOP-80SP、DTP-90S」は加圧圧力の仕様値以下でご使用ください。

３．「DOP-50S4、DOP-100ST、DOP-50DT」は使用圧力に制限があります。到達圧力～30kPaの範囲でご使用ください。

使用上の注意

揺動ピストン型真空ポンプは、ピストンリングに特殊樹脂を使用し、シリンダー内でピストンが往復運動することによって真空排気する真空ポンプです。・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性・加圧専用タイプ、減圧・加圧両用タイプもあります・大気圧に近い圧力帯での用途でも使用可能・シンプルな構造でメンテナスも容易

特　　　長



DOP-9DDOP-40DDOP-80SDOP-200SDOP-50S4DOP-100TDOP-100STDOP-50DT

DOP-50FDOP-300SDOP-150TDTP-45DDTP-90DDTP-180SDTP-180SQ

DOP-80SP


■加圧専用タイプ Pressure type

DTP-90S■減圧・加圧両用タイプ Vacuum and Pressure type

27

OUT

89104132

1694

162.5

7

4-M5タップ

IN179

66.5

1.5

（27）（27） 192（246）

1515

(25.5) 219

（270）

(25.5)

Unit DOP-80S


実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 7.0

質量


吸・排気口径




最大寸法






揺動

ス

型

イ真空ポ



OUT

89104132

1694

162.5

7

4-M5タップ

IN

179

66.5

1.5

（27）（27） 192（246）

1515

(25.5) 219

（270）

(25.5)

Unit DOP-40D


実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 7.0

質量


吸・排気口径




最大寸法






DOP Series

DOP-40D



DOP Series

DOP-80S



28


揺動

ス

ン型




（218）ゴム脚位置

ゴム脚 4-M6

（434）

（379）

（352）

（231）

サイレンサー

19

136.85

120

136.85

（160）

（315）

（155）

19IN

310





Unit DOP-200S


実効排気速度


到達圧力

Motor3φ, 200V, 280W, 4P

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 20.0

質量

Inlet pipe diametermm O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)

吸気口径




最大寸法

ポンプヘッド組み合わせ

大排気量タイプ

IN OUT


DOP-Quattro Series

DOP-200S


OUT

89

26　104

132

1694

164.5

85

7

4-M5タップ

IN

181

66.5

1.5

（27）（27） 210（264）

1515

(25.5) 237

（288）

(25.5)

