Upload
kaiya
View
41
Download
2
Embed Size (px)
DESCRIPTION
3. gyakorlat. Készítette: Földváry Árpád e-mail: [email protected]. Litográfia. U V fény. Lakk. Lakk. Oxid. Oxid. Si szelet. Si szelet. Negatív litográfia. Negatív lakk: A szeleten kialakuló ábra ellentétes a maszk ábrával. - Ott oldható a lakk, ahol nem lett megvilágítva. - PowerPoint PPT Presentation
Citation preview
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 2/31
Litográfia
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 3/31
Negatív litográfia
• Negatív lakk:- A szeleten kialakuló ábra ellentétes a maszk ábrával.- Ott oldható a lakk, ahol nem lett megvilágítva.
UV fényUV fény
Előhívás után megmaradt lakk
Ablak
Megvilágított terület a lakkon
Árnyékolt terület a lakkon
Ábra a maszkon
Si szeletSi szelet
LakkLakkOxidOxid
LakkLakk
OxidOxid
Si szeletSi szelet
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 4/31
Pozitív litográfia
• Pozitív lakk:- A szeleten kialakuló ábra megegyezik a maszk ábrával.- Ott oldható a lakk, ahol meg lett világítva.
photoresist
silicon substrate
oxide oxide
silicon substrate
photoresist
UV fényUV fény
Előhívás után megmaradt lakkÁrnyékolt
terület a lakkon
Megvilágított terület a lakkon
Ábra a maszk
Ablak
Si szeletSi szelet
LakkLakkOxidOxid
LakkLakk
OxidOxid
Si szeletSi szelet
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 5/31
Fotolitográfia lépései
7) Előhívás ellenőrzése5) Előhívás 6) Beégetés
UV fény
Maszk
4) Pozícionálás, megvilágítás
Lakk
2) Lakk felcentrifugálása
3) Beszárítás1) Nedvesség eltávolítása
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 6/31
ZY
X
Lakk adagoló fúvóka
Megfolyt hátoldali lakk eltávolítás (EBR)
Vákuum
Vákuumos szelettartóVákuumos szelettartó
Motor
SzeletSzelet
Levegő elszívás
Maradék lakk elvezetése
Lakk áramlásLakk áramlás
Rozsdamentes acél tál
Áramló levegőÁramló levegő
4 dimenzióban mozgatható fúvóka
Lakkfelvitel eszközei
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 7/31
Fotolitográfiai gyártósor
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 8/31
Vákuumtechnika
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 9/31
Vákuumrendszer általános felépítése
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 10/31
Elővákuum létrehozása: Forgólapátos szivattyú
• Szívási sebesség 1-300m3/óra• Végvákuum: - 0,1mbar (egyfokozatú) - 0,001 mbar (kétfokozatú)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 11/31
Elővákuum mérése: Termopár
• Mérési elv a hővezetésen alapul
• Méréshatár: 0,001mbar
• Szál elkoszolódhat, kiéghet• Lassú
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 12/31
Elővákuum mérése: Pirani mérő
• Legelterjedtebb
• Méréshatár: 2-0,001mbar
• Gyors
• W szál elkoszolódhat, kiéghet
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 13/31
Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú
• Nagyon elterjedt
• Egyszerű felépítés
• Könnyen tisztítható, javítható
• Szívási sebesség mérettől függ: 100-10000 l/s
• Végvákuum: ~10-8 mbar
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 14/31
Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 15/31
Nagyvákuum létrehozása: Turbómolekuláris szivattyú
• Nagyon elterjedt
• Szívási sebesség mérettől függ: 50-3500 l/s
• Végvákuum: ~10-10 mbar
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 16/31
Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuummérő
• Széles mérési tartomány: 10-2 – 10-10 mbar
• Egyszerű
• Kiéghet a fűtött katód
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 17/31
Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuum mérő
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 18/31
Nagyvákuum mérése: Penning vákuummérő
• Nincs fűtött katód, nem éghet ki
• Kisebb pontosság
• Mérési tartomány: ~10-8 mbar-ig
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 19/31
Fémréteg leválasztási módszerek
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 20/31
CVD reaktor
Hordozó
Vékony réteg
8) Melléktermék eltávolítás
1) Reagens felhő
Melléktermék 2) Előreakciók
3) Gáz molekulák diffúziója
4) Vegyület abszorpciója
5) A vegyület bediffundál a hordozóba 6) Felületi reakciók
7) Melléktermékek deszorpciója
Elszívás
Gáz befújás
CVD (Chemical Vapor Deposition)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 21/31
Három zónás fűtés
Termoelemek
Nyomás mérő
Kifújás a vákuum szivattyúhoz
Gáz bemenetTermoelemek
LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 22/31
Katódporlasztás
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 23/31
Vákuumgőzölés
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 24/31
Vákuumgőzölés módjai
A gőzölés történhet:• Huzalról• Tégelyből• Csónakból• Elektron sugárral
A tartó anyaga lehet:• Wolfram (W), Bór-nitrid (BN) Tantál (Ta), Molibdén (Mo).
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 25/31
Elektronsugaras gőzölés
http://www.ett.bme.hu/vlab/start.html
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 26/31
Vákuumgőzölő
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 27/31
Rezgőkvarcos rétegvastagság mérő
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 28/31
Kontaktusréteg kialakítása
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 29/31
Kontaktus réteg
a, szitanyomtatással felvitt vezető réteg
b, lézerbevágásos, eltemetett kontaktus kémiai fémréteg
leválasztással
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 30/31
Szitanyomtatással felvitt vezetőréteg
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 31/31
Eltemetett vezetőréteg