(19) 민 특허청(KR)

(12) 등 특허공보(B1)

(45) 공고 2008 06월24

(11) 등 10-0841123(24) 등 2008 06월18

(51) Int. Cl.

G01T 1/20 (2006.01)(21) 원 10-2003-0062160

(22) 원 2003 09월05

심사청 2006 06월29

(65) 공개 10-2004-0022395

(43) 공개 2004 03월12

(30) 우 주

10241423.8 2002 09월06 독 (DE)

(56) 사 헌

KR1020020026433 A

(뒷 에 계 )

(73) 특허

지 악티엔게 샤 트

독 헨 80333 비 허 라쯔 2

(72)

,마틴

독 91056에어랑엔 쯔 그 트라 10

,마틴

독 10557 린 트 그마 트라 5

클 비쯔, 트 트

독 91056에어랑엔라 샤 그6아

(74) 리

남상

체 청 : 17 심사 : 상

(54) 산란 지 리 여 Ｘ- 사 또는 감마 검 에 공 는

(57) 약

본 산란 지 그리드 또는 리 포 는 산란 지 리

여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 에 것 , 상 x- 사 또는 감마 검 는 매트릭

검 엘리 트들 갖고, 상 검 엘리 트들 x- 사 /또는 감마 사 에 감지 검

역들(16a)과 비감지 간 역들(16b) 갖는 검 다. 상 에 는, 1 단계에 ,

산란 지 그리드 또는 리 본 (6) 에 는 , 상 검 (7)

감지 검 역들(16a) 심 간 간격과 동 거나 또는 그 심 간 간격 어도 1

갖는 간 벽들(6a), 과 들(5) 상 통 여 다. 산란 지 그리드 또는 리

, 상 간 벽들(6a) x- 사 /또는 감마 사 강 게 는 질(14)

다. 후 여, 산란 지 그리드 또는 리 는, 어도 상 1 에 여 직 뻗 간

벽들(6a) 또는 상 간 벽들(6a) (14)가 검 비감지 간 역들(16b) 에 도 상

검 에 공 어 상 검 에 결 다. 본 에 , 결 늬 간 생 지 않는 산

란 지 그리드 또는 리 갖는 검 가 간단 게 다.

도 - 도6

- 1 -

등록특허 10-0841123

(56) 사 헌

US4951305 B1

US6175615 B1

US5481883 A

US5123734 A

- 2 -

등록특허 10-0841123

특허청

청 1

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 ,

상 산란 지 리 는 산란 지 그리드 또는 리 포 고,

상 x- 사 또는 감마 검 는 매트릭 검 엘리 트들(16) 갖고, 상 검 엘리

트들(16) x- 사 감마 사 , 또는 x- 사 또는 감마 사 에 감지 검 역들(16a) 비감

지 간 역들(16b) 갖는 검 고,

상 ,

1 단계에 , 산란 지 그리드 또는 리 여 본 (6) 에 고,

상 검 감지 검 역들(16a) 심 간 간격과 동 거나 또는 그 심 간 간격 어도

1 갖는 상 산란 지 그리드 또는 리 간 벽들(6a), 과 들(5) 상 본

(6) 통 여 ,

2 단계에 , 상 산란 지 그리드 또는 리 여 상 간 벽들(6a) x- 사 감

마 사 , 또는 x- 사 또는 감마 사 강 게 는 질(14) 고,

3 단계에 , 어도 상 1 에 여 직 뻗 간 벽들(6a) 또는 상 간 벽들

(14)가 상 검 비감지 간 역들(16b) 에 도 상 산란 지 그리드 또는 리 가

상 검 에 공 어 상 검 에 결 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 2

1 에 어 ,

리 그래 사 는 것 특징 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 3

1 또는 2 에 어 ,

룰러 산란 지 그리드 또는 리 여 상 본 (6) 가 상 검 엘

리 트들(16) 매트릭 에 도 택 고, 경우에 x- 사 감마 사 , 또는 x- 사

또는 감마 사 과시키는 과 들(5) 는 상 감지 검 역들(16a) 에 는 것

특징 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 4

1 또는 2 에 어 ,

상 본 (6) x- 사 감마 사 , 또는 x- 사 또는 감마 사 과시키는 질

고, 상 과 들 내 에 상 간 벽들(6a) 들만 상 질(14) 는 것

특징 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 5

1 또는 2 에 어 ,

상 본 (6) x- 사 감마 사 , 또는 x- 사 또는 감마 사 과시키는 질

고, 상 질(14) 갖는 가 상 간 벽들(6a) 단 들 거 는 것 특징

- 3 -

등록특허 10-0841123

는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 6

1 또는 2 에 어 ,

상 는 링 질 에 어도 나에 루어지는 것 특징 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 7