Unit DOP-80SPActual Pumping Speed


Ultimate pressurePa 加圧専用　Only for pressure

到達圧力

Max. PressureMPa 0.5

加圧圧力（ゲージ圧）

Motor1φ, 100V, 300W, 4P Condenser run

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 9.0

質量


吸・排気口径




最大寸法






DOP Series

DOP-80SP

加圧専用タイプ

RoHS対応

29


揺動

ス

型

イ真空ポ



19

19

（434）

（352）

（379）


120

136.85

136.85

（315）

（160）

（155）

310

サイレンサー

IN

ゴム脚 4-M6





Unit DOP-100T


実効排気速度


到達圧力

Motor3φ, 200V, 280W, 4P

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 20.0

質量


吸気口径




最大寸法

136.85

136.85

120

（155）

（155）

（310）

（352）


（240）

1919 サイレンサー

IN

ININ

IN

ゴム脚 4-M6





Unit DOP-50S4


実効排気速度


到達圧力

Motor3φ, 200V, 280W, 4P

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 20.0

質量


吸気口径




最大寸法

注）実効排気速度は大気圧時の値を記載していますが、「DOP-50S4」は、使用圧力に到達圧力～30kPaの範囲制限があります。ご注意ください。


50L/min４機タイプ

IN OUT

IN OUT

IN OUT

IN OUT


３段式高真空タイプ

IN OUT


DOP-Quattro Series

DOP-50S4



DOP-Quattro Series

DOP-100T


30


揺動

ス

ン型




19

19

（231）

136.85

120

（310）

136.85

（379）

サイレンサー

IN

IN


（352）ゴム脚 4-M6





Unit DOP-50DT


実効排気速度


到達圧力

Motor3φ, 200V, 280W, 4P

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 20.0

質量


吸気口径




最大寸法

注）実効排気速度は大気圧時の値を記載していますが、「DOP-50DT」は、使用圧力に到達圧力～30kPaの範囲制限があります。ご注意ください。


DOP-Quattro Series

DOP-50DT



50L/minツインタイプ

IN OUT

IN OUT

（320）

310

（160）

120 136.85

136.85

（160）

（434）


（231）

1919

1919

サイレンサー

IN

IN

（352）

（379）ゴム脚 4-M6





Unit DOP-100ST


実効排気速度


到達圧力

Motor3φ, 200V, 280W, 4P

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 20.0

質量


吸気口径




最大寸法

注）実効排気速度は大気圧時の値を記載していますが、「DOP-100ST」は、使用圧力に到達圧力～30kPaの範囲制限があります。ご注意ください。


100L/minツインタイプ

IN OUT IN OUT


DOP-Quattro Series

DOP-100ST


31


揺動

ス

型

イ真空ポ



136.85

136.85

120

（315）

310

（155）

（160）

19

（443）（231）

サイレンサー

IN


（361）

（388）ゴム脚 4-M6





Unit DOP-300S


実効排気速度


到達圧力

Motor3φ, 200V, 400W, 4P

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 20.0

質量


吸気口径




最大寸法

310

（315） 120 136.85

136.85

（160）

（155）

（434）（231）

19

19

サイレンサー

IN


（352）

（379）ゴム脚 4-M6





Unit DOP-50F


実効排気速度


到達圧力

Motor3φ, 200V, 280W, 4P

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 20.0

質量


吸気口径




最大寸法


DOP-Quattro Series

DOP-50F



DOP-Quattro Series

DOP-300S



４段式高真空タイプ

IN OUT


大排気量タイプ

IN OUT

32


揺動

ス

ン型




13289

171

（146）

66（80）

4-M6タップ

（200）

161

（294）

250238204

電源コ－ド

OUTIN

（機外長200mm）

Unit DTP-45D


実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 7.5

質量


吸・排気口径




最大寸法






DTP Series

DTP-45D

スタンダードタイプ310

（315）

（160）

（155）

136.85

136.85

120

（443）（231）

19

サイレンサー

IN


（361）

（388）ゴム脚 4-M6





Unit DOP-150T


実効排気速度


到達圧力

Motor3φ, 200V, 400W, 4P

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 20.0

質量


吸気口径




最大寸法


DOP-Quattro Series

DOP-150T



３段式高真空タイプ

IN OUT

33


揺動

ス

型

イ真空ポ



(146)

13289

171

66

(271)

4-M6タップ

(216)

161

250238204

電源コ－ド（機外長200mm）

INOUT

(80)

Unit DTP-90SActual Pumping Speed



到達圧力




使用電動機


全負荷電流

Weightkg 7.5

質量


吸・排気口径




最大寸法





328

2664-M6 タップ　216

37170

215 235

136.5115

電源コード（機外長200mm）

OUTIN

Unit DTP-90D


実効排気速度


到達圧力


使用電動機


全負荷電流

Weightkg 10.0

質量


吸・排気口径




最大寸法






DTP Series

DTP-90S



DTP Series

DTP-90D


34

揺動ピストン／

揺動

ス

ン／

揺動ピストン／

揺動ピストン／回転翼型ドライ真空ポンプ

回転翼型




回回回回

１．チップマウンター２．印刷機械３．各種包装機械４．電子部品実装装置５．製本機械６．各種産業機械などの吸着源に最適。

主な利用分野

１．構造上排気中に多少摩耗したカーボン粉が含まれることがありますのでご注意ください。

２．加圧でのご使用は避けてください。３．温度の高い気体の排気には不適当です。

使用上の注意

回転翼型真空ポンプは、シリンダー内で回転するローターの溝に挟み込まれた特殊カーボンの翼板が、シリンダー内をしゅう動回転することにより真空排気するタイプの真空ポンプです。・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性・低真空領域で大排気量を維持・シンプルな構造でメンテナンスが容易

特　　　長

回転翼型ドライ真空ポンプSliding Vane Type Dry Vacuum Pump


DSB-151DSB-251DSB-451DSB-601


電源コード（機外長200mm）

IN OUT

4-M6タップ 136.5115

170

37

215 235

297

216

266

Unit DTP-180S DTP-180SQ


実効排気速度


到達圧力

Motor 1φ, 100V, 375W, 4P 3φ, 200V, 375W, 4P

使用電動機 Condenser run Condenser run

Full load currentA 3.7/3.8 (50/60Hz) 2.0/1.7 (50/60Hz)

全負荷電流

Weightkg 10.0

質量


吸・排気口径



Overall dimensionsmm 170(W)×297(L)×235(H) 136.5(W)×297(L)×235(H)

最大寸法


サーマルプロテクター内蔵（DTP-180Sのみ）With built-in thermal protector



図面はDTP-180S


DTP Series

DTP-180S/180SQ


35

Unit DSB-451 DSB-601


実効排気速度

Ultimate pressure Pa 12.0×103到達圧力

Motor3φ, 200V, 900W 3φ, 200V, 1,250W

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 31.0 38.0

質量


吸・排気口径



Overall dimensionsmm 241(W)×495(L)×280(H) 241(W)×545(L)×280(H)

最大寸法

NJA

H G I

KB

FE

C

D

R 14

DSB-251

A B C D E F G H I J K NDSB-151 413 229 230 198 125 157 202 100 φ9 303 75 G1/2DSB-251 435 229 230 198 125 157 202 100 φ9 319 75 G1/2

NJA

H G I

KB

FE

C

D

R 14

A B C D E F G H I J K NDSB-451 495 241 280 222 125 157 202 109 φ9 344 80 G3/4DSB-601 545 241 280 222 208 240 220 154 φ9 383 80 G3/4

Unit DSB-151 DSB-251

Actual Pumping SpeedL/min. 180/200 (50/60Hz) 250/310 (50/60Hz)

実効排気速度

Ultimate pressure Pa 15.0×103到達圧力

Motor3φ, 200V, 370W 3φ, 200V, 550W

使用電動機


全負荷電流

Weightkg 22.0 26.0

質量


吸・排気口径



Overall dimensionsmm 229(W)×413(L)×230(H) 229(W)×435(L)×230(H)

