ここまで見える！究極の卓上SEM登場！！

ジャスコインタナショナル株式会社

第二事業部

2013

JASIS

小セミナー

~最新Phenom-World社卓上SEM のご紹介~

内容

1.

Phenom‐World社のご紹介

2.

最新卓上SEM

のご紹介

3.

SEM観察/EDS分析の例

1．Phenom‐World社の紹介

G2 Pure

光学顕微鏡：20x 白黒

SEM：70‐17,000x

G2 Pro

光学顕微鏡：20‐120x カラー

SEM：80‐45,000x

proX

光学顕微鏡：20‐120x カラー

SEM：80‐45,000xEDS元素分析

Entry

model Standard

model Advanced

model

卓上SEMモデル

2.

最新卓上SEMのご紹介

•

倍率 ：

80 ‐100,000x

proX PREMIUM

クラス最高の倍率と分解能を実

2.

最新卓上SEMのご紹介

New!

フィルター

50,000倍（蒸着無し）

蝶の羽

（倍率75,000倍） 膜に付着したバクテリア

（倍率90,000倍）

proX PREMIUM 観察例

2.

最新卓上SEMのご紹介

Phenom卓上SEMの3大コンセプト

スピーディな観察 Fast Results!

簡単な操作 Worry Free!!

高解像度の観察～EDS元素分析 Image and Analysis!!!

卓上最大の利点である「使いやすさ」を根幹に、

卓上に勝る「高性能」を追求

2.

最新卓上SEMのご紹介

CeB6 結晶

Phenom‐World社卓上SEMの特長

①

六ホウ化セリウム（CeB6）電子銃

高解像度

長寿命（＞1500時間）

高い装置稼働率

②

様々な観察に対応する試料ホルダ

チャージ軽減ホルダ

温調ホルダ

樹脂包埋ホルダ

モーター駆動傾斜回転ホルダ etc.

Superb Imaging Power !

2.

最新卓上SEMのご紹介

試料セットの様子 試料の導入

Phenom‐World社卓上SEMの特長

③

簡単・スピーディーな観察

2.

最新卓上SEMのご紹介

光学顕微鏡像が得られるまで

→

5秒

光学顕微鏡像

ボンディングパッド倍率20倍

観察位置の特定

2.

最新卓上SEMのご紹介

SEM像

SEM像が得られるまで

→

僅か30秒

ボンディングパッド倍率20倍

2.

最新卓上SEMのご紹介

Phenomの卓上SEMの特長

④

ナビゲーション機能 Never Lost!

ナビゲーション

（光学顕微鏡）

ナビゲーション

（SEM低倍率）

観察位置

2.

最新卓上SEMのご紹介

11

Phenomの卓上SEMの特長

正確な位置合わせ！New!

＋

＋

ソーラーセル

倍率15000倍

⑤

タッチスクリーンによる正確で迅速な観察位置の移動

2.

最新卓上SEMのご紹介

11

Phenomの卓上SEMの特長

⑥

高画質観察からEDS元素分析まで

EDS分析 （点分析・面分析）

マッピング、エリアマッピング

ラインスキャン New!

元素マッピング

（隕石） ラインスキャン

（車の塗料片）

2.

最新卓上SEM

proX

ご紹介

白トリュフの観察・分析

試料： 白トリュフ（T.rapaeodorum）

3．SEM観察・EDS分析の例

倍率1700倍、視野幅536μm 倍率4200倍、視野幅63.8μm

3．SEM観察・EDS分析の例

SEM観察

EDS分析結果

分析スポット‐B

+

分析スポット-A

+

A

B

3．SEM観察・EDS分析の例

ご清聴ありがとうございました。

ジャスコインタナショナル株式会社