1 또는 2 에 어 ,

상 과 (5) 질(14) 갖는 상 리 역 검 엘리 트(16) 엘리

트(17) 에 도 상 산란 지 그리드 또는 리 가 상 검 에 공 어 상 검

에 결 는 것 특징 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 8

1 또는 2 에 어 ,

상 산란 지 그리드 또는 리 는 상 검 에 는 것 특징 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 9

8 에 어 ,

상 상 검 병 브 역들에 는 것 특징 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 10

9 에 어 ,

상 산란 지 그리드 또는 리 는 신 공 에 상 브 역들에 는 그 트들

어 개별 공 는 것 특징 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 11

1 또는 2 에 어 ,

상 산란 지 그리드 또는 리 는 립- 에 상 검 에 공 는 것 특징

는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 12

11 에 어 ,

상 산란 지 그리드 또는 리 는 상 본 (6) 지지 는 에 상 검 에

공 는 것 특징 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 13

- 4 -

등록특허 10-0841123

8 에 어 ,

, 액 상 검 또는 상 산란 지 그리드 또는 리 에 뿌 지는 것 특징

는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 14

8 에 어 ,

열 가 상 검 또는 상 산란 지 그리드 또는 리 에 공 고, 상

열 는 상 산란 지 그리드 또는 리 가 상 검 에 공 후에 열원에

간단 게 는 것 특징 는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 15

1 또는 2 에 어 ,

상 본 (6) 포커싱 산란 지 그리드 또는 리 여 는 것 특징

는,

산란 지 리 여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 .

청 16

매트릭 검 엘리 트, (14) 갖는 간 벽들(6a)과 과 들(5) 비

산란 지 그리드 포 고,

1 또는 2 에 재 에 라 공 는,

x- 사 검 .

청 17

매트릭 검 엘리 트, (14) 갖는 간 벽들(6a)과 과 들(5) 비

리 포 고,

1 또는 2 에 재 에 라 공 는,

감마 검 .

상

는 그 야 래

본 산란 지 그리드 또는 리 포 는 산란 지 리 <12>

여 x- 사 또는 감마 검 에 공 는 에 것 , 상 x- 사 또는 감마 검 는 매트릭

검 엘리 트들 갖고, 상 검 엘리 트들 x- 사 /또는 감마 사 에 감지

검 역들과 비감지 간 역들 갖는 검 다. 또 , 본 상 에

어 x- 사 감마 검 에 공 는 산란 지 그리드 또는 리 갖는 상 x- 사 감마 검

에 것 다.

재, 사 사진 에 는 x- 사 미지 질 사 다. 특 x- 사 진단<13>

취 지는 같 러 미지들에 는, 사 상 거 태 사 는 x-

사 에 고, x- 사 에 감쇠 포가 x- 사 에 라볼 상 에 2 원

- 5 -

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다. 또 상 에 감쇠 x- 사 에 라 별 포 컨 컴퓨 x- 사 단 시

에 다. x- 사 과 가 검 에, 고체-상태 검 가 x- 사 검 많

사 고 , 러 고체-상태 검 는 신 들 도체 들 루어

진 매트릭 갖는다. x- 사 미지 각각 는 태 x- 사 상 에

는 검 상 지 직 상에 상 에 x- 사 감쇠에 상 상 것

다. 태 x- 사 상 직 상에 직 x- 사 검 가격 는 x- 사

빔(primary beam) 언 다.

그러나, x- 사 는 x- 사 없는 상 상 에 산란 고, 결과<14>

검 는 빔 에도 빔 리는 산란빔 신 다. 진단 미지 경우 상

특 들에 라 x- 사 검 체 신 답 90% 또는 그 상 지 는 러 산란빔

가 고 그에 라 미 들에 식별 감 도 다. 러 산란 사

근본 단 산란 사 양 특 가 미지 에 도 다는

사실에 다.

