Pirani Capacitance Diaphragm Gauge - INFICONinficon.jp/doc/vacuum/TINA56J1_PCG55x_manual.pdfK ⇒ Flange 29×29 m m M ⇒ 4 VCR 90 fem ale N ⇒ 7/16-20 UNF m ale 0 ⇒ m bar 1 ⇒

tina56e1-e (2015-01) 1

PCG550 PCG552 PCG554

Pirani Capacitance Diaphragm Gauge

取扱説明書

「適合宣言書」を含む

2 tina56e1-e (2015-01)

目次

製品の識別 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4

本取扱説明書の適用 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5

用途 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

機能原理 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

商標 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

特許 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

梱包物の内容 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

1 安全に関する注意 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71.1 使用されている表示 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

1.2 作業員の資格 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

1.3 安全に関する一般的注意 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

1.4 責任ならびに保証 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

2 技術仕様 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82.1 測定信号と圧力の関係. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

2.2 ガス種依存性 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

3 設置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133.1 真空接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

3.2 電気接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143.2.1 FCC 68、8 ピンコネクタ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

3.2.2 D-Sub、9 ピンコネクタ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

3.2.3 D-Sub、15 ピン HD コネクタ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

3.2.4 D-Sub、15 ピン HD、RS485 INF コネクタ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

3.2.5 DeviceNet コネクタ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

3.2.6 Profibus コネクタ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17

4 操作 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 174.1 ステータス表示とディスプレイ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17

4.2 ガス種依存性 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19

4.3 スイッチ機能 SP1、SP2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 194.3.1 セットポイント SP1、SP2 の調整 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

4.4 ATM セットポイント . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

4.5 診断ポート（RS232C インターフェース） . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

4.6 DeviceNet の操作 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

4.7 Profibus の操作 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

tina56e1-e (2015-01) 3

5 取り外し . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24

6 保守、修理 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 246.1 真空計のゼロ点調整 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24

6.2 大気圧センサのゼロ点調整 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

6.3 センサの交換. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

6.4 トラブルシューティング. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

7 本製品の返送 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

8 廃棄 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

9 アクセサリーパーツ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

10 スペアパーツ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

詳細情報 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

汚染状況申告書 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

EC 適合宣言書 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

表示 ( → XY) 関連事項についての本書内の参照先を示し、表示 ( → ［Z］) は「詳細情報」につい

ての参照先を示しています。

4 tina56e1-e (2015-01)

製品の識別

インフィコンにお問い合わせの際は、製品の銘板に記載されている内容をお知らせください。銘板に記載さ

れている内容を、ここに書きとめておくと便利です。

INFICON AG, LI-9496 Balzers

tina56e1-e (2015-01) 5

本取扱説明書の適用

本取扱説明書は以下の部品番号（PN）を持つ PCG55x シリーズの製品に適用されます。

3 P C x - 0 x x - x x x xF l a n g e 1 ⇒ D N 1 6 I S O - K F

2 ⇒ D N 1 6 I S O - K F lo n g t u b e4 ⇒ D N 1 6 C F - F5 ⇒ D N 1 6 C F - R lo n g t u b e 6 ⇒ D N 2 5 I S O - K FD ⇒ 4 V C R f e m a l eE ⇒ 8 V C R f e m a l eF ⇒ 1 / 8 " N P TK ⇒ F l a n g e 2 9 × 2 9 m mM ⇒ 4 V C R 9 0 ° f e m a l eN ⇒ 7 / 1 6 - 2 0 U N F m a l e

0 ⇒ m b a r1 ⇒ T o r r2 ⇒ P a3 ⇒ m i c r o n

U n i t

1 ⇒ T u n g s t e n2 ⇒ N i c k e l3 ⇒ C e r a m i c c o a t e d6 ⇒ T u n g s t e n , g a l v a n i c a l l y i s o l a t e d7 ⇒ N i c k e l , g a l v a n i c a l l y i s o l a t e d8 ⇒ C e r a m i c c o a t e d , g a l v a n i c a l l y i s o l a t e d

F i l a m e n t

3 P C x - 0 x x - x x x xM e a s u r i n g

s ig n a l

I n t e r f a c e

D i s p l a yS w i t c h in g f u n c t i o n 0 ⇒ N o n e

1 ⇒ D i s p la y2 ⇒ 2 s w i t c h i n g f u n c t i o n s * )3 ⇒ A T M s e n s o r & 2 s w i t c h i n g f u n c t i o n s * ) 4 ⇒ D i s p l a y & 2 s w i t c h i n g f u n c t io n s * )5 ⇒ D i s p l a y & A T M s e n s o r & 2 s w i t c h i n g f u n c t i o n s * )6 ⇒ 2 s w i t c h in g f u n c t i o n s * * )

* ) S o l id s t a t e r e l a y s* * ) M e c h a n i c a l r e la y s

0 ⇒ 0 . 6 1 . . . 1 0 . 2 3 V1 ⇒ 1 . 2 . . . 8 . 6 8 V2 ⇒ 0 . 3 7 5 . . . 5 . 6 5 93 ⇒ 1 . 5 7 . . . 9 . 0 5 V

0 ⇒ F C C1 ⇒ D - S u b , 9 - p i n2 ⇒ D - S u b , 1 5 - p in H D4 ⇒ D - S u b , 1 5 - p i n H D , R S 4 8 5 I N F 5 ⇒ H i r s c h m a n n , T y p G O 6

R e c e p t a c le

0 ⇒ N o n e ( a n a lo g e )1 ⇒ D e v i c e N e t2 ⇒ P r o f i b u s

6 tina56e1-e (2015-01)

部品番号（PN）は、製品の銘板に記載されています。

凡例に特に示されていない場合、本取扱説明書の図は PCG55x（DN 16 ISO-KF）に対応しています。他の真

空計についてもほぼ同じと考えて問題ありません。

製品の技術的内容は、予告なしに変更されることがあります。

tina56e1-e (2015-01) 7

用途

ピラニー・キャパシタンス・ダイアフラムゲージ

PCG55x は、5 × 10-5 ～ 1500 mbar の圧力範囲で

気体の真空度を測定する製品です。

空気中で反応する引火性または可燃性の気体の測

定には使用しないでください。

この真空計は、INFICON 真空計コントローラ

VGC401、402、403 またはその他のコントローラ

と接続して使用することができます。

機能原理

PCG 真空計は、ピラニーセンサとキャパシタンス

ダイアフラムセンサとを組合せた真空計です。これ

らのセンサは常にアクティブです。

低圧においては、ピラニーセンサの信号のみが圧力

測定のために使用されます。高圧においては、キャ

パシタンスダイアフラムセンサの信号のみが使用

されます。中間圧力域においては、両方のセンサ信

号が圧力に比例して使用され、出力信号が決定され

ます。

商標VCR® Swagelok Marketing Co.