最大寸法

430/530 (50/60Hz) 600/700 (50/60Hz)

DSB-451

DSB-601

DSB-151



回転翼型ドライポンプ

転翼型

イポ




DSB Series

DSB-151/251



DSB Series

DSB-451/601


36


スク

ル型




固定用ボルト穴M6用穴径7

308

始動スイッチ内蔵時間計140

112ガスバラスト吸気口

154

180

12391

225

副銘板

IN

OUT

設計排気速度表示Actual pumping speed


ガスバラスト機構付With gas ballast



Unit DIS-090Actual Pumping Speed L/min. 90/108 (50/60Hz)設計排気速度Ultimate pressure Pa 5.0到達圧力Motor 1φ, 100/115/200/230V, 150W, 4P使用電動機Full load current A 2.6/1.3/1.6(100/200/230V)全負荷電流 2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230V)Weight kg 14.0質量Inlet, outlet pipe diameter

吸気口　KF25 排気口　KF16吸・排気口径Ambient operation temp.range ℃ 5～40使用雰囲気温度範囲Max.water vapor torelance g/hr ≦0.2（G.V.開時,室温25℃,湿度60％以下）水蒸気吸引の許容値Noise (at a distance of 1m) dB ≦52（G.V.開時,≦57）騒音レベルOverall dimensions mm 214(W)×308(L)×225(H)最大寸法

50Hz60Hz

スクロール型ドライ真空ポンプScroll Dry Vacuum Pump

DIS Series

DIS-090


１．理化学分析機器２．ドライ排気系のバックポンプ、真空排気装置３．Heリークディテクター４．真空含浸装置、真空脱泡装置５．真空乾燥装置、真空熱処理炉６．レーザー応用機械、光学機械７．医療機械８．真空吸着搬送装置、電子部品ハンドリング、ウエハー移送その他

主な利用分野

１．爆発性ガス、引火性ガス、毒性ガス、腐食性ガス、有機溶媒ガスの吸引はポンプの性能を損う場合があります。お問い合わせください。

２．粉体、生成物の吸引はポンプを損傷する場合があります。トラップ等をご使用ください。

使用上の注意

スクロール型真空ポンプは、固定された渦巻き型の壁（固定スクロール）に対面した、もう一方の渦巻き型の壁（従動スクロール）が偏芯運動することにより真空排気するタイプの真空ポンプです。・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性・オイルを使用していない単体の真空ポンプとしては最高レベルの到達圧力

・油回転真空ポンプよりも駆動効率が良く、少ない消費電力で運転

・豊富なラインナップで、さまざまな用途をカバー

特　　　長



DIS-090DIS-250

DIS-500■スタンダードタイプ Standard type

DVS-321 DVS-631■静音タイプ Low noise type

DVT-300■縦型タイプ Vertical type

DISL-100 DISL-500■ローコストタイプ Low cost type

RoHS対応

37

IN

ガスバラスト吸気口

ゴム板

4-φ11

時間計

252

122

336

38

40136

180

400

96

52

101130170

OUT


サーマルプロテクター内蔵（1φモータのみ）With built-in thermal protector

ガスバラスト機構付 With gas ballast



260

290

29 36

288 4-Ｍ10

373

397


372

99 46

時間計

31042240

328

42

IN OUT



ガスバラスト機構付 With gas ballast



Unit DIS-250Actual Pumping Speed L/min. 250/300 (50/60Hz)設計排気速度Ultimate pressure Pa 1.6到達圧力Motor 1φ, 100/115/200/230V, 3φ, 200/208/230/380/415/460V, 使用電動機 400W, 4P 400W, 4P

4.8/2.6/2.4 1.6/0.9/1.0Full load current 50Hz

A (100/200/230V) (200/380/415V)全負荷電流　　　　　 60Hz 4.8/4.3/2.8/2.4 1.9/1.9/1.8/1.0

(100/115/200/230V) (200/208/230/460V)Weight kg 25.0 23.0質量Inlet, outlet pipe diameter 吸気口　KF25 排気口　KF16吸・排気口径Ambient operation temp.range ℃ 5～40使用雰囲気温度範囲Max.water vapor torelance g/hr ≦1（G.V.開時,室温25℃,湿度60％以下）水蒸気吸引の許容値Noise (at a distance of 1m) dB ≦58（G.V.開時,≦66）騒音レベルOverall dimensions

mm 252(W)×400(L)×336(H) 252(W)×370(L)×336(H)最大寸法


ル型

真空



図面はDIS-250、1φモータ図面はDIS-500、3φモータ

Unit DIS-500Actual Pumping Speed L/min. 500/600 (50/60Hz)設計排気速度Ultimate pressure Pa 1.0到達圧力Motor 1φ, 100/115/200/230V, 3φ, 200/208/230/380/415/460V, 使用電動機 600W, 4P 600W, 4P