검 가격 는 산란 사 감 시키 여, 산란 지 그리드가 그러므 상 과 검<15>

사 에 다. 산란 지 그리드는 x- 사 는 규 루어지 , 상

사 에는 사 감쇠 어 과 도 과 또는 과 슬릿 다.

포커싱 산란 지 그리드 경우에, 러 과 또는 과 슬릿 태 x- 사 거

리, 포커 거리에 라 x- 사 브 포커 직 다. 포커싱 지 않 산란

지 그리드 경우에, 과 또는 과 슬릿 산란 지 그리드 체 역에 걸쳐 산란 지 그리드

에 여 직 다. 그러나, 는 미지 에지에 사 실

는 , 그 는 사 는 사 상당 많 상 지 들에 산란 지 그리드

역 가격 다.

고 질 얻 , 매우 엄격 사 x- 사 산란 지 그리드에 과 다. 편 산란빔 가<16>

능 양 게 어야 고, 에 다 편 가능 가 비 사 산란 지 그리

드 통과 여 감쇠 지 않고 과 어야 다. 과 또는 과 슬릿 께 또는 직경에 산란 지

그리드 큰 비 , 비에 여, 검 가격 는 산란빔 감 도 는

것 가능 다. 그러나, 과 또는 과 슬릿 사 에 엘리 트 또는 벽 엘리 트

께는 사 미지 동 다. 특 고체-상태 검 가 사 ,

그리드 비동질 , 신 상 역 편 x- 사 미지에 그리드 사

에 미지 동 다.

산란 지 그리드에 미지 동 , 동안 그리드 동시키는 것<17>

공지 어 다. 그러나, 들 1-3 ms 매우 짧 시간 경우에, 그리드 동 도가 빠

지 않다 미지에 늬가 생 다. 매우 시간 경우라도, 동안에 그리드 동

동 늬가 생 다.

x- 사 미지 경우, 매트릭 는 다 검 엘리 트에 고체-상태 검<18>

가 근에 많 사 다. 경우, 검 엘리 트들 사각 격 또는 직사각 격 다.

러 고체-상태 검 경우에도, 검 엘리 트들에 검 상 산란빔 가격 는

것 과 억 사 가 다. 가 여, 검 검 엘리 트에

규 , 과 산란 지 그리드 사 에 상 간 험 재 다.

간 결 늬 상 생 다. 상 간 결 늬 상 특 경우에 다운 트림 미지 리

에 실 게 거나 거 다. 그러나, 는 검 상 그들 사 미지가

뀌지 않 만 가능 다.

에 , 특 감마 라 들 앵거 라 사 동 가 생 다. 또 x- 사 진<19>

단 경우 같 , 상 사 여 가능 가 산란 감마 양 들 검 에

도달 도 보 가 다. x- 사 진단 과 , 감마 양 에 사 는 진단

경우에 상 내 에 여 다. 경우, 특별 안 신진 사 약 에게

약 , 에 특 식 상 약 집 다. 신체 상 게 는 양 검

, 상 얻어진다. 시간에 동 에 능에 결

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내릴 도 다. 신체 내 미지 얻 , 미지 사 는 리 가 감마

검 앞쪽에 가 다. 능 에 , 러 리 는 x- 사 진단 산

란 지 그리드에 당 다. 리 우 지시 감마 양 만 리 통과

, 리 에 비 듬 사 는 양 들 리 벽에 다. 감마 양 들 x- 사 양 비

여 큰 에 지 갖 에, 리 는 x- 사 산란 지 그리드보다 루어질

가 다.

컨 , 미지에 특 에 지 갖는 양 만 고 , 미지 동안에 산란 양 가 택 지<20>

않 다. 그러나, 각각 검 는 산란 양 는 1 ms 감마 라 시간 , 상

시간 동안에는 어 가 트도 지 않는다. 라 , 산란 양 가 후에 1 양

가 도달 다 , 상 1 양 는 없 미지 실 다. 산란 양 가 1 양 -

특 계값 내에 - 시 동시에 생 라도, 사 결과가 생 다. 평가 가 상

개 트 별 없 에, 에 지가 검 것 고 트는 지 않 것 다. 상

상 매우 산란빔 억 가 진단 에 어 얼마나 개 양 는지

다. 결과 , 공 는 동 게 여 는 경우 개 질 얻어지 , 또는 동

질 경우 게 여 고, 그럼 에 빔 감 미지

시간 짧아질 게 다.

