五、先进制造与自动化技术领域 - most.gov.cn · 石化、钢铁mes软件年销售量均突破了5000万元；在国内主要钢铁企业mes市场中，占有率达到41%，在

五、先进制造与自动化技术领域五、先进制造与自动化技术领域

·· 研制出研制出100100nm 8nm 8吋高密度等离子体刻蚀机和大倾角注入机试生吋高密度等离子体刻蚀机和大倾角注入机试生产样机，进入中芯国际生产线进行测试考核。产样机，进入中芯国际生产线进行测试考核。

·· 整个考核过程完全按照国际化验收标准执行。据用户方测试，整个考核过程完全按照国际化验收标准执行。据用户方测试，我国刻蚀机与注入机设备设计参数、硬件性能参数、工艺基我国刻蚀机与注入机设备设计参数、硬件性能参数、工艺基本参数等技术指标均基本达到国际同类本参数等技术指标均基本达到国际同类130130--100100nmnm生产设备标生产设备标准。目前正在进行工艺实验、产品生产全流程测试和评估，准。目前正在进行工艺实验、产品生产全流程测试和评估，预计预计66月底完成。月底完成。

·· 据监理公司监理审核报告，刻蚀机和注入机据监理公司监理审核报告，刻蚀机和注入机ββ样机主要分系样机主要分系统、关键部件均自主设计，主要关键技术均拥有相当数量的统、关键部件均自主设计，主要关键技术均拥有相当数量的专利，初步形成自己的知识产权。其中刻蚀机申报并受理专专利，初步形成自己的知识产权。其中刻蚀机申报并受理专利利147147项，其中发明专利项，其中发明专利135135项，拥有软件版权项，拥有软件版权66项。注入机申项。注入机申报专利报专利103103项，其中已受理项，其中已受理5454项（发明专利项（发明专利99项、实用新型项、实用新型4545项），拥有软件版权项），拥有软件版权77项。项。