8.5/4.3/3.9 2.7/1.57/1.63Full load current 50Hz

A (100/200/230V) (200/380/415V)全負荷電流　　　　　 60Hz 10.0/8.6/4.8/4.0 2.8/2.6/2.5/1.47

(100/115/200/230V) (200/208/230/460V)Weight kg 44.0 38.0質量Inlet, outlet pipe diameter 吸気口　KF40 排気口　KF25吸・排気口径Ambient operation temp.range ℃ 5～40使用雰囲気温度範囲Max.water vapor torelance g/hr ≦1（G.V.開時,室温25℃,湿度60％以下）水蒸気吸引の許容値Noise (at a distance of 1m) dB ≦62（G.V.開時,≦70） ≦60（G.V.開時,≦68）騒音レベルOverall dimensions

mm 290(W)×443(L)×397(H) 290(W)×372(L)×397(H)最大寸法

※使用電動機は2機種より選択 ※使用電動機は2機種より選択


DIS Series

DIS-250



DIS Series

DIS-500



38


スク

ル型




防振ゴム

IN

OUT

（220）

（259）

（300）

（15）

（157）（241）（354）

（15）

（35）

（230）

（260）

（398）



Unit DVS-321Pumping Speed設計排気速度 L/min. 265/320 (50/60Hz)

Ultimate pressure到達圧力 Pa 1.5（別売オリフィス D1.0取付時≦3.0）

Motor 1φ100/115/200/230V, 400W, 4P使用電動機Full load current 5.3/2.9/3.0(100/200/230V)全負荷電流 A 4.6/4.1/2.5/2.3(100/115/200/230V)Weight質量 kg 35.0

Inlet, Outlet pipe diameter吸・排気口径吸気口　KF25 排気口　KF16

Ambient operation temp.range使用雰囲気温度範囲 ℃ 5～35

Max.water vapor torelance水蒸気吸引の許容値 g/hr ≦2（別売オリフィス D1.0取付時 23）

Noise (at a distance of 1m)騒音レベル dB ≦60/65 (50/60Hz)

Overall dimensions最大寸法 mm 300(W)×398(L)×354(H)




50Hz60Hz


DVS Series

DVS-321

静音タイプ

OUT注油栓（1カ所）

IN

120

22.5°

15°

125 132257

インバータ用端子箱

油面計

排油栓

2-φ21貫通

PCφ228

4-φ10穴（等ピッチ）

（取付も可能です）

227

232

509

151

3737

182

D3

Unit DVT-300Pumping Speed設計排気速度 L/min. 300

Ultimate pressure到達圧力 Pa 6.7

Motor 1φ, 100V インバータ付 3φ/1φ, 200V インバータ付使用電動機 0.4kW, 4P 0.4kW, 4PFull load current全負荷電流 A 8.8 4.4 (1φ) 2.5 (3φ)

Weight質量 kg 26.0

Inlet pipe diameter吸気口径 KF25

Outlet pipe diameter排気口径 KF25

Ambient operation temp.range使用雰囲気範囲 ℃ 5～40

Noise (at a distance of 1m)騒音レベル dB ≦58

Bearing oil軸受潤滑油 L 0.4 (SO-H)

Overall dimensions最大寸法 mm 257(W)×273(L)×509(H)

※使用電動機は2機種より選択






DVT Series

DVT-300

縦型タイプ


ル型

真空



350

90

15

111177237

154


220140

126

4-φ9

OUT IN




Unit DISL-100


設計排気速度

Ultimate pressurePa 50.0

到達圧力

Motor

使用電動機1φ, 100/115/200/230V, 300W, 4P

Full load currentA

2.8/1.4/1.6(100/200/230V)

全負荷電流 3.0/2.7/1.5/1.4(100/115/200/230V)

Weightkg 15.0

質量

Inlet, Outlet pipe diameter

吸・排気口径吸気口　KF25 排気口　KF16



Max. water vapor torelanceg/hr ≦4 (G.V. 開時)

水蒸気吸引の許容値


最大寸法




OUT

IN

300

291

280

124

175

280

330

412

124

101

73

82

326

184

367

2848

※使用電動機は2機種より選択


ガスバラスト機構付　With gas ballast

図面はDVS-631、3φ 200V




Unit DVS-631Actual Pumping Speed L/min. 525/630 (50/60Hz)設計排気速度Ultimate pressure Pa 1.0（別売オリフィス D1.5取付時 ≦2.5）到達圧力Motor 1φ, 100/115/200/230V 3φ, 200/220/230V使用電動機 600W, 4P 600W, 4P

8.6/4.4/4.0 2.8/2.7Full load current 50Hz

A (100/200/230V) (200/220V)全負荷電流　　　　　 60Hz 7.8/6.7/4.0/3.5 2.7/2.5/2.5

(100/115/200/230V) (200/220/230V)Weight kg 50.0 44.0質量Inlet, outlet pipe diameter 吸気口　KF40 排気口　KF25吸・排気口径Ambient operation temp.range ℃ 5～35使用雰囲気温度範囲Max.water vapor torelance g/hr ≦2 (別売オリフィス D1.5取付時 23)水蒸気吸引の許容値Noise (at a distance of 1m)