또 미래에는, 매트릭 다 검 엘리 트에 는 고체-상태 검 에 감마<21>

미지 많 사 것 다. 경우, 검 엘리 트는 사각 격 또는 직사각

격 다. , 러 고체-상태 검 경우에, 검 엘리 트에 검 상

산란빔 가격 는 것 가능 감 시키 억 들 사 가 다.

가 여, 검 검 엘리 트에 규 , 과 리

사 에 상 간 험 재 다.

감마 라 리 는 계 리드 러 러에 다. 비 특 매트릭<22>

검 엘리 트 갖는 고체-상태 라 사 , 컨 드뮴-아연 루라 드 검

경우에는 러 리 비 에 동 얼리어싱 과가 생 다는 단

갖지만, 상 결 비 비 에 결 다.

G. A. Kastis 등 "A Small-Animal Gamma-Ray Imager Using a CdZnTe Pixel Array and a High<23>

Resolution Parallel Hole Collimator"에 감마 사 룰러 리 는 개시 어

다. 경우에, 리 는 에 는, 여 루어진 들 겹쳐진

들 다. 그러나, 리 그래 에 다 단계들 , 러 매우

복 고 비 많 든다.

고 태 산란 지 그리드 께 매트릭 검 엘리 트 갖는 x- 사 검 가<24>

동 는 동안에 결 늬 들 지 는 결 US 6,021,173 A에 개시 어 다. 상

공보에 는, 산란 지 그리드가 검 에 x- 사 검 에 직 공 다. 산란 지 그리드

엘리 트는 x- 사 미지에 가 게 가능 크 (extent)보다 간격

격 도 계 다. 라 , 규 엘리 트는 매우 공간 주

어 x- 사 검 능 상 다. 산란 지 그리드 내 엘리 트 간격

게 택 없 에, 식 는 공간 능 갖는 검 사 는 것 다.

그러나, 는 공간 주 에 검 양 (DQE) 원 지 않게 감 도 다.

사 공개 독 특허 원 DE 101 51 568에는 x- 사 검 에 산란 지 그리드 공 는 개시 어<25>

는 , 산란 지 그리드 역 x- 사 검 비감지 간 역에 도 산란 지 그리드

본 에 검 상에 직 다. 그러나, 러 에 는 산란 지

그리드 x- 사 검 에 상 험 재 다.

루고 는 과

상 래 에 여, 본 산란 지 그리드 또는 리 여 x- 사 또는 감<26>

마 검 에 공 는 는 것 , 본 에 에 검 양 가지

결 늬 없는 미지 가능 게 는, 산란 지 그리드 또는 리 가 그 에 는

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x- 사 검 또는 감마 검 는 것 가능 다. 여 , 상 x- 사 또는 감마 검 는 매

트릭 검 엘리 트 갖는다.

본 청 1 에 개시 에 달 다. 청 16 과 17 상 에<27>

라 공 산란 지 그리드 또는 리 갖는 x- 사 감마 검 재 고 다. 상

사 에 재 어 , 과 시 실시 들 얻 다.

본 에 어 , 1 단계에 , 산란 지 그리드 또는 리 본 ,<28>

람직 게는 리 그래 에 는 , 검 감지 검 역들 심 간 간격과 동

거나 또는 그 심 간 간격 어도 1 갖는 산란 지 그리드 또는 리 간

벽들, 과 들 상 본 통 여 다. 2 단계에 , 산란 지 그리드 또는 리

, 간 벽들 x- 사 /또는 감마 사 강 게 는 질 다. 3

단계에 , 러 식 본 , 산란 지 그리드 또는 리 는 검 에 공

고, 어도 상 1 에 여 직 뻗 간 벽들 또는 상 간벽들 가 검

비감지 간 역들 에 도 상 검 에 결 다. 감지 또는 비감지 검 간

역들 개별 검 엘리 트가 는 역에 당 다. 가 여, 검 엘리 트는

체 에 어 사 감지 지는 않 에, 러 비감지 간 역들 개별 검 엘리 트들

에지 역에 생 다.

본 에 경우, 산란 지 그리드 또는 리 본 , 어도 간 벽<29>

들 또는 과 개 내 간 벽상에 가 검 상에 간 역들 에 간 벽들

연 도 다. 만약 매우 간 역 간 벽들 께

없다 , 상 간 벽들 어도 간 역들 에 검 과 역 내에

다. 다 연 는 간 벽들도 람직 게는 신들 또는 신들 가 검 비감

지 간 역 상에 도 다. 크 에 어 , 간 벽들 간격들 검 감지 검

역들 심 간 간격 값 다. 그러나, 간 벽들 심 간 간격 람직

게는 상 직 에 어 감지 검 역들 는 심 간 간격에 상 다.

본 사 , 매우 매우 게 <30>

다. 에 , 3D CAD 계 여 는 본 가 CAD 시 에 체 변

다. 어 , 3D 체 컴퓨 에 단 들 다. 단 들 께가 100 ㎛

갖는다. 상 가 시 에 후에, 본래 상 계 별 다.

런 경우에 본 사 , 특 사 동 에 계 는

사 다. 특 , 사 경우에 매우 는 공 다.

본 람직 실시 에 는, 본 리 그래 사 다. 상<31>

에 는, 컴퓨 - 어 UV 빔 본 에 3D 체 개별 들에 각각

액체 폴리 지상에 다. 지는 지 들 또는 역들에 동 에

경 다. 그런 다 , 시 랫폼 강 고, 새 운 얇 폴리 지가 공 다.

상 단계들 복 , 본 는 상 연

다. 본 실시 에 , 본 마 크 리 그래 사

는 것도 가능 다.

상 도 에 미 공개 헌과 비 , 산란 지 그리드 또는 리 여<32>

검 상에 직 공 는 것 본 에 단 고 보다 경 다.

4개 간 벽들 또는 상 간 벽들 에 나 또는 에 검 들 사 경

계 라 과 는 식 산란 지 그리드 또는 리 가 고 안 공

에, 상 산란 지 그리드 또는 리 사 는 약량 감 다. x- 사 또는 감마

사 에 비감지 역들에 상 에 , 간 벽들 또는 상 간 벽들 에 공

는 빔 거 감쇠시키지 않거나 또는 감쇠시키지 않도 다. 상 간 역들에 산

란 지 그리드 또는 리 안 공 가 검 에 간

시킨다.

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실 , 검 들 1보다 상 가진다. 는 특 a-Si 검 <33>

다. 늄 검 경우에 는, 는 특 검 역들 또는 들에

1 아니다. 결과 , 양 사 역들에 감 다. 만약 사

산란빔 는 에 들 사 에 만 감쇠 , 것 상 들 경

우보다 양 달 는 보다 다. , 사 결 늬 간

가능 다. 라 , 산란 지 그리드 또는 리 본 에 는 사 보다 과

사 가능 게 는 , 그 는 산란 지 그리드 또는 리 없는 1 가 미지 신

에 공헌도가 감 도 는 검 역에 주 생 다.

본 에 람직 실시 에 , 간 벽들 단 들에는 가 없거나, 또는 공 <34>

가 상 단 들 거 다. 여 , 상 단 들 검 는 간 벽들 ,

검 지 않 들, 과 내 에 지 않 들 다. 가 공 , 상 단

들에는 들어 당 마 크들에 상 가 공 지 않 다. 그러나 람직 게는,

체 본 에 들 공 고, 당 또는 계 에 후에 거 다. 또

, x 사 /또는 감마 사 실질 통과시키는 재료가 본 재료 는 경우, 상

에 산란 지 그리드 또는 리 빔 과가 상당 가 는 , 그 는

사 감쇠 없 또는 약간 감쇠만 통과 여 미지 에 여 는 것 간 벽들 내

들 사 재료 역들에 도 가능 다. 본 리 그래

, 상 개 는 당 폴리 택 어 움 없 다. 공 는 것

경우에 다양 공지 들, 들어 상 , 링 또는 질 리에 다.

상 공 가지 가능 는 상 에 후 질 시

는 얇 공 여 링 사 는 것 다.

본 에 가 개 에 , 산란 지 그리드 또는 리 는, 각각 경우에 과<35>

내 리 역 검 엘리 트 엘리 트 에 도 검 에 공

고 상 검 에 결 다. 다 드 또는 TFT 같 런 엘리 트들 감지

지 못 므 , 사 검 에 여 지 못 다. 결과 , 상 역에 사 감쇠는 상

엘리 트 에 리 역들 는 에 큰 끼 지 못 다.

검 산란 지 그리드 또는 리 공 다양 사 다. <36>

가지 , 신틸 에 공 는 보 상 또는 검 상 마커 또는 라 검

아래에 본 마킹 는 것 다. 만약 다 ,

는 사 다. 마킹 미경에 어 다. 후

여, 산란 지 그리드 또는 리 는 들어 에 검 에 결 다. 경우, 상

에 본 가 브 역에 게 후 상 브 역 우

도 단계 다. 그 후, 본 상 사 는 사 사

/또는 미경 어 에 가시 지지 통 브 역들에 가 고, 브 역

별 가 다. 런 경우, 산란 지 그리드 또는 리 는 공 에 들어

빔에 단에 보다 그 트 다. 것 게 는 , 그

는 각각 단계에 역들만 공 만 다. 그러나, 산란 지 그리드

또는 리 단 생 단 갭들 그것들 미지에 어 동 산 도 도 지 않

도 아야 다.

검 에 산란 지 그리드 또는 리 공 는 다 가능 는 도체 에 공지 립 <37>

사 는 것 다. 상 신, 산란 지 그리드 또는 리 는 신 검 에 공 다.

그리드 또는 그 트가 계 안 에, 산란 지 그리드 또는 리 또는 그

트들 안 계 사 는 것 람직 다. 는 들어 본 거티브

(negative) 다. 상 거티브는 트 톱니 양 슬릿들에

다. 톱니 양 슬릿들 신, 본 과 개 에 삽 는 다 가능 갖는

트 계 는 것도 가능 다.

검 에 여 게 산란 지 그리드 또는 리 시키 또 다 가능 는 x-<38>

사 또는 감마 사 재 에 상 는 것 다. 경우, 검 신 가

에 는 언 나 에 산란 지 그리드 또는 리 가 란 사실 다.

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여, 산란 지 그리드 또는 리 는 검 비 그 트에 가

다. 그 후, 가 그 트들 계 여 다.

다양 들 본 에 사 다. 라 , 들 액 검 , 또는 산란 지 그<39>

리드나 리 상 고 역에 들 상 결 에 뿌 질 다. 다 가능 는 검

/또는 산란 지 그리드 또는 리 에 에 공 는 드러운 열 사

는 것 다. 같 컬 열 사 , 는 산란 지 그리드 또는 리 , 검

상 결 여 게 산란 지 그리드 또는 리 에 간단 다.

, 본 에 에 산란 지 그리드 또는 리 가 공 는 x- 사 또는 감마 검<40>

검 태들 가능 다. 라 , 들어 도 재료 갖는 검 , 또는 신틸

공 다 검 사 는 것 가능 다.

본 에 진보 개 지 않고 , 도 과 여 시 실시 통 <41>

에 다시 짧게 것 다.

x- 사 진단에 상 (3) x- 사 미지 통상 상 도 1 통 개략 도시<42>

다. 상 (3) 거 태 x- 사 고 는 x- 사 브 브 포커 (1) 검

(7) 사 에 다. x- 사 포커 (1) 사 x- 사 (2) x- 사 검 (7)

직 고 그 게 상 (3) 통과 다. x- 사 포커 (1) 시 는 직

상에 상 (3) 통과 여 검 (7) 가격 는 빔(2a) 검 (7) 상에 상 (3)에

감쇠 값 포 다. x- 사 포커 (1) 사 x- 사 빔(1) 는

상 (3)에 산란 다. 경우 생 산란빔(2b) 미지 보에 여 지 않고, 상 산란빔(2b)