·· 100100nm 8nm 8吋步进扫描光刻机项目正在进行分系统集成，并准备吋步进扫描光刻机项目正在进行分系统集成，并准备整机集成工作。整机集成工作。

领域重大成果领域重大成果：：ICIC重大装备重大装备

北京机电院与东方汽轮机厂联合攻克了五轴联动的结构刚度北京机电院与东方汽轮机厂联合攻克了五轴联动的结构刚度

与精度设计、与精度设计、CAMCAM系统和实用工艺等关键技术，研制了可一系统和实用工艺等关键技术，研制了可一

次装夹完成次装夹完成6060万千瓦汽轮机首末级叶片（万千瓦汽轮机首末级叶片（4040英寸）空间曲面英寸）空间曲面

加工的高精尖数控加工装备，其加工质量与效率可与进口瑞加工的高精尖数控加工装备，其加工质量与效率可与进口瑞

士同类机床媲美，价格仅为国外进口价格士同类机床媲美，价格仅为国外进口价格1/41/4。。

现已经现已经55台批量应用，两年来已加台批量应用，两年来已加

工工6060万千瓦汽轮机万千瓦汽轮机4040英寸大型叶片英寸大型叶片

35003500件，降低了制造成本件，降低了制造成本55亿元。亿元。

··加工范围：加工范围：16001600mmmm；；

··行程行程X/Y/ZX/Y/Z轴：轴：2200/400/4002200/400/400mmmm；；

··快移速度：快移速度：1515m/minm/min；；

··最高主轴转速：最高主轴转速：1000010000r/minr/min。。

领域重大成果领域重大成果：：五轴联动大型叶片加工中心五轴联动大型叶片加工中心

领域重大成果领域重大成果：： EPAEPA工业自动化标准工业自动化标准

————中国首个被国际标准化组织接收和发布的工业自动化标准中国首个被国际标准化组织接收和发布的工业自动化标准

提出了基于实时以太网的新一代现场总线技术提出了基于实时以太网的新一代现场总线技术EPAEPA

（（Ethernet for Plant AutomationEthernet for Plant Automation）；）；

开发了基于高速以太网技术的现场总线控制设备以及开发了基于高速以太网技术的现场总线控制设备以及

EPAEPA分布式网络控制系统；分布式网络控制系统；

EPAEPA控制系统已经在化工生产装置上得到成功应用控制系统已经在化工生产装置上得到成功应用。。

EPAEPA国际标准被国际标准被IECIEC正式接受为实时以太网国正式接受为实时以太网国

际标准际标准IEC61784IEC61784--2 2 并发布并发布

设计制造出全球第一块设计制造出全球第一块EPAEPA芯片芯片将使国内将使国内680680亿仪器仪表产业产生重大技术升级亿仪器仪表产业产生重大技术升级

上海隧道股份有限公司和中铁隧道集团分上海隧道股份有限公司和中铁隧道集团分别自主设计研制的盾构机：别自主设计研制的盾构机：

·· 重点攻克了刀盘刀具、液压测控及系统集成重点攻克了刀盘刀具、液压测控及系统集成等关键技术；等关键技术；

·· 已经成功地在上海地铁两个标定进行了应用；已经成功地在上海地铁两个标定进行了应用；·· 创造了日掘进创造了日掘进1616米，月掘进米，月掘进400400米的良好成绩，米的良好成绩，价格只有德国的二分之一，日本的三分之二。价格只有德国的二分之一，日本的三分之二。