特許EP 0689669 B1, 0689670 B1, 0658755 B1

US Patente 5608168, 4031997, 5583297

梱包物の内容

真空計

ボタンを介するゼロ点調整用ピン

取扱説明書（英、独）

1 安全に関する注意

1.1 使用されている表示

負傷事故を防止するための重要な説明です。

機器や環境に対する甚大な損害を防止するための重要な説明です。

正しい取り扱いや使用法に関する重要な説明です。守らない場合は、故障や機器の軽微な損傷を引き起こす恐れがあります。

注意

<…> 表示内容

1.2 作業員の資格

本取扱説明書に記載されているすべての作業は、適切な技術的トレーニングを受け、必要な経験を積んでいる作業員か、あるいは、製品のエンドユーザーによる教育を受けている担当者が必ず実行してください。

1.3 安全に関する一般的注意

• 適用可能な規制に従い、使用するプロセス媒体

に対して必要な対策を講じてください。

材料に起こりうる反応について考慮してくださ

い。

製品から発生する熱に起因してプロセス媒体に

起こりうる反応（爆発など）について考慮して

ください。

• 適用可能な規制に従い、実行するすべての作業

に対して必要な対策を講じ、かつ、本取扱説明

8 tina56e1-e (2015-01)

書に記載されている安全に関する注意を守って

ください。

• 作業を開始する前に、真空コンポーネントが汚

染されていないかチェックしてください。該当

する規制を遵守し、汚染されている部品を取り

扱う場合には必要な対策を講じてください。

すべてのユーザーに対して、安全に関する注意を周

知徹底してください。

1.4 責任ならびに保証

エンドユーザーまたは第三者が以下に該当する行

為を行った場合、インフィコンはその責任を負わ

ず、また保証は無効になるものとします。

• 本取扱説明書の内容に従わない場合。

• 製品を不適切に使用した場合。

• 製品に対して何らかの変更（改造、変造など）を

行った場合。

• 製品説明書に記載されていない付属品とともに

製品を使用した場合。

使用するプロセス媒体については、エンドユーザー

が責任を負うものとします。

汚染に起因する真空計の故障、および消耗部品（フィ

ラメント）については、保証の対象外とします。

2 技術仕様DeviceNetとProfibusインターフェース

を備えた真空計の技術仕様詳細（→

[3] 、[4]、[5]）。

測定レンジ -55×10 ～ 1500 mbar測定原理

1)10 mbar ～ 1500 mbar キャパシタンスダイアフラム

センサ

1 ～ 10 1) mbar クロスオーバーレンジ

5×10-5 ～ 1 mbar ピラニーセンサ

精度（N2）-4 ～ 1×105×10 -3 mbar 読取値の ±50%-31×10 ～ 100 mbar 読取値の ±15%

100 ～ 950 mbar 読取値の ±5%950 ～ 1050 mbar 読取値の ±2.5%

リピータビリティ（N2）-31×10 ～ 1100 mbar 読取値の ±2%

出力信号（測定信号）

電圧範囲

3PCx-0xx-xxx0 0 ～ +10.23 V3PCx-0xx-xxx1 0 ～ +8.68 V3PCx-0xx-xxx2 0 ～ +5.659 V3PCx-0xx-xxx3 0 ～ +9.05 V

測定レンジ3PCx-0xx-xxx0 +0.61 ～ +10.23 V3PCx-0xx-xxx1 +1.2 ～ +8.68 V3PCx-0xx-xxx2 +0.375 ～ +5.659 V3PCx-0xx-xxx3 +1.57 ～ +9.05 V

エラー信号 0 V （デフォルト値）

電圧と圧力の関係

3PCx-0xx-xxx0 1.286 V/decade、対数

3PCx-0xx-xxx1 1 V/decade、対数3PCx-0xx-xxx3 1 V/decade、対数

3PCx-0xx-xxx2 → 11

出力インピーダンス 2 × 4.7 Ω、短絡保護

負荷インピーダンス >10 kΩ応答時間 <30 ms

真空計の識別

FCC 68 （+0.61 ～ +10.23 V）71.5 kΩHirschmann GO 6 （+1.2 ～ +8.68 V） 3.01 kΩ

HV 調整 <10-5 mbarATM 調整 >100 mbar

ソリッドステートリレースイッチ機能 SP1、 SP2、 ATM設定レンジ（N2）

-55.0×10 ～ 1500 mbarヒステリシス 2) しきい値の 10%スイッチング特性 2) 低トリップポイント

接点容量 <30 VAC/DC、 0.3 A 抵抗負荷

閉 LED 点灯

開 LED 消灯

切り換え時間 <30 ms

メカニカルリレースイッチ機能 SP1、 SP2、 ATM設定レンジ（N2）

-55.0×10 ～ 1500 mbarヒステリシス 2) しきい値の 10%スイッチング特性 2) 低トリップポイント

タイプスイッチ機能につき 1 つのフ

ローティングコンタクト (n.o.)接点容量 <30 VAC/DC、 1 A 抵抗負荷

閉 LED 点灯

開 LED 消灯

切り換え時間 <30 ms

診断ポートジャックコネクタ2.5 mm、 3ピン

1) クロスオーバーレンジ：air、O2、CO および N2 の場合 10 mbar（高比重ガス中では 100 mbar）

2) ヒステリシスとスイッチング特性は、シリアルインターフェースまたは診断ポートを介してプログラム可能です。

tina56e1-e (2015-01) 9

電源

真空計は、接地保護の安全超低電圧に関する規格（SELV）に適合した電源、測定装置またはコントロール装置に必ず接続してください。真空計への接続には、ヒューズを取り付けてください。 3)

電源電圧

真空計 +15 ～ +30 VDCリップル ≦ 1 Vpp

消費電力

フィールドバス無し ≦ 2.5 WDeviceNet ≦ 3 WProfibus ≦ 3 W

必要ヒューズ 3) 1 AT

3) インフィコンのコントローラはこの規定を満たしています。

DeviceNet インターフェースを備えた真空計との通

信には、DeviceNet ケーブルにより電源供給されま

す。

DeviceNetインターフェースと部品番号

3PC1-/3PC2-/3PC3-0xx-x1x を備えた真

空計は、センサケーブルを介した追加電

源をそれぞれ必要とします。

センサケーブルの

電源電圧 +15 ～ +30 VDC消費電力 ≦ 3 W

電気接続3PCx-0xx-x0xx FCC 683PCx-0xx-x1xx D-Sub 9 ピン、オス型

3PCx-0xx-x2xx D-Sub 15 ピン HD、オス型 3PCx-0xx-x4xx D-Sub 15 ピン HD、 RS485

INF、オス型

3PCx-0xx-x5xx Hirschmann GO 6、 6 ピン、オス型

センサケーブルシールド付き

0.14 mm2/ 導体

ケーブル長さ ≦ 100 mRS232C 操作 ≦ 30 m

接地方法 →「電気接続」参照

真空接続部から信号コモン 10 kΩ、 10 nF を介して接続

RS232C / RS485 インターフェース

伝送速度 57600 baud（デフォルト値）

データフォーマットバイナリ

8 データビット

1 ストップビット

パリティービットなし

ハンドシェークなし

→ 「電気接続」参照

RS232C / RS485C インターフェースに関する詳細 → ［3］

DeviceNet インターフェース

仕様、データフォーマット、

通信プロトコル

→ ［7］インターフェース（物理的） CAN busデータ転送速度（〈RATE〉スイッチにより調整可能）

125 kBaud 250 kBaud 500 kBaud（デフォルト値）

〈P〉（125 kBaud, 250 kBaud、 500 kBaud DeviceNet を介し

てプログラム可能、 → ［4］）

ノードアドレス（MAC ID）

（〈ADDRESS〉、〈MSD〉、〈LSD〉

スイッチにより調整可能）

0 ～ 63dec （63dec デフォル

ト）〈P〉（DeviceNet を介し

て 0 ～ 63 のプログラム可能 → ［4］）

DeviceNet コネクタ Micro-Style、 5 ピン、オス型

ケーブルシールド、特殊 DeviceNetケーブル、5 導体

→ 16、 → ［8］ケーブル長さ、システム配線 DeviceNet 仕様による →

［7］、［8］DeviceNet インターフェースに関する詳細 → ［4］

Profibus インターフェース

仕様、データフォーマット、

通信プロトコル

→ ［9］

インターフェース（物理的） RS485データ転送速度 ≦ 12 Mbaud （→ 5］）ノードアドレス

ローカル

（16 進〈ADDRESS〉、〈MSD〉、〈LSD〉スイッチに

より調整可能）

00 ～ 7Dhex（0 ～ 125dec）

初期設定値 0.1ChexProfibus 経由

（16 進〈ADDRESS〉スイッ

チを＞ 7Dhex（＞ 125dec）に設定）

00 ～ 7Dhex （0 ～ 125dec）

Profibus 接続 D-Sub、9 ピン、メス型

ケーブルシールド付き特殊 Profibusケーブル→ 16、 → ［10］

ケーブル長さ、システム配線 Profibus 仕様による → ［9］、［10］

Profibus インターフェースに関する詳細 → ［5］

真空にさらされる材料

真空接続部ステンレス鋼 1.4435フィラメント

3PC1 / 6-0xx-xxxx W3PC2 / 7-0xx-xxxx Ni

10 tina56e1-e (2015-01)