검 (7) 가격 , 신 - - 비 상당 악 시킨다. 그러므 , 미지 질 개 여,

산란 지 그리드(4)가 검 (7) 앞쪽에 다. 산란 지 그리드(4)는 시 래 경우에

재료 본 (6) 과 들(5) 가진다. 과 들(5) 브 포커 (1)

, 직 경 상 사 는 사 (2a) 검 가격 도 다. 상

사 지 않는 빔, 특 산란빔(2b) 본 (6) 간 벽들에 단 거나 상당 감쇠

다. 그러나, 에 공지 에 , 간 벽들 특 께 만

므 , 사 (2a) 상당 고 미지 결과에 여 지 않는다.

도 2는 진단시 미지 상 도시 다. (3a) 시 검사 신체(3)가 도 에 나타나<43>

다. 감마 사 사 고 (3a)에 집 는 매체 주 에 , 감마 양 (8a)는 상 역

사 고 검 (7), , 앵거(Anger) 라 가격 다. 감마 사 는 본 (6) 간 벽

들 사 에 직 과 들(5) 갖는 검 (7) 앞쪽에 리 (4)에 , 각각

미지 사 다. 다 사 거나 산란 고, 상 사 직 경

상 도달 지 않는 감마 원 (8b)는 리 (4)에 다. 그러나 에 , 본

(6) 간 벽들 얇아지지 않 에 사 (8a) 상당 여 다.

본 과 들(5) 사 에 매우 얇 간 벽 또는 리 벽 갖는 산란 지 그리드 또는 리<44>

허 는 사 다. 경우, 산란 지 그리드

또는 리 는 사 다. 상 는 도 3에 도시 같 리 그래

다. 에 , UV 빔(12) 컨 (9)에 액체 UV 가 폴리 (10) 상 지

다. UV 빔(12) 본 (6) 식 여, 생 본 (6) 3 원 체

에 액체 폴리 (10) 에 동 다. 나 결 후, 상 랫폼(11)

사 여 가 께만큼 강 , UV (12)는 3 원 체 에 라 다 결 시킬

다. 런 식 , 본 (6) 가 UV 경 폴리 (10) 별 다. UV 빔

(12) 우 집 도 , 매우 매우 도 경우에 다. 본

(6) 랫폼(11) 또는 가 지지 트(도 에 도시 지 않 )상에 직

다. 게다가, 리 그래 직 여 사 고, 그런 다

상 상에는 본 (6) 에 라 다.

도 4는 본 는 실시 도시 다. 실시 에 , 본 (6) x- 사 실질 과<45>

는 재료, 들어 UV 경 폴리 산란 지 그리드 또는 리

다. 본 (6) 후 여 원 질 다( 단계(13); 도 4a). 과

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들(5)과 간 벽들(6a) 갖는 본 (6) 사 , 산란 지 그리드 또는 리

사 각각 도(4a-4b)에 상 단 도 평 도 도시 어 다. 상 단계(13)는

본 (6) 과 들(5) 내 간 벽들(6a) 내 과 본 (6) 상단 단 (6b), 간

벽들(6a) 단 들 에 공 는 강 (14) 갖도 야 다(도4b).

마지막 , (14)는 또는 계 단계, 컨 에 단계(15)에 간 벽들(6a)<46>

단 들에 거 다(도 4c). 본 (6) 간 벽들(6b) 들(14) 사 에 과

들(5) 갖는 산란 지 그리드 또는 리 는 상 식 얻어진다(도 4d). 마 가지 , 간 벽들

(6b) 매우 비 갖는 사 과 들 는 (14) 갖도 다.

(14) 공 , 컨 얇 리 링에 본 (6) 에 우 공 다.<47>

러 리 께는 1/10 ㎛ 에 다. 마지막 납-주 질 에 상 에 공

다. 상 께는 사 만큼 도 계 다.

산란 지 그리드 또는 리 후에, 산란 지 그리드 또는 리 는 간 벽들(6a) 검<48>

비감지 간 역(16b) 에 는 식 검 (7) 에 다(도 4e). 검 (7) 사

도 4e에 도시 어 , 상 검 (7)는 매트릭 검 엘리 트(16) 갖는다. 검 엘

리 트(16)는 x- 사 또는 감마 에 감지 역(16a)과 비감지 간 역(16b) 갖는 검

다.

도 5는 도 4에 도시 결과 도시 다. 매트릭 검 엘리 트(16) 그 에 <49>

산란 지 그리드 갖는 x- 사 검 (7) 사 도 에 평 도 도시 어 다. 검 엘리

트(16)는 사 -감지 검 역(16a)과 사 -비감지 간 역(16b) 립 다. 또 검 엘리 트

(16)는 린다. 컨 러 x- 사 검 (7)는 143 ×143 ㎛ 크 갖는 3000 ×3000 들

가질 다. 사 검 에 여 지 않는 컨 TFT 같 엘리 트(17)가 각각 검

쪽 리 역에 도시 어 다. 도 5는 산란 지 그리드 본 (6) 간 벽들(6a) 략

20 ㎛ 벽 께 실시 다. 도 에 볼 는 같 , 검 (7) 사 -비감지 역(16b)

에 간 벽들(6a) 갖는 산란 지 그리드가 다. 여 , (14)는 과 들(5) 내

에만 재 , 그래 사 감쇠가 지 에 만 생 다. 상 (14) 사 벽

역(6a) 사 에 비 과 가지 , 마 가지 상 벽 역(6a) 과 역

간주 다. 러 간 벽들(6a) 본 실시 에 약 게만 x- 사 감쇠 는 폴리 다. 본

실시 에 (14) 리 역 그 에 당 엘리 트(17)는 검 (7) 사 -

비감지 역(16b) 에 어 다.

산란 지 그리드 또는 리 검 는 간단 고 비 다.<50>

특 , 본 경우에 그리드 시 결 체 검 동 지 않는다는 에 리 다.

간 벽들(6a) 단 들에 (14)가 재 지 않도 지 , 래 그리드들 는 경우

보다 우 빔 과 달 다. 경계 간 벽들(6a) 상 과

께 그리드 검 결 검 개 감도 달 , 그래 약량 약 다.

결 늬 간 상 에 동 식 지 다. 도 에 색 도시 과

들(5) 공 또는 가 워진다.

도 6 산란 지 그리드 간 벽들(6a) 약 70 ㎛ 께 가지 , 그에 라 리 그래 에 <51>

게 는 경우에 가 실시 도시 다. 경우에, 간 벽들(6a) 단 상

(14)가 거 고, 라 사 상 지 들에 검 (7) 가격 에, 도 5

경우 같 사 빔 과 얻어진다.

도 7 립- 여 산란 지 그리드 또는 리 검 에 공 는 시 도시<52>

다. 암(18) 또는 상 암(18) 그 트 여 집어진 산란 지 그리드 또는 리

가 미경(19)에 어 고, 것 여 빔 리 (20)에 , 검

과 산란 지 그리드 또는 리 개 미지가 보여지고 변 통 다.

다 , 상 검 루어질 다. 만약 상 간 가 다 ,

산란 지 그리드는 에 게 는 식 비 결 에 공 다. 상 는 억

또는 갖는 게 계 리어 트가 람직 게는 그리드 는 사 다.

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과

본 에 산란 지 그리드 또는 리 상 산란 지 그리드 또는 리 가 공 x-<53>

사 또는 감마 검 에 , 검 양 과 께 결 늬가 생 지 않는 미지 달

다.

도 간단

도 1 산란 지 그리드 사 여 상 x- 사 미지 상 도시 다.<1>

도 2는 에 리 사 여 상 상 도시 다.<2>

도 3 리 그래 나타낸다.<3>

도 4는 본 에 는 실시 도시 다.<4>

도 5는 본 에 에 는 산란 지 그리드 또는 리 , 검 도시<5>

다.

도 6 본 에 에 는 산란 지 그리드 또는 리 , 검 2 <6>

도시 다.

도 7 산란 지 그리드 또는 리 공 시 도시 다.<7>

*도 주 에 *<8>

2 : x- 사 3 : 상 <9>

5 : 과 6 : 본 <10>

7 : 검 12 : UV <11>

도

도 1

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도 2

도 3

도 4a

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도 4b

도 4c

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도 4d

도 4e

도 5

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도 6

도 7

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