领域重大成果领域重大成果：： 6.36.3米土压平衡盾构机米土压平衡盾构机

智能胶囊消化道内窥镜系统智能胶囊消化道内窥镜系统

人体腔道生理参数检测微系统人体腔道生理参数检测微系统::为消化道疾病为消化道疾病

的辅助诊断提供了全新方法和手段。的辅助诊断提供了全新方法和手段。

人体消化道药物释放微系统人体消化道药物释放微系统::可以无创地在人可以无创地在人

体消化道不同部位释放药物。体消化道不同部位释放药物。

领域重大成果领域重大成果：：人体消化道诊疗微系统人体消化道诊疗微系统

人体消化道诊疗微系统达到了实用化，进人体消化道诊疗微系统达到了实用化，进入了临床应用入了临床应用

重点成果：重点成果：现代集成制造系统技术主题现代集成制造系统技术主题

（（11）三维）三维CADCAD数字化设计制造软件产品数字化设计制造软件产品

（（22）国产）国产ERPERP软件软件

（（33））国产企业信息化集成系统国产企业信息化集成系统

（（44）国产制造执行系统（）国产制造执行系统（MESMES））

（（55））国产供应链管理系统国产供应链管理系统

（（66））ASPASP企业集群服务企业集群服务


（（11）以三维）以三维CADCAD代表的数字化设计制造软件产品实力显著提升代表的数字化设计制造软件产品实力显著提升

创新发展了面向行业的嵌入式三维数字化设计系统发展模式创新发展了面向行业的嵌入式三维数字化设计系统发展模式

工程建设行业三维工程建设行业三维CADCAD推广推广90009000多家，行业覆盖率超过多家，行业覆盖率超过90%90%。。

CAXACAXA、、新洲等三维新洲等三维CADCAD软件产品不断完善，销售数千套。软件产品不断完善，销售数千套。

开发开发 7 7 种种 PDM PDM 产品、产品、55种种CAPPCAPP产品，应用套数占据国内市场份产品，应用套数占据国内市场份

额额8080％以上。％以上。

实现了国产三维实现了国产三维CAD/CAPP/PDM/ERP/CAD/CAPP/PDM/ERP/数据库的广泛集成。数据库的广泛集成。

（（22）国产）国产ERPERP软件已形成规模软件已形成规模

开发出柔性可重构开发出柔性可重构ERPERP系统，与国际主流技术同步系统，与国际主流技术同步

支持国内主流支持国内主流ERPERP企业研发，形成了企业研发，形成了1111个品牌，个品牌，1414种种ERPERP产品产品

制造

ERP

PDMCRM

PDM

ERPSCM

CRMSCM

ERP

ERP

ERPCRM

工程

供应商

用户

ERPERP产业产值超产业产值超1515亿元，国产亿元，国产ERPERP

中小型企业市场占有率超过中小型企业市场占有率超过80%80%

取得取得1010家成功应用案例，家成功应用案例，10001000家家

应用推广应用推广


攻克了集成化设计、制造及管理关键技术，攻克了集成化设计、制造及管理关键技术，

并开发出原型系统，使企业的信息系统做到并开发出原型系统，使企业的信息系统做到

““五个一五个一””，即一套编码、一次录入、一个数，即一套编码、一次录入、一个数

据集、一种应用模型、一个工作界面，系统据集、一种应用模型、一个工作界面，系统

已在大全集团等企业进行应用验证。已在大全集团等企业进行应用验证。


（（33）国产企业信息化集成系统取得突破）国产企业信息化集成系统取得突破


（（44）国产制造执行系统（）国产制造执行系统（MESMES））产品与应用初具规模产品与应用初具规模

开发出包含生产过程管理、优化、诊断、能开发出包含生产过程管理、优化、诊断、能

源优化等功能的源优化等功能的MESMES产品，培育形成国内主要产品，培育形成国内主要

MESMES软件供应和服务商软件供应和服务商

石化、钢铁石化、钢铁MESMES软件年销售量均突破了软件年销售量均突破了50005000万元；在万元；在

国内主要钢铁企业国内主要钢铁企业MESMES市场中，占有率达到市场中，占有率达到41%41%，在，在

中石化、宝钢等十多家国有大型企业成功应用，节能降中石化、宝钢等十多家国有大型企业成功应用，节能降

耗、提高产品质量、提升企业竞争力。耗、提高产品质量、提升企业竞争力。


（（55）国产供应链管理系统在重大型号应用）国产供应链管理系统在重大型号应用

以载人航天工程为典型应用对象，集成应用以载人航天工程为典型应用对象，集成应用

863863计划支持的清华大学、哈工大、中科院软件所、计划支持的清华大学、哈工大、中科院软件所、

浪潮软件、神舟软件等国产软件产品和技术，建浪潮软件、神舟软件等国产软件产品和技术，建

立起跨地域的安全信息平台，带动上下游企业网立起跨地域的安全信息平台，带动上下游企业网

络化协同，实现上千家企业数万种产品的供应链络化协同，实现上千家企业数万种产品的供应链

协作。这是我国军工行业率先开展的重大型号应协作。这是我国军工行业率先开展的重大型号应

用企业协同供应链系统。用企业协同供应链系统。

创建了创建了两种公共服务平台发展模式两种公共服务平台发展模式

发展了公共服务平台、支持了制造业信息化发展了公共服务平台、支持了制造业信息化

支持了四川、重庆、杭州、绍兴、青岛和武汉等支持了四川、重庆、杭州、绍兴、青岛和武汉等 20 20 余家中介机构余家中介机构

支持制造业产业链协作的共性技术服务模式

支持同质企业集聚区域的共性技术服务模式

开发出各类公共服务平台 22 个；集成了一批863计划支持的数字化设计和管理软件资源以ASP模式支持各类应用企业近 7000 家。


（（66））ASPASP支持了企业集群服务，拓展了制造业产业链支持了企业集群服务，拓展了制造业产业链

重点成果：重点成果：机器人技术主题机器人技术主题

（（11）新型大型龙门式五轴联动混联机床与并联机床）新型大型龙门式五轴联动混联机床与并联机床

（（22）新型高速五轴加工技术及设备）新型高速五轴加工技术及设备

（（33）仿人机器人）仿人机器人

（（44）危险作业机器人）危险作业机器人

（（55）医疗外科机器人）医疗外科机器人

（（66）机群智能化工程机械）机群智能化工程机械


齐齐哈尔二机床、清华齐齐哈尔二机床、清华

大学和哈尔滨电机厂联大学和哈尔滨电机厂联

合研制了新型龙门式五合研制了新型龙门式五

轴联动混联机床，两自轴联动混联机床，两自

由度平行四边形并联机由度平行四边形并联机

构形成基础龙门，两自构形成基础龙门，两自

由度串联结构的由度串联结构的ACAC轴摆轴摆

角铣头，实现了三维立角铣头，实现了三维立

体曲面的高速切削，已体曲面的高速切削，已

加工了三峡工程左岸加工了三峡工程左岸22台台

国产水轮发电机组国产水轮发电机组ΦΦ3.53.5

米直径特大型水泵叶片米直径特大型水泵叶片

等复杂零件。等复杂零件。

（（11）研发了新型大型龙门式五轴联动混联机床与并联机床）研发了新型大型龙门式五轴联动混联机床与并联机床

作业空间作业空间4.54.5××1.61.6××1.21.2mm主轴转速最高主轴转速最高1000010000转转//分分重复定位精度重复定位精度0.010.01mmmm