寸法 [mm]

RS485

3PC3 / 8-0xx-xxxx セラミック被覆

フィードスルーガラス

オリフィス 4) ステンレス鋼

ダイアフラムセラミック

その他材料 Ni、NiFe、ステンレス鋼1.4301、SnAg

内部容量

DN 16 ISO-KF 4.7 cm3

DN 16 ISO-KF、ロング

チューブ 14.5 cm3

DN 16 CF-F 8 cm3

DN 16 CF-R, ロングチュー

ブ

14 cm3

DN 25 ISO-KF 5.5 cm3

4 VCR® メス型 5.5 cm3

8 VCR® メス型 7 cm3

1/8" NPT 5.2 cm3

フランジ 29×29 mm 4.9 cm3

4 VCR® 90° メス型 7.9 cm3

7/16-20 UNF 5.2 cm3

許容圧力（絶対圧力） ≦ 5 bar破裂圧（絶対圧力） 10 bar許容温度

使用 +10°C ～ +50°C真空接続部 5) ≦ 80°C

ロングチューブ 5) ≦ 250°Cフィラメント <160°C保管 -20°C ～ +65°C

相対湿度

年平均 ≦ 65% （非結露状態）

60 日間 ≦ 85% （非結露状態）

取り付け方向任意

使用屋内専用、標高 2000m までの

高度

保護クラス IP40重量

フィールドバスインター

フェースなし

115 g ～ 130 g

フィールドバスインター

フェースあり

230 g ～ 250 g

4) DN 16 ISO KF と DN 16 CF F バージョンのみ

5) 水平取り付け方向のみ。ベークアウト時、測定レンジ、精度およびリピータビリティについては仕様からの逸脱が認められます。

DeviceNet Profibus

DN

16

ISO

-KF

DN

16

ISO

-KF

long

130.

8

14.5

1 / 8 " N P T

3621.5

31.5

2 4 . 4

36.5

34

79.5

≈65

DN

16

CF-

F

DN

16

CF-

R lo

ng13

0.2

30.9

42.7

46.3

4 V C R8 V C R

4 5

28

D N 2 5 I S O - K F

2 9 . 2 × 2 9 . 2 m m

7 / 1 6 - 2 0 U N F

4 - V C R 9 0 °

DN

16

ISO

-KF ロングチューブ

DN

16

CF-

R ロ

ングチューブ

6 7

56

L S DM S D

A D D R E S S

S P 1S P 2

S T

I / O

D I A

A D J

B U S R A T E S T A T U S

N E T M O D

10.8 42 6

0 8E AC

L S DM S D

A D D R E S S42 6

0 8E AC

B U S

S P 1S P 2

S T

I/ O

D IA

A D J

6 756

AE

62L S DM S D

A D D R E S S

R A T ES P 1 S P 2 S T

D IA

B U S

A D J3 2 1 O N

AE

62

AE

62

6 7

56

tina56e1-e (2015-01) 11

2.1 測定信号と圧力の関係

測定レンジ：　 0.61 ～ 10.23 V

有効レンジ　：　5×10-5 mbar <p< 1500 mbar

U p c U p c

［V］［mbar］ 6.143 ［V］［micron］ 2.448

［V］［µbar］ 2.287 ［V］［Pa］ 3.572

［V］［Torr］ 6.304 ［V］［kPa］ 7.429

［V］［mTorr］ 2.448

p：圧力

U：測定信号

c：定数（圧力単位により異なる）

測定レンジ： 1.2 ～ 8.68 V

有効レンジ：　5×10-5 mbar <p< 1500 mbar

U p c U p c

［V］［mbar］ 5.5 ［V］［micron］ 2.625

［V］［µbar］ 2.5 ［V］［Pa］ 3.5

［V］［Torr］ 5.625 ［V］［kPa］ 6.5

［V］［mTorr］ 2.625

p：圧力

U：出力信号


測定レンジ：　 0.375 ～ 5.659 V

信号 U 圧力 p［V］［mbar］［Pa］［Torr］0.375 <5×10-5 <6.65×10-3 <5×10-5

0.376 0.000133322 0.013332237 0.00010.377 0.000266645 0.026664474 0.00020.379 0.000666612 0.066661184 0.00050.384 0.001333224 0.133322368 0.00100.392 0.002666447 0.266644736 0.00200.417 0.006666118 0.66661184 0.00500.455 0.013332237 1.33322368 0.01000.523 0.026664474 2.66644736 0.02000.682 0.066661184 6.6661184 0.05000.876 0.133322368 13.3322368 0.10001.155 0.266644736 26.6644736 0.20001.683 0.66661184 66.661184 0.50002.217 1.33322368 133.322368 1.00002.842 2.66644736 266.644736 2.00003.675 6.6661184 666.61184 5.00004.206 13.3322368 1333.22368 10.00004.577 26.6644736 2666.44736 20.00004.846 66.661184 6666.1184 50.00004.945 133.322368 13332.2368 100.00005.019 266.644736 26664.4736 200.00005.111 399.967104 39996.7104 300.00005.224 533.289472 53328.9472 400.00005.329 666.61184 66661.184 500.00005.419 799.934208 79993.4208 600.00005.495 933.256576 93325.6576 700.00005.534 1013.249997 101324.9997 760.00005.558 1066.578944 106657.8944 800.00005.614 1199.901312 119990.1312 900.00005.659 1333.22368 133322.368 1000.0000

p = 100.778(U-c) ⇔ U = c +1.286log10 p

Output signal U [V ]

Pressure p

O

mbar

Pa

Torr

Err

or

Ove

rrang

e0 .0

0.613.02.52.01.51.00.5 4.03.5 5.04.5 6.05.5 7.06.5 8.07.5 9.08.5 10.09.5 10.5

Und

erra

nge

1E+05

1E+04

1E+03

1E+02

1E+01

1E+00

1E–01

1E–02

1E–03

1E–04

1E+06

1E–05

圧力 p

オー

バーレ

ンジ

測定信号 U ［V］

センサ

エラー

アン

ダーレ

ンジ

Output signal U [V ]

Pressure p1E+05

1E+04

1E+03

1E+02

1E+01

1E+00

1E–01

1E–02

1E–03

1E–04

1E–050.0 0.5 1.0 1.5 2.5 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 8.5

8.682.0 3.0 4.0 5.0 6.0 7.0 8.0 9.0

Torr

Und

erra

nge

Ove

rrang

e

mbarPa

Err

or

1 .2

圧力 p

オー

バーレ

ンジ


センサ

エラー

アン

ダーレ

ンジ

p = 10(U-c) ⇔ U = c + log10 p

12 tina56e1-e (2015-01)

有効レンジ： 0.375 ～ 2.842 V

2 + dUp = a + bU + cU 3 + eU4 + fU5

a –0.02585 c 0.04563 e –0.04158

b 0.03767 d 0.1151 f 0.008737

p：圧力（ Torr） a、b、c、d、e、f：定数

U：測定信号

有効レンジ： 2.842 ～ 4.945 V

p =a + cU + eU2

1 + bU + dU2 + fU3

a 0.1031 c –0.02322 e 0.07229

b –0.3986 d 0.07438 f –0.006866

p：圧力（ Torr） a、b、c、d、e、f：定数

U: 測定信号

有効レンジ： 4.945 ～ 5.659 V

p =a + cU

1 + bU + dU2

a 100.624 c –20.5623

b –0.37679 d 0.0348656

p：圧力（Torr） a、b、c、d：定数

U : 測定信号

測定レンジ : 1.57 ～ 9.05 V

有効レンジ：5×10-5 mbar <p< 1500 mbar

U p c U p c［V］［mbar］ 5.8751 ［V］［micron］ 3［V］［µbar］ 2.8751 ［V］［Pa］ 3.8751［V］［Torr］ 6 ［V］［kPa］ 6.8751［V］［mTorr］ 3

p：圧力

U：測定信号


2.2 ガス種依存性

圧力表示（air に対して校正された真空計）

校正係数

1 mbar 以下のピラニー圧力レンジに対し有効

effp = C × 表示圧力

気体校正係数 C 気体校正係数 CHeNeArKrXe

0.81.41.72.43.0

H2

2、CO、Nair、O 2CO2

水蒸気

フレオン 12

0.51.00.90.50.7

Output signal U [V]