dB ≦60 ≦58/60 (50/60Hz)騒音レベルOverall dimensions

mm 338(W)×491(D)×367(H) 326(W)×412(D)×367(H) 最大寸法

50Hz

60Hz


DVS Series

DVS-631

静音タイプ


DISL Series

DISL-100

ローコストタイプ

39

RoHS対応

40

スクロール型／メカニカルブースターポンプ

スク

ル型／メカニカルブ

スタ

ポンプ



１．分析機器２．真空乾燥器、凍結真空乾燥装置３．Heリークテスト、CO2ガスレーザー４．真空脱泡、真空熱処理５．液晶注入

主な利用分野

１．構造上わずかな隙間でローターが回転するのでゴミやチリが入らないよう配管の清掃、洗浄をしてから接続してください。

２．バックポンプが必要です。本シリーズの他、バックポンプをご用意ください。

推奨バックポンプ仕様最高到達圧力：１Pa以下排気速度：MBS-030 100～135L/min以上

MBS-050 160～200L/min以上

使用上の注意

ケーシング内にある２個のまゆ型ローターが反対方向に同期回転することにより真空排気するタイプの真空ポンプです。バックポンプとの組み合わせで、高速排気、高真空排気が可能になります。・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性・他に類を見ない超小型・当社の油回転真空ポンプとの組み合わせで、高速排気、高真空排気が可能

特　　　長

メカニカルブースターポンプMechanical Booster Pump


MBS-030MBS-050


IN

12

210270 （48）

（27）

202

107

361

335

（26）

（31）

40 （40）396

503

固定キャスター自在キャスター

時間計

476318

アジャスター

OUT

（Rc1/8）




Unit DISL-500

Actual Pumping SpeedL/min. 430/520(50/60Hz)

設計排気速度

Ultimate pressurePa 10.0

到達圧力

Motor 3φ, 200/380/415V, 900W, 2P

使用電動機 3φ, 200/208/230/460V, 1100W, 2P

Full load currentA

3.6/1.9/1.8 (200/380/415V)

全負荷電流 4.2/4.1/3.9/1.95 (200/208/230/460V)

Weightkg 52.0

質量

Inlet pipe diameterKF25

吸・排気管



Max. water vapor torelanceg/hr ≦10 (G.V. 開時)

水蒸気吸引の許容値


最大寸法



50Hz

60Hz

50Hz

60Hz


DISL Series

DISL-500

ローコストタイプ

RoHS対応

41

Unit MBS-030Actual Pumping Speed m3/h 30/36 (50/60Hz)実効排気速度 L/min 500/600 (50/60Hz)Ultimate pressure

Pa 4.0×10-2到達圧力Motor

1φ, 100V/200V, 300W, 2P, Condenser starting使用電動機Full load current 100V A 6.5/6.0 (50/60Hz)全負荷電流 200V 3.3/3.0 (50/60Hz)Oil capacity

mL 250油量Recommended oil

SMR-100使用油Weight

kg 14.0質量Inlet pipe diameter

mm 25 (VG-25)吸気口径Outlet pipe diameter

mm 25 (VF-25)排気口径Operation pressure

Pa 4.0×103駆動圧力Backing pump

GLD-136A, GLD-136C, GCD-136XバックポンプAmbient operation temp.range

℃ 7～40使用雰囲気温度Overall dimensions

mm 172(W)×488(L)×145(H)最大寸法


サーマルプロテクター内蔵（100Vのみ）With built-in thermal protector

排油栓

注油栓

OUT

IN

1728674 74

φ90

160140 4-φ7

4-M8

φ70

φ70

137

50

69105 149 234

488

4-M8

7130

71142

145

86




サーマルプロテクター内蔵（100Vのみ）With built-in thermal protector

排油栓

注油栓

OUT

IN

1758683.5 83.5

φ105

180140 4-φ7

4-M8

φ85

φ85

147

50

87125 159 232

518

4-M8

8030

80

160

89

Unit MBS-050Actual Pumping Speed m3/h 50/60 (50/60Hz)実効排気速度 L/min 833/1000 (50/60Hz)Ultimate pressure

Pa 4.0×10-2到達圧力Motor

1φ, 100V/200V, 300W, 2P, Condenser starting使用電動機Full load current 100V A 6.5/6.0 (50/60Hz)全負荷電流 200V 3.3/3.0 (50/60Hz)Oil capacity

mL 320油量Recommended oil

SMR-100使用油Weight

kg 16.0質量Inlet pipe diameter

mm 40 (VG-40)吸気口径Outlet pipe diameter

mm 40 (VF-40)排気口径Operation pressure

Pa 4.0×103駆動圧力Backing pump

GLD-201A, GLD-201B, GCD-201XバックポンプAmbient operation temp.range

℃ 7～40使用雰囲気温度Overall dimensions

mm 175(W)×518(L)×160(H)最大寸法




メカニカル

スタ

ポ




MBS Series

MBS-030



MBS Series

MBS-050


42

ドライ真空ポンプ用オプション部品&その他

ネジ径外径内径長さ角材質 DA-20DDA-40S

DA-60DDA-120S

DA-15SDA-15DDA-30SDA-30DDA-60S

DAT-50DDAT-100S

DAU-20DTU-20

DAL-181DDAL-361S

DOP-9DDOP-40DDOP-80SDOP-80SP

DOP-200SDOP-50S4DOP-100T

DOP-100STDOP-50DTDOP-50F

DOP-300SDOP-150T

DAU-100DAU-100H

M8×P1M8×P1M8×P1M8×P1

6.5 3.0 9.09.09.07.0

18.5

18.511.5

23.524.5

27.530.037.0

30.0

3.03.03.5

5.05.05.0

5.0

8.08.09.0

6.010.0

10.0

12.0

12.0

6.56.56.0

9.09.09.0

9.0

12.0

11.014.0

14.0

16.0

16.0

16.0

10.0

10101014

14141414

14172121

Cr メッキ

Cr メッキ

Cr メッキ

Cr メッキCr メッキCr メッキ

SUS

Ni メッキ

Cr メッキ

PPGPPGPPG

PP

PTFEPTFE

BSBM

BSBMBSBM

BSBM

NW-16

R 1/4R 1/4R 1/4R 1/4R 1/4G 3/8G 3/8G 3/8

G 3/8G 1/2

78.015.021.0 23R 1/2

G 1/48.012.0 Ni メッキG 1/46.09.0 Ni メッキG 1/4

G 1/2

6.09.0 PTFEG 3/8

R 1/2

5.09.0R 1/8

6.010.0R 1/8

備考標準に使用特型仕様

DAP-15DAP-30

DAP-6DDAP-12S

DA-121DDA-241S

DTC-21DTC-21KDTC-41

DTC-41K

DA-41DDA-41DK

DA-81SDA-81SK DTC-120DTC-60

■ドライ真空ポンプ別ホースニップル対応表Dry Vacuum Pump Hose Nipple Correspondence Table

変換アダプター Rc1/4 × R1/2 ホースニップル変更にご利用ください。その他機種はお問合わせください。Rc1/4 × R3/8 ホースニップル変更にご利用ください。

3-PT3/8

φ79

φ96

50

2-M6深さ15

OUTLET

INTLET

24

18

233

真空ピンセットVacuum tweezers

真空ピンセットは、クリーンで精密な時計・貴金属・眼鏡・光学部品等の吸着用として幅広い分野で利用されています。ペンタッチの要領で品物に傷や汚れをつけることなく、完全に吸着・手放しができます。

集塵用捕集ビンDust catcher

吸着、吸引の用途で真空ポンプをご使用の場合、様々な粉塵を吸いこみます。それら粉塵をポンプの前段で捕集しポンプを保護するための部品です。

●適用機種DA-30D、DA-60S、DAT-50D、DAT-100S、DA-60D、DA-120S、DA-121D、DA-241S、DOP-40D、DOP-80S、DSB-151、DSB-251、DSB-451、DSB-601、DTP-45D、DTP-90S、DTP-90D、DTP-180S、DTP-180SQ（注）排気速度150L/min以上のポンプに付属した場合は

排気速度が低下いたします。

ブルドン管真空計Bourdon's tube pressure

真空ピンセット

①ADT型

■各種ダイアフラム対応表 Diaphragms

（注） ●印：標準　　▲印：オプション

DA-15S DA-30D DA-41D DA20D DA-121D DTC-21/21KDA-60S DA-41DK DAP-6D (耐熱 NBR) DA-60D DAU-20 DA-241S DTC-41/41K DAP-15DA-15D

DAT-50D DA-81S DAP-12S DA-40S DA-120S DTU-20DAU-100

DAL-181D DTC-60 DAP-30DA-30S DAT-100S DA-81SK (耐熱 NBR) DAL-361S DTC-120

NBR ● ● ● ● ▲

FPM ▲ ▲ ▲ ▲ ▲

テフロンシート▲ ▲ ● ▲ ▲ ● ● ▲張り

CR ●

EPDM ● ● ●

ドライ真空ポンプ付属部品（オプション）

目盛は絶対圧力をしめすMPa単位目盛で表示されています。目盛の数字がそのまま真空度として使用できます。取付方向に合わせて、①ADTと②AT型の2機種からお選びください。

□14

0

0.02 0.08

0.060.04VACUUM GAUGE

MPa

0.1

R1/4

12 18.5

47

φ57

R1/4

□14

φ52.4

φ57

12 1834

②AT型

取付ネジ径R1/4

43

真空ポンプ用吸排気フィルター

特　　長仕　　様

①各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィルターです。②真空側、排気側いずれにも設置可能です。③本製品は、ステンレス製の本体にイオン交換樹脂繊維を素材としたフィルターです。④排ガス中のパウダーのみではなく酸性ガス・オイルミストを効率よく捕捉することが出来ます。⑤本機をご使用頂くことで、排気系の保守作業が軽減されることに加え、操業性の向上、除外設備への負荷が低減されます。⑥取付けには、別途KF-クランプ、レジューサー、センターリング等が必要になります（別途、お問い合わせください）。

型　式 SGT-100 SGT-200

ろ過方式アウト・イン・パス方式

適用機種実効排気速度500L/min以下

使用圧力範囲 0.1MPa

使用雰囲気温度 7～40℃

使用雰囲気湿度 85％（結露なきこと）

吸気接続口径 KF-25 KF-40

排気接続口径 KF-25 KF-40

SGT-100

SGT-200

真空配管用部品

品　　名規　　格フランジサイズSCK-1016 KF16

①クランプ SCK-1025 KF25SCK-1040 KF40SCK-2016 KF16

②センターリング SCK-2025 KF25SCK-2040 KF40SCK-4016 KF16

③ブランクフランジ SCK-4025 KF25SCK-4040 KF40SCK-2512 KF25

④ノズルSCK-2518 KF25SCK-5016 KF16

⑤ニップル SCK-5025 KF25SCK-5040 KF40SCK-6016 KF16

⑥エルボ SCK-6025 KF25SCK-6040 KF40SCK-7016 KF16

⑦テイ SCK-7025 KF25SCK-7040 KF40

⑧クロスSCK-8016 KF16SCK-8025 KF25SCK-3016 KF16

⑨KFフランジ SCK-3025 KF25SCK-3040 KF40

⑩変換フランジSCK-9025 KF16/25SCK-9040 KF25/40

品　　名規　　格フランジサイズSCO-1025 KF25SCO-1040 KF40

⑪ゲージポートSCO-2025 KF25SCO-2040 KF40

⑫リークポートSCO-3016 KF16SCO-3025 KF25SCA-1614F KF16/メスSCA-1638F KF16/メスSCA-1612F KF16/メスSCA-2514F KF25/メスSCA-2538F KF25/メスSCA-2512F KF25/メス

⑬VCRアダプタSCA-1614M KF16/オスSCA-1638M KF16/オスSCA-1612M KF16/オスSCA-2514M KF25/オスSCA-2538M KF25/オスSCA-2512M KF25/オスSTK-016-250 KF16/250mmSTK-016-500 KF16/500mmSTK-016-1000 KF16/1000mmSTK-025-250 KF25/250mm

⑭フレキシブルSTK-025-500 KF25/500mm

チューブSTK-025-1000 KF25/1000mmSTK-040-250 KF40/250mmSTK-040-500 KF40/500mmSTK-040-1000 KF40/1000mm