（（22）攻克了新型高速五轴加工技术及设备）攻克了新型高速五轴加工技术及设备

济南二机床集团与无锡市锡泵制造有限公司研制了新济南二机床集团与无锡市锡泵制造有限公司研制了新型高速五轴龙门铣床，设计研制了五轴头，掌握了铣头内型高速五轴龙门铣床，设计研制了五轴头，掌握了铣头内油雾润滑冷却、横梁预应力反变形控制等关键技术，已应油雾润滑冷却、横梁预应力反变形控制等关键技术，已应用于南水北调大型水泵叶片型面的加工。用于南水北调大型水泵叶片型面的加工。

工作台尺寸工作台尺寸20002000××4000 4000 mmmm；；主轴最高转速主轴最高转速1000010000rpmrpm；；定定位精度和重复定位达到位精度和重复定位达到0.0450.045mmmm和和0.0150.015mmmm。。

新型高速五轴龙门铣床新型高速五轴龙门铣床


（（33）仿人机器人处于国际先进水平）仿人机器人处于国际先进水平

北京理工大学等单位合作研北京理工大学等单位合作研

制的仿人机器人，攻克了基于传制的仿人机器人，攻克了基于传

感器控制的双足行走动态平稳性、感器控制的双足行走动态平稳性、

基于人体运动数据的动作设计与基于人体运动数据的动作设计与

生成方法，以及机构、驱动、传生成方法，以及机构、驱动、传

感、控制与电源等一体化集成技感、控制与电源等一体化集成技

术。术。

该机器人身高该机器人身高1.551.55米，体重米，体重6363公斤，自由度公斤，自由度3232个，可实现太极拳、刀术表演等复杂运动。个，可实现太极拳、刀术表演等复杂运动。


仿人机器人

防爆机器人和侦察机器人等已在新疆、内蒙、广防爆机器人和侦察机器人等已在新疆、内蒙、广西、南京等公安武警部门有西、南京等公安武警部门有1010台套应用。台套应用。220/330220/330KVKV变电设备高压带电作业清扫机器人研变电设备高压带电作业清扫机器人研制成功制成功10KV配电带电作业机器人研制成功配电带电作业机器人研制成功220KV超高压输电线路巡检机器人实现带电检测超高压输电线路巡检机器人实现带电检测

（（44）危险作业机器人在多个行业实际应用）危险作业机器人在多个行业实际应用


防爆机器人对车底进行安全检查

灵蜥B反恐排爆机器人

（（55）医疗外科机器人为新农村医疗水平发展提供技术支撑）医疗外科机器人为新农村医疗水平发展提供技术支撑

海军总医院、北京积水谭医院与延安大学附属医院等单海军总医院、北京积水谭医院与延安大学附属医院等单位联合开展了远程医疗外科机器人研发，辅导培训延安边位联合开展了远程医疗外科机器人研发，辅导培训延安边远地区医护人员，促进边远地区和农村的医疗水平发展。远地区医护人员，促进边远地区和农村的医疗水平发展。

•• 脑外科机器人已经成功进行了脑外科机器人已经成功进行了10001000例以上临床应用，例以上临床应用，20022002年和年和20032003年先后获得卫生部许可生产的试制证和准制证。年先后获得卫生部许可生产的试制证和准制证。

•• 骨科机器人已成功应用于髓内钉远端孔锁定骨科机器人已成功应用于髓内钉远端孔锁定5050例临床，降例临床，降低了术中低了术中XX光辐射的剂量，缩短了手术时间。光辐射的剂量，缩短了手术时间。


（（66）机群智能化工程机械完成高等级公路路面施工的现场试验）机群智能化工程机械完成高等级公路路面施工的现场试验

三一重工集团公司三一重工集团公司20042004年年44月在内蒙古呼集高月在内蒙古呼集高

速公路速公路1818标段中，基于机群监控的定位，对各标段中，基于机群监控的定位，对各

个工程机械进行监测，实现运料车位置跟踪和个工程机械进行监测，实现运料车位置跟踪和

调度。调度。

天津机械工程研究院在唐山市重点工程一天津机械工程研究院在唐山市重点工程一

级公路青林公路级公路青林公路7.97.9kmkm沥青摊铺上进行了沥青摊铺上进行了1010

－－1919台组成实验。台组成实验。


支持中联、柳工、厦工、郑州大方、鞍山机械等支持中联、柳工、厦工、郑州大方、鞍山机械等1010家企业技术创新，家企业技术创新，

自主设计制造了再生重铺、超大型运梁车、路面铣刨机、旋挖钻孔机、自主设计制造了再生重铺、超大型运梁车、路面铣刨机、旋挖钻孔机、

混凝土泵车、挖掘机、振动式压路机、装载机等单机智能化工程机械，混凝土泵车、挖掘机、振动式压路机、装载机等单机智能化工程机械，

提高企业的技术竞争力。提高企业的技术竞争力。


（（77）智能化工程机械初步实现了产业化）智能化工程机械初步实现了产业化

（（11）特种高温压力传感器）特种高温压力传感器

（（22））MEMSMEMS加速度传感器加速度传感器

（（33）微型生化检测微系统）微型生化检测微系统

（（44）环境与安全检测微系统）环境与安全检测微系统

重点成果：重点成果：微机电系统（微机电系统（MEMSMEMS））

（（11）若干）若干MEMSMEMS器件与系统达到实用化器件与系统达到实用化————特种高温压力传感器特种高温压力传感器

研制出系列化耐瞬时高温冲击高温研制出系列化耐瞬时高温冲击高温

（（20002000℃℃/200/200℃）压力传感器、硅杯结构耐高℃）压力传感器、硅杯结构耐高

温压力传感器（温压力传感器（200200℃）和电容式差压传感器。℃）和电容式差压传感器。

实现了小批量生产，在胜利油田、大庆石油、实现了小批量生产，在胜利油田、大庆石油、

吉林石化公司、中海油田服务公司、新疆石油吉林石化公司、中海油田服务公司、新疆石油

管理局等管理局等3030多家应用近多家应用近1000010000只。只。

解决了瞬时高温冲击问题解决了瞬时高温冲击问题

重点解决了基于重点解决了基于SOISOI的压力传感器设计、加工、的压力传感器设计、加工、

封装与可靠性等关键技术。封装与可靠性等关键技术。


（（22）若干）若干MEMSMEMS器件与系统达到实用化器件与系统达到实用化————MEMSMEMS加速度传感器加速度传感器

研制出研制出30003000多支基于多支基于MEMSMEMS加速度传感器加速度传感器

的检波器。的检波器。

进行了多次现场试验，单炮记录可探测到进行了多次现场试验，单炮记录可探测到

深层（深层（80008000米）结构；同相轴分辨率高于米）结构；同相轴分辨率高于

传统检波器；迭加剖面目的层以上有效波传统检波器；迭加剖面目的层以上有效波

组清晰，易分辨，深层波组也能分辨；较组清晰，易分辨，深层波组也能分辨；较

好地反映了地下构造。好地反映了地下构造。

能替代传统检波器，实现了小批量应用。能替代传统检波器，实现了小批量应用。


（（33）若干）若干MEMSMEMS器件与系统达到实用化器件与系统达到实用化————微型生化检测微系统微型生化检测微系统

便携式全血液分析微系统：便携式全血液分析微系统：实现了全血分实现了全血分

析微系统及配套试条的规模化生产。析微系统及配套试条的规模化生产。

微型光谱（生化）分析微系统：微型光谱（生化）分析微系统：能完成医能完成医

院目前肝功能、肾功能、血脂等院目前肝功能、肾功能、血脂等3737种主要种主要

检测项目。检测项目。

尿蛋白检测分析微系统：尿蛋白检测分析微系统：解决了微流控芯解决了微流控芯

片的工程化设计和制造、尿蛋白分析试剂片的工程化设计和制造、尿蛋白分析试剂

盒优化和稳定性及仪器中高低压共存和隔盒优化和稳定性及仪器中高低压共存和隔