Pressure p1E+05

1E+04

1E+03

1E+02

1E+01

1E+00

1E–01

1E–02

1E–03

1E–04

1E–050.0 0.5 1.0 1.5 2.5 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 8.52.0 3.0 4.0 5.0 6.0 7.0 8.0 9.0

Torr

Und

erra

nge

Ove

rrang

e

mbar

Pa

Erro

r

1.57 9.059.5

圧力 p

オー

バー

レンジ


セン

サエラ

ー

アン

ダー

レンジ

p = 10(U-c) ⇔ U = c + log10 p

1 0 2

1 0 1

1 0 0

1 0 – 1

1 0 – 2

864

2

1 0 – 3

1 0 – 4 2 4 6 1 0 – 3 2 4 6 1 0 – 2 2 4 6 2 4 6 1 0 0 2 4 6 1 0 11 0 – 11 0 – 4

p e f f [ m b a r ]2 4 6 1 0 2 2 4 6 1 0 3

1 0 3

p [ m b a r ]

2

A i r , O 2 , C O , N 2

H eA r

864

2

864

2

864

2

864

2

864

2

864

2

4

2

C a p a c i t i v ed i a p h r a g m

s e n s o r

C r o s s o v e rr a n g e

P i r a n is e n s o rピラニセンサ

容量性ダイアフラム

センサ

クロスオーバーレンジ

tina56e1-e (2015-01) 13

3 設置

3.1 真空接続

注意：真空システムの過圧が 2.5 barを超える場合通常のKFクランプ継ぎ手ではこの過

圧に耐えることが出来ません。そのた

めに真空システムから漏れを起こし、

負傷または傷害が発生する恐れがあ

ります。

そのような場合にはアウターリング

付 O リングをご使用ください。

注意：保護接地正しく接地していない製品は、故障時

に非常に危険です。

真空計は、接地した真空チャンバーに

電気的に接続してください。この接続

は、EN61010 に準拠した保護接地の

規格を満たすことが必要です。

• CF、NPT、 UNF および VCR 接続

は、この規定を満たしています。

• KF フランジの場合、導電性の金属

クランプ・リングを使用してくだ

さい。

• ½" チューブの場合には、この規定

を満たすための適切な措置を講じ

てください。

注意：真空コンポーネントほこりや損傷があると、真空コンポー

ネントの機能が劣化します。

真空コンポーネントを取り扱う場合

は、汚れのないように、また損傷しな

いように適切な手段を講じてくださ

い。

注意：ほこりを嫌うエリア素手で本製品やその部品に触れると、

ほこりが吸着されやすくなります。

このようなエリアで作業をする場合

は、毛羽立ちのない清潔な手袋を必ず

装着し、汚れのないツールを使用して

ください。

振動が発生しないように真空計を取り

付けてください。真空計は任意の方向に

取り付け可能です。測定チャンバへの凝

縮物や異物の侵入を防止するために、水

平位から立位までの適切な取り付け位

置を選び、真空計取り付け後の調整を可

能にする必要がある場合には、ピンを使

注意：脆性部品

セラミックセンサーは衝撃により損

傷する場合があります。

本製品を落下させないでください。ま

た衝撃やダメージを防止してくださ

い。

注意 : 真空システムの過圧が 1 bar を超える場合真空システムが加圧中にクランプを

開くと、外れた部品または漏れたプロ

セスガスにより負傷または傷害が発

生する恐れがあります。

真空システムを加圧する際に、クラン

プを開かないでください。また過圧に

適したクランプを使用してください。

14 tina56e1-e (2015-01)

用してボタンを押せる位置に真空計を

取り付けるようにしてください。

保護用の蓋を取り外し、本製品を真空システムに取

り付けてください。

保護用の蓋は捨てずに保管しておいてくだ

さい。

3.2 電気接続

真空接続が正しく行われていることを

確認してください ( → 13)。

6) インフィコンのコントローラはこれらの規定を満たしています。

真空計は、接地保護の安全超低電圧に関する規格（SELV）に適合した電源、測定装置またはコントロール装置に必ず接続してください。真空計への接続には、ヒューズを取り付けてください。6)

接地ループ、電位差または EMC 問題が

測定信号に影響を及ぼす可能性があり

ます。最適信号品質のために、以下の注

記をお読みください。

• コネクタハウジングを介してケーブ

ルシールドの片側を接地してくださ

い。シールドの反対側は接地しない

でください。

• 感電防止用アース付きの電源コモン

を電源に直接接続してください。

• 差動測定入力を使用してください

（別途に導通される信号コモンと電

源コモン）。

• 電源コモンとハウジング間の電位差

≦ 18 V（過電圧保護）

3.2.1 FCC 68、8 ピンコネクタ

INFICON 製センサケーブルを利用、もしくは下図

に従ってセンサケーブルを作り、結線してくださ

い。

orClamp

Seal with centering ring

Seal with centeringring and filter

Protective lid

センタリング・リング

クランプまたは

センタリング・リングとフィルタ付きシール

保護用の蓋

E l e c t r i c a l c o n n e c t i o nP i n 1 S u p p l yP i n 2 S u p p l y c o m m o n , G N DP i n 3 M e a s u r e m e n t s i g n a l o r t h r e s h o l d S P 1 , S P 2P i n 4 G a u g e i d e n t i f i c a t i o nP i n 5 S i g n a l c o m m o nP i n 6 , 8 R e l a y S P 2 C o m m o n c l o s i n g c o n t a c t ( c o m )P i n 7 , 8 R e l a y S P 1 C o m m o n c l o s i n g c o n t a c t ( c o m )

1

8

8 - p i nF C C - 6 8

c o n n e c t o r

8735

12

64

+–

+–

I d e n t

10k 1 8 V

+ 2 4 V

10nF

S u p p l y

S P 2

S P 1

4 . 7 Ω

4 . 7 Ω

M e a s u r e m e n ts i g n a l

電気接続

ピン 1 電源

ピン 2 電源コモン、GNDピン 3 測定信号

またはしきい値 SP1、SP2ピン 4 真空計の識別

ピン 5 信号コモン

ピン 6、8 リレー SP2 コモン閉接点（com）

ピン 7、8 リレー SP1 コモン閉接点（com）

識別

電源測定信号

8 ピン FCC-68コネクタ

tina56e1-e (2015-01) 15

3.2.2 D-Sub、9 ピンコネクタ



い。

3.2.3 D-Sub、15 ピン HD コネクタ



い。

E l e c t r i c a l c o n n e c t i o nP i n 1 R e l a y S P 1 , c l o s i n g c o n t a c tP i n 2 G a u g e i d e n t i f i c a t i o nP i n 3 S u p p l yP i n 4 S u p p l y c o m m o n , G N DP i n 5 M e a s u r e m e n t s i g n a l o r t h r e s h o l d s S P 1 , S P 2P i n 6 R e l a y S P 1 C o m m o n c o n t a c t ( c o m )P i n 7 R e l a y S P 2 C o m m o n c o n t a c t ( c o m )P i n 8 S i g n a l c o m m o nP i n 9 R e l a y S P 2 , c l o s i n g c o n t a c t

