БАБАЕВ ВАГИФ АЛИПУЛАТОВИЧ Соискатель Кафедра “Физика твердого тела”

Эпитаксиальный рост оксида цинка на подложках лейкосапфира

СОЦИАЛЬНО-ПЕДАГОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

[0001]

Угол разориентации

Химико-механическая полировка, отжиг

Террасно-ступенчатые наноструктуры (ТСН).

α

Структурирование подложек лейкосапфира

В процессе структурирования подложки лейкосапфира проходят этап полировки и этап отжига

Этап полировки Этап отжига в низком вакууме и на воздухе

Отжиг в высоком вакууме.

Эпитаксиальный рост оксида цинка Оксид цинка на пластине после полировки

Оксид цинка на пластине после отжига на воздухе

Оксид цинка на пластине после отжига вакууме

Эпитаксиальная пленка

Текстура

Эпитаксиальная пленка с высокой степенью блочности

Технология. Катализатор - частицы золота.

Одноосная эпитаксия оксида цинка

Формирования частиц золота

Одноосная эпитаксия. Начальные стадии роста

Одноосная эпитаксия. Вискеры.

СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ!