243Vakuum in Forschung und Praxis 17 (2005) Nr. 5© 2005 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim

VIP Magazin

Aber nicht nur Silizium undSchichten aus seinen Verbindun-gen wurden zugänglich, sondernauch weitere anorganische Schich-ten basierend auf Titan, Wolframund anderen bis hin zum Dia-mant. Diese werden z.B. als Schutz-schichten gegen Korrosion, Ab-rieb, Verkratzen oder als Barrieregenutzt. Für diese Anwendungenhat sich vor allem hierzulandeeine mittelständische Industrie imAnlagenbau und in der Lohnbe-schichtung etablieren können.

Mit dem Trend von den Mi-krosystemen hin zur Nanotech-nologie wird die Plasmatechnikihre Bedeutung nochmals aus-bauen können, insbesondere weilnun die Anforderung hohe Ab-scheideraten zu erzielen in denHintergrund gerät, und die Funk-tionen der Schichten, die weit-gehend unabhängig von derSchichtdicke sind im Vorder-grund stehen.

Parallel zu diesen Entwicklun-gen in der Oberflächentechnikhaben sich die Produktion undder Einsatz von Kunststoffen ra-sant entwickelt. Im vergangenenJahr wurden weltweit 224 Mio.Tonnen für die Verwendung inden Bereichen Bau, Verpackung,Automobil, Elektrotechnik u. a.produziert. Das Anwendungs-spektrum dieser Werkstoffe lässtsich erheblich erweitern, wennes gelingt die Oberflächeneigen-schaften der Materialien gezielt

einzustellen. Hierzu sind Be-schichtungen mit Schichtdickendeutlich unterhalb von 100 Nano-metern hinreichend. Dies ist dieDomäne der Plasmatechnologie.Dementsprechend wurden aufdem jüngsten Symposium fürPlasmachemie (August 05 in To-ronto) die meisten Beiträge demThema Kunststofffunktionalisie-rung gewidmet, und stellt aucheinen Schwerpunkt der Arbeitenam Fraunhofer-Institut für Grenz-flächen- und Bioverfahrenstech-nik IGB dar. Eigenschaften, diesich auf diese Weise mit Plasma-technik gezielt einstellen lassensind vor allem die Benetzbarkeit(hydrophil bis hydrophob), dasHaftverhalten in Werkstoffverbün-den und die Wechselwirkung mitbiologischen Systemen (z. B. Bio-kompatibilität).

Neuere plasmatechnische Ent-wicklungen, die an unserem In-stitut in diesem Bereich zu-sammen mit den anwendendenFirmen entwickelt werden, sindbeispielsweise:• Die deutliche Verbesserung der

Haftung von Kupfer auf Poly-imid für flexible Leiterplattenmittels Nanoschichten.

• Die Ausrüstung von Membra-nen zur Blutreinigung mitendotoxinbindenen Funktio-nen. Hierzu wird ein in-lineProzess basierend auf einemNiederdruckplasma etabliert.(Endotoxine sind entzündungs-

auslösende Stoffe bakteriellenUrsprungs)

• Die Erzeugung von struktu-rierten Oberflächen zur Be-einflussung des Wachstumsvon humanen Zellen für Test-systeme und Therapie.Der Siegeszug der Plasma-

technik, von der Mikroelektronikbis zur Medizintechnik, wirdauch weiterhin zur Entwicklungvieler neuartiger Produkte bei-tragen und ist nur dadurch er-möglicht worden, dass Kollegenaus unterschiedlichen Gebietenwie der Physik, der Entladungs-physik, der Vakuumtechnik, derChemie und Biologie über ihrenTellerrand hinausschauen undkooperieren. Lassen Sie sich zumAustausch und zur Kooperationanregen! In diesem Sinne findetdas nächste Treffen des Arbeits-kreises Plasma am 7. u. 8. No-vember am Fraunhofer IGB inStuttgart statt. Zeitschriften wiedie VIP unterstützen durch Bei-träge aus den verschiedenen Ge-bieten die Entwicklung hin zuKooperation und Interdisziplina-rität.

In diesem Sinne wünsche ich Ihnenviel Vergnügen beim Lesen der vor-liegenden Ausgabe.

Christian Oehrwww.igb.fraunhofer.de

Sehr geehrte VIP-Leserinnenund VIP-Leser,

seit Beginn der sechzigerJahre des vergangenenJahrhunderts wird diePlasmatechnik genutzt umdünne Schichten abzu-scheiden. In der Bearbeitungdes chemisch schlecht zu-gänglichen Siliziums undseiner Verbindungen erwiessich die Plasmastechnik sehrschnell als die überlegeneTechnologie. Es konnten nundünne Silizium, Siliziumoxidoder -nitridschichten abge-schieden werden, die sichdarüber hinaus mit denPlasmaprozessen auch struk-turieren ließen. Damit warein Werkzeug geschaffen mit dem die Mikroelektronikmit der Vielzahl ihrer Pro-dukte erst möglich wurde.

Dr. Christian Oehr, Abteilungsleiter Grenzflächenverfahrenstechnik,Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- und Bioverfahrenstechnik

Pankreaszellen (grüne Punkte)wachsen entlang plasma-erzeugter Oberflächenstrukturen(Wabenmuster).