6

95

1

D - S u b , 9 - p i nf e m a l e

s o l d e r i n gs i d e

67

58

34

12

+–

+–

I d e n t

+ 2 4 V

10nF

9

S u p p l yS P 2

S P 1

10k 1 8 V

4 . 7 Ω

4 . 7 Ω


電気接続

ピン 1 リレー SP1、閉接点

ピン 2 真空計の識別

ピン 3 電源

ピン 4 電源コモン、GNDピン 5 測定信号

またはしきい値 SP1、SP2ピン 6 リレー SP1

コモン接点（com）

ピン 7 リレー SP2 コモン接点（com）


ピン 9 リレー SP2、閉接点

識別

電源

測定信号

D-Sub、9 ピンメス型はんだ側

1115

56

34

1214

10

13

+–

+–

10k

+24V

RxDTxD

SP1

SP2

4.7Ω

4.7Ω

18V

Measurementsignal

電気接続

ピン 1、2 N.C.ピン 3 電源

ピン 4 電源コモン

ピン 5 測定信号


ピン7、8、9 N.C.ピン 10 リレー SP1、N.O.ピン 11 リレー SP2、N.O.ピン 12 リレー SP2


ピン 13 RS232、TxDピン 14 RS232、RxDピン 15 リレー SP1


D-Sub15 ピン HD

メス型はんだ側

測定信号

16 tina56e1-e (2015-01)

3.2.4 D-Sub、15 ピン HD、RS485 INF コネクタ



い。

3.2.5 DeviceNet コネクタ

下図に従って DeviceNet ケーブルを作り、結線して

ください。

3

1

42

5

マイクロ・スタイル、5 ピン、（DeviceNet）、メス型、はんだ側

ピン 1 ドレイン

ピン 2 電源 +15 ～ +30 VDCピン 3 電源コモン GNDピン 4 CAN_Hピン 5 CAN_L

インターフェースと部品番号 3PC1-/ 3PC2-/3PC3-0xx-x1x を備えた真空計

は、センサケーブルを介した追加の電源

をそれぞれ必要とします（→ 13）。E l e c t r i c a l c o n n e c t i o nP i n 1 R S 4 8 5 B +P i n 2 R S 4 8 5 A –P i n 3 S u p p l yP i n 4 S u p p l y c o m m o nP i n 5 M e a s u r e m e n t s i g n a lP i n 6 S i g n a l c o m m o nP i n 7 R e s e r v e dP i n 8 R S 4 8 5 G N DP i n 9 R e s e r v e dP i n 1 0 R e l a y S P 1 , N . O .P i n 1 1 R e l a y S P 2 , N . O .P i n 1 2 R e l a y S P 2 , c o m m o n c o n t a c t ( c o m )P i n 1 3 R e l a y S P 2 , N . C .P i n 1 4 R e l a y S P 1 , N . C .P i n 1 5 R e l a y S P 1 , c o m m o n c o n t a c t ( c o m )

1 55

1 11

1 0

6

D - S u b1 5 - p i n H D

f e m a l es o l d e r i n g

s i d e

1 11 5

56

34

1 21 4

+–

+–

+ 2 4 V

10nF

1 0

1 3

S P 1

S P 2

4 . 7 Ω

4 . 7 Ω

10k 1 8 V

821

RS

-485

1 0 Ω

470 Ω

1 2 0 Ω2 T e r m i n a t i o n

3 F a i l s a f e b i a s

470Ω

+ 5 V

1 F a i l s a f e b i a s


電気接続

ピン 1 RS485 B+ピン 2 RS485 A-ピン 3 電源

ピン 4 電源コモン

ピン 5 測定信号


ピン 7 予備

ピン 8 RS485 GNDピン 9 予備

ピン 10 リレー SP1、N.O.ピン 11 リレー SP2、N.O.ピン 12 リレー SP2、コモン接点

（com）

ピン 13 リレー SP2、N.C.ピン 14 リレー SP1、N.C.ピン 15 リレー SP1、コモン接点

（com）

1 フェイルセーフ・バイアス

D-Sub15 ピン HD

メス型はんだ側

2 端子

3 フェイルセーフ・バイアス

測定信号

D e v ic e N e t c a b le

S e n s o r c a b le

DeviceNetケーブル

センサケーブル

tina56e1-e (2015-01) 17

3.2.6 Profibus コネクタ

下図に従って Profibus ケーブルを作り、結線してく

ださい。

1 5

6 9

D-Sub、9 ピン、オス型、はんだ側

ピン 1、2 結線しないでください。

ピン 6 VP 2)

ピン 3 RxD/TxD-P ピン 7、9 結線なし

ピン 4ピン 5

CNTR-P 1)

DGND 2)ピン 8 RxD/TxD-N

1) オプティカル・リンク・モジュールが使用される場合のみ結線

2) バスケーブル両端のデバイスのライン端子として必要な場合のみ（→ ［10］）

4 操作

電圧が供給されると、コネクタ部で測定信号が得ら

れます（→「電気接続」）。

信号が安定するまで 10 分間以上を必要とします。

圧力に関係なく、真空計を連続運転させることをお

勧めします。

真空計は、工場において校正されています。ただし、

長時間におよぶ使用や汚染により、ゼロレベルが変

化する場合もあります。ゼロレベルを定期的に

チェックし、必要に応じて調整してください（真空

計のゼロ点調整 → 24）。

4.1 ステータス表示とディスプレイ

ステータス表示（LED）

LED 状態意味

〈ST〉オフ電源オフ

緑点灯測定モード

赤点灯エラー

〈SP1〉緑点灯リレー SP 1 閉

オフリレー SP 1 開

〈SP2〉緑点灯リレー SP 2 閉

オフリレー SP 2 開

液晶ディスプレイ

P r o f ib u s c a b le S e n s o r c a b leセンサケーブル

Profibusケーブル

状態意味

オフ電源オフ

緑点灯測定／パラメータモード赤点灯エラー

SP1SP2ADJ

ST

DIAStatus

18 tina56e1-e (2015-01)

本ディスプレイ表示は、シリアルイン

ターフェースにより 180° 回転させるこ

とができます。

真空計を動作させてください。

電圧を供給すると、ソフトウェアバー

ジョンがしばらく表示されます。

測定モード

パラメータモード

スイッチ機能〈S〉〈SP1〉または〈SP2〉ボタンを

押すと、対応するしきい値が表

示され、対応するリレーが点滅

します。

エラー表示

（トラブルシューティング → 26）

ピラニーセンサエラー

ダイアフラムセンサエラー

大気圧センサエラー

EEPROM エラー

センサエラー

P i r a n i

C a p a c i t i v e

C r o s s o v e r r a n g e

S e t p o i n t

A T M s e t p o i n t

o p e nc l o s e d

o p e nc l o s e d

S e t p o i n t

A T M s e t p o i n t

M e a s u r e m e n tp r i n c i p l e

S t a t u s o f r e l a y 2

R e l a y 2

S t a t u s o f r e l a y 1

R e l a y 1

U n i tM i l l i b a r

T o r r

P a s c a l

M i c r o n

C o u n t s( n o d i s p l a y )

U n d e r r a n g e

O v e r r a n g e

( n o d i s p l a y ) W i t h i n r a n g e

O u t p u t s i g n a l

リレー 1

リレー 1 のステータス

測定

リレー 2

リレー 2 のステータス

セットポイント

ATM セットポイント

開

閉

ATM セットポイント

セットポイント

開

ピラニ

容量

クロスオーバーレンジ

閉

原理

出力信号

単位

（無表示）カウント中

アンダーレンジ

オーバーレンジ

（無表示）レンジ内

T h r e s h o ldしきい値

ステータス

tina56e1-e (2015-01) 19

4.2 ガス種依存性

1) クロスオーバーレンジ：air、O2、CO および N2 の場合 10 mbar（高比重ガス中では 100 mbar）

2) 測定値は dry air、O2、CO および N2 により異なります。その他の気体については、修正する必要があります（校正係数 → 12）。

圧力レンジ測定原理ガス種依存性 7)10 ～ 1500

mbarキャパシタンス

ダイアフラムセン

サ

ガス種依存性な

し、修正不要

1 ～ 10 7) mbar キャパシタンス

ダイアフラムセン

サとピラニーセン

サ

クロスオーバーレ

ンジ

-55×10 ～ 1 mbar ピラニーセンサ圧力に比例 8)

4.3 スイッチ機能 SP1、SP22 つのスイッチ機能は全測定レンジ内の任意の圧力

に調整できます。各スイッチ機能にはソリッドス

テートリレーが備わっています。

現在のしきい値設定については以下のとおりです。

• 診断ポートにより読み取り／書き込みできま

す。

• 測定信号出力部において圧力信号の代わりに出

力され、電圧計で測定することができ、〈SP1〉または〈SP2〉ボタンが押された後に液晶ディス

プレイに表示されます。

• シリアルインターフェースにより読み取り／書

き込みができます。

スイッチング特性とヒステリシス

スイッチング特性と各設定値のヒステリシスがプ

ログラム可能です（→ 20）。

低トリップポイント（デフォルト値）

真空システムの圧力がセットポイントより低い場

合、対応する LED（〈SP1〉または〈SP2〉）が点灯

し、対応するリレーはオンとなります。

セットポイント SP1 と SP2 は、工場において測定

レンジ限界以下に設定されているためスイッチ動

作しません。

高トリップポイント

真空システムの圧力がセットポイントより高い場

合、対応する LED（〈SP1〉または〈SP2〉）が点灯

し、対応するリレーはオンとなります。

高＆低トリップポイント

高トリップポイントと低トリップポイントが、各

セットポイントに割り当てられます。真空システム

の圧力が割り当てられた高トリップポイントのし

きい値より高い場合、対応する LED（〈SP1〉また

は〈SP2〉）が点灯し、対応するリレーがオンとな

ります。真空システムの圧力が割り当てられた低ト

リップポイントのしきい値より低い場合、対応する

LED（〈SP1〉または〈SP2〉）が点灯し、対応する

リレーがオンとなります。

測定信号（圧力 p）

セットポイント（SP）

ヒステリシス（しきい値の 10%）

しきい値

オフ

測定値

オンオフ

時間 t


セットポイント（SP）

しきい値

オフ

測定値

オンオフ

時間 t

しきい値


20 tina56e1-e (2015-01)

セットポイントは以下を介してのみプ

ログラム可能です。

• 診断ポート（→ ［6］）

• シリアルインターフェース（→

［3］、［4］、［5］）

4.3.1 セットポイント SP1、SP2の調整

スイッチング特性とヒステリシスは以

下を介してプログラム可能です。

• 診断ポート（→ ［6］）

• シリアルインターフェース

（→ ［3］、［4］、［5］）

セットポイントのしきい値は以下によ

り調整できます。

• 真空計のボタン

• 診断ポート（→ ［6］）


（→ ［3］、［4］、［5］）

高トリップポイントと低トリップポイ

ントがセットポイントに割り当てられ

る場合、低トリップポイントのみが真空

計の対応するボタンにより調整可能で

す。

危険：障害信号出力によりプロセスを制御する

場合、〈SP〉ボタンを押すと、測定

信号の代わりに対応するしきい値が

出力されることに留意してくださ

い。これにより障害が発生すること

もあります。

障害によって損傷が生じないことが

確かな場合のみ〈SP〉ボタンを押す

ようにしてください。

真空計のボタンによるセットポイント SP1 の

調整

ピン（最大直径 1.1 mm ）で〈SP1〉ボタンを押

してください。真空計はスイッチ機能モードに

変わり、測定値出力または液晶ディスプレイに

約 5 秒間現在のしきい値を出力し、ディスプレ

イの対応する〈S〉が点滅します。

ボタンを離すか設定幅最大に達するまでは、し

きい値は上限の方へ増大し続けます。ボタンを

一時的に離し、再び押した場合、しきい値は減

少し始めます。

上限しきい値の工場出荷時の設定は、低

トリップポイントより 10% 高く、高ト


セットポイント高トリップ

ポイント

しきい値

オフオンオフ

時間 t

オンオフ



しきい値セットポイント低トリップ

ポイント

Keep the buttondepressed

ボタンを押し続けてください。

tina56e1-e (2015-01) 21

リップポイントより 10% 低くなってい

ます（ヒステリシス）。

ヒステリシスのプログラミング後に対

応するボタン〈SP1〉または〈SP2〉を

押した場合、対応するヒステリシス

（10%）の工場出荷時の設定値に戻りま

す。

ボタンを離してください。5 秒後に真空計の動作

が再開し、現在の圧力値が測定信号出力部に表

示されます。

セットポイント SP1 のプログラム

プログラム可能な

パラメータ：

（→ ［3］、［4］、［5］）

低トリップポイント

低トリップ有効

低トリップポイント・

ヒステリシス

高トリップポイント

高トリップ有効

高トリップポイント・

ヒステリシス

セットポイント・モード

セットポイント SP2 の調整

調整手順はセットポイント SP1 の場合と同じです。

4.4 ATM セットポイント

個別の大気圧センサを備えた真空計のセットポイ

ント SP1 と SP29）は、診断ポートまたはシリアル

インターフェースを介して大気圧セットポイント

（ATM セットポイント）にプログラム可能です。

ATM セットポイントは現在の大気圧の係数として

定義され、真空計の測定レンジ内の任意の圧力に設

定できます。真空システムの圧力が定義された値に

達したとき、リレーはオンとなります。

9) 大気圧センサは大気圧（真空システムの周囲圧力）を測定し、真空計のダイアフラム静電容量センサに対して校正されます。（→ 25）。

例 : ATM セットポイント：大気圧の 110%（= 係

数 1.1）

スイッチング特性：高トリップポイント

ヒステリシス：10 mbar

現在の ATM しきい値設定は

• 診断ポートにより読み取り／書き込みできま

す。

• 測定信号出力部において圧力信号の代わりに出

力され、電圧計で測定することができ、〈SP1〉または〈SP2〉ボタンが押された後に液晶ディス

プレイに表示されます。

• シリアルインターフェースにより読み取り／書

き込みができます。

危険：障害信号出力によりプロセスを制御する

場合、〈SP〉ボタンを押すと、測定信

号の代わりに対応するしきい値が出

力されることに留意してください。

これにより障害が発生することもあ

ります。

障害によって損傷が生じないことが

確かな場合のみ〈SP〉ボタンを押す

ようにしてください。


しきい値

オフオン

ヒステリシス（10 mbar）

1078 mbar

ATM セットポイント 110% （= 係数 1.1）

大気圧

（周囲圧）980 mbar

オフ

測定値

22 tina56e1-e (2015-01)