离等关键技术离等关键技术


（（44）若干）若干MEMSMEMS器件与系统达到实用化器件与系统达到实用化————环境与安全检测环境与安全检测

微系统实用化研究取得重要成果微系统实用化研究取得重要成果

气象检测微系统：气象检测微系统：针对火箭、航天器针对火箭、航天器

发射条件保障需求，研制的发射条件保障需求，研制的MEMSMEMS温温

度、湿度、气压和电场传感器已在探度、湿度、气压和电场传感器已在探

空系统中试用。空系统中试用。


国产数据库管理系统关键技术取得突破，并开始广泛应用国产数据库管理系统关键技术取得突破，并开始广泛应用

研制出具有自主版权的研制出具有自主版权的神舟神舟OSCAROSCAR、、达梦达梦DM DM 、、金仓金仓

KingbaseESKingbaseES、、东软东软OpenBASEOpenBASE等等DBMS 4DBMS 4套套；；

研制出研制出基于国产基于国产DBMSDBMS的的CAD/CAPPCAD/CAPP、、 PDMPDM、、 ERPERP、、电子电子

政务以及电子教育等政务以及电子教育等2626套套；；

在金融、公安消防、水利、农业、国土资源、工商税务等在金融、公安消防、水利、农业、国土资源、工商税务等

行业中，完成国产数据库示范应用工程行业中，完成国产数据库示范应用工程1414项，项，在在11万余家单万余家单

位推广应用国产位推广应用国产DBMS 6 DBMS 6 万余套万余套；；

建立具有自主知识产权的国产数据库管理系统测评体系与建立具有自主知识产权的国产数据库管理系统测评体系与

大纲大纲、、测试工具集测试工具集，，以测代评、以测促研机制创新。以测代评、以测促研机制创新。

重点成果：重点成果：数据库管理系统（数据库管理系统（DBMSDBMS））

重点成果：重点成果：制造业信息化工程

实施制造业信息化工程，集成与发展了主题研发实施制造业信息化工程，集成与发展了主题研发

成果，广泛提高了省市与地方的企业竞争力。成果，广泛提高了省市与地方的企业竞争力。

(1) (1) 以国家计划带动地方科技计划，大力协同与集成，共同推动信以国家计划带动地方科技计划，大力协同与集成，共同推动信

息化技术在企业的试点示范及推广应用，取得显著成果。息化技术在企业的试点示范及推广应用，取得显著成果。

•• 2727个省区市个省区市、、4747个重点城市，地方政府累计投入个重点城市，地方政府累计投入22.922.9亿元；亿元；

•• 近近60006000家企业参与推进和实施，企业累计投入超过家企业参与推进和实施，企业累计投入超过240240亿元；亿元；

•• 推动了企业自主创新主体建设与发展推动了企业自主创新主体建设与发展((队伍与技术的积累队伍与技术的积累))；；

•• 带动了制造企业的结构调整和改造带动了制造企业的结构调整和改造((新产品多、上市快新产品多、上市快))；；

•• 促进了行业、区域、企业制造业信息化的经济和社会效益；促进了行业、区域、企业制造业信息化的经济和社会效益；

(2) (2) 建立由数百家中介机构组成的技术支持与服务体系，为建立由数百家中介机构组成的技术支持与服务体系，为44万多家万多家

企业提供技术服务，培训各类人才超过企业提供技术服务，培训各类人才超过5050万人次万人次

(3) (3) 推动了制造业信息化单元技术及集成系统的产业化发展，年销推动了制造业信息化单元技术及集成系统的产业化发展，年销

售额超过售额超过2020亿元，国产软件在试点企业应用比例达亿元，国产软件在试点企业应用比例达47%47%。。

（（11）本领域）本领域““十五十五””期间共获国家期间共获国家

科技进步二等奖科技进步二等奖66项项，国家自，国家自

然科学二等奖然科学二等奖11项项

（（22）本领域）本领域““十五十五””期间共有五位期间共有五位

专家选为中国工程院院士专家选为中国工程院院士，，

他们是：他们是：王天然、柴天佑、李王天然、柴天佑、李

培根、卢秉恒、钟志华培根、卢秉恒、钟志华

重点成果：重点成果：获奖与人才获奖与人才

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