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪

⑫

⑬

⑭

Accessories for Dry Vacuum Pumps & Others

ドライ真空ポンプ付属部品（オプション）

44

150

100

50

0 1 2 3 4 5 6 97 8 10

50Hz

L／minNL／min

（L／min）（NL／min）

DA-120S

DAT-100S

（×10kPa）圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

DA-121D

機種別排気速度曲線一覧表 Pumping Speed Curves

80

100

60

40

20

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10（×10kPa）

50Hz

L／minNL／min


DA-60D

DAT-50D

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

DA-60S

DAL-361S

40

80

120

160

200

240

280

320

360

400

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1010kPa

50Hz

DAL-181D

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

DA-241S

L min

NL min

L minNL min

40

30

20

10

0 1 0 0.5 1.0 1.5 2.02 3 4 5 6 97 8 10

50Hz

（×10-1MPa）

（NL／min）

DAP-30

DAP-15

（×10kPa）

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

Booster Speed

60

40

20

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10（×10kPa）

50Hz

L／minNL／min


DA-30D

DA-20D

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

DA-40S

DA-30S

15

10

5

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

50Hz

L／minNL／min


DA-15DDA-15S

DAP-12S

DAP-6D

（×10kPa）圧力

Pressure

排気速度

Pumping Speed

資料データ集




45

90

80

70

60

50

40

30

20

10

0 1 102 23 3 4 54 5 6 7 8 9 10

50Hz（NL／min）

DOP-80S

DOP-80SP

DOP-40D

DOP-9D

（×10kPa）（×10-1Mpa）圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

DOP-50DTDOP-50S4

DTP-90D

DTP-45D

DTP-90S

L／min ：排気速度NL／min：標準状態における流量

資料データ集

DAU-100

DAU-20DTU-20

120

110

100

90

80

70

60

50

40

30

20

10

L minNL min

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

（×10kPa）

L/min

NL/min

50Hz

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

102

102

10-1

10

1

10

103

1102 103 104 105

圧力Pressure

MD8C

MD4C

MD8

MD4

（m3／h）（L／min）

排気速度

Pumping Speed

（Pa）

50Hz

10

50

40

30

20

0100 1 2 3 4 5 6 7 8 9

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

L min

NL min

10kPa

L minNL min

50Hz

DTC-41DTC-41K

DTC-21DTC-21K

350

300

250

200

150

100

50

00 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

50Hz（NL／min）

DOP-300S

DOP-150T

DOP-200S

（×10kPa）圧力

Pressure

排気速度

Pumping Speed

DTP-180SDTP-180SQ

20

40

60

80

100

120

0100 1 2 3 4 5 6 7 8 9

DTC-120

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

DTC-60

10kPa

50HzL min

NL min

L minNL min


高真空タイプ



46

1

10

100

1000

1 102 103 104 105

圧力Pressure

10

（Pa）

（L／min） 50Hz

排気速度

Pumping Speed

DIS-500

DIS-250

DIS-090

10

1

100

1000

DISL-100

DISL-500

50Hz

103 1051041021011

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

（Pa）

（L/min）

資料データ集

1

10

100

1000

1 10 102 103 104 105

50／60Hz（L／min）

DVT-300

（Pa）圧力

Pressure

排気速度

Pumping Speed

1000

100

10

110－1 1 10 102 103 104 105

（Pa）

（L／min） 50Hz

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

DVS-631

DVS-321

102

10

103

103

104

102

10

10-2 10-1 1 10 102 103 104

1

MBS-050

MBS-030

（m3／h）（L／min）

50Hz

（Pa）圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

DSB-601

DSB-451

DSB-251

DSB-151

100

200

300

500

600

700

400

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10（×10kPa）

50Hz

60Hz

（L／min）

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

排気速度曲線不記載の機種は、ご要求ください。

機種別排気速度曲線一覧表 Pumping Speed Curves L／min ：排気速度NL／min：標準状態における流量




静音タイプローコストタイプ

縦型タイプ


47

特約店一覧

“ULVAC”とは“Ultimate in Vacuum（究極の真空）”を意味するULVACグループの真空応用製品のブランド名です。ULVACグループは、真空応用技術の極限に挑戦する世界に類をみない先端技術企業群からなり、そのグループ企業は国内外合わせて30社以上。アルバック機工は、そのグループの中でも特異な存在を誇り、利用分野の広い小型真空ポンプを一手に担う中核企業の一つです。

「真空の極限」を追求する先端技術企業群ULVAC（アルバック）とアルバック機工

北海道地区

㈱タナカ �011-731-0291

東北地区

東北化学薬品㈱（本社：青森県） �0172-33-8131

信越地区

アルバックイーエス㈱（松本支店） �0263-51-0888

㈱アヅマテクノス（本社：新潟県） �025-247-8386

北陸地区

㈱勝木太郎助商店（本社：石川県） �0761-22-6288

関東地区

三益半導体工業㈱（本社：群馬県） �027-372-2021

アルバックイーエス㈱（本社：東京都） �03-5218-6011

稲畑産業㈱（本社：東京都） �03-3639-6556

高千穂精機㈱（本社：東京都） �03-3204-0611

東海地区

遠藤科学㈱（本社：静岡県） �054-283-6222

三弘アルバック㈱（本社：愛知県） �052-702-6811

九州地区

アルバック九州㈱（本社：福岡県） �092-473-7191

海　外

POONGIL COMMERCIAL Co., Ltd. (KOREA) �02-765-1477Kurt J. Lesker Company (AMERICA) � (1) 412-233-4200Kurt J. Lesker Company (AMERICA) �(1) 925-449-0104Kurt J. Lesker Canada Inc. (CANADA) � (1) 905-770-8450Kurt J. Lesker Co., Ltd. (U.K.) � (44) 1424-719101Kurt J. Lesker Company (HUNGARY) � (36) 1 383-5322Kurt J. Lesker Co., Ltd. (GERMANY) � (49) 6126 988 728Alwest-vacuum Ltd. (RUSSIA) � (495) 309-27-38

近畿地区

㈱京都タカオシン（本社：京都府） �075-751-7755

三ツワ理化学工業㈱（本社：大阪府） �06-6351-9631

中国地区

㈲友田大洋堂（本社：島根県） �0852-24-3456

㈱大熊（本社：岡山県） �0862-93-2171

四国地区

㈱大一器械（本社：徳島県） �0886-56-8122

増田薬品㈱（本社：香川県） �0878-51-0631

はじめ科学㈱（本社：愛媛県） �0899-22-2151

Ultimate in VacuumULVAC is an international organization made up of morethan 30 member companies with its primaryheadquarters and manufacturing operations based inJapan. The name “ULVAC” is derived from the words“ULtimate in VACuum”.ULVAC KIKO, as a division of ULVAC, manufacturesand markets a wide range of small vacuum pumps thatare utilized throughout many industries.

ULVACグループ株式会社アルバック株式会社アルバック・コーポレートセンターアルバックテクノ株式会社アルバック九州株式会社アルバック東北株式会社アルバック精機株式会社アルバックマテリアル株式会社日本リライアンス株式会社アルバック成膜株式会社アルバック理工株式会社アルバック機工株式会社アルバック・ファイ株式会社アルバック・クライオ株式会社株式会社昭和真空タイゴールド株式会社アルバックエルダー株式会社日真制御株式会社真空セラミックス株式会社株式会社RAS株式会社イニシアムアルバックイーエス株式会社三弘アルバック株式会社ULVAC Technologies, Inc. （米国）Litrex Corporation（米国）ULVAC TECHNOLOGIES LLC/CANADA（カナダ）ULVAC G.m.b.H.（ドイツ）OOO ULVAC（ロシア）ULVAC(SHANGHAI) CO., LTD.（中国）ULVAC NINGBO Co., Ltd.（中国）ULVAC (SUZHOU) Co., Ltd.（中国）ULVAC-TTI (Shanghai) Technology Corporation（中国）ULVAC Orient (CHENGDU) Co., Ltd.（中国）ULVAC Vacuum Furnace (Shenyang) Co., Ltd.（中国）ULVAC Tianma Electric (Jing Jiang) Co., Ltd.（中国）Hong Kong ULVAC Co., Ltd. （中国）ULVAC TAIWAN INC.（台湾）Ultra Clean Precision Technologies Corp.（台湾）ULVAC System Control, TAIWAN, Ltd.（台湾）ULVAC KOREA, Ltd. （韓国）Pure Surface Technology, Ltd. （韓国）ULVAC CRYOGENICS KOREA INCORPORATED（韓国）ULVAC SINGAPORE PTE LTD（シンガポール/マレーシア）ULVAC (THAILAND) LTD.（タイ）

●共業グループ

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