ATM セットポイントのプログラム

プログラム可能な

パラメータ：

（→ ［3］、［4］、［5］）

ATM 係数

低トリップ有効

低トリップポイント・ヒス

テリシス

高トリップ有効

高トリップポイント・ヒス

テリシス

セットポイント・モード

セットポイントのスイッチング特性 → 19

診断ポート → ［6］

4.5 診断ポート（RS232Cインターフェース）

診断ポート〈DIA〉により、圧力の読取値とすべて

のステータス情報を出力し、同時にすべての設定値

を入力することができます (→ ［6］)。

4.6 DeviceNet の操作

真空計をDeviceNet用に構成してからでないと真空

計を動作させてはいけません。このためにはコン

フィグレーションツールとデバイスに特有の EDS（電子データシート）ファイルが必要となります。こ

のソフトウェアはインターネットによりダウン

ロードできます。

ノードアドレスの設定→ " A c c e s s o r i e s "「付属品」

注意：データ伝送エラーRS232C インターフェースを備えた

DeviceNet 真空計を動作させようと

すれば、データ伝送エラーの原因と

なります。

この DeviceNet 真空計は、RS232Cインターフェースにより動作させて

はいけません。

〈ADDRESS〉、〈MSD〉および〈LSD〉

スイッチを介してノードアドレス（0 ～

63dec）を設定してください（デフォル

ト値 63dec）。真空計にスイッチが入る

と、ノードアドレスはファームウェアに

よりポーリングされます。設定が保存

されている値から逸脱している場合、そ

の新しい値が NVRAM に取り込まれま

す。63 を超える設定がなされている場

合、以前のノードアドレス設定が有効で

す。〈MSD〉スイッチが〈P〉位置にあ

る場合、ノードアドレスは DeviceNet を介してプログラム可能です（→

［4］）。

tina56e1-e (2015-01) 23

データ転送速度の設定

〈RATE〉スイッチにより、データ転送

速度は 125（〈1〉）、250（〈2〉）または

500 kBaud（〈5〉）（デフォルト 500 kBaud）に設定できます。

スイッチが〈P〉位置にある場合、デー

タ転送速度は DeviceNet を介してプロ

グラム可能です → ［4］)。

ステータス LED

真空計の 2 個の LED は、真空計のステータスと現

在の DeviceNet のステータスを表示します。

〈STATUS MOD〉（真空計のステータス）:

LED 意味

オフ電源オフ

緑 - 赤点滅自己診断

緑点灯正常作動

赤点灯非回復可能エラー

赤点滅回復可能エラー（例：DeviceNet 電源

なし）

〈STATUS NET〉（ネットワークのステータス）:

LED 意味

オフ真空計オフライン状態 :• 自己診断未実施

• 電源オフ、 → 「STATUS MOD」

緑点滅真空計オンラインで通信不通の状態：

• 自己診断実施済み、ただし他の設置

ノードに通信不通

• 真空計、どのマスタにも未割り当て

緑点灯真空計オンライン；必要な接続完了

赤点滅「タイムアウト」状態にある 1 つまたは

複数の入力 / 出力接続

赤点灯通信エラー。真空計がネットワークを

介して通信を妨げるエラーを検出（例：

2 つの同一のノードアドレス（Mac IC）

または「バス‐オフ」）

4.7 Profibus の操作

注意：データ伝送エラーRS232C インターフェースを備えた

真空計を動作させようとすれば、

データ伝送エラーの原因となりま

す。

この真空計は、RS232C インター

フェースにより動作させてはいけま

せん。

Profibus を介して真空計を作動するために、デバイ

ス特有の GSD ファイルの事前設置がバスマスタ側

で必要とされます。このファイルはインターネット

によりダウンロードできます。

ノードアドレスの設定

Profibus 環境における真空計の明確な識別のため

に、ノードアドレスが必要とされます。ノードアド

レスは真空計で設定されます。

0ノードアドレス（～ 125dec）は

〈ADDRESS〉、〈MSD〉および〈LSD〉

スイッチを介して 16 進表記（00 ～

7Dhex）で設定されます。真空計にス

イッチが入ると、ノードアドレスは

ファームウェアによりポーリングされ

ます。設定が保存されている値から逸脱

している場合、その新しい値が NVRAMに取り込まれます。数値＞ 7Dhex（＞

125dec）が入力される場合、現在デバイ

スに保存されているノードアドレスの

設定が有効ですが、それはすぐに Profi-bus を介して定義することができます

（「スレーブアドレスを設定してくださ

い」→ ［5］）。

デフォルトアドレスの設定は 5Chex で

す。

42 60 8

E ACL S DM S D

A D D R E S S42 6

0 8E AC

24 tina56e1-e (2015-01)

5 取り外し

注意：脆性部品セラミックセンサーは衝撃により損

傷する場合があります。

本製品を落下させないでください。ま

た衝撃やダメージを防止してくださ

い。

注意：汚染された部品汚染部品は、健康および環境に損害を

与える恐れがあります。

作業を開始する前に、汚染された部品

がないか確認してください。汚染部品

を取り扱う場合は、適用規制を遵守

し、必要な安全対策を施してくださ

い。

注意：真空コンポーネントほこりや損傷があると、真空コンポー

ネントの機能が劣化します。

真空コンポーネントを取り扱う場合

は、汚れのないように、また損傷しな

いように適切な手段を講じてくださ

い。

注意：ほこりを嫌うエリア素手で本製品やその部品に触れると、

ほこりが吸着されやすくなります。

このようなエリアで作業をする場合

は、毛羽立ちのない清潔な手袋を必ず

装着し、汚れのないツールを使用して

ください。

真空システムをベントしてください。

真空計の電源を切ってください。

締め付けネジを緩めて外し、センサケーブルを外

します。

真空システムから真空計を外し、真空計に保護用

の蓋を取り付けてください。

6 保守、修理

汚染に起因する真空計の故障、および消

耗部品（フィラメント）については保証

の対象外とします。

エンドユーザまたは第三者が修理を実施した場合、

インフィコムはその責任を負わず、また保証は無効

になるものとします。

6.1 真空計のゼロ点調整

真空計は工場において校正されています。ただし、

長期間におよぶ使用や汚染により、ゼロ点が変化す

る可能性があります。ゼロ点を定期的にチェック

し、必要に応じて調整してください。

ゼロ点を調整する場合は、通常時と同じ周囲条件、

および同じ取り付け方向で真空計を動作させてく

ださい。

真空計は、デフォルト値に調整されています。ただ

し、正確な圧力値が分かっている場合（基準測定）

は、他の圧力値に調整することもできます。

センタリング・リングおよびフィルタを備えた

シールを使用している場合、汚れがないか

チェックし、必要に応じて交換してください（→「取り外し」）。

Protective lid保護用の蓋

tina56e1-e (2015-01) 25

p << 10-5 mbar まで真空排気し、2 分間以上待ち

ます。

ピンで〈ADJ〉ボタンを押し、HV 調整を実施し

てください。真空計は 5×10-5 mbar（デフォルト

値）に調整されます。

圧力値 4.99×10-5 mbar が測定値出力部または

液晶ディスプレイに出力されれば、調整は完了

です。そうでない場合には、調整手順を繰り返

してください。

6.2 大気圧センサのゼロ点調整

真空計の周囲圧力は、真空計の電子ユニットに組み

入れられた個別の大気圧センサにより測定されま

す。

大気圧センサは、真空計のキャパシタンスダイアフ

ラムセンサに対して校正できます。真空計の電子ユ

ニットは、この 2 つのセンサ出力信号を比較して、

大気圧センサ信号の必要な調整を実施します。

大気圧センサの調整は以下を介しての

み実施できます。

• 診断ポート（→ ［6］）


（→ ［3］、［4］、［5］）

6.3 センサの交換

顕著に汚染している場合、あるいは故障している場

合は、センサを交換することができます。

前提条件

真空計の取り外し（→ 24）

六角穴付き止めねじを緩めて外し、センサをねじ

らずに取り外してください。

新しいセンサをねじらずに設置して、六角穴付き

止めねじで固定してください。

ATMHV

2 m m

26 tina56e1-e (2015-01)

6.4 トラブルシューティング

エラーの場合、主電源を切り 5 秒後に再

び電源を入れると復旧する場合があり

ます。

問題考えられる原因対処法

出力信号が常時 ≈0 V

センサケーブルに欠陥

があるか、正しく接続

されていない

センサケーブルを

チェックしてくださ

い

電源が入っていない電源を入れてくださ

い

エラーエラーを修復してく

ださい

真空計が未定義ステー

タス

真空計をオフにし 5秒後にオンにしてく

ださい（リセット）

FAIL PIR1

ピラニーセンサ

エラー

ピラニーセンサの欠陥センサを交換してく

ださい（→ 25）

電子ユニットがセンサ

上に正しく取り付けら

れていない

接続部をチェックし

てください（電子ユ

ニット－センサ）

FAIL CAP1

ダイアフラムセ

ンサエラー

ダイアフラムセンサの

欠陥

センサを交換してく

ださい（→ 25）


上に正しく取り付けら

れていない

接続部をチェックし

てください（電子ユ

ニット－センサ）

FAIL ATM1

大気圧センサエ

ラー

大気圧センサの欠陥真空計を交換してく

ださい

FAIL EEPROM

EEPROM エ

ラー

EEPROM エラー真空計をオフにし 5秒後にオンにしてく

ださい（リセット）

真空計を交換してく

ださい

FAIL SENSOR

センサエラー


と適合しない

センサを交換してく

ださい（→ 25）

真空計を交換してく

ださい

7 本製品の返送

注意：汚染された製品の返送汚染された製品（放射性、毒性、腐

食性、生物学的危険性など）は、健

康および環境に損害を与える恐れが

あります。

インフィコンに返送する製品には、

有害物質が含まれないようにしてく

ださい。また、送り先国および企業

の規則を遵守し、正確に記載された

「汚染状況申告書」を添付してくださ

い。

「有害物質を含まない」ことを明示していない製品

は、お客様の負担にて無害化の作業を実施します。

正確に記載された「汚染状況申告書」が製品に添付

されていない場合、弊社はその製品をお客様の負担

にて送り主の住所に返送いたします。

8 廃棄

注意：汚染された部品汚染された部品は、健康および環境

に損害を与える恐れがあります。

作業を開始する前に、汚染された部

品がないか確認してください。汚染

された部品を取り扱う場合は、適用

規制を遵守し、安全対策を施してく

ださい。

tina56e1-e (2015-01) 27

部品の分類

本製品を分解した後、部品を以下のカテゴリーに分

類して廃棄してください。

• 汚染部品

汚染された部品（放射性、有毒、腐食性、生物

学的など）は、当該国の規制に従って汚染を除

去し、材料の種類ならびに廃棄方法に従って分

類し、リサイクルしてください。

• その他の部品

これらのコンポーネントは、材料の種類に従っ

て分類し、リサイクルしてください。

9 アクセサリーパーツ

カタログ番号

ファインフィルタ付きセンタリング・

リング DN 16 ISO-KF211-097

通信アダプタ（2 m） 10) 303-333

10) 診断ソフト（Windows NT、XP）は、当社のウェブサイトからダウンロードできます。

10 スペアパーツ

スペアパーツを注文する際には、以下をお知らせく

ださい。

• 製品の銘板に記載されているすべての内容

• スペアパーツリストに記載されている製品名お

よび注文番号

タングステン（W）フィラメント付き

真空計用センサ

注文番号

PC

G55

0

3PC1-0x1-xxxx DN 16 ISO-KF 357-9253PC6-0x1-xxxx3PC1-0x2-xxxx DN 16 ISO-KF, ロング

チューブ

357-9263PC6-0x2-xxxx3PC1-0x4-xxxx DN 16 CF-F 357-9273PC6-0x4-xxxx3PC1-0x5-xxxx DN 16 CF-R, ロングチュー

ブ

357-9283PC6-0x5-xxxx3PC1-0x6-xxxx DN 25 ISO-KF 357-9293PC6-0x6-xxxx3PC1-0xD-xxxx 4 VCR メス型 357-9323PC6-0xD-xxxx3PC1-0xE-xxxx 8 VCR メス型 357-9313PC6-0xE-xxxx3PC1-0xF-xxxx 1/8" NPT 357-9303PC6-0xF-xxxx3PC1-0xK-xxxx 29×29 mm 357-9343PC6-0xK-xxxx3PC1-0xM-xxxx 4 VCR 90° メス型 357-9353PC6-0xM-xxxx3PC1-0xN-xxxx 7/16-20 UNF オス型 357-9333PC6-0xN-xxxx

注意：環境に有害な物質機械部品および電気部品、作動油な

どは、環境に損害を与える恐れがあ

ります。

環境に有害な物質は、当該地域の規

制に従って廃棄してください。

N

ニッケル（Ni）フィラメント付き

真空計用センサ

注文番号

PCG

552


チューブ

357-9373PC7-0x2-xxxx3PC2-0x4-xxxx DN 16 CF-F 357-9383PC7-0x4-xxxx3PC2-0x5-xxxx DN 16 CF-R, ロングチュー

ブ


2OAl 3 被膜フィラメント付き真空計用センサ注文番号

PC

G55

4


チューブ

357-9483PC8-0x2-xxxx3PC3-0x4-xxxx DN 16 CF-F 357-9493PC8-0x4-xxxx3PC3-0x5-xxxx DN 16 CF-R ロングチュー

ブ


28 tina56e1-e (2015-01)

詳細情報

[1] www.inficon.com Operating Manual Single-Channel Controller VGC401 tinb01d1 German tinb01e1 English INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

[2] www.inficon.com Operating Manual Two and Three Channel Measurement and Control Unit VGC402, VGC403 tinb07d1 German tinb07e1 English INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

[3] www.inficon.com Communication Protocol Serial Interface RS232C, RS485C PCG55x, PSG55x tira59d1 German tira59e1 English INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

[4] www.inficon.com Communication Protocol DeviceNet™ PCG55x, PSG55x tira58e1 English INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechten-stein

[5] www.inficon.com Communication Protocol Profibus PCG55x, PSG55x tira56e1 English INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechten-stein

[6] www.inficon.com Operating Manual Diagnostics Software tina62d1 German tina62e1 English INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

tina56e1-e (2015-01) 29

[7] Common Industrial Protocol (CIP™) Ed. 3.5 and DeviceNet™ Adaption of CIP Ed. 1.6 (Open DeviceNet Vendor Association)

[8] www.odva.org Open DeviceNet Vendor Association, Inc. DeviceNet™ Specifications

[9] IEC 61158 Type 3 elements: Industrial communication networks – Fieldbus specifications IEC 61784: Industrial communication networks – Fieldbus profiles

[10] www.profibus.com Profibus user organization

30 tina56e1-e (2015-01)

汚染状況申告書

tina56e1-e (2015-01) 31

EC 適合宣言書

弊社－インフィコンは、以下の製品が電磁適合性に関する指令（2004/108/EC）の条項を満た

していることを宣言します。

Pirani Capacitance Diaphragm GaugePCG550, PCG552, PCG554

StandardsHarmonized and international / national standards and specifications:EN 61000-6-2:2005 (EMC: generic immunity standard)EN 61000-6-3:2007 (EMC: generic emission standard)EN 61010-1:2001 (Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use)EN 61326-1:2006 (EMC requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use)

Manufacturer / SignaturesINFICON AG, Alte Landstrasse 6, LI-9496 Balzers

19 February 2010 19 February 2010

Dr. Urs Wächli Managing Director

Claudio Christoffel Product Manager

32 tina56j1 (2014-06) Document: tina56j1 (2010-08)

h t t p : / / w w w. i n f i c o n . j p

2 2 2 - 0 0 3 3 2 - 2 - 8 2 2 2 - 0 0 3 3 2 - 2 - 3

N A R A I I 5 1 1

T E L : ( 0 4 5 ) - 4 7 1 - 3 3 2 8 T E L : ( 0 4 5 ) - 4 7 1 - 3 3 2 6

FA X : ( 0 4 5 ) - 4 7 1 - 3 3 2 7 FA X : ( 0 4 5 ) - 4 7 1 - 3 3 2 7

tina56e1-e (2015-01)

（新横浜ナラビル　5 階）

Documents

Pirani Capacitance Diaphragm Gauge - INFICONinficon.jp/doc/vacuum/TINA56J1_PCG55x_manual.pdfK ⇒ Flange 29×29 m m M ⇒ 4 VCR 90 fem ale N ⇒ 7/16-20 UNF m ale 0 ⇒ m bar 1